| 8 | JI-009 | 透過電子顕微鏡 | 国立大学法人神戸大学工学研究科・応用化学専攻生体機能材料化学グループ | 大谷 亨 | 2022 | 22JI0054: ビタミンE誘導体を導入した高分子ミセル構造の解析 |
| 8 | JI-009 | 透過電子顕微鏡 | ウシオ電機株式会社 | 遠藤 真一 | 2022 | 22JI0051: 真空紫外線照射による半導体パッケージ用絶縁樹脂とダイレクトカッパースパッタ層の界面結合改善の研究と評価 |
| 8 | JI-009 | 透過電子顕微鏡 | 国立大学法人金沢大学 理工研究域 フロンティア工学系 高分子材料物性研究室 | 伊藤 麻絵 | 2022 | 22JI0045: オレフィン系動的架橋型熱可塑性エラストマーの構造と物性およびその変形機構 |
| 8 | JI-009 | 透過電子顕微鏡 | 国立大学法人金沢大学理工研究域数物科学系 | 吉田 靖雄 | 2022 | 22JI0034: 絶縁基板上の反強磁性薄膜の断面TEM観察 |
| 8 | JI-009 | 透過電子顕微鏡 | 国立大学法人金沢大学理工研究域電子情報通信学系 | 田中 康規 | 2022 | 22JI0028: タンデム変調熱プラズマを用いたZnOナノワイヤ/ナノプレートの大量生成と評価 |
| 8 | JI-009 | 透過電子顕微鏡 | 国立大学法人東海国立大学機構 岐阜大学高等研究院 | 近江 靖則 | 2022 | 22JI0009: ゼオライト骨格構造中への金属導入における構造解析 |
| 8 | JI-009 | 透過電子顕微鏡 | 独立行政法人国立高等専門学校機構富山高等専門学校 物質化学工学科 | 迫野 奈緒美 | 2022 | 22JI0005: コンポジットナノ粒子の高度構造解析 |
| 8 | JI-009 | 透過電子顕微鏡 | 根上工業株式会社 | 長谷田 光保 | 2022 | 22JI0004: 有機粒子の内部状態確認とその評価 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 東京大学 大学院工学系研究科 化学生命工学専攻 加藤隆史研究室 | 加藤 利喜 | 2022 | 22UT0036: バイオミネラリゼーションに倣った有機無機複合材料の合成 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 三菱ケミカル株式会社 | 梶山 智司 | 2022 | 22UT0367: ナノ粒子の合成と構造制御 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 花王株式会社 | 大野 智哉 | 2022 | 22UT0339: 無機触媒微粒子の構造評価 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 東京大学 | 鎮目 邦彦 | 2022 | 22UT0328: 不秩序系における熱輸送の理解へ向けた非晶質・準安定材料の構造評価 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 国立科学博物館 | 林 峻 | 2022 | 22UT0313: Ir系複合クラスター触媒の電子顕微鏡による局所構造解析 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | MAアルミニウム株式会社 | 西田 寛明 | 2022 | 22UT0307: アルミニウム合金のTEM観察 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 東京大学 | 塚本 雄也 | 2022 | 22UT0288: 嫌気性マンガン酸化菌の表面と断面分析 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 東京大学 | 嶺岸 耕 | 2022 | 22UT0248: CO2の電解還元による有用物質生成 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 東京大学 | 古月 文志 | 2022 | 22UT0054: セルロースナノファイバーの超微細構造解析 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 東京大学 | 山田 太郎 | 2022 | 22UT0023: 光触媒の分析・解析 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0014: ジルコニア微構造解析 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 東京大学 | 張 鋭璽 | 2022 | 22UT0012: ヘテロナノチューブの構造分析 |
| 13 | UT-006 | ハイスループット電子顕微鏡 | 株式会社村田製作所 | 田口 秀幸 | 2022 | 22UT0001: 金属の状態評価 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京大学 大学院工学系研究科 化学生命工学専攻 加藤隆史研究室 | 加藤 利喜 | 2022 | 22UT0036: バイオミネラリゼーションに倣った有機無機複合材料の合成 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | （地独）大阪産業技術研究所 | 小畠 淳平 | 2022 | 22UT0428: 希ガス含有非晶質合金膜の微細組織観察 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 鎮目 邦彦 | 2022 | 22UT0328: 不秩序系における熱輸送の理解へ向けた非晶質・準安定材料の構造評価 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 株式会社サクラドリーム | 河野 洋一 | 2022 | 22UT0256: ナノサイズ領域における美容・健康動態の研究 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京大学 大学院工学系研究科 化学生命工学専攻 加藤隆史研究室 | 加藤 利喜 | 2022 | 22UT0081: 単分散ナノシートの観察 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京都立大学大学院 都市環境科学研究科 | 朝山 章一郎 | 2022 | 22UT0074: QOLの向上を目指すバイオマテリアルの構造解析 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 古月 文志 | 2022 | 22UT0054: セルロースナノファイバーの超微細構造解析 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | HONG Taehun | 2022 | 22UT0029: ガン治療のためのドラックデリバリーシステムの開発 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 藤原 潤紀 | 2022 | 22UT0028: シャペロニンタンパク質GroELの自己組織化 |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | yuqian zheng | 2022 | 22UT0021: RH effect on the nano-structure of synthesized C-A-S-H gel |
| 11 | UT-010 | クライオ透過型/透過走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 木幡 愛 | 2022 | 22UT0019: 含フッ素化合物の合成と自己組織化制御 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 大学院工学系研究科 化学生命工学専攻 加藤隆史研究室 | 加藤 利喜 | 2022 | 22UT0036: バイオミネラリゼーションに倣った有機無機複合材料の合成 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | Jeong SungYeob | 2022 | 22UT0431: ポリマーフィルムの表面分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 志村 敬彬 | 2022 | 22UT5003: ジルコニア薄膜の電気化学特性計測 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 先端システム技術研究組合 | 二宮 健生 | 2022 | 22UT0433: ダイレクト接合3D積層技術開発 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 日本特殊塗料株式会社 | 加藤 歩並 | 2022 | 22UT0427: コーティング表面の成分分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 竹原 宏明 | 2022 | 22UT0411: ナノバイオデバイスの材料分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 株式会社エクア | 松倉 和浩 | 2022 | 22UT0407: アルミ反射部の線幅が製品の性能に及ぼす影響について |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 酒井 雄也 | 2022 | 22UT0394: 廃棄物を用いたコンクリート代替材料の開発 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | Zang Chuanlai | 2022 | 22UT0390: gas sensor |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | WU KAIGE | 2022 | 22UT0387: その場断続陽極分極と機械学習法によるアルミニウム合金の局部腐食機構の解明と予測モデルの開発 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 株式会社 日立製作所 | 児玉 一宗 | 2022 | 22UT0386: 超伝導MgB2線材の構造解析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 株式会社 フューチャーアース研究所 | 福村 洋人 | 2022 | 22UT0377: カーボンナノチューブ |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京都立大学 | 蓬田 陽平 | 2022 | 22UT0374: 無機ナノチューブの構造制御と物性開拓 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 倉持 宏実 | 2022 | 22UT0363: ナノバイオデバイスの材料分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | RAJAGOPALAN Parameshwaran | 2022 | 22UT0348: Surface analysis of magnetic nanoparticles and microencapsulated phase change materials |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 千葉工業大学 | 安川 雪子 | 2022 | 22UT0341: 六方晶フェライトの微細構造観察 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | Pornthep CHIVAVIBUL | 2022 | 22UT0337: 3Dプリンター法で作製したNi合金の評価 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 姜 勝皓 | 2022 | 22UT0334: 複合二相系の粘性 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 木村 優香 | 2022 | 22UT0323: ゼオライト含有塗膜の断面観察 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 木内 健司 | 2022 | 22UT0322: 超伝導力学的インダクタンス検出器の表面分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 広島工業大学 | 池田 雅弘 | 2022 | 22UT0293: 超臨界流体を用いたコーティング微粒子の生成 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | デンカ株式会社 | 宮崎 智成 | 2022 | 22UT0292: セラミックの構造解析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | Dalhousie University | Plucknett Kevin | 2022 | 22UT0283: ホウ化物コーティング膜の断面観察 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 山本 雅納 | 2022 | 22UT0282: 金属塩化物の高温加水分解反応中間体観察 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 友寄 篤 | 2022 | 22UT0261: セメントおよび火山ガラス微粉末の表面分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 嶺岸 耕 | 2022 | 22UT0248: CO2の電解還元による有用物質生成 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 酒井 雄也 | 2022 | 22UT0239: 砂同士を直接接着した建設材料の開発 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 日本大学大学院 | 川合 育椰 | 2022 | 22UT0232: プラズモニックアップコンバージョン素子の構築 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 井元 健太 | 2022 | 22UT0228: 新規磁性金属錯体の合成と物性に関する研究 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 畠山 元気 | 2022 | 22UT0199: Zrを含む金属-有機複合材料の表面分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 中央大学 | 角田 貴之 | 2022 | 22UT0187: 機能性膜および活性炭の表面解析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東北大 | 鎌田 圭 | 2022 | 22UT0165: 光導波型シンチレータに関する研究 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 日本特殊塗料株式会社 | 今関 雪絵 | 2022 | 22UT0095: 抗ウイルス性塗料の表面分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | GAO Mang | 2022 | 22UT0088: The fundamental research of DLC related films for high performance and durable TENG（ナノ発電機） |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | Abdelrahman Mohamed Farghali Abdelati | 2022 | 22UT0071: Characterization of DLC Films Deposited on Plasma Nitrided Stainless steel |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 株式会社マグネスケール | 丸田 秀昭 | 2022 | 22UT0064: GaAs基板上への酸化物反射膜形成と解析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 古月 文志 | 2022 | 22UT0054: セルロースナノファイバーの超微細構造解析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 中野 斉 | 2022 | 22UT0051: ワイヤ放電加工機上での電解仕上げ加工の研究 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 桐蔭横浜大学 | 柴山 直之 | 2022 | 22UT0046: ペロブスカイト多結晶薄膜の微細構造の観察 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 中村 乃理子 | 2022 | 22UT0038: 機能性ナノ-マイクロサイズ材料の構造分析 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 賈 方達 | 2022 | 22UT0033: 黒色酸化チタンのナノ微粒子化に関する研究 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 吉清 まりえ | 2022 | 22UT0031: 金属酸化物ナノ粒子の合成と物性に関する研究 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | SCIAZKO Anna | 2022 | 22UT0017: Microstructure of Solid Oxide Fuel Cells |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | Abdelrahman Mohamed Farghali Abdelati | 2022 | 22UT0016: Surface analysis of stainless steel |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 小泉 早苗 | 2022 | 22UT0015: 鉱物多結晶体の創製 |
| 46 | UT-102 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 増田 紘士 | 2022 | 22UT0013: セラミックスの焼結および力学特性についての研究 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 大学院工学系研究科 化学生命工学専攻 加藤隆史研究室 | 加藤 利喜 | 2022 | 22UT0036: バイオミネラリゼーションに倣った有機無機複合材料の合成 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学理学院地球惑星科学系 | 夏井 文凜 | 2022 | 22UT0421: 下部マントル圧力条件でのLLSVP構成候補鉱物の大歪変形実験 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | Magalhaes de Melo Freire Rafael | 2022 | 22UT0378: Material Assessment for Liquified Hydrogen Storage Tank |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 長谷川 優 | 2022 | 22UT0306: 残留γ制御を通じたNi鋼の液化水素貯槽用材料としての適合性 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 津田 麟太郎 | 2022 | 22UT0294: 極低温におけるSUS316Lの応力多軸度とマルテンサイト変態量の関係性 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | AGC株式会社 | 吉野 晴彦 | 2022 | 22UT0262: セラミックス粒子の解析 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 平田 祐樹 | 2022 | 22UT0245: 熱処理を施した銅薄膜の結晶構造分析 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 株式会社SUN METALON | 景山 宏治 | 2022 | 22UT0238: 積層造形金属の組織観察 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 平田 祐樹 | 2022 | 22UT0201: アモルファス炭窒化ホウ素膜の表面分析 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 永廣 怜平 | 2022 | 22UT0169: 低熱伝導率Si熱電材料の開発 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 永廣 怜平 | 2022 | 22UT0169: 低熱伝導率Si熱電材料の開発 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | キム ナヒョン | 2022 | 22UT0125: Microstructural analysis of pure shear deformation experiment |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 中野 斉 | 2022 | 22UT0051: ワイヤ放電加工機上での電解仕上げ加工の研究 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 中村 乃理子 | 2022 | 22UT0038: 機能性ナノ-マイクロサイズ材料の構造分析 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 賈 方達 | 2022 | 22UT0033: 黒色酸化チタンのナノ微粒子化に関する研究 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 吉清 まりえ | 2022 | 22UT0031: 金属酸化物ナノ粒子の合成と物性に関する研究 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0014: ジルコニア微構造解析 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 増田 紘士 | 2022 | 22UT0013: セラミックスの焼結および力学特性についての研究 |
| 19 | UT-103 | 高分解能走査型電子顕微鏡 | 株式会社村田製作所 | 田口 秀幸 | 2022 | 22UT0001: 金属の状態評価 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 大学院工学系研究科 化学生命工学専攻 加藤隆史研究室 | 加藤 利喜 | 2022 | 22UT0036: バイオミネラリゼーションに倣った有機無機複合材料の合成 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 先端システム技術研究組合 | 二宮 健生 | 2022 | 22UT0435: 高熱伝導率無機層間絶縁材料・プロセスの開発 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | WEI CHAORAN | 2022 | 22UT0440: セラミック材料のレーザ穴あけ加工後の品質評価 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 志村 敬彬 | 2022 | 22UT5003: ジルコニア薄膜の電気化学特性計測 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 先端システム技術研究組合 | 二宮 健生 | 2022 | 22UT0433: ダイレクト接合3D積層技術開発 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 岡部 貴雄 | 2022 | 22UT0398: 新規半導体製造装置機構の研究 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 萩原 大貴 | 2022 | 22UT0393: 階層性多孔質(HNL)ガラスの構造分析 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京理科大学 | 生野 孝 | 2022 | 22UT0385: カーボンナノチューブおよびセルロースナノファイバーの物性評価 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 株式会社 フューチャーアース研究所 | 福村 洋人 | 2022 | 22UT0377: カーボンナノチューブ |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 小西 邦昭 | 2022 | 22UT0345: レーザー加工痕形状の精密計測 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 日本大学大学院 | 本多 丈太郎 | 2022 | 22UT0312: プラズモニック三重項対消滅型アップコンバージョンにおける金属/アップコンバージョンシステム間の距離依存特性の調査 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 帝京科学大学 生命環境学部自然環境学科 | 山際 清史 | 2022 | 22UT0311: 電極材料への応用を見据えた各種ナノカーボンの表面観察 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京理科大学 | 宮澤 薫一 | 2022 | 22UT0310: エネルギー用材料の構造評価 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 広島工業大学 | 池田 雅弘 | 2022 | 22UT0293: 超臨界流体を用いたコーティング微粒子の生成 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 中央大学 | 片山 建二 | 2022 | 22UT0252: 機械学習を用いた光触媒材料の最適化 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 日本大学大学院 | 川合 育椰 | 2022 | 22UT0232: プラズモニックアップコンバージョン素子の構築 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 福島 和樹 | 2022 | 22UT0220: 生分解性ブロック共重合体の自己組織化挙動の解明 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 森永 俊太朗 | 2022 | 22UT0217: 撥液性表面の開発 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 畠山 元気 | 2022 | 22UT0199: Zrを含む金属-有機複合材料の表面分析 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 王 鑠涵 | 2022 | 22UT0192: 成形接合に対する部品の表面分析 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 中央大学 | 角田 貴之 | 2022 | 22UT0187: 機能性膜および活性炭の表面解析 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 夏 康 | 2022 | 22UT0184: ポリオキソメタレート修飾した高活性アニオン性貴金属ナノ粒子触媒の創製 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 桐蔭横浜大学 | 柴山 直之 | 2022 | 22UT0046: ペロブスカイト多結晶薄膜の微細構造の観察 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 賈 方達 | 2022 | 22UT0033: 黒色酸化チタンのナノ微粒子化に関する研究 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 吉清 まりえ | 2022 | 22UT0031: 金属酸化物ナノ粒子の合成と物性に関する研究 |
| 26 | UT-101 | 低損傷走査型分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 森田 隆太郎 | 2022 | 22UT0010: イネの茎葉部に蓄積する澱粉の多様性の解析 |
| 8 | OS-005 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 | ダイキン工業㈱ | 山邑 和裕 | 2022 | 22OS0029: ガラス表面分析 |
| 8 | OS-005 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 | 三菱電機㈱ | 日坂 隆行 | 2022 | 22OS0001: 化合物半導体デバイスの分析 |
| 8 | OS-005 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 | 日本電気硝子㈱ | 豊福 直樹 | 2022 | 22OS0045: 高機能結晶化ガラスの微細構造解析 |
| 8 | OS-005 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 | 名古屋大学 | 孫 飛 | 2022 | 22OS0040: レーザ粉末床溶融結合法による SUS316L の微細組織解析 |
| 8 | OS-005 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 | 大阪大学 | 今井 亜希子 | 2022 | 22OS0039: 磁気トンネル接合のフラッシュランプアニーリング |
| 8 | OS-005 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 | 大阪大学 | 西嶋 雅彦 | 2022 | 22OS0038: Microstcutural Study for Weak Micro-Via |
| 8 | OS-005 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 | 大阪大学 | 篠崎 健二 | 2022 | 22OS0030: ガラス、セラミックス、金属中に形成した微構造の観察 |
| 8 | OS-005 | 複合ビーム３次元加工・観察装置 | 滋賀医科大学 | 成瀬 延康 | 2022 | 22OS0003: ナノドメインVO2金属-絶縁体相転移に伴う歪み状態相の定量的空間マッピング |
| 7 | OS-001 | 3MV超高圧電子顕微鏡 | 三菱電機㈱ | 日坂 隆行 | 2022 | 22OS0001: 化合物半導体デバイスの分析 |
| 7 | OS-001 | 3MV超高圧電子顕微鏡 | 京都大学 | 平山 朋子 | 2022 | 22OS0046: 添加剤分子の溶解構造の差異に伴うトライボロジー特性の変化 |
| 7 | OS-001 | 3MV超高圧電子顕微鏡 | 大阪大学 | 篠崎 健二 | 2022 | 22OS0030: ガラス、セラミックス、金属中に形成した微構造の観察 |
| 7 | OS-001 | 3MV超高圧電子顕微鏡 | 産業技術総合研究所 | 坪内 信輝 | 2022 | 22OS0020: ワイドギャップ系薄膜材料の結晶性評価 |
| 7 | OS-001 | 3MV超高圧電子顕微鏡 | 日本電子㈱ | 朝山 匡一郎 | 2022 | 22OS0019: 半導体デバイス中の不可視欠陥の可視化 |
| 7 | OS-001 | 3MV超高圧電子顕微鏡 | ㈱ジェイテクトサーモシステム | 木村 洋介 | 2022 | 22OS0013: 断熱材の微細構造解析 |
| 7 | OS-001 | 3MV超高圧電子顕微鏡 | ローム㈱ | 髙田 里菜 | 2022 | 22OS0006: 超高圧TEMを用いた半導体デバイスの故障解析 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 三菱電機㈱ | 日坂 隆行 | 2022 | 22OS0001: 化合物半導体デバイスの分析 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 京都大学 | 内山 智貴 | 2022 | 22OS0041: 電極触媒の電子顕微鏡による表面微細構造解析 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 名古屋大学 | 孫 飛 | 2022 | 22OS0040: レーザ粉末床溶融結合法による SUS316L の微細組織解析 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 大阪大学 | 今井 亜希子 | 2022 | 22OS0039: 磁気トンネル接合のフラッシュランプアニーリング |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 大阪大学 | 西嶋 雅彦 | 2022 | 22OS0038: Microstcutural Study for Weak Micro-Via |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 大阪大学 | 西山 憲和 | 2022 | 22OS0034: 多機能ゼオライト触媒の開発 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 大阪大学 | 桑原 泰隆 | 2022 | 22OS0031: 金属ナノ粒子を内包した中空カーボン触媒のTEM観察 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 大阪大学 | 篠崎 健二 | 2022 | 22OS0030: ガラス、セラミックス、金属中に形成した微構造の観察 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 北海道大学 | 多田 昌平 | 2022 | 22OS0026: 革新的CO2水素化触媒の開発 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 関西大学 | 新宮原 正三 | 2022 | 22OS0022: 高融点金属薄膜の結晶組織観察 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 日本電子㈱ | 朝山 匡一郎 | 2022 | 22OS0019: 半導体デバイス中の不可視欠陥の可視化 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 岩手大学 | 清水 一行 | 2022 | 22OS0011: 次世代高強度アルミニウム合金中のT相の組成・構造解析 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | 日本大学 | 高瀬 浩一 | 2022 | 22OS0009: 量子スピン液体物質RuCl3の精密構造観察 |
| 14 | OS-003 | 200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 | ㈱サムスン日本研究所 | 土井 敏宏 | 2022 | 22OS0004: チタン酸バリウム焼結体における強誘電分域構造の観察 |
| 5 | OS-008 | 電界放出型200kV高分解能電子顕微鏡 | 三菱電機㈱ | 日坂 隆行 | 2022 | 22OS0001: 化合物半導体デバイスの分析 |
| 5 | OS-008 | 電界放出型200kV高分解能電子顕微鏡 | 大阪大学 | 水垣 共雄 | 2022 | 22OS0032: 高分解能電子顕微鏡観察による炭化金属ナノ結晶の構造解析 |
| 5 | OS-008 | 電界放出型200kV高分解能電子顕微鏡 | 大阪大学 | 篠崎 健二 | 2022 | 22OS0030: ガラス、セラミックス、金属中に形成した微構造の観察 |
| 5 | OS-008 | 電界放出型200kV高分解能電子顕微鏡 | 大阪大学 | 森 浩亮 | 2022 | 22OS0014: 金属酸化物上に高分散担持された金属ナノ粒子、ナノ合金触媒のTEM観察 |
| 5 | OS-008 | 電界放出型200kV高分解能電子顕微鏡 | 滋賀医科大学 | 成瀬 延康 | 2022 | 22OS0003: ナノドメインVO2金属-絶縁体相転移に伴う歪み状態相の定量的空間マッピング |
| 6 | OS-009 | 200kV回折コントラスト電子顕微鏡 | 三菱電機㈱ | 日坂 隆行 | 2022 | 22OS0001: 化合物半導体デバイスの分析 |
| 6 | OS-009 | 200kV回折コントラスト電子顕微鏡 | 大阪大学 | 西山 憲和 | 2022 | 22OS0034: 多機能ゼオライト触媒の開発 |
| 6 | OS-009 | 200kV回折コントラスト電子顕微鏡 | 大阪大学 | 桑原 泰隆 | 2022 | 22OS0031: 金属ナノ粒子を内包した中空カーボン触媒のTEM観察 |
| 6 | OS-009 | 200kV回折コントラスト電子顕微鏡 | 大阪大学 | 篠崎 健二 | 2022 | 22OS0030: ガラス、セラミックス、金属中に形成した微構造の観察 |
| 6 | OS-009 | 200kV回折コントラスト電子顕微鏡 | ㈱サムスン日本研究所 | 土井 敏宏 | 2022 | 22OS0004: チタン酸バリウム焼結体における強誘電分域構造の観察 |
| 6 | OS-009 | 200kV回折コントラスト電子顕微鏡 | マイクロ波化学㈱ | 山内 智央 | 2022 | 22OS0002: マイクロ波加熱による金属ナノワイヤーの精密形状制御 |
| 3 | NR-704 | 全自動元素分析装置 | 自然科学研究機構分子科学研究所生命・錯体分子科学研究領域 | 草本 哲郎 | 2022 | 22NR0045: 発光-磁気相関物性を示す開殻有機分子および金属錯体の開発 |
| 3 | NR-704 | 全自動元素分析装置 | 龍谷大学先端理工学部応用化学課程 | 服部 陽平 | 2022 | 22NR0016: 発光性ジアリールエテン及びトリアリールメチルラジカルの開発 |
| 3 | NR-704 | 全自動元素分析装置 | 奈良教育大学理科教育講座 | Shoko Yamazaki | 2022 | 22NR0002: 新規有機合成法の開発 |
| 5 | NR-202 | 300kV透過電子顕微鏡 | 立命館大学生命科学部 応用化学科 | 越山 友美 | 2022 | 22NR0043: 細胞膜を利用した機能性ナノ粒子合成 |
| 5 | NR-202 | 300kV透過電子顕微鏡 | 京都大学大学院工学研究科合成・生物化学専攻 | 生越 友樹 | 2022 | 22NR0039: ポリロタキサン構造の形成による耐熱性の向上 |
| 5 | NR-202 | 300kV透過電子顕微鏡 | 奈良工業高等専門学校物質化学工学科 | Uda Ryoko | 2022 | 22NR0037: マラカイトグリーン誘導体含有経皮性リポソームの開発 |
| 5 | NR-202 | 300kV透過電子顕微鏡 | 城西大学薬学部薬科学科 | 板倉 祥子 | 2022 | 22NR0008: 果実由来細胞外小胞の薬物送達システムへの応用 |
| 5 | NR-202 | 300kV透過電子顕微鏡 | 京都大学大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 | 濱野 誉 | 2022 | 22NR0003: 反応性プラズマ支援成膜法により作製した窒化ホウ素膜のsp結合ナノネットワーク構造制御に関する研究 |
| 1 | NR-203 | 200kV透過電子顕微鏡 | 立命館大学生命科学部 応用化学科 | 越山 友美 | 2022 | 22NR0043: 細胞膜を利用した機能性ナノ粒子合成 |
| 4 | NR-504 | LC/TOFMS高分解能飛行時間型質量分析装置 | 奈良女子大学研究院自然科学系化学領域 | 竹内 孝江 | 2022 | 22NR0042: 鯉の餌に含まれる化学物質の精密質量測定 |
| 4 | NR-504 | LC/TOFMS高分解能飛行時間型質量分析装置 | 兵庫県立大学大学院理学研究科 | 田原 圭志朗 | 2022 | 22NR0041: 新規ベンゾチエノベンゾチオフェン誘導体の開発と電気化学発光材料への応用 |
| 4 | NR-504 | LC/TOFMS高分解能飛行時間型質量分析装置 | 大阪公立大学大学院工学研究科 物質化学生命系専攻 応用化学分野 | 小川 昭弥 | 2022 | 22NR0006: 酸化反応を基軸とした有機合成反応および触媒開発 |
| 4 | NR-504 | LC/TOFMS高分解能飛行時間型質量分析装置 | 奈良教育大学理科教育講座 | Shoko Yamazaki | 2022 | 22NR0002: 新規有機合成法の開発 |
| 1 | NR-505 | マトリックス支援レーザーイオン化飛行時間型質量分析計 | 兵庫県立大学大学院理学研究科 | 田原 圭志朗 | 2022 | 22NR0041: 新規ベンゾチエノベンゾチオフェン誘導体の開発と電気化学発光材料への応用 |
| 1 | NR-206 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 富山県立大学工学部医薬品工学科 | Koyama Yasuhito | 2022 | 22NR0040: 天然多糖類のゲル化に関する研究 |
| 6 | NR-401 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置 | 大阪公立大学大学院工学研究科物質化学生命系専攻 | 牧浦 理恵 | 2022 | 22NR0036: 導電性 metal-organic framework ナノシートの気液界面合成：溶媒種がナノシート形成に与える影響 |
| 6 | NR-401 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置 | 大阪公立大学大学院工学研究科 物質化学生命系専攻化学工学分野 | 齊藤 丈靖 | 2022 | 22NR0034: 次世代高速通信に向けた先端半導体パッケージ用高機能液状封止材料の開発 |
| 6 | NR-401 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置 | 株式会社SCREENホールディングス | Osawa Atsushi | 2022 | 22NR0029: AlN系薄膜材料の価電子帯構造の解明 |
| 6 | NR-401 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置 | 東京農工大学大学院工学研究院 応用化学部門 | 大橋 秀伯 | 2022 | 22NR0026: 負極表面修飾による高性能リチウムイオン電池の開発 |
| 6 | NR-401 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置 | 大阪公立大学大学院工学研究科 物質化学生命系専攻 化学工学分野 | 齊藤 丈靖 | 2022 | 22NR0010: Mg二次電池用Biアノードの析出形態制御による充放電特性の改善 |
| 6 | NR-401 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置 | 京都大学大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 | 濱野 誉 | 2022 | 22NR0003: 反応性プラズマ支援成膜法により作製した窒化ホウ素膜のsp結合ナノネットワーク構造制御に関する研究 |
| 2 | NR-301 | X線構造解析装置 | 大阪公立大学大学院工学研究科物質化学生命系専攻 | 牧浦 理恵 | 2022 | 22NR0036: 導電性 metal-organic framework ナノシートの気液界面合成：溶媒種がナノシート形成に与える影響 |
| 2 | NR-301 | X線構造解析装置 | 大阪大学産業科学研究所 3次元ナノ構造科学研究分野 | 服部 梓 | 2022 | 22NR0030: 強金属酸化物の相転移構造ダイナミクス |
| 2 | NR-201 | 多機能分析走査電子顕微鏡 | 株式会社日立ハイテク | Ito Hiroyuki | 2022 | 22NR0035: リチウムイオン電池負極材のバインダの可視化 |
| 2 | NR-201 | 多機能分析走査電子顕微鏡 | セイコーエプソン株式会社 | 仮屋園 広宣 | 2022 | 22NR0009: 半導体デバイスの電気・光学特性の研究 |
| 1 | NR-205 | 超高分解能電界放出型電子顕微鏡 | 大阪大学大学院工学研究科 機械工学専攻 | 鈴木 崇弘 | 2022 | 22NR0033: スラリーから形成される電極構造・材料分布の解析 |
| 2 | NR-701 | 示差走査熱量計・示差熱熱重量同時測定装置 | 北海道大学大学院工学研究院環境循環システム専攻資源循環工学講座 | 胡桃澤 清文 | 2022 | 22NR0028: 混合セメント硬化体の水分状態測定 |
| 2 | NR-701 | 示差走査熱量計・示差熱熱重量同時測定装置 | 株式会社奥本研究所 | Okumoto Kenji | 2022 | 22NR0001: 有機太陽電池用の有機半導体材料の創製 |
| 1 | NR-705 | 走査プローブ顕微鏡 | 牛乳石鹸共進社株式会社 | 白石 俊太 | 2022 | 22NR0025: 石鹸で髪を洗うときに発生するきしみ感の原因の調査 |
| 4 | NR-302 | 微小単結晶X線構造解析装置 | 慶應義塾大学理工学部化学科 | 酒井 隼人 | 2022 | 22NR0022: 近赤外円偏光発光発現が可能なキラルボロンジピロメテン分子集合体の合成 |
| 4 | NR-302 | 微小単結晶X線構造解析装置 | 龍谷大学先端理工学部応用化学課程 | 服部 陽平 | 2022 | 22NR0016: 発光性ジアリールエテン及びトリアリールメチルラジカルの開発 |
| 4 | NR-302 | 微小単結晶X線構造解析装置 | 大阪歯科大学化学教室 | 牧田 佳真 | 2022 | 22NR0007: 分子カプセルを利用した蛍光プローブの開発 |
| 4 | NR-302 | 微小単結晶X線構造解析装置 | 大阪公立大学大学院工学研究科 物質化学生命系専攻 応用化学分野 | 小川 昭弥 | 2022 | 22NR0006: 酸化反応を基軸とした有機合成反応および触媒開発 |
| 2 | NR-102 | 400MHz 固体・溶液NMR | 奈良県立医科大学血栓止血先端医学講座 | 小野寺 悠 | 2022 | 22NR0017: 温度応答性培養皿表面への分子末端選択的なヘパリン修飾 |
| 2 | NR-102 | 400MHz 固体・溶液NMR | 株式会社奥本研究所 | Okumoto Kenji | 2022 | 22NR0001: 有機太陽電池用の有機半導体材料の創製 |
| 5 | NR-501 | マトリックス支援レーザーイオン化Spiral飛行時間型質量分析計 | 龍谷大学先端理工学部応用化学課程 | 服部 陽平 | 2022 | 22NR0016: 発光性ジアリールエテン及びトリアリールメチルラジカルの開発 |
| 5 | NR-501 | マトリックス支援レーザーイオン化Spiral飛行時間型質量分析計 | 京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科物質工学部門 | 中 建介 | 2022 | 22NR0011: かご型シルセスキオキサンを基盤とした元素ブロック高分子材料の開発 |
| 5 | NR-501 | マトリックス支援レーザーイオン化Spiral飛行時間型質量分析計 | 大阪歯科大学化学教室 | 牧田 佳真 | 2022 | 22NR0007: 分子カプセルを利用した蛍光プローブの開発 |
| 5 | NR-501 | マトリックス支援レーザーイオン化Spiral飛行時間型質量分析計 | 大阪公立大学大学院工学研究科 物質化学生命系専攻 応用化学分野 | 小川 昭弥 | 2022 | 22NR0006: 酸化反応を基軸とした有機合成反応および触媒開発 |
| 5 | NR-501 | マトリックス支援レーザーイオン化Spiral飛行時間型質量分析計 | 株式会社奥本研究所 | Okumoto Kenji | 2022 | 22NR0001: 有機太陽電池用の有機半導体材料の創製 |
| 3 | NR-502 | 二重収束型質量分析計 | 龍谷大学先端理工学部応用化学課程 | 服部 陽平 | 2022 | 22NR0016: 発光性ジアリールエテン及びトリアリールメチルラジカルの開発 |
| 3 | NR-502 | 二重収束型質量分析計 | 大阪公立大学大学院工学研究科 物質化学生命系専攻 応用化学分野 | 小川 昭弥 | 2022 | 22NR0006: 酸化反応を基軸とした有機合成反応および触媒開発 |
| 3 | NR-502 | 二重収束型質量分析計 | 奈良教育大学理科教育講座 | Shoko Yamazaki | 2022 | 22NR0002: 新規有機合成法の開発 |
| 2 | NR-402 | 大気中光電子分光装置 | 東洋紡株式会社 | 徳田 桂也 | 2022 | 22NR0015: 有機半導体デバイス向け材料の探索 |
| 2 | NR-402 | 大気中光電子分光装置 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 小嶋 健輔 | 2022 | 22NR0004: 有機太陽電池材料の開発 |
| 2 | NR-703 | 微細形状測定装置 | 東洋紡株式会社 | 徳田 桂也 | 2022 | 22NR0015: 有機半導体デバイス向け材料の探索 |
| 2 | NR-703 | 微細形状測定装置 | 株式会社奥本研究所 | Okumoto Kenji | 2022 | 22NR0001: 有機太陽電池用の有機半導体材料の創製 |
| 2 | NR-601 | 微小デバイス特性評価装置 | セイコーエプソン株式会社 | 仮屋園 広宣 | 2022 | 22NR0009: 半導体デバイスの電気・光学特性の研究 |
| 2 | NR-601 | 微小デバイス特性評価装置 | 京セラ株式会社 | タツムラ マコト | 2022 | 22NR0005: 半導体と金属の界面の静電容量-電圧特性の研究 |
| 1 | NR-101 | 500MHz NMR | 大阪歯科大学化学教室 | 牧田 佳真 | 2022 | 22NR0007: 分子カプセルを利用した蛍光プローブの開発 |
| 1 | NR-503 | LC/TOFMS飛行時間型質量分析計 | 株式会社奥本研究所 | Okumoto Kenji | 2022 | 22NR0001: 有機太陽電池用の有機半導体材料の創製 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学 工学部 | 新家 伊織 | 2022 | 22RO0036: GaN高電子移動度トランジスタに関する研究 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学大学院先進理工系科学研究科 | 谷口 学 | 2022 | 22RO0038: ホウ素中性子捕捉療法（BNCT）のための中性子イメージセンサの研究 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学 | 雨宮 嘉照 | 2022 | 22RO0037: 異種基板上常温接合素子の微細化 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学 | 雨宮 嘉照 | 2022 | 22RO0035: magnetic tunnel junctionの信頼性に関する研究 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学工学部第二類 | 尾崎 大晟 | 2022 | 22RO0034: ワイドバンドギャップ半導体を用いたMOSFETの耐放射線性に関する研究 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学先進理工系科学研究科量子物質科学プログラム | 竹内 陸 | 2022 | 22RO0033: 短チャネル4H-SiC Trench MOSFETsの研究 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学大学院 先進理工系科学研究科 | 甲斐 陶弥 | 2022 | 22RO0030: 極限環境デバイスのための4H-SiC CMOSプロセスの研究 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学 ナノデバイス研究所 | THUY NGUYEN THI | 2022 | 22RO0029: Study on poly-Si thin films |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学ナノデバイス研究所 | 三島 理史 | 2022 | 22RO0025: シリコンナノ電子デバイスの作製 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 東京理科大学大学院理工学研究科 | 禹 泰圭 | 2022 | 22RO0020: CMOS論理回路 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 東京理科大学大学院 理工学研究科 | 辻 祐樹 | 2022 | 22RO0019: CMOS論理回路 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 千葉大学大学院融合理工学府 | 大原 正裕 | 2022 | 22RO0018: CMOSトランジスタ・IC作製実習（5入力OR回路の作成） |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 広島大学先進理工 | 黒田 健太 | 2022 | 22RO0015: 顕微角度分解光電子光開発に必要なリソグラフィ試料の作成 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | 量子科学技術研究開発機構 | 山崎 雄一 | 2022 | 22RO0013: 2次元薄膜窒化ホウ素へのイオン注入法による室温スピン操作可能な新規スピン欠陥の創製 |
| 15 | RO-113 | マスクレス露光装置 | Indiana University School of Dentistry, Biomedical Sciences and Comprehensive Care | 吉本 哲也 | 2022 | 22RO0007: マイクロ流体デバイスを用いたアストロサイトに対する骨組織の影響の検討 |
| 1 | RO-311 | LPCVD装置（poly-Si用） | 広島大学 工学部 | 新家 伊織 | 2022 | 22RO0036: GaN高電子移動度トランジスタに関する研究 |
| 1 | RO-313 | LPCVD装置（SiO2用） | 広島大学 工学部 | 新家 伊織 | 2022 | 22RO0036: GaN高電子移動度トランジスタに関する研究 |
| 2 | RO-321 | スパッタ装置（Al用） | 広島大学 工学部 | 新家 伊織 | 2022 | 22RO0036: GaN高電子移動度トランジスタに関する研究 |
| 2 | RO-321 | スパッタ装置（Al用） | 久留米工業高等専門学校 | 村上 秀樹 | 2022 | 22RO0006: OFETの試作 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 産業技術総合研究所 中部センター 極限機能材料研究部門 蓄電材料グループ | 安井 久一 | 2022 | 22KU0025: BaTiO3ナノキューブ集積体に関する研究 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 久留米工業高等専門学校 材料システム工学科 | 小袋 由貴 | 2022 | 22KU0024: 異種カチオンを含む鉄系複合酸化物粒子の微細構造の解析 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 久留米工業高等専門学校 材料システム工学科 | 奥山 哲也 | 2022 | 22KU0023: 機能性向上を目指した熱電材料中のナノ構造組織の解析 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 福岡大学理学部物理科学科 | 藤 昇一 | 2022 | 22KU0016: 高分解能顕微法による化合物半導体中の欠陥構造解析 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 福岡大学理学部物理科学科 | 藤 昇一 | 2022 | 22KU0015: スピンコートしたYIG薄膜の結晶学的特性の調査 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 九州先端科学技術研究所ISITマテリアルズ・オープンラボ | 王 胖胖 | 2022 | 22KU0014: 電子顕微鏡を用いた接着界面の構造評価 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 公益財団法人九州先端科学技術研究所 産学官共創推進室 | 川畑 明 | 2022 | 22KU0013: 電子顕微鏡を用いた新規材料のための分析手法の開発 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 福地 厚 | 2022 | 22KU0049: モット絶縁体Ca2RuO4薄膜に対する欠陥構造と原子構造の精密解析 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 名古屋工業大学 先進セラミックス研究センター | 西田 吉秀 | 2022 | 22KU0041: 異種元素間相互作用に基づく高性能な固体触媒の設計 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 京都大学大学院工学研究科 | 加藤 大地 | 2022 | 22KU0040: 複合アニオンフッ化物の電子顕微鏡観察 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 熊本大学大学院先端科学研究部 | 大山 順也 | 2022 | 22KU0039: アルミナ担持Pdナノ粒子の原子スケール3D構造解析 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 北九州市立大学国際環境工学部エネルギー循環化学科 | 郡司 貴雄 | 2022 | 22KU0037: 触媒ナノ粒子の形態・表面観察 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 関西学院大学理学研究科化学専攻 | 江口 大地 | 2022 | 22KU0032: InP系コアシェル型ナノ結晶の励起子素過程に及ぼす界面ポテンシャルの影響 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 佐藤 勝俊 | 2022 | 22KU0011: CO2の資源化を志向した担持金属触媒の高分解能電子顕微鏡解析 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 株式会社レゾナック 大分コンビナート 技術開発部 | 岩間 康拓 | 2022 | 22KU0008: Pd合金触媒の微視的構造解析 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 日本曹達株式会社小田原研究所材料開発研究部 (千葉リサーチセンター) | 小林 大哉 | 2022 | 22KU0007: 固溶金属ナノ粒子の原子レベルでの固溶化確認 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 茨城大学大学院理工学研究科 | 中島 光一 | 2022 | 22KU0006: 溶液反応を用いた機能性ナノクリスタルの合成 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | NSマテリアルズ株式会社 | 宮永 昭治 | 2022 | 22KU0003: 半導体蛍光ナノ粒子の構造の調査 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 京都大学白眉センター | 草田 康平 | 2022 | 22KU0002: 結晶構造制御された金属ナノ粒子の原子分解能構造解析 |
| 20 | KU-004 | 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | 京都大学大学院理学研究科 | 北川 宏 | 2022 | 22KU0001: 非平衡合成による多元素ナノ合金の原子分解能構造解析 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 久留米工業高等専門学校 材料システム工学科 | 奥山 哲也 | 2022 | 22KU0023: 機能性向上を目指した熱電材料中のナノ構造組織の解析 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 有田 正志 | 2022 | 22KU0021: ナノサイズ電子デバイスの電気特性と微細構造に関する研究 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 九州工業大学大学院工学研究院 物質工学研究系 | 堀部 陽一 | 2022 | 22KU0017: マンガン系スピネル酸化物におけるナノ構造成長過程の解明 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 九州先端科学技術研究所ISITマテリアルズ・オープンラボ | 王 胖胖 | 2022 | 22KU0014: 電子顕微鏡を用いた接着界面の構造評価 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 京都大学 大学院工学研究科材料工学専攻 | 平山 恭介 | 2022 | 22KU0034: アルミニウム合金における析出物界面の半自発的剥離の高分解能観察 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | コベルコ溶接テクノ株式会社 | 大阿見 祥子 | 2022 | 22KU0031: フェライト系耐熱鋼の析出物観察 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 神奈川大学工学部物質生命化学科 | 松本 太 | 2022 | 22KU0029: Ｐt系合金ナノ粒子表面の表面構造と電極触媒活性の関係に関する検討-酸素還元反応およびギ酸,メタノール・エタノール酸化反応を中心に- |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 佐藤 勝俊 | 2022 | 22KU0011: CO2の資源化を志向した担持金属触媒の高分解能電子顕微鏡解析 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 株式会社レゾナック 大分コンビナート 技術開発部 | 岩間 康拓 | 2022 | 22KU0008: Pd合金触媒の微視的構造解析 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 日本曹達株式会社小田原研究所材料開発研究部 (千葉リサーチセンター) | 小林 大哉 | 2022 | 22KU0007: 固溶金属ナノ粒子の原子レベルでの固溶化確認 |
| 11 | KU-002 | 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | 茨城大学大学院理工学研究科 | 中島 光一 | 2022 | 22KU0006: 溶液反応を用いた機能性ナノクリスタルの合成 |
| 5 | KU-003 | マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 | 久留米工業高等専門学校 材料システム工学科 | 奥山 哲也 | 2022 | 22KU0023: 機能性向上を目指した熱電材料中のナノ構造組織の解析 |
| 5 | KU-003 | マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 | 九州先端科学技術研究所ISITマテリアルズ・オープンラボ | 王 胖胖 | 2022 | 22KU0014: 電子顕微鏡を用いた接着界面の構造評価 |
| 5 | KU-003 | マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 | 公益財団法人九州先端科学技術研究所 産学官共創推進室 | 川畑 明 | 2022 | 22KU0013: 電子顕微鏡を用いた新規材料のための分析手法の開発 |
| 5 | KU-003 | マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 佐藤 勝俊 | 2022 | 22KU0011: CO2の資源化を志向した担持金属触媒の高分解能電子顕微鏡解析 |
| 5 | KU-003 | マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 | 株式会社レゾナック・オートモーティブプロダクツ | 森原 潤美 | 2022 | 22KU0010: 銀粒子の析出状態による色相コントロール |
| 6 | KU-005 | デュアルビームFIB-SEM加工装置 | 久留米工業高等専門学校 材料システム工学科 | 奥山 哲也 | 2022 | 22KU0023: 機能性向上を目指した熱電材料中のナノ構造組織の解析 |
| 6 | KU-005 | デュアルビームFIB-SEM加工装置 | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 有田 正志 | 2022 | 22KU0021: ナノサイズ電子デバイスの電気特性と微細構造に関する研究 |
| 6 | KU-005 | デュアルビームFIB-SEM加工装置 | アスカコーポレーション株式会社 | 古澤 孝幸 | 2022 | 22KU2001: スパッタ膜の表面変色機構の解明 |
| 6 | KU-005 | デュアルビームFIB-SEM加工装置 | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 福地 厚 | 2022 | 22KU0049: モット絶縁体Ca2RuO4薄膜に対する欠陥構造と原子構造の精密解析 |
| 6 | KU-005 | デュアルビームFIB-SEM加工装置 | 日本大学工学部 総合教育物理学教室 | 高木 秀有 | 2022 | 22KU0030: クリープ変形中の転位運動の観察 |
| 6 | KU-005 | デュアルビームFIB-SEM加工装置 | 九州工業大学大学院工学研究院物質工学研究系 | 石丸 学 | 2022 | 22KU0009: 不均質な構造を持つ酸化物セラミックス材料の極微構造解析 |
| 8 | KU-006 | 直交型FIB-SEM | 久留米工業高等専門学校 材料システム工学科 | 奥山 哲也 | 2022 | 22KU0023: 機能性向上を目指した熱電材料中のナノ構造組織の解析 |
| 8 | KU-006 | 直交型FIB-SEM | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 有田 正志 | 2022 | 22KU0021: ナノサイズ電子デバイスの電気特性と微細構造に関する研究 |
| 8 | KU-006 | 直交型FIB-SEM | アスカコーポレーション株式会社 | 古澤 孝幸 | 2022 | 22KU2001: スパッタ膜の表面変色機構の解明 |
| 8 | KU-006 | 直交型FIB-SEM | Michigan Technological University | Yongmei M. Jin | 2022 | 22KU0105: Nanostructureanalysis in Fe-based alloys by transmission electron microscopy |
| 8 | KU-006 | 直交型FIB-SEM | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 福地 厚 | 2022 | 22KU0049: モット絶縁体Ca2RuO4薄膜に対する欠陥構造と原子構造の精密解析 |
| 8 | KU-006 | 直交型FIB-SEM | 神奈川大学工学部物質生命化学科 | 松本 太 | 2022 | 22KU0036: 高入出力特性を有する穴あきリチウムイオン電池正極の電子顕微鏡を用いた特性向上の原因究明 |
| 8 | KU-006 | 直交型FIB-SEM | 茨城大学大学院理工学研究科 | 中島 光一 | 2022 | 22KU0027: FIB-SEMを用いた機能性材料の微構造解析 |
| 8 | KU-006 | 直交型FIB-SEM | 九州工業大学大学院工学研究院物質工学研究系 | 石丸 学 | 2022 | 22KU0009: 不均質な構造を持つ酸化物セラミックス材料の極微構造解析 |
| 6 | KU-015 | コーティング装置群 | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 有田 正志 | 2022 | 22KU0021: ナノサイズ電子デバイスの電気特性と微細構造に関する研究 |
| 6 | KU-015 | コーティング装置群 | 福岡大学理学部物理科学科 | 藤 昇一 | 2022 | 22KU0016: 高分解能顕微法による化合物半導体中の欠陥構造解析 |
| 6 | KU-015 | コーティング装置群 | 福岡大学理学部物理科学科 | 藤 昇一 | 2022 | 22KU0015: スピンコートしたYIG薄膜の結晶学的特性の調査 |
| 6 | KU-015 | コーティング装置群 | アスカコーポレーション株式会社 | 古澤 孝幸 | 2022 | 22KU2001: スパッタ膜の表面変色機構の解明 |
| 6 | KU-015 | コーティング装置群 | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 福地 厚 | 2022 | 22KU0049: モット絶縁体Ca2RuO4薄膜に対する欠陥構造と原子構造の精密解析 |
| 6 | KU-015 | コーティング装置群 | 茨城大学大学院理工学研究科 | 中島 光一 | 2022 | 22KU0006: 溶液反応を用いた機能性ナノクリスタルの合成 |
| 3 | KU-007 | 収差補正高分解能電子顕微鏡 | 株式会社共和電業 | 山地 周作 | 2022 | 22KU0018: 金属抵抗材料の温度変化に対する微細構造変化の観察 |
| 3 | KU-007 | 収差補正高分解能電子顕微鏡 | 東京農工大学大学院工学研究院先端物理工学部門 | 山本 明保 | 2022 | 22KU0104: 多結晶超伝導材料の微細構造・組成解析 |
| 3 | KU-007 | 収差補正高分解能電子顕微鏡 | 日本大学生産工学部 電気電子工学科 | 飯田 和昌 | 2022 | 22KU0103: 鉄系超伝導体の粒界構造の観察 |
| 4 | KU-010 | 三次元原子分解能透過電子顕微鏡 | 株式会社共和電業 | 山地 周作 | 2022 | 22KU0018: 金属抵抗材料の温度変化に対する微細構造変化の観察 |
| 4 | KU-010 | 三次元原子分解能透過電子顕微鏡 | 東京農工大学大学院工学研究院先端物理工学部門 | 山本 明保 | 2022 | 22KU0104: 多結晶超伝導材料の微細構造・組成解析 |
| 4 | KU-010 | 三次元原子分解能透過電子顕微鏡 | 日本大学生産工学部 電気電子工学科 | 飯田 和昌 | 2022 | 22KU0103: 鉄系超伝導体の粒界構造の観察 |
| 4 | KU-010 | 三次元原子分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 金属材料研究所 材料設計研究部 材料照射工学研究部門 | 大野 裕 | 2022 | 22KU0101: シリコンの粒界構造の観察 |
| 6 | KU-016 | 低温域観測型・高分解能電子顕微鏡 | 九州工業大学大学院工学研究院 物質工学研究系 | 堀部 陽一 | 2022 | 22KU0017: マンガン系スピネル酸化物におけるナノ構造成長過程の解明 |
| 6 | KU-016 | 低温域観測型・高分解能電子顕微鏡 | Michigan Technological University | Yongmei M. Jin | 2022 | 22KU0105: Nanostructureanalysis in Fe-based alloys by transmission electron microscopy |
| 6 | KU-016 | 低温域観測型・高分解能電子顕微鏡 | 株式会社東芝 | 菅野 義経 | 2022 | 22KU0048: 水電解用触媒のTEM分析 |
| 6 | KU-016 | 低温域観測型・高分解能電子顕微鏡 | フルヤ金属株式会社 製造・研究開発本部 化成品研究開発部 | 鈴木 宏明 | 2022 | 22KU0047: STEMによる水電解触媒の構造及び劣化挙動評価 |
| 6 | KU-016 | 低温域観測型・高分解能電子顕微鏡 | 旭化成株式会社 基盤技術研究所 | 永富 隆清 | 2022 | 22KU0045: 半導体等無機材料の高空間分解能STEM-EDX解析 |
| 6 | KU-016 | 低温域観測型・高分解能電子顕微鏡 | 京都大学白眉センター | 草田 康平 | 2022 | 22KU0002: 結晶構造制御された金属ナノ粒子の原子分解能構造解析 |
| 5 | KU-014 | Arイオン研磨装置群 | 福岡大学理学部物理科学科 | 藤 昇一 | 2022 | 22KU0016: 高分解能顕微法による化合物半導体中の欠陥構造解析 |
| 5 | KU-014 | Arイオン研磨装置群 | 福岡大学理学部物理科学科 | 藤 昇一 | 2022 | 22KU0015: スピンコートしたYIG薄膜の結晶学的特性の調査 |
| 5 | KU-014 | Arイオン研磨装置群 | 北海道大学大学院情報科学研究院情報エレクトロニクス部門 | 福地 厚 | 2022 | 22KU0049: モット絶縁体Ca2RuO4薄膜に対する欠陥構造と原子構造の精密解析 |
| 5 | KU-014 | Arイオン研磨装置群 | 旭化成株式会社 基盤技術研究所 | 永富 隆清 | 2022 | 22KU0045: 半導体等無機材料の高空間分解能STEM-EDX解析 |
| 5 | KU-014 | Arイオン研磨装置群 | 京都大学 大学院工学研究科材料工学専攻 | 平山 恭介 | 2022 | 22KU0034: アルミニウム合金における析出物界面の半自発的剥離の高分解能観察 |
| 6 | KU-009 | ハイコントラスト補助電子顕微鏡 | 九州先端科学技術研究所ISITマテリアルズ・オープンラボ | 王 胖胖 | 2022 | 22KU0014: 電子顕微鏡を用いた接着界面の構造評価 |
| 6 | KU-009 | ハイコントラスト補助電子顕微鏡 | 公益財団法人九州先端科学技術研究所 産学官共創推進室 | 川畑 明 | 2022 | 22KU0013: 電子顕微鏡を用いた新規材料のための分析手法の開発 |
| 6 | KU-009 | ハイコントラスト補助電子顕微鏡 | Michigan Technological University | Yongmei M. Jin | 2022 | 22KU0105: Nanostructureanalysis in Fe-based alloys by transmission electron microscopy |
| 6 | KU-009 | ハイコントラスト補助電子顕微鏡 | 横浜市立大学 医学部 看護学科 | 松延 祥平 | 2022 | 22KU0042: ウルトラミクロトームによる試料作製及びTEM観察 |
| 6 | KU-009 | ハイコントラスト補助電子顕微鏡 | コベルコ溶接テクノ株式会社 | 大阿見 祥子 | 2022 | 22KU0031: フェライト系耐熱鋼の析出物観察 |
| 6 | KU-009 | ハイコントラスト補助電子顕微鏡 | 茨城大学大学院理工学研究科 | 中島 光一 | 2022 | 22KU0006: 溶液反応を用いた機能性ナノクリスタルの合成 |
| 3 | KU-514 | X線回折装置群 | 九州工業大学 | 三好 規子 | 2022 | 22KU1055: Preparation and Structure of Metal complex for CNT fuel cell catalyst |
| 3 | KU-514 | X線回折装置群 | 台北科技大学 | Chang Yu Hsu | 2022 | 22KU1032: 銅錯体担持カーボンからなる新規二酸化炭素還元触媒の開発 |
| 3 | KU-514 | X線回折装置群 | 九州大学大学院理学研究院化学部門 | 宮田 潔志 | 2022 | 22KU1022: 新規発光性希土類錯体の合成 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学工学府先進水素システム研究室 | 坂本 奈穂 | 2022 | 22KU1052: 水電解セルの性能向上に向けた検討 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 京都大学 | 猿山 雅亮 | 2022 | 22KU1041: プラズモンナノ粒子超格子の光吸収波長変化 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 公益財団法人九州先端科学技術研究所 | 王 胖胖 | 2022 | 22KU1040: 材料表面の欠陥分析手法の開発 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学大学院工学府 | 政池 彩雅 | 2022 | 22KU1038: 細胞-基板接着ナノ界面における局所的なpH分布の可視化 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 台北科技大学 | Chang Yu Hsu | 2022 | 22KU1032: 銅錯体担持カーボンからなる新規二酸化炭素還元触媒の開発 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学システム情報科学府電気電子工学専攻多喜川研究室 | 村上 誠悟 | 2022 | 22KU1025: 異種材料の低温接合技術の研究 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学大学院工学研究院地球資源システム工学部門 | Suyantara Gde Pandhe Wisnu | 2022 | 22KU1020: 浮選を利用した二次銅・砒素鉱物の分離法の開発 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学大学院理学研究院化学部門 触媒有機化学研究室 | 山本 英治 | 2022 | 22KU1017: 不均一系遷移金属触媒を用いた新反応開発 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学工学研究院化学工学部門 | 山下 晃平 | 2022 | 22KU1013: 熱プラズマを用いたナノ粒子合成 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学大学院工学研究院地球資源システム工学部門 | Shenoy Sulakshana | 2022 | 22KU1012: 合成した光触媒複合体のBET測定 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学大学院工学研究院地球資源システム工学部門 | Keiko Sasaki | 2022 | 22KU1009: 合成した光触媒複合体のXPS測定 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | 九州大学分子システム科学センター | 加藤 幸一郎 | 2022 | 22KU1007: 炭素材料のデータベース化 |
| 13 | KU-501 | 電子状態測定システム | アスカコーポレーション株式会社 | 古澤 孝幸 | 2022 | 22KU2001: スパッタ膜の表面変色機構の解明 |
| 4 | KU-505 | 紫外可視近赤外分光測定装置装置群 | 九州大学先導物質化学研究所 | 阿南 静佳 | 2022 | 22KU1051: 有機-無機複合材料中での分子の配向制御 |
| 4 | KU-505 | 紫外可視近赤外分光測定装置装置群 | 佐賀大学理工学部 | Tabata Masaaki | 2022 | 22KU1045: 廃棄建材表面の石綿の可視化による迅速検出・画像解析法の開発と災害現場実証 |
| 4 | KU-505 | 紫外可視近赤外分光測定装置装置群 | 九州大学システム情報科学府電気電子工学専攻多喜川研究室 | 村上 誠悟 | 2022 | 22KU1025: 異種材料の低温接合技術の研究 |
| 4 | KU-505 | 紫外可視近赤外分光測定装置装置群 | 九州大学工学研究院化学工学部門 | 山下 晃平 | 2022 | 22KU1013: 熱プラズマを用いたナノ粒子合成 |
| 6 | KU-504 | レーザラマン分光光度計装置群 | 九州大学先導物質化学研究所 | Yip SenPo | 2022 | 22KU1050: Molten salt-assisted fabrication of NiFe/C composite for OER |
| 6 | KU-504 | レーザラマン分光光度計装置群 | 佐賀大学理工学部 | Tabata Masaaki | 2022 | 22KU1045: 廃棄建材表面の石綿の可視化による迅速検出・画像解析法の開発と災害現場実証 |
| 6 | KU-504 | レーザラマン分光光度計装置群 | TPR株式会社 | 大友 一樹 | 2022 | 22KU1035: カーボンナノチューブを利用した熱電発電モジュール |
| 6 | KU-504 | レーザラマン分光光度計装置群 | Royal Melbourne Institute of Technology | John Andrews | 2022 | 22KU1034: 高純度半導体性単層カーボンナノチューブによる室温動作熱型検出の実現 |
| 6 | KU-504 | レーザラマン分光光度計装置群 | パナソニックインダストリー株式会社 | 堀井 千尋 | 2022 | 22KU1021: 分散プロセスの技術開発 |
| 6 | KU-504 | レーザラマン分光光度計装置群 | 佐賀大学 医学部 | 久木田 明子 | 2022 | 22KU1008: 転写因子の骨の老化と骨代謝における作用に関する研究 |
| 4 | KU-517 | ナノ炭素燃料電池評価装置群 | 九州大学先導物質化学研究所 | Yip SenPo | 2022 | 22KU1050: Molten salt-assisted fabrication of NiFe/C composite for OER |
| 4 | KU-517 | ナノ炭素燃料電池評価装置群 | 九州大学大学院工学研究院地球資源システム工学部門 | Shenoy Sulakshana | 2022 | 22KU1012: 合成した光触媒複合体のBET測定 |
| 4 | KU-517 | ナノ炭素燃料電池評価装置群 | 九州大学分子システム科学センター | 加藤 幸一郎 | 2022 | 22KU1007: 炭素材料のデータベース化 |
| 4 | KU-517 | ナノ炭素燃料電池評価装置群 | 九州大学システム生命科学府 | YE XIAO | 2022 | 22KU1005: フルプリンテッドKB/MIPケミレジスタを用いたガスセンサの開発 |
| 5 | KU-506 | 液体クロマトグラフィー・分子構造分析装置群 | 上智大学 理工学部物質生命理工学科 | 藤田 正博 | 2022 | 22KU1048: CNT分散状態の評価 |
| 5 | KU-506 | 液体クロマトグラフィー・分子構造分析装置群 | 公立諏訪東京理科大学 | 湯田坂 雅子 | 2022 | 22KU1046: CNT分散液培地の植物発芽に対する影響 |
| 5 | KU-506 | 液体クロマトグラフィー・分子構造分析装置群 | 九州大学大学院生物資源環境科学府 | 森 絵美香 | 2022 | 22KU1037: 新型コロナウイルス感染防止・治療を目指すファージ療法の開発 |
| 5 | KU-506 | 液体クロマトグラフィー・分子構造分析装置群 | 佐賀大学 農学部 | 辻田 忠志 | 2022 | 22KU1033: スリランカ産薬用植物における繊維化防止成分の単離と同定 |
| 5 | KU-506 | 液体クロマトグラフィー・分子構造分析装置群 | 九州大学理学府化学専攻 | 中山 憲太朗 | 2022 | 22KU1023: バクテリオロドプシンにおけるタンパク質-脂質-カチオン三者複合体形成 |
| 5 | KU-507 | 近赤外蛍光分光装置群 | 上智大学 理工学部物質生命理工学科 | 藤田 正博 | 2022 | 22KU1048: CNT分散状態の評価 |
| 5 | KU-507 | 近赤外蛍光分光装置群 | 公立諏訪東京理科大学 | 湯田坂 雅子 | 2022 | 22KU1046: CNT分散液培地の植物発芽に対する影響 |
| 5 | KU-507 | 近赤外蛍光分光装置群 | 鳥取大学院持続性社会創生科学研究科 工学専攻情報エレクトロニクスコース 電子物理工学研究室 | 三千 広人 | 2022 | 22KU1029: 近赤外発光を有する蛍光体の合成 |
| 5 | KU-507 | 近赤外蛍光分光装置群 | 九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻 | 森 敏彰 | 2022 | 22KU1026: トリアリールメチルカチオンの近赤外発光特性の解析 |
| 5 | KU-507 | 近赤外蛍光分光装置群 | 産業技術総合研究所 | 高島 浩 | 2022 | 22KU1024: BaSnO3薄膜の近赤外発光測定 |
| 6 | KU-513 | ゼータ電位・粒径・分子量測定装置群 | ウシオ電機株式会社 | 有本 太郎 | 2022 | 22KU1047: Xe*2エキシマランプを用いためっき膜と基材の密着性向上とメカニズム解析 |
| 6 | KU-513 | ゼータ電位・粒径・分子量測定装置群 | 九州大学大学院工学研究院エネルギー量子工学部門 | 岡部 弘高 | 2022 | 22KU1044: ゲルへの剛直ファイバー導入による熱運動抑制と金属吸着特性の変化 |
| 6 | KU-513 | ゼータ電位・粒径・分子量測定装置群 | NOVIGO Pharma株式会社 | 執行 英子 | 2022 | 22KU1043: 次世代経費吸収技術を基盤とした革新的創薬モダリティ技術の確立 |
| 6 | KU-513 | ゼータ電位・粒径・分子量測定装置群 | 九州大学大学院農学研究院 | 田中 良奈 | 2022 | 22KU1031: 可食性成分を用いた青果物鮮度保持コーティング剤の開発 |
| 6 | KU-513 | ゼータ電位・粒径・分子量測定装置群 | 九州大学工学府応用化学専攻田中賢研究室 | 大塚 智貴 | 2022 | 22KU1018: PMEA類似体修飾による金ナノ粒子のがん細胞への集積 |
| 6 | KU-513 | ゼータ電位・粒径・分子量測定装置群 | 九州大学システム生命科学府 | YE XIAO | 2022 | 22KU1005: フルプリンテッドKB/MIPケミレジスタを用いたガスセンサの開発 |
| 5 | KU-511 | 走査電子顕微鏡装置群 | Royal Melbourne Institute of Technology | John Andrews | 2022 | 22KU1034: 高純度半導体性単層カーボンナノチューブによる室温動作熱型検出の実現 |
| 5 | KU-511 | 走査電子顕微鏡装置群 | 凸版印刷株式会社 | 寺本 まどか | 2022 | 22KU1030: カーボン材料の分散性に関する研究 |
| 5 | KU-511 | 走査電子顕微鏡装置群 | 九州大学分子システム科学センター | 加藤 幸一郎 | 2022 | 22KU1007: 炭素材料のデータベース化 |
| 5 | KU-511 | 走査電子顕微鏡装置群 | 九州大学大学院農学研究院 | 田中 充 | 2022 | 22KU1006: LDI-MS を用いた低分子化合物の網羅検出法の構築 |
| 5 | KU-511 | 走査電子顕微鏡装置群 | アスカコーポレーション株式会社 | 古澤 孝幸 | 2022 | 22KU2001: スパッタ膜の表面変色機構の解明 |
| 2 | KU-510 | 走査型プローブ顕微鏡装置群 | 公益財団法人九州先端科学技術研究所 | 王 胖胖 | 2022 | 22KU1028: 機能性ナノコンポジット材料の微細構造・組成解析 |
| 2 | KU-510 | 走査型プローブ顕微鏡装置群 | 九州大学大学院統合新領域学府ｵｰﾄﾓｰﾃｨﾌﾞｻｲｴﾝｽ専攻 | 田村 隼太 | 2022 | 22KU1014: 生分解性ポリアミド誘導体薄膜の凝集状態と分解特性 |
| 3 | KU-512 | 透過型電子顕微鏡装置群 | 九州大学大学院工学研究院地球資源システム工学部門 | 菅井 裕一 | 2022 | 22KU1027: ナノバブルおよびナノ粒子を用いた石油増進回収技術の検討 |
| 3 | KU-512 | 透過型電子顕微鏡装置群 | 株式会社SCREENファインテックソリューションズ | 高木 善則 | 2022 | 22KU1010: カーボン・ポリマー複合体の合成とその電池触媒性能評価 |
| 3 | KU-512 | 透過型電子顕微鏡装置群 | 九州大学大学院工学研究院地球資源システム工学部門 | Okibe Naoko | 2022 | 22KU1001: 金属代謝微生物を利用した貴金属・レアメタルナノ粒子の生成 |
| 1 | KU-503 | 表面・界面分子振動解析装置 | 九州大学次世代接着技術研究センター | 阿部 建樹 | 2022 | 22KU1019: 異種固体界面における高分子鎖の局所コンフォメーションと接着特性 |
| 1 | KU-509 | MALDI-TOF MS質量分析装置 | 九州大学大学院農学研究院 | 田中 充 | 2022 | 22KU1006: LDI-MS を用いた低分子化合物の網羅検出法の構築 |
| 2 | KU-011 | 三次元走査電子顕微鏡 | 東京農工大学大学院工学研究院先端物理工学部門 | 山本 明保 | 2022 | 22KU0104: 多結晶超伝導材料の微細構造・組成解析 |
| 2 | KU-011 | 三次元走査電子顕微鏡 | 日本大学生産工学部 電気電子工学科 | 飯田 和昌 | 2022 | 22KU0103: 鉄系超伝導体の粒界構造の観察 |
| 4 | KU-013 | キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 | 東京農工大学大学院工学研究院先端物理工学部門 | 山本 明保 | 2022 | 22KU0104: 多結晶超伝導材料の微細構造・組成解析 |
| 4 | KU-013 | キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 | 日本大学生産工学部 電気電子工学科 | 飯田 和昌 | 2022 | 22KU0103: 鉄系超伝導体の粒界構造の観察 |
| 4 | KU-013 | キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 | 東北大学 金属材料研究所 材料設計研究部 材料照射工学研究部門 | 大野 裕 | 2022 | 22KU0101: シリコンの粒界構造の観察 |
| 4 | KU-013 | キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 | Malaysia-Japan International Institute of Technology, Universiti Teknologi Malaysia | Nur Azmah binti Nordin | 2022 | 22KU0035: Magnetostrictive of Magnetorheologicai Foam for Soft Force Sensor |
| 2 | KU-012 | デュアルビーム微細加工電子顕微鏡 | 日本大学生産工学部 電気電子工学科 | 飯田 和昌 | 2022 | 22KU0103: 鉄系超伝導体の粒界構造の観察 |
| 2 | KU-012 | デュアルビーム微細加工電子顕微鏡 | Malaysia-Japan International Institute of Technology, Universiti Teknologi Malaysia | Siti Rahmah Binti Aid | 2022 | 22KU0033: Damage Analysis and Control in Germanium Micro/Nanopore Fabricated using Focused Ion Beam for Photonic Crystal Structure |
| 1 | KU-001 | 電子分光型超高圧分析電子顕微鏡 | 日本大学工学部 総合教育物理学教室 | 高木 秀有 | 2022 | 22KU0030: クリープ変形中の転位運動の観察 |
| 6 | RO-111 | 超高精度電子ビーム描画装置 | 広島大学 | 雨宮 嘉照 | 2022 | 22RO0037: 異種基板上常温接合素子の微細化 |
| 6 | RO-111 | 超高精度電子ビーム描画装置 | 広島大学 | 雨宮 嘉照 | 2022 | 22RO0035: magnetic tunnel junctionの信頼性に関する研究 |
| 6 | RO-111 | 超高精度電子ビーム描画装置 | 広島大学先進理工系科学研究科量子物質科学プログラム | 竹内 陸 | 2022 | 22RO0033: 短チャネル4H-SiC Trench MOSFETsの研究 |
| 6 | RO-111 | 超高精度電子ビーム描画装置 | 広島大学ナノデバイス研究所 | 三島 理史 | 2022 | 22RO0025: シリコンナノ電子デバイスの作製 |
| 6 | RO-111 | 超高精度電子ビーム描画装置 | 東京農工大学学院工学研究院生物システム応用科学府 | 田畑 美幸 | 2022 | 22RO0021: Siナノワイヤバイオセンサーの作製 |
| 6 | RO-111 | 超高精度電子ビーム描画装置 | 広島大学大学院 先進理工系科学研究科 | 高岡 諒 | 2022 | 22RO0001: テラヘルツ波光伝導アンテナのための金属グレーティング作製 |
| 1 | RO-533 | 原子間力顕微鏡 | 九州工業大学大学院工学研究院 | Matsumoto Satoshi | 2022 | 22RO0032: 3次元パワーICのプロセス技術の開発 |
| 1 | RO-524 | 蛍光X線分析装置(XRF) | tantore株式会社 | 中河原 毅 | 2022 | 22RO0028: ニッケルのナノ構造形成・組成分析の評価・測定 |
| 2 | RO-601 | ダイサー | 広島大学大学院先進理工系科学研究科 | 富永 依里子 | 2022 | 22RO0023: 細菌に化合物半導体を結晶成長させる制御技術の開拓 |
| 2 | RO-601 | ダイサー | 東京農工大学学院工学研究院生物システム応用科学府 | 田畑 美幸 | 2022 | 22RO0021: Siナノワイヤバイオセンサーの作製 |
| 4 | RO-121 | スピンコータ | 東京農工大学学院工学研究院生物システム応用科学府 | 田畑 美幸 | 2022 | 22RO0021: Siナノワイヤバイオセンサーの作製 |
| 4 | RO-121 | スピンコータ | 広島大学先進理工 | 黒田 健太 | 2022 | 22RO0015: 顕微角度分解光電子光開発に必要なリソグラフィ試料の作成 |
| 4 | RO-121 | スピンコータ | 量子科学技術研究開発機構 | 山崎 雄一 | 2022 | 22RO0013: 2次元薄膜窒化ホウ素へのイオン注入法による室温スピン操作可能な新規スピン欠陥の創製 |
| 4 | RO-121 | スピンコータ | Indiana University School of Dentistry, Biomedical Sciences and Comprehensive Care | 吉本 哲也 | 2022 | 22RO0007: マイクロ流体デバイスを用いたアストロサイトに対する骨組織の影響の検討 |
| 6 | RO-131 | レイアウト設計ツール | 東京理科大学大学院理工学研究科 | 禹 泰圭 | 2022 | 22RO0020: CMOS論理回路 |
| 6 | RO-131 | レイアウト設計ツール | 東京理科大学大学院 理工学研究科 | 辻 祐樹 | 2022 | 22RO0019: CMOS論理回路 |
| 6 | RO-131 | レイアウト設計ツール | 千葉大学大学院融合理工学府 | 大原 正裕 | 2022 | 22RO0018: CMOSトランジスタ・IC作製実習（5入力OR回路の作成） |
| 6 | RO-131 | レイアウト設計ツール | 広島大学先進理工 | 黒田 健太 | 2022 | 22RO0015: 顕微角度分解光電子光開発に必要なリソグラフィ試料の作成 |
| 6 | RO-131 | レイアウト設計ツール | 量子科学技術研究開発機構 | 山崎 雄一 | 2022 | 22RO0013: 2次元薄膜窒化ホウ素へのイオン注入法による室温スピン操作可能な新規スピン欠陥の創製 |
| 6 | RO-131 | レイアウト設計ツール | Indiana University School of Dentistry, Biomedical Sciences and Comprehensive Care | 吉本 哲也 | 2022 | 22RO0007: マイクロ流体デバイスを用いたアストロサイトに対する骨組織の影響の検討 |
| 6 | RO-221 | 酸化炉 | 東京理科大学大学院理工学研究科 | 禹 泰圭 | 2022 | 22RO0020: CMOS論理回路 |
| 6 | RO-221 | 酸化炉 | 東京理科大学大学院 理工学研究科 | 辻 祐樹 | 2022 | 22RO0019: CMOS論理回路 |
| 6 | RO-221 | 酸化炉 | 千葉大学大学院融合理工学府 | 大原 正裕 | 2022 | 22RO0018: CMOSトランジスタ・IC作製実習（5入力OR回路の作成） |
| 6 | RO-221 | 酸化炉 | 量子科学技術研究開発機構 | 山崎 雄一 | 2022 | 22RO0013: 2次元薄膜窒化ホウ素へのイオン注入法による室温スピン操作可能な新規スピン欠陥の創製 |
| 6 | RO-221 | 酸化炉 | 広島大学附属高校 | 佐々木 康子 | 2022 | 22RO0005: 太陽電池の製作と基礎実験 |
| 6 | RO-221 | 酸化炉 | 広島大学ナノデバイス研究所 | 亀田 卓 | 2022 | 22RO0003: 太陽電池の製作 |
| 2 | RO-224 | ウェル拡散炉 | 東京理科大学大学院理工学研究科 | 禹 泰圭 | 2022 | 22RO0020: CMOS論理回路 |
| 2 | RO-224 | ウェル拡散炉 | 東京理科大学大学院 理工学研究科 | 辻 祐樹 | 2022 | 22RO0019: CMOS論理回路 |
| 1 | RO-532 | 干渉式膜厚計 | 千葉大学大学院融合理工学府 | 大原 正裕 | 2022 | 22RO0018: CMOSトランジスタ・IC作製実習（5入力OR回路の作成） |
| 1 | RO-515 | ホール効果測定装置 | 京都大学 | 田辺 克明 | 2022 | 22RO0017: シリコンウェハのホール効果測定 |
| 1 | RO-324 | 多元スパッタ装置 | 広島大学先進理工 | 黒田 健太 | 2022 | 22RO0015: 顕微角度分解光電子光開発に必要なリソグラフィ試料の作成 |
| 1 | RO-331 | 真空蒸着装置 | 広島大学先進理工 | 黒田 健太 | 2022 | 22RO0015: 顕微角度分解光電子光開発に必要なリソグラフィ試料の作成 |
| 1 | RO-222 | Rapid Thermal Anneal装置（RTA） | 東北学院大学 工学部 | 原 明人 | 2022 | 22RO0014: RTAを用いた強誘電体HfZrO2の形成とTFTへの応用 |
| 1 | RO-112 | マスクレス露光装置 | 量子科学技術研究開発機構 | 山崎 雄一 | 2022 | 22RO0013: 2次元薄膜窒化ホウ素へのイオン注入法による室温スピン操作可能な新規スピン欠陥の創製 |
| 1 | RO-316 | ICP - CVD装置 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 髙山 智之 | 2022 | 22RO0008: 連続発振レーザ結晶化法による非晶質基板上への多結晶シリコン薄膜形成 |
| 1 | RO-531 | 分光エリプソメーター | 奈良先端科学技術大学院大学 | 髙山 智之 | 2022 | 22RO0008: 連続発振レーザ結晶化法による非晶質基板上への多結晶シリコン薄膜形成 |
| 1 | RO-602 | PDMS加工装置 | Indiana University School of Dentistry, Biomedical Sciences and Comprehensive Care | 吉本 哲也 | 2022 | 22RO0007: マイクロ流体デバイスを用いたアストロサイトに対する骨組織の影響の検討 |
| 2 | RO-226 | 燐拡散炉 | 広島大学附属高校 | 佐々木 康子 | 2022 | 22RO0005: 太陽電池の製作と基礎実験 |
| 2 | RO-226 | 燐拡散炉 | 広島大学ナノデバイス研究所 | 亀田 卓 | 2022 | 22RO0003: 太陽電池の製作 |
| 1 | RO-227 | 汎用熱処理装置 | 広島大学ナノデバイス研究所 | 亀田 卓 | 2022 | 22RO0003: 太陽電池の製作 |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 大阪大学 | 石塚 裕己 | 2022 | 22GA0101: 自己修復材料の表面観察 |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 香川大学 | 小林 剛 | 2022 | 22GA0057: 植物生体情報計測用pH/ECセンサ |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 香川大学 | 小林 剛 | 2022 | 22GA0015: 水分含有量センサの製作 |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 香川大学 | 市村 和也 | 2022 | 22GA0088: 低侵襲測定を目指したSiマイクロプローブ形状の作製 |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0069: マイクロプロ－ブを内蔵した樹脂製パッケ－ジ |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0058: 樹脂フィルム上の表面処理 |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 香川大学 | 小野 貴史 | 2022 | 22GA0096: 半導体チップとPCB基板間のワイヤボンディング |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0035: EBリソグラフィ用薄膜基板に関する研究 |
| 9 | GA-009 | デジタルマイクロスコープ | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0034: 窒化シリコン薄膜基板上におけるシリコン薄膜のエピタキシャル成長に関する研究 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 小林 剛 | 2022 | 22GA0057: 植物生体情報計測用pH/ECセンサ |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 小林 剛 | 2022 | 22GA0015: 水分含有量センサの製作 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 市村 和也 | 2022 | 22GA0088: 低侵襲測定を目指したSiマイクロプローブ形状の作製 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0058: 樹脂フィルム上の表面処理 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 小原 英幹 | 2022 | 22GA0093: 医療用センサの製作と評価 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 平野 勝也 | 2022 | 22GA0014: 余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所四国センター | 平野 研 | 2022 | 22GA0012: 環状ＤＮＡ計測に向けたマイクロ流体デバイス開発 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 中野 大介 | 2022 | 22GA0011: マイクロ流路を用いた細胞計測 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 兵庫県立大学 | 田口 翔悟 | 2022 | 22GA0099: 脂肪酸/界面活性剤分子集合体を介した脂質ナノ粒子の連続作製 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 徳島大学 | 久世 直也 | 2022 | 22GA0098: フォトニック結晶光導波路の作製 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所四国センター | 上野 秀貴 | 2022 | 22GA0086: 細胞評価のためのデバイスの開発 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 鶴町 徳昭 | 2022 | 22GA0071: THz帯メタマテリアルの作製 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所四国センター | 平野 研 | 2022 | 22GA0046: １分子DNA解析技術のためのマイクロ・ナノデバイス開発 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 鶴町 徳昭 | 2022 | 22GA0017: メタマテリアルを含むTHz帯微小共振器の作製 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 香川大学 | 宮川 勇人 | 2022 | 22GA0008: 光半導体ガリウム砒素への強磁性ライン埋込み構造の作製と評価 |
| 16 | GA-002 | マスクレス露光装置 | 徳島大学 | 原口 雅宣 | 2022 | 22GA0002: プラズモン励起を利用し機能性を向上させた光素子の開拓 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 香川大学 | 小林 剛 | 2022 | 22GA0057: 植物生体情報計測用pH/ECセンサ |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 香川大学 | 小林 剛 | 2022 | 22GA0015: 水分含有量センサの製作 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 香川大学 | 市村 和也 | 2022 | 22GA0088: 低侵襲測定を目指したSiマイクロプローブ形状の作製 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0069: マイクロプロ－ブを内蔵した樹脂製パッケ－ジ |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0058: 樹脂フィルム上の表面処理 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 香川大学 | 中野 大介 | 2022 | 22GA0011: マイクロ流路を用いた細胞計測 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 兵庫県立大学 | 田口 翔悟 | 2022 | 22GA0099: 脂肪酸/界面活性剤分子集合体を介した脂質ナノ粒子の連続作製 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 産業技術総合研究所四国センター | 上野 秀貴 | 2022 | 22GA0086: 細胞評価のためのデバイスの開発 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 香川高等専門学校 | 前田 祐作 | 2022 | 22GA0041: 生体適合型構造色式センサの開発 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0035: EBリソグラフィ用薄膜基板に関する研究 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0034: 窒化シリコン薄膜基板上におけるシリコン薄膜のエピタキシャル成長に関する研究 |
| 12 | GA-004 | デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 | 香川大学 | 鶴町 徳昭 | 2022 | 22GA0018: 有機物質を含む可視帯微小共振器の作製 |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 香川大学 | 小林 剛 | 2022 | 22GA0057: 植物生体情報計測用pH/ECセンサ |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 香川大学 | 小林 剛 | 2022 | 22GA0015: 水分含有量センサの製作 |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 香川大学 | 市村 和也 | 2022 | 22GA0088: 低侵襲測定を目指したSiマイクロプローブ形状の作製 |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0069: マイクロプロ－ブを内蔵した樹脂製パッケ－ジ |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0058: 樹脂フィルム上の表面処理 |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 産業技術総合研究所四国センター | 上野 秀貴 | 2022 | 22GA0086: 細胞評価のためのデバイスの開発 |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 香川高等専門学校 | 前田 祐作 | 2022 | 22GA0041: 生体適合型構造色式センサの開発 |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0035: EBリソグラフィ用薄膜基板に関する研究 |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0034: 窒化シリコン薄膜基板上におけるシリコン薄膜のエピタキシャル成長に関する研究 |
| 10 | GA-005 | 触針式表面形状測定器 | 香川大学 | 舟橋 正浩 | 2022 | 22GA0004: 液晶分極場を利用した薄膜デバイスの開発 |
| 5 | GA-007 | 白色干渉式非接触三次元形状測定器 | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0069: マイクロプロ－ブを内蔵した樹脂製パッケ－ジ |
| 5 | GA-007 | 白色干渉式非接触三次元形状測定器 | 香川大学 | 上村 忍 | 2022 | 22GA0103: 脱塩膜を指向した高分子複合膜の作製 |
| 5 | GA-007 | 白色干渉式非接触三次元形状測定器 | 香川大学 | 上村 忍 | 2022 | 22GA0102: 脱塩膜を指向したナノシート積層薄膜の作製 |
| 5 | GA-007 | 白色干渉式非接触三次元形状測定器 | 株式会社ヒューテック | 村山 隆 | 2022 | 22GA0100: 高さ測定 |
| 5 | GA-007 | 白色干渉式非接触三次元形状測定器 | 産業技術総合研究所四国センター | 上野 秀貴 | 2022 | 22GA0086: 細胞評価のためのデバイスの開発 |
| 1 | GA-011 | ウェハプローバ | 株式会社小松精機工作所 | 水野 綾介 | 2022 | 22GA0058: 樹脂フィルム上の表面処理 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 香川大学 | 小原 英幹 | 2022 | 22GA0093: 医療用センサの製作と評価 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 香川大学 | 平野 勝也 | 2022 | 22GA0014: 余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 香川大学 | 中野 大介 | 2022 | 22GA0011: マイクロ流路を用いた細胞計測 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 徳島大学 | 原口 雅信 | 2022 | 22GA0106: UVB領域で局所的に光増強効果を発現する基板の開発 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 兵庫県立大学 | 田口 翔悟 | 2022 | 22GA0099: 脂肪酸/界面活性剤分子集合体を介した脂質ナノ粒子の連続作製 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 香川大学 | 鶴町 徳昭 | 2022 | 22GA0071: THz帯メタマテリアルの作製 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | アオイ電子株式会社 | 杠 明日美 | 2022 | 22GA0023: Siのニードル形状加工 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 香川大学 | 鶴町 徳昭 | 2022 | 22GA0018: 有機物質を含む可視帯微小共振器の作製 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 香川大学 | 鶴町 徳昭 | 2022 | 22GA0017: メタマテリアルを含むTHz帯微小共振器の作製 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 香川大学 | 宮川 勇人 | 2022 | 22GA0008: 光半導体ガリウム砒素への強磁性ライン埋込み構造の作製と評価 |
| 11 | GA-003 | スピンコータ－ | 徳島大学 | 原口 雅宣 | 2022 | 22GA0002: プラズモン励起を利用し機能性を向上させた光素子の開拓 |
| 5 | GA-001 | 電子線描画装置 | 産業技術総合研究所四国センター | 平野 研 | 2022 | 22GA0012: 環状ＤＮＡ計測に向けたマイクロ流体デバイス開発 |
| 5 | GA-001 | 電子線描画装置 | 徳島大学 | 原口 雅信 | 2022 | 22GA0106: UVB領域で局所的に光増強効果を発現する基板の開発 |
| 5 | GA-001 | 電子線描画装置 | 徳島大学 | 久世 直也 | 2022 | 22GA0098: フォトニック結晶光導波路の作製 |
| 5 | GA-001 | 電子線描画装置 | 香川大学 | 宮川 勇人 | 2022 | 22GA0008: 光半導体ガリウム砒素への強磁性ライン埋込み構造の作製と評価 |
| 5 | GA-001 | 電子線描画装置 | 徳島大学 | 原口 雅宣 | 2022 | 22GA0002: プラズモン励起を利用し機能性を向上させた光素子の開拓 |
| 4 | GA-012 | エリプソメータ | 香川大学 | 宮川 勇人 | 2022 | 22GA0107: 半導体デバイス内の絶縁膜(SiO, SiN）の光学特性評価 |
| 4 | GA-012 | エリプソメータ | 久留米工業高等専門学校 | 村上 秀樹 | 2022 | 22GA0104: 有機トランジスタの作製 |
| 4 | GA-012 | エリプソメータ | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0035: EBリソグラフィ用薄膜基板に関する研究 |
| 4 | GA-012 | エリプソメータ | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0034: 窒化シリコン薄膜基板上におけるシリコン薄膜のエピタキシャル成長に関する研究 |
| 1 | GA-010 | ダイシングマシン | 香川高等専門学校 | 長岡 史郎 | 2022 | 22GA0034: 窒化シリコン薄膜基板上におけるシリコン薄膜のエピタキシャル成長に関する研究 |
| 1 | GA-008 | レーザー式非接触三次元形状測定器 | アオイ電子株式会社 | 杠 明日美 | 2022 | 22GA0023: Siのニードル形状加工 |
| 4 | QS-221 | コヒーレントX線回折イメージング装置 | 島根大学学術研究院教育学系 | 塚田 真也 | 2022 | 22QS0126: 形状制御強誘電体ナノ結晶における構造と物性 |
| 4 | QS-221 | コヒーレントX線回折イメージング装置 | 東京工業大学フロンティア材料研究所 | 東 正樹 | 2022 | 22QS0125: Bragg-CDI による正方晶巨大負熱膨張物質のドメイン構造温度変化の観察 |
| 4 | QS-221 | コヒーレントX線回折イメージング装置 | 広島大学大学院先進理工系科学研究科 | 黒岩 芳弘 | 2022 | 22QS0124: 電子デバイス内部に実装された単結晶ナノ粒子の非破壊三次元構造可視化技術の確立II |
| 4 | QS-221 | コヒーレントX線回折イメージング装置 | 広島大学大学院先進理工系科学研究科 | 黒岩 芳弘 | 2022 | 22QS0017: 電子デバイス内部に実装された単結晶ナノ粒子の非破壊三次元構造可視化技術の確立 |
| 4 | QS-112 | 共鳴非弾性X線散乱装置 | 岡山大学学術研究院自然科学学域 | 川崎 慎司 | 2022 | 22QS0123: 放射光を用いた一軸ひずみ下精密構造解析によるネマティック超伝導体CuxBi2Se3 の新奇な超伝導電子対形成機構の解明 |
| 4 | QS-112 | 共鳴非弾性X線散乱装置 | JFEテクノリサーチ株式会社 | 中田 崇寛 | 2022 | 22QS0109: 深さ分解手法を用いた方向性電磁鋼板の内部磁区構造調査 |
| 4 | QS-112 | 共鳴非弾性X線散乱装置 | 関西学院大学工学部物質工学課程 | 田中 裕久 | 2022 | 22QS0108: 高分解能XAFSを利用した燃料電池カソード電極触媒上における酸素還元反応時の吸着構造解明研究 |
| 4 | QS-112 | 共鳴非弾性X線散乱装置 | Ecole polytechnique federale de Lausanne (EPFL) | Ronnow Henrik | 2022 | 22QS0107: Untangling the structural, magnetic dipole, and charge multipolar orders in Ba2MgReO6 |
| 5 | QS-222 | 高速2体分布関数計測装置 | 産業技術総合研究所 | 榊 浩司 | 2022 | 22QS0122: 高温作動型水素吸蔵材料の高温・水素ガス雰囲気下での水素吸蔵・放出反応の観察 |
| 5 | QS-222 | 高速2体分布関数計測装置 | Department of Architectural Engineering, Hanyang University | Bae Sungchul | 2022 | 22QS0120: 載荷による加速炭酸化養生した純粋多様なカルシウムシリケート硬化体の反応生成物構造解析及び変形挙動特性解明 |
| 5 | QS-222 | 高速2体分布関数計測装置 | Department of Architectural Engineering, Hanyang University | Bae Sungchul | 2022 | 22QS0016: Investigation of the structural changes and deformation behavior of N-A-S-H under compressive load and high temperature |
| 5 | QS-222 | 高速2体分布関数計測装置 | 神奈川県立産業技術総合研究所 | 酒井 雄樹 | 2022 | 22QS0014: PDF 解析によるPb 含有ペロブスカイト酸化物の負熱膨張関連相転移機構の解明 |
| 5 | QS-222 | 高速2体分布関数計測装置 | 産業技術総合研究所 | 片岡 理樹 | 2022 | 22QS0013: 放射光を用いた全散乱法による次世代二次電池材料のin situ測定 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 産業技術総合研究所 | 榊 浩司 | 2022 | 22QS0119: 高圧合成技術を活用した高圧作動型水素吸蔵合金の相変化挙動の観察 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 東北大学金属材料研究所 | 髙木 成幸 | 2022 | 22QS0118: 遷移金属錯体水素化物 Li2ReH9 の最適合成条件探索 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 芝浦工業大学工学部機械機能工学科 | 佐藤 豊人 | 2022 | 22QS0117: 空隙を有する金属間化合物NiInの水素吸蔵反応の観測 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 東京工業大学フロンティア材料研究所 | 山本 隆文 | 2022 | 22QS0116: 高温高圧下におけるバナジウム酸水素化物のアニオン秩序-無秩序相転移の探索 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 日本製鉄株式会社 | 米村 光治 | 2022 | 22QS0115: 鉄鋼材料の高温圧縮・等温保持過程の X 線その場観測 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 北海道大学電子科学研究所 | 藤岡 正弥 | 2022 | 22QS0114: 酸化物イオン拡散を利用した酸素欠損 BaTiO3-δ のその場観察 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 筑波大学数理物質系物質工学域 | 近藤 剛弘 | 2022 | 22QS0113: 超高圧水素下でのホウ化水素シートの加熱による構造変化解析 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 大阪工業大学工学部機械工学科 | 伊與田 宗慶 | 2022 | 22QS0012: 放射光白色 X 線を用いた高強度鋼板-アルミニウム合金異種材料抵抗スポット溶接継手の内部ひずみ分布の測定 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 新潟大学教育研究院人文社会科学系 | 鈴木 賢治 | 2022 | 22QS0011: 突合せ溶接配管の底部のひずみマップ測定 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 東北大学金属材料研究所 | 髙木 成幸 | 2022 | 22QS0010: Li-Re 系遷移金属錯体水素物の高温高圧合成過程におけるLi2O 添加効果 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 愛媛大学大学院理工学研究科 | 松下 正史 | 2022 | 22QS0009: 高圧高温場でのTiリッチなTi-Mg 二元合金の相変化のその場観察 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 産業技術総合研究所 | 榊 浩司 | 2022 | 22QS0008: 高圧合成技術を活用した熱化学式水素圧縮機用新規水素吸蔵合金の水素放出挙動の観察2 |
| 13 | QS-141 | 高温高圧プレス装置 | 芝浦工業大学工学部機械機能工学科 | 佐藤 豊人 | 2022 | 22QS0007: 高圧下での新規La-Ni 水素化物の形成過程の観測 |
| 3 | QS-113 | 表面X線回折計 | 関西学院大学工学部物質工学課程 | 日比野 浩樹 | 2022 | 22QS0112: グラフェンを直接成長させたサファイア基板上でのGaNリモートエピタキシーのリアルタイムX線回折 |
| 3 | QS-113 | 表面X線回折計 | 工学院大学先進工学部応用物理学科 | 山口 智広 | 2022 | 22QS0111: 高品質InGaNエピタキシャル結晶実現のための成長その場X 線回折測定 |
| 3 | QS-113 | 表面X線回折計 | 名城大学理工学部材料機能工学科 | 成塚 重弥 | 2022 | 22QS0110: ヘテロリモートエピタキシーにおけるGaN 核を用いた結晶化過程の観察 |
| 8 | QS-111 | 放射光メスバウアー分光装置 | 東北大学大学院理学研究科 | 坂巻 竜也 | 2022 | 22QS0106: 放射光メスバウアー分光を用いた高圧下でのペリドタイトガラスの鉄スピン転移の観察 |
| 8 | QS-111 | 放射光メスバウアー分光装置 | 岡山大学惑星物質研究所 | 増野 いづみ | 2022 | 22QS0105: 超高圧下におけるケイ酸塩ガラス中の鉄の電子状態：地球深部メルトの安定性の解明 |
| 8 | QS-111 | 放射光メスバウアー分光装置 | 京都大学複合原子力科学研究所 | 瀬戸 誠 | 2022 | 22QS0104: ガンマ線光子相関時間測定系の開発研究 |
| 8 | QS-111 | 放射光メスバウアー分光装置 | 帝京大学理工学部リベラルアーツセンター | 中村 真一 | 2022 | 22QS0103: 核共鳴散乱を用いた混合原子価鉄酸化物の電荷秩序配列の検証 |
| 8 | QS-111 | 放射光メスバウアー分光装置 | Faculty of Physics, University of Bialystok | Szymanski Krzysztof | 2022 | 22QS0102: Imaging of hyperfine interactions |
| 8 | QS-111 | 放射光メスバウアー分光装置 | 岡山大学惑星物質研究所 | 増野 いづみ | 2022 | 22QS0003: ペリドタイトガラスの超高圧下における鉄の電子状態とその電気伝導度への影響：地球進化・内部構造におけるメルトの寄与の解明に向けて |
| 8 | QS-111 | 放射光メスバウアー分光装置 | 京都大学複合原子力科学研究所 | 瀬戸 誠 | 2022 | 22QS0002: 高水素圧力下におけるEu水素化物の電子状態分析II |
| 8 | QS-111 | 放射光メスバウアー分光装置 | 帝京大学理工学部リベラルアーツセンター | 中村 真一 | 2022 | 22QS0001: 放射光メスバウアー4 軸回折計の開発 |
| 3 | AE-007 | 軟X線光電子分光装置 | 東京大学 大学院工学系研究科 | 小林 正起 | 2022 | 22AE0022: 軟X線分光を用いた強磁性トポロジカル界面状態・磁性ワイル半金属物性の解明 |
| 3 | AE-007 | 軟X線光電子分光装置 | 東京大学 大学院工学系研究科 | 小林 正起 | 2022 | 22AE0031: 軟X線光電子分光による磁性トポロジカル量子輸送特性の解明 |
| 3 | AE-007 | 軟X線光電子分光装置 | 岡山大学 異分野基礎科学研究所 | 横谷 尚睦 | 2022 | 22AE0015: R1-xCexOBiS2 (R=La,Pr, Nd)のCe3d-4f共鳴光電子分光: BiS2系超伝導体におけるc-f混成の検証 |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 東京工業大学 | 矢野 哲司 | 2022 | 22AE0014: 模擬放射性廃棄物固化ガラス中の元素の化学状態と崩壊熱による加温の影響 |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 東京大学大学院理学系研究科 | 大越 慎一 | 2022 | 22AE0024: 光誘起強磁性と強誘電性の光応答性を示す銅－オクタシアノモリブデン錯体薄膜の構造解析 |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 関西学院大学 工学部 | 田中 裕久 | 2022 | 22AE0023: In-situ XAFSによるCOガス環境下におけるPt系触媒のH2-O2反応機構解明研究 |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 京都大学大学院工学研究科 | 小林 大志 | 2022 | 22AE0021: 溶解度制限固相の形成における共存核種・イオンの影響の解明に向けた構造学的アプローチ |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 吉川 浩史 | 2022 | 22AE0020: 金属錯体化合物を正極とする高性能二次電池のXAFSによる反応機構解明 |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 東京工業大学 科学技術創成研究院 福島復興・再生研究ユニット | 中瀬 正彦 | 2022 | 22AE0004: 時分割XAFSによるガラス中のスズイオンの高速な酸化還元と錯形成カイネティクスに及ぼす酸濃度や錯化剤の影響の解明 |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 工学院大学 | 前野 禅 | 2022 | 22AE0003: 高温・還元性ガス雰囲気下でのXAFS測定による13族金属導入ゼオライトの局所構造解析 |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 東京工業大学 | 矢野 哲司 | 2022 | 22AE0002: 模擬放射性廃棄物固化ガラス中の元素の化学状態と崩壊熱による加温の影響調査 |
| 9 | AE-006 | エネルギー分散型XAFS装置 | 関西学院大学工学部 | 吉川 浩史 | 2022 | 22AE0001: 金属錯体化学種を正極とする高性能二次電池の反応機構解明 |
| 4 | AE-005 | カッパ型多軸回折計 | 東京工業大学 物質理工学院 | 平山 雅章 | 2022 | 22AE0028: 薄膜モデル電池を用いたオペランドX線回折法による全固体電池反応の解析 |
| 4 | AE-005 | カッパ型多軸回折計 | 北海道大学 大学院地球環境科学研究院 | 八木 一三 | 2022 | 22AE0027: 表面X線散乱による二元系硝酸還元電極触媒におけるスズの状態解明3 |
| 4 | AE-005 | カッパ型多軸回折計 | 東京工業大学 物質理工学院 | 平山 雅章 | 2022 | 22AE0010: 全固体電池動作時における正極/固体電解質界面構造の動的挙動解析 |
| 4 | AE-005 | カッパ型多軸回折計 | 北海道大学 大学院地球環境科学研究院 | 八木 一三 | 2022 | 22AE0005: 表面X線散乱による二元系硝酸還元電極触媒におけるスズの状態解明3 |
| 5 | AE-003 | 高輝度放射光XAFSシステム | 東京工業大学 科学技術創成研究院 福島復興・再生研究ユニット | 中瀬 正彦 | 2022 | 22AE0026: 放射光EXAFSによる新規フッ素溶媒中の抽出金属イオン錯体の構造解析と、分離元素の酸化物・リン酸塩固化体中の電子状態の解明-2 |
| 5 | AE-003 | 高輝度放射光XAFSシステム | 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 | 鈴木 智也 | 2022 | 22AE0025: パラジウムイオン間の相互作用を活用した新たなパラジウムイオン認識沈殿剤の開発 |
| 5 | AE-003 | 高輝度放射光XAFSシステム | 東北大学 金属材料研究所 附属量子エネルギー材料科学国際研究センター | 小無 健司 | 2022 | 22AE0019: パルス加熱炉を用いる超高温溶融燃料のXAFS構造解析 |
| 5 | AE-003 | 高輝度放射光XAFSシステム | 東京工業大学 科学技術創成研究院 福島復興・再生研究ユニット | 中瀬 正彦 | 2022 | 22AE0007: 放射光EXAFSによる新規フッ素溶媒中の抽出金属イオン錯体の構造解析と、分離元素の酸化物・リン酸塩固化体中の電子状態の解明-2 |
| 5 | AE-003 | 高輝度放射光XAFSシステム | 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 | 鈴木 智也 | 2022 | 22AE0006: 複合酸化物化を利用したRu(VI)選択浸出法の開発 |
| 3 | AE-004 | 応力・イメージング測定装置 | 大阪大学工学研究科 電気電子情報通信工学専攻 | 中村 浩隆 | 2022 | 22AE0011: ベッセルビーム微小爆発による透明結晶内部での高圧物質凍結に関する研究 |
| 3 | AE-004 | 応力・イメージング測定装置 | 浜松ホトニクス株式会社 | 奈良 康永 | 2022 | 22AE0009: レーザ照射履歴を有する電子デバイス試料のX線回折実験 |
| 3 | AE-004 | 応力・イメージング測定装置 | 大阪大学大学院工学研究科 | 荻野 陽輔 | 2022 | 22AE0008: アーク溶接プロセスにおける電極ワイヤ内部の溶融・流動現象のその場観察 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 株式会社東海理化 | 山口 敦 | 2022 | 22OS1057: レーザー加工用アルミマスクの作製 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 京都工芸繊維大学 | 井上 純一 | 2022 | 22OS1055: 光集積回路および導波モード共鳴フィルタの作製 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 株式会社日本触媒 | 河野 晃丈 | 2022 | 22OS1051: 新規EBレジスト材料の開発 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 日本触媒協働研究所 | 西村 章 | 2022 | 22OS1048: レジスト材料の感光性試験 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 古澤 孝弘 | 2022 | 22OS1044: レジスト構成分子の特性評価 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 近藤 正彦 | 2022 | 22OS1042: フォトニック結晶レーザの開発 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 東洋合成工業株式会社 | 榎本 智至 | 2022 | 22OS1032: 有機金属化合物を含む新規な化学増幅レジストの研究 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 神戸大学 | 長谷部 宏明 | 2022 | 22OS1028: シリコンナノディスクの吸収増強を用いた近赤外光検出素子の開発 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 神戸大学 | 菅野 公二 | 2022 | 22OS1026: プラズモニックナノ構造の作製とセンサへの応用 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 長久保 白 | 2022 | 22OS1023: ナノ音響レンズの作製 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 木元 克 | 2022 | 22OS1019: ニューロモルフィック分子ネットワークデバイス用ナノ電極の製作 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 高原 淳一 | 2022 | 22OS1015: 誘電体メタサーフェスによる完全吸収体 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 有馬 健太 | 2022 | 22OS1014: 固体基板上に形成したナノカーボン材料の物理・化学特性の研究 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 古澤 孝弘 | 2022 | 22OS1009: 量子ビーム科学とデータ科学の融合によるシングルナノ材料開発 |
| 15 | OS-103 | 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 田中 裕行 | 2022 | 22OS1003: 高感度ウイルスナノセンサの開発 |
| 4 | OS-109 | 深掘りエッチング装置 | 株式会社東海理化 | 山口 敦 | 2022 | 22OS1057: レーザー加工用アルミマスクの作製 |
| 4 | OS-109 | 深掘りエッチング装置 | 大阪大学 | 羽原 英明 | 2022 | 22OS1025: 電子線リソグラフィーを利用した高アスペクト配向ナノワイヤアレイの作成 |
| 4 | OS-109 | 深掘りエッチング装置 | 大阪大学 | 古澤 孝弘 | 2022 | 22OS1009: 量子ビーム科学とデータ科学の融合によるシングルナノ材料開発 |
| 4 | OS-109 | 深掘りエッチング装置 | 大阪大学 | 田中 裕行 | 2022 | 22OS1003: 高感度ウイルスナノセンサの開発 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 株式会社東海理化 | 山口 敦 | 2022 | 22OS1057: レーザー加工用アルミマスクの作製 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 大阪大学 | 近藤 正彦 | 2022 | 22OS1042: フォトニック結晶レーザの開発 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 神戸大学 | 菅野 公二 | 2022 | 22OS1026: プラズモニックナノ構造の作製とセンサへの応用 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 大阪大学 | 石部 貴史 | 2022 | 22OS1021: 不純物添加によるエピタキシャルZnO薄膜の熱電性能向上 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 大阪大学 | 木元 克 | 2022 | 22OS1019: ニューロモルフィック分子ネットワークデバイス用ナノ電極の製作 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 大阪大学 | 高原 淳一 | 2022 | 22OS1015: 誘電体メタサーフェスによる完全吸収体 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 大阪大学 | 有馬 健太 | 2022 | 22OS1014: 固体基板上に形成したナノカーボン材料の物理・化学特性の研究 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 古野電気株式会社 | 多田 啓二 | 2022 | 22OS1011: 光バイオセンサの研究 |
| 9 | OS-117 | EB蒸着装置 | 量子科学技術研究開発機構 高崎量子応用研究所 | 山本 洋揮 | 2022 | 22OS1004: 量子ビーム誘機反応に基づいた微細加工材料の創出 |
| 5 | OS-127 | レーザーラマン顕微鏡 | 大阪大学 | 内藤 克昭 | 2022 | 22OS1056: 量子・X線ビーム技術および数理モデルの統合による抗う蝕性イオンの動態解析 |
| 5 | OS-127 | レーザーラマン顕微鏡 | 大阪大学 | 古賀 大尚 | 2022 | 22OS1040: バイオナノファイバー由来炭素材料のデバイス応用に向けた構造解析 |
| 5 | OS-127 | レーザーラマン顕微鏡 | 大阪大学 | 篠崎 健二 | 2022 | 22OS1037: ナノ粒子分散高強度ガラスの評価 |
| 5 | OS-127 | レーザーラマン顕微鏡 | 小林製薬株式会社 | 宅見 信哉 | 2022 | 22OS1012: 薬用成分を塗布した生体組織（動物皮膚）中の薬物濃度分布の測定 |
| 5 | OS-127 | レーザーラマン顕微鏡 | 大阪大学 | 小林 慶裕 | 2022 | 22OS1008: 高結晶性ナノカーボン材料の創成とデバイス応用 |
| 5 | OS-115 | RFスパッタ成膜装置（絶縁体成膜用） | サイエンスエッジ株式会社 | 内山 知也 | 2022 | 22OS1053: 試料表面への金属薄膜の成膜 |
| 5 | OS-115 | RFスパッタ成膜装置（絶縁体成膜用） | 大阪大学 | 赤井 恵 | 2022 | 22OS1039: ポリマー配線を用いたニューラルネットワーク型情報回路の創成 |
| 5 | OS-115 | RFスパッタ成膜装置（絶縁体成膜用） | 神戸大学 | 長谷部 宏明 | 2022 | 22OS1028: シリコンナノディスクの吸収増強を用いた近赤外光検出素子の開発 |
| 5 | OS-115 | RFスパッタ成膜装置（絶縁体成膜用） | 九州工業大学 | 清水 浩貴 | 2022 | 22OS1017: ピエゾ圧電体を用いた形状測定用MEMSデバイスの試作 |
| 5 | OS-115 | RFスパッタ成膜装置（絶縁体成膜用） | 大阪大学 | 高原 淳一 | 2022 | 22OS1015: 誘電体メタサーフェスによる完全吸収体 |
| 2 | OS-126 | 接触式膜厚測定器 | サイエンスエッジ株式会社 | 内山 知也 | 2022 | 22OS1053: 試料表面への金属薄膜の成膜 |
| 2 | OS-126 | 接触式膜厚測定器 | 日本触媒協働研究所 | 西村 章 | 2022 | 22OS1048: レジスト材料の感光性試験 |
| 5 | OS-106 | LED描画システム | 大阪大学 | NAKAJIMA MAKOTO | 2022 | 22OS1049: メタマテリアルによるテラヘルツ波の高度応用 |
| 5 | OS-106 | LED描画システム | 大阪大学 | 赤井 恵 | 2022 | 22OS1039: ポリマー配線を用いたニューラルネットワーク型情報回路の創成 |
| 5 | OS-106 | LED描画システム | 岡山大学 | 藤原 正澄 | 2022 | 22OS1029: 高周波アンテナパターン形成ガラス基板の開発 |
| 5 | OS-106 | LED描画システム | 大阪大学 | 有馬 健太 | 2022 | 22OS1014: 固体基板上に形成したナノカーボン材料の物理・化学特性の研究 |
| 5 | OS-106 | LED描画システム | 大阪大学 | 服部 梓 | 2022 | 22OS1001: 機能性酸化物のナノ・マイクロ構造体作製と特性評価 |
| 3 | OS-124 | 位相変調型分光エリプソメーター | 日本触媒協働研究所 | 西村 章 | 2022 | 22OS1048: レジスト材料の感光性試験 |
| 3 | OS-124 | 位相変調型分光エリプソメーター | 大阪大学 | 石部 貴史 | 2022 | 22OS1021: 不純物添加によるエピタキシャルZnO薄膜の熱電性能向上 |
| 3 | OS-124 | 位相変調型分光エリプソメーター | 大阪大学 | 高原 淳一 | 2022 | 22OS1015: 誘電体メタサーフェスによる完全吸収体 |
| 5 | OS-102 | SEM付集束イオンビーム装置 | 日本触媒協働研究所 | 西村 章 | 2022 | 22OS1048: レジスト材料の感光性試験 |
| 5 | OS-102 | SEM付集束イオンビーム装置 | 大阪大学 | 馬越 貴之 | 2022 | 22OS1024: 近接場光学顕微鏡の金属探針開発 |
| 5 | OS-102 | SEM付集束イオンビーム装置 | 大阪大学 | 長久保 白 | 2022 | 22OS1023: ナノ音響レンズの作製 |
| 5 | OS-102 | SEM付集束イオンビーム装置 | 大阪大学 | 小林 慶裕 | 2022 | 22OS1008: 高結晶性ナノカーボン材料の創成とデバイス応用 |
| 5 | OS-102 | SEM付集束イオンビーム装置 | 大阪大学 | 舘林 潤 | 2022 | 22OS1007: 希土類添加半導体を有するナノ光デバイスの研究 |
| 5 | OS-120 | 薄膜X線回折装置 | 大阪大学 | 金 庚民 | 2022 | 22OS1047: 金属酸化物の結晶性及び表面状態の解明 |
| 5 | OS-120 | 薄膜X線回折装置 | 大阪大学 | 古賀 大尚 | 2022 | 22OS1040: バイオナノファイバー由来炭素材料のデバイス応用に向けた構造解析 |
| 5 | OS-120 | 薄膜X線回折装置 | 大阪大学 | 石部 貴史 | 2022 | 22OS1021: 不純物添加によるエピタキシャルZnO薄膜の熱電性能向上 |
| 5 | OS-120 | 薄膜X線回折装置 | 大阪大学 | 小林 慶裕 | 2022 | 22OS1008: 高結晶性ナノカーボン材料の創成とデバイス応用 |
| 5 | OS-120 | 薄膜X線回折装置 | 大阪大学 | 服部 梓 | 2022 | 22OS1001: 機能性酸化物のナノ・マイクロ構造体作製と特性評価 |
| 3 | OS-108 | ナノインプリント装置 | サンアプロ株式会社 | 北野 匡章 | 2022 | 22OS1046: 光ナノインプリント用カチオン重合型樹脂の開発 |
| 3 | OS-108 | ナノインプリント装置 | 京都大学 | 村井 俊介 | 2022 | 22OS1045: ナノアンテナの作製と光マネジメント |
| 3 | OS-108 | ナノインプリント装置 | 株式会社日本触媒 | 中村 潤一 | 2022 | 22OS1005: ナノインプリントの成形試験 |
| 5 | OS-125 | 走査型プローブ顕微鏡 | ローム株式会社 | 久保 博稔 | 2022 | 22OS1041: SNDMを用いたシリコン及び化合物半導体の故障解析 |
| 5 | OS-125 | 走査型プローブ顕微鏡 | 大阪大学 | 長久保 白 | 2022 | 22OS1023: ナノ音響レンズの作製 |
| 5 | OS-125 | 走査型プローブ顕微鏡 | 大阪大学 | 趙 帥捷 | 2022 | 22OS1016: 銅/エポキシ樹脂接合 |
| 5 | OS-125 | 走査型プローブ顕微鏡 | 大阪大学 | 植村 隆文 | 2022 | 22OS1002: フレキシブルエレクトロニクス実現に資する薄膜デバイス開発 |
| 5 | OS-125 | 走査型プローブ顕微鏡 | 大阪大学 | 服部 梓 | 2022 | 22OS1001: 機能性酸化物のナノ・マイクロ構造体作製と特性評価 |
| 3 | OS-107 | マスクアライナー | 大阪大学 | 赤井 恵 | 2022 | 22OS1039: ポリマー配線を用いたニューラルネットワーク型情報回路の創成 |
| 3 | OS-107 | マスクアライナー | 大阪大学 | 有馬 健太 | 2022 | 22OS1014: 固体基板上に形成したナノカーボン材料の物理・化学特性の研究 |
| 3 | OS-107 | マスクアライナー | 大阪大学 | 小林 慶裕 | 2022 | 22OS1008: 高結晶性ナノカーボン材料の創成とデバイス応用 |
| 6 | OS-105 | 高速大面積電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 赤井 恵 | 2022 | 22OS1039: ポリマー配線を用いたニューラルネットワーク型情報回路の創成 |
| 6 | OS-105 | 高速大面積電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 羽原 英明 | 2022 | 22OS1025: 電子線リソグラフィーを利用した高アスペクト配向ナノワイヤアレイの作成 |
| 6 | OS-105 | 高速大面積電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 戸田 晋太郎 | 2022 | 22OS1020: 円偏光素子の開発 |
| 6 | OS-105 | 高速大面積電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 木元 克 | 2022 | 22OS1019: ニューロモルフィック分子ネットワークデバイス用ナノ電極の製作 |
| 6 | OS-105 | 高速大面積電子ビームリソグラフィー装置 | 大阪大学 | 志村 考功 | 2022 | 22OS1013: GeSnを用いた受発光デバイスの作製 |
| 6 | OS-105 | 高速大面積電子ビームリソグラフィー装置 | ローム株式会社 | 四方 啓太 | 2022 | 22OS1006: 電子線描画を用いた微細ゲート形成プロセスの開発 |
| 4 | OS-111 | リアクティブイオンエッチング装置 | 大阪大学 | Tabata Hiroshi | 2022 | 22OS1035: 光活性化ガスセンサ用マイクロLEDの作製 |
| 4 | OS-111 | リアクティブイオンエッチング装置 | 大阪大学 | 戸田 晋太郎 | 2022 | 22OS1020: 円偏光素子の開発 |
| 4 | OS-111 | リアクティブイオンエッチング装置 | 大阪大学 | 舘林 潤 | 2022 | 22OS1007: 希土類添加半導体を有するナノ光デバイスの研究 |
| 4 | OS-111 | リアクティブイオンエッチング装置 | 大阪大学 | 田中 裕行 | 2022 | 22OS1003: 高感度ウイルスナノセンサの開発 |
| 3 | OS-110 | リアクティブイオンエッチング装置 | 神戸大学 | 長谷部 宏明 | 2022 | 22OS1028: シリコンナノディスクの吸収増強を用いた近赤外光検出素子の開発 |
| 3 | OS-110 | リアクティブイオンエッチング装置 | 大阪大学 | 舘林 潤 | 2022 | 22OS1007: 希土類添加半導体を有するナノ光デバイスの研究 |
| 3 | OS-110 | リアクティブイオンエッチング装置 | 大阪大学 | 田中 裕行 | 2022 | 22OS1003: 高感度ウイルスナノセンサの開発 |
| 1 | OS-113 | 多元DC/RFスパッタ装置 | 大阪大学 | 羽原 英明 | 2022 | 22OS1025: 電子線リソグラフィーを利用した高アスペクト配向ナノワイヤアレイの作成 |
| 5 | OS-114 | RFスパッタ成膜装置（金属成膜用） | 大阪大学 | 羽原 英明 | 2022 | 22OS1025: 電子線リソグラフィーを利用した高アスペクト配向ナノワイヤアレイの作成 |
| 5 | OS-114 | RFスパッタ成膜装置（金属成膜用） | 大阪大学 | 石部 貴史 | 2022 | 22OS1021: 不純物添加によるエピタキシャルZnO薄膜の熱電性能向上 |
| 5 | OS-114 | RFスパッタ成膜装置（金属成膜用） | 大阪大学 | 津島 将司 | 2022 | 22OS1018: 微細加工技術の援用による固体高分子形燃料電池に関する研究 |
| 5 | OS-114 | RFスパッタ成膜装置（金属成膜用） | 大阪大学 | 小林 慶裕 | 2022 | 22OS1008: 高結晶性ナノカーボン材料の創成とデバイス応用 |
| 5 | OS-114 | RFスパッタ成膜装置（金属成膜用） | 大阪大学 | 田中 裕行 | 2022 | 22OS1003: 高感度ウイルスナノセンサの開発 |
| 2 | OS-119 | 自動制御型パルスレーザ蒸着ナノマテリアル合成装置 | 大阪大学 | 石部 貴史 | 2022 | 22OS1021: 不純物添加によるエピタキシャルZnO薄膜の熱電性能向上 |
| 2 | OS-119 | 自動制御型パルスレーザ蒸着ナノマテリアル合成装置 | 大阪大学 | 服部 梓 | 2022 | 22OS1001: 機能性酸化物のナノ・マイクロ構造体作製と特性評価 |
| 1 | OS-101 | 高精細集束イオンビーム装置 | 大阪大学 | 舘林 潤 | 2022 | 22OS1007: 希土類添加半導体を有するナノ光デバイスの研究 |
| 1 | OS-122 | フーリエ変換赤外分光光度計 | 大阪大学 | 舘林 潤 | 2022 | 22OS1007: 希土類添加半導体を有するナノ光デバイスの研究 |
| 1 | OS-116 | 誘導結合型RFプラズマ支援スパッタ装置（ICP-RFスパッタ装置） | 量子科学技術研究開発機構 高崎量子応用研究所 | 山本 洋揮 | 2022 | 22OS1004: 量子ビーム誘機反応に基づいた微細加工材料の創出 |
| 3 | OS-010 | 120kVバイオ観察電顕 | 神戸大学 | Ohmido Nabuko | 2022 | 22OS0044: 高度電子顕微鏡による染色体・核・細胞構造の解析 |
| 3 | OS-010 | 120kVバイオ観察電顕 | 大阪大学 | 古川 貴久 | 2022 | 22OS0037: 脊椎動物網膜における細胞微細構造の形態学的解析 |
| 3 | OS-010 | 120kVバイオ観察電顕 | 兵庫県立大学 | 田口 翔悟 | 2022 | 22OS0010: 脂肪酸/界面活性剤分子集合体を介した脂質微粒子の調製 |
| 7 | OS-004 | 300kVクライオ電子顕微鏡 | 大阪大学 | 昆 隆英 | 2022 | 22OS0042: 細胞内物質輸送機構の構造基盤解明 |
| 7 | OS-004 | 300kVクライオ電子顕微鏡 | 大阪大学 | 馬越 大 | 2022 | 22OS0036: 自己組織系ナノ粒子の物性解明及び機能性デザイン |
| 7 | OS-004 | 300kVクライオ電子顕微鏡 | 産業技術総合研究所 | 三尾 和弘 | 2022 | 22OS0035: 分子運動を伴うタンパク質複合体の電子顕微鏡構造解析 |
| 7 | OS-004 | 300kVクライオ電子顕微鏡 | 神戸大学 | 今崎 剛 | 2022 | 22OS0018: 微小管ネットワーク制御による細胞極性形成機構の解明 |
| 7 | OS-004 | 300kVクライオ電子顕微鏡 | 京都大学 | 木村 泰久 | 2022 | 22OS0017: 多剤輸送体の輸送機構解明 |
| 7 | OS-004 | 300kVクライオ電子顕微鏡 | 東京医科歯科大学 | 中田 隆夫 | 2022 | 22OS0015: RAC1光スイッチによるアクチン重合・分岐の急速凍結クライオ電子線トモグラフィー |
| 7 | OS-004 | 300kVクライオ電子顕微鏡 | 京都産業大学 | 横山 謙 | 2022 | 22OS0008: 酸化的リン酸化を担う複合体のクライオ電子顕微鏡による構造機能解析 |
| 1 | OS-006 | 高分子・生物系電子顕微鏡用試料作製装置群 | 大阪大学 | 昆 隆英 | 2022 | 22OS0042: 細胞内物質輸送機構の構造基盤解明 |
| 4 | OS-007 | 材料系電子顕微鏡用試料作製装置群 | 大阪大学 | 今井 亜希子 | 2022 | 22OS0039: 磁気トンネル接合のフラッシュランプアニーリング |
| 4 | OS-007 | 材料系電子顕微鏡用試料作製装置群 | ファインセラミックスセンター | 穴田 智史 | 2022 | 22OS0027: SrTiO3単結晶の最表面の構造制御・解析 |
| 4 | OS-007 | 材料系電子顕微鏡用試料作製装置群 | 関西大学 | 新宮原 正三 | 2022 | 22OS0022: 高融点金属薄膜の結晶組織観察 |
| 4 | OS-007 | 材料系電子顕微鏡用試料作製装置群 | 大阪大学 | 安田 弘行 | 2022 | 22OS0016: 新規耐熱合金中の微細析出物のTEM-EDS分析 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 大阪大学 大学院基礎工学研究科 | 山崎 嘉己 | 2022 | 22KT1356: 人工聴覚上皮の作製プロセス最適化と聴覚神経刺激用電極の創製 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学大学院工学研究科 | 白石 誠司 | 2022 | 22KT1293: 固体中におけるスピン流輸送現象の解明 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学 | 後藤 康仁 | 2022 | 22KT1275: フィールドエミッタアレイの膜物性評価 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学大学院農学研究科 | 小川 雄一 | 2022 | 22KT1073: テラヘルツの分光技術を応用した生物・食品検査利用への研究 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学 | 後藤 康仁 | 2022 | 22KT1062: フィールドエミッタアレイの膜物性評価 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 池之上 卓己 | 2022 | 22KT1057: ミストCVD法による岩塩構造ワイドバンドギャップ半導体の物性評価 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学 | 深見 一弘 | 2022 | 22KT1004: 電気化学反応を利用した表面微細構造形成 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学 | 猿山 雅亮 | 2022 | 22KT1306: ナノ粒子超格子の周期構造決定 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学 | 中村 敏浩 | 2022 | 22KT1274: 高機能酸化物薄膜の作製と評価 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学大学院エネルギー科学研究科 | 佐川 尚 | 2022 | 22KT1154: ナノ結晶及びポリマー等との複合材料の作製と評価 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学国際高等教育院/大学院人間・環境学研究科 | 中村 敏浩 | 2022 | 22KT1130: 高機能酸化物薄膜の作製と評価 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都医療科学大学、医療科学部、放射線技術学科 | 佐藤 敏幸 | 2022 | 22KT1120: 無機有機ペロブスカイト膜の構造評価 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 神戸大学農学研究科 | Nakajima Shusaku | 2022 | 22KT1115: 分光法による農産物内デンプン計測 |
| 14 | KT-310 | X線回折装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 西 直哉 | 2022 | 22KT1029: 共有結合性有機構造体の結晶性の評価 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学エネルギー理工学研究所 | 森井 孝 | 2022 | 22KT0053: DNAを基盤とした構造体の構築 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 東レリサーチセンター | 川崎 直彦 | 2022 | 22KT0052: 半導体デバイスにおけるキャリア電子分布の評価 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 公益財団法人 応用科学研究所 | 長江 正寛 | 2022 | 22KT0051: 大強度粒子加速器標的材として採用可能な超耐熱タングステン合金の製造法に関する研究 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 東京工業大学 科学技術創成研究院 | 中瀬 正彦 | 2022 | 22KT0050: チタン酸塩鉱物等の微細構造観察 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学大学院人間・環境学研究科 | 山本 旭 | 2022 | 22KT0048: 金属ナノ粒子担持型触媒のTEM観察 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構/電子顕微鏡解析ステーション | 根本 善弘 | 2022 | 22KT0047: STEM-EELSによる化学分析 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | ローム株式会社 | 森 貴仁 | 2022 | 22KT0045: 半導体デバイスの特性アップに向けた欠陥分析 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 大阪公立大学 | 梁 剣波 | 2022 | 22KT0044: ダイヤモンドと異種材料接合界面の結晶構造解析 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 株式会社大阪ソーダ | 近田 安史 | 2022 | 22KT0043: 透過型電子顕微鏡を用いたナノ材料の形態観察 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 立命館大学 生命科学部 | 北澤 啓和 | 2022 | 22KT0042: 金属クラスター及び金属ナノ粒子触媒の構造解析 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | Department of Chemistry, Faculty of Science, Chiang Mai University | Sarakonsri Thapanee | 2022 | 22KT0041: Advanced transmission electronmicroscopy investigation of energy storage nanomaterials [藤ヶ谷1]Write the name of the subject that can understandthe research purpose, usage, etc. Usage subject names don't have to be the sameas research theme names. Be sure to describe the usage properly. |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 東レリサーチセンター | 川崎 直彦 | 2022 | 22KT0039: ディスプレイデバイスにおける局所光学特定評価 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学 大学院工学研究科材料工学専攻 | 平山 恭介 | 2022 | 22KT0038: ナノ～マクロを繋ぐトモグラフィー：界面の半自発的剥離 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学大学院人間環境学研究科 | 内山 智貴 | 2022 | 22KT0037: ナノ構造触媒の高分解能電子顕微鏡観察（アルカリ・固体高分子形水電解用電極触媒の表面構造解析） |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 田中 壮太郎 | 2022 | 22KT0036: 電子デバイスにおける薄膜層のモルフォロジーとデバイス特性に関する研究/開発 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 岡山理科大学 | 牧 涼介 | 2022 | 22KT0033: I-CaHAPの微細構造観察 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 公益財団法人 応用科学研究所 | 長江 正寛 | 2022 | 22KT0026: 大強度粒子加速器標的材として採用可能な超耐熱タングステン合金の製造法に関する研究 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | Department of Physics, Faculty of Science, Naresuan University | Wiengmoon Amporn | 2022 | 22KT0023: The characterization of carbide in annealed high chromium cast irons using TEM and EELS |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 東レリサーチセンター | 川崎 直彦 | 2022 | 22KT0020: TFT構造における半導体層の局所物性評価 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学大学院人間・環境学研究科 | 山本 旭 | 2022 | 22KT0018: 金属ナノ粒子担持型触媒のTEM観察 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 大阪公立大学 | 梁 剣波 | 2022 | 22KT0015: ダイヤモンドと異種材料接合界面の結晶構造解析 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学 人間・環境学研究科 | 田部 勢津久 | 2022 | 22KT0014: The real-time observetion of core-shell structure NCs in glass matrices |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | ローム株式会社 | 森 貴仁 | 2022 | 22KT0013: 半導体デバイスの特性アップに向けた欠陥分析 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学 大学院工学研究科 材料工学専攻 | 吉田 周平 | 2022 | 22KT0012: Ni基固溶体合金の室温力学特性に及ぼす短範囲規則化の影響 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学／大学院エネルギー科学研究科 | 袴田 昌高 | 2022 | 22KT0011: Al/Cu接合界面の観察 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 立命館大学 生命科学部 | 北澤 啓和 | 2022 | 22KT0009: 金属クラスター及び金属ナノ粒子触媒の構造解析 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 田中 壮太郎 | 2022 | 22KT0005: 電子デバイスにおける薄膜層のモルフォロジーとデバイス特性に関する研究/開発 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学 大学院人間・環境学研究科 | 内山 智貴 | 2022 | 22KT0004: ナノ構造触媒の高分解能電子顕微鏡観察（アルカリ・固体高分子形水電解用電極触媒の表面構造解析） |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学 大学院工学研究科材料工学専攻 | 平山 恭介 | 2022 | 22KT0002: ナノ～マクロを繋ぐトモグラフィー：界面の半自発的剥離 |
| 30 | KT-403 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学大学院エネルギー科学研究科 | 岡崎 豊 | 2022 | 22KT0001: 異方性ナノ構造体の形態・結晶構造および配向評価 |
| 6 | KT-401 | 極低温透過電子顕微鏡 | 奈良女子大学／研究院自然科学系 | 吉村 倫一 | 2022 | 22KT0035: Cryo-TEMによるカチオン化リポソームの構造評価 |
| 6 | KT-401 | 極低温透過電子顕微鏡 | 京都大学/理学部化学科 | 吉田 幸大 | 2022 | 22KT0031: 配位高分子の次元クロスオーバー構造変換 |
| 6 | KT-401 | 極低温透過電子顕微鏡 | 株式会社ＭＯＲＥＳＣＯ ライフサイエンス開発部 | 上村 聡 | 2022 | 22KT0029: ナノエマルジョンのクライオTEM撮影 |
| 6 | KT-401 | 極低温透過電子顕微鏡 | 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 | 西崎 悠樹 | 2022 | 22KT0024: フォトレオロジカル流体を用いた新しい研磨法の開発 |
| 6 | KT-401 | 極低温透過電子顕微鏡 | 京都大学 大学院理学研究科 化学専攻 | 齊藤 尚平 | 2022 | 22KT0017: 有機溶媒中における超分子の構造決定 |
| 6 | KT-401 | 極低温透過電子顕微鏡 | 京都大学高等研究院/物質-細胞統合システム拠点 | 古川 修平 | 2022 | 22KT0006: 2D molecular materials |
| 2 | KT-405 | ミクロトーム | 京都工芸繊維大学/材料化学系 | 浅岡 定幸 | 2022 | 22KT0027: 垂直配向シリンダー型ミクロ相分離構造に基づく精密分離・反応膜の開発 |
| 2 | KT-405 | ミクロトーム | 第一工業製薬株式会社 | 寺内 真奈美 | 2022 | 22KT0016: ウルトラミクロトームによるポリマーブロックの面出し検討 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 公益財団法人 応用科学研究所 | 長江 正寛 | 2022 | 22KT0026: 大強度粒子加速器標的材として採用可能な超耐熱タングステン合金の製造法に関する研究 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | Department of Physics, Faculty of Science, Naresuan University | Wiengmoon Amporn | 2022 | 22KT0023: The characterization of carbide in annealed high chromium cast irons using TEM and EELS |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 京都大学エネルギー理工学研究所 | 森井 孝 | 2022 | 22KT0019: DNAを基盤とした構造体の構築 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 京都大学大学院人間・環境学研究科 | 山本 旭 | 2022 | 22KT0018: 金属ナノ粒子担持型触媒のTEM観察 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 大阪公立大学 | 梁 剣波 | 2022 | 22KT0015: ダイヤモンドと異種材料接合界面の結晶構造解析 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 京都大学／大学院エネルギー科学研究科 | 袴田 昌高 | 2022 | 22KT0011: Al/Cu接合界面の観察 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 京都大学大学院工学研究科 材料化学専攻 | 櫻井 平良 | 2022 | 22KT0007: フッ化物結晶内のレーザー加工部における局所構造解析 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 田中 壮太郎 | 2022 | 22KT0005: 電子デバイスにおける薄膜層のモルフォロジーとデバイス特性に関する研究/開発 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 京都大学 大学院人間・環境学研究科 | 内山 智貴 | 2022 | 22KT0004: ナノ構造触媒の高分解能電子顕微鏡観察（アルカリ・固体高分子形水電解用電極触媒の表面構造解析） |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 株式会社大阪ソーダ | 近田 安史 | 2022 | 22KT0003: 透過型電子顕微鏡を用いたナノ材料の形態観察 |
| 11 | KT-402 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 | 京都大学大学院エネルギー科学研究科 | 岡崎 豊 | 2022 | 22KT0001: 異方性ナノ構造体の形態・結晶構造および配向評価 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | LG Japan Lab 株式会社 | 高田 正基 | 2022 | 22KT1296: 半導体基板上の微細構造の製作 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 京都大学 | 後藤 康仁 | 2022 | 22KT1327: スパッタリング法を用いて作製した薄膜の構造解析および組成分析 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 福井大学 医学部医学科 | 清水 啓史 | 2022 | 22KT1271: X線1分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 京都大学 大学院人間・環境学研究科 | 内山 智貴 | 2022 | 22KT1191: 水電解触媒の高性能化に向けた構造解析 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 京都大学 大学院工学研究科 | 後藤 康仁 | 2022 | 22KT1065: スパッタリング法を用いて作製した薄膜の構造解析および組成分析 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 京都大学 | 後藤 康仁 | 2022 | 22KT1062: フィールドエミッタアレイの膜物性評価 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 名城大学 理工学部メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22KT1360: MEMSデバイス用犠牲層エッチング技術の構築 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1294: ドライエッチングによる微細モールド作成技術の開発 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 京都大学大学院アジア・アフリカ地域研究研究科 | 小茄子川 歩 | 2022 | 22KT1190: インダス式印章の製作技術に関する考古学的研究：SEM観察と製作実験に基づいた実証的検討からのアプローチ |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 大阪大学 大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1171: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1150: リフトオフプロセスにむけたBEAMERを用いたEB描画法の開発 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | NTTアドバンステクノロジ（株） | 丸山 隆志 | 2022 | 22KT1113: シリコン深堀り加工における側壁形状の検討 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 京都工芸繊維大学電気電子工学系 | 井上 純一 | 2022 | 22KT1109: 導波モード共鳴を用いた新規光学デバイスに関する研究 ２ |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 奈良県立奈良高等学校 | 仲野 純章 | 2022 | 22KT1098: SEM観察を通じた各種煤粒子形態の比較 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1085: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 福井県立大学海洋生物資源学部海洋生物資源学科 | 佐藤 晋也 | 2022 | 22KT1072: 祖先型パルマ藻の性状解析 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 京都大学 | 内山 智貴 | 2022 | 22KT1043: 水電解触媒の高性能化に向けた構造解析 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 大阪大学大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1025: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 京都大学大学院工学研究科 | 下間 靖彦 | 2022 | 22KT1014: 半導体および絶縁体のナノ構造評価 |
| 20 | KT-301 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1008: 電子線レジスト上の導電膜形成方法の検討 |
| 5 | KT-218 | レーザダイシング装置 | LG Japan Lab 株式会社 | 高田 正基 | 2022 | 22KT1296: 半導体基板上の微細構造の製作 |
| 5 | KT-218 | レーザダイシング装置 | ローム株式会社 | 樋口 徹 | 2022 | 22KT1084: MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 |
| 5 | KT-218 | レーザダイシング装置 | ローム株式会社 | 樋口 徹 | 2022 | 22KT1232: MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 |
| 5 | KT-218 | レーザダイシング装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 松井 隆太郎 | 2022 | 22KT1180: プラズマ物理学とナノ工学の融合による極限物質科学への挑戦 |
| 5 | KT-218 | レーザダイシング装置 | ローム株式会社 | 下地 規之 | 2022 | 22KT1087: 圧電デバイスの作製と評価 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 デバイス技術研究部門 | Le Hac Huong Thu | 2022 | 22KT1236: 大面積のメタマテリアルの作製 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 デバイス技術研究部門 | Le Hac Huong Thu | 2022 | 22KT1088: 大面積のメタマテリアルの作製 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 村井 俊介 | 2022 | 22KT1256: ナノアンテナ蛍光体の高性能化 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | スタンレー電気株式会社 | 柏木 宏之 | 2022 | 22KT1204: フォトニッククリスタルを用いた狭角配光LEDの開発 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 産業技術総合研究所 | 穂苅 遼平 | 2022 | 22KT1178: 微細構造を利用した光学素子の研究 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 村井 俊介 | 2022 | 22KT1105: シールを利用した積層ナノアンテナの作製と発光制御 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 村井 俊介 | 2022 | 22KT1053: 熱処理による金ナノロッドの光学特性変化 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 産業技術総合研究所 | 穂苅 遼平 | 2022 | 22KT1033: 微細構造を利用した光学素子の研究 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 京都大学化学研究所 | 廣理 英基 | 2022 | 22KT1229: テラヘルツ反射ミラーの作製 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 松井 隆太郎 | 2022 | 22KT1180: プラズマ物理学とナノ工学の融合による極限物質科学への挑戦 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 大阪大学 大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1171: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 東京大学定量生命科学研究所 | 多田隈 尚史 | 2022 | 22KT1152: ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1150: リフトオフプロセスにむけたBEAMERを用いたEB描画法の開発 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 京都大学 化学研究所 | 廣理 英基 | 2022 | 22KT1082: テラヘルツ反射ミラーの作製 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | パナソニックホールディングス株式会社 | 久田 和也 | 2022 | 22KT1080: ナノ構造による光制御技術 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 大阪大学大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1025: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 17 | KT-115 | 大面積超高速電子ビーム描画装置 | 東京大学生産技術研究所 | 金 秀炫 | 2022 | 22UT1184: Fabrication of micro/nano devicesマイクロ・ナノデバイスの作製 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 中曽根 祐介 | 2022 | 22KT1063: 微小空間におけるタンパク質のダイナミクス解析 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1442: 二段電極構造を有するイオン液体エレクトロスプレースラスタの作製 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 1)早稲田大学 次世代ロボット研究機構、2)京都先端科学大学 ナガモリアクチュエータ研究所 | 長濱 峻介 | 2022 | 22KT1273: 生物を模倣したソフトロボットの開発 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 澄川 貴志 | 2022 | 22KT1222: ナノ・ミクロンスケール金属の疲労現象の解明 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 池之上 卓己 | 2022 | 22KT1206: ミストCVD法による岩塩構造ワイドバンドギャップ半導体の物性評価 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 鳥取大学 工学部 電気情報系学科 | 松永 忠雄 | 2022 | 22KT1311: 触覚ピンディスプレイ |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1287: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 鹿田 真一 | 2022 | 22KT1282: ダイヤモンドを利用したSBDの作成と評価 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1243: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 滋賀県大学工学部機械システム工学科 | 出島 一仁 | 2022 | 22KT1203: 熱流束を直接測定する積層センサの開発 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 大阪大学 大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1171: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 大阪大学 大学院工学研究科 | 有馬 健太 | 2022 | 22KT1159: Si表面上での高アスペクト比構造構築のための高精細Au/Tiパターンの形成 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 同志社大学 生命医科学部 医情報学科 | 高柳 真司 | 2022 | 22KT1153: 薄膜弾性波を利用した高感度質量センサの創製 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 東京大学定量生命科学研究所 | 多田隈 尚史 | 2022 | 22KT1152: ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1140: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 鹿田 真一 | 2022 | 22KT1136: ダイヤモンドデバイスの作製、評価 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 早稲田大学次世代ロボット研究機構，2)京都先端科学大学ナガモリアクチュエータ研究所 | 長濱 峻介 | 2022 | 22KT1129: 生物を模倣したソフトロボットの開発 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 京都大学 大学院工学研究科 合成・生物化学専攻 | 浜地 格 | 2022 | 22KT1126: 圧力印加による超分子・高分子複合ゲルの空間パターニング |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | パナソニックホールディングス株式会社 | 久田 和也 | 2022 | 22KT1080: ナノ構造による光制御技術 |
| 20 | KT-107 | 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 | 株式会社MARUWA | 西薗 和則 | 2022 | 22KT1002: MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 中曽根 祐介 | 2022 | 22KT1063: 微小空間におけるタンパク質のダイナミクス解析 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 京都大学 大学院理学研究科 | 武田 和行 | 2022 | 22KT1339: メタサーフェスミラーの開発 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 鳥取大学 工学部 電気情報系学科 | 松永 忠雄 | 2022 | 22KT1311: 触覚ピンディスプレイ |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | サンアプロ株式会社 | 北野 匡章 | 2022 | 22KT1291: 光ナノインプリント用カチオン重合型樹脂の開発 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | コーデンシ株式会社 | 冨井 秀晃 | 2022 | 22KT1255: 表面粗面化形状の形成 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 松井 隆太郎 | 2022 | 22KT1180: プラズマ物理学とナノ工学の融合による極限物質科学への挑戦 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 武田 和行 | 2022 | 22KT1155: メタサーフェスミラーの開発 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | サンアプロ株式会社 | 北野 匡章 | 2022 | 22KT1145: 光ナノインプリント用カチオン重合型樹脂の開発 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 鹿田 真一 | 2022 | 22KT1136: ダイヤモンドデバイスの作製、評価 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 住友電気工業株式会社 | 久保 優吾 | 2022 | 22KT1123: コンポジット材料界面の分析技術開発 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | コーデンシ株式会社 | 冨井 秀晃 | 2022 | 22KT1103: 表面粗面化形状の形成 |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 日本MEMS株式会社 | 山本 隆一郎 | 2022 | 22KT1076: チップTSV |
| 13 | KT-210 | ドライエッチング装置 | 三洋化成工業株式会社 | 渡邉 貴士 | 2022 | 22KT1041: 微細加工UV硬化樹脂の開発 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都大学大学院理学研究科 | 中曽根 祐介 | 2022 | 22KT1063: 微小空間におけるタンパク質のダイナミクス解析 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1440: 静電力結合したMEMS非線形振動子アレイによるリザバーコンピューティング |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1201: 周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザーバーコンピューティング |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1052: 微小振動梁の機械的物性評価 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都大学高等研究院 豊田理研-京大連携拠点(TRiKUC) | 前野 悦輝 | 2022 | 22KT1348: Quartz結晶基板の切断 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都大学高等研究院 豊田理研-京大連携拠点(TRiKUC) | 前野 悦輝 | 2022 | 22KT1050: Quartz結晶基板の切断 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22KT1285: 酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 立命館大学 理工学部電気電子工学科 | 荒木 努 | 2022 | 22KT1242: ScAlMgO4基板のダイシング |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 東京大学定量生命科学研究所 | 多田隈 尚史 | 2022 | 22KT1152: ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 愛知時計電機株式会社 | 西田 将志 | 2022 | 22KT1149: ブレードダイシング |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 株式会社Eサーモジェンテック | 南部 修太郎 | 2022 | 22KT1141: 排熱利用熱電発電モジュールの研究開発 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22KT1138: 酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 大阪公立大学 大学院工学研究科 | 重川 直輝 | 2022 | 22KT1134: 半導体異種材料接合の研究 |
| 14 | KT-219 | ダイシングソー | 京都大学化学研究所 | 久富 隆佑 | 2022 | 22KT1044: 固体中の素励起を用いた光－マイクロ波変換 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 中曽根 祐介 | 2022 | 22KT1063: 微小空間におけるタンパク質のダイナミクス解析 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | タムロン株式会社 | 國定 照房 | 2022 | 22KT1284: 微細穴構造の製造技術 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | タムロン株式会社 | 國定 照房 | 2022 | 22KT1128: 微細穴構造の製造技術 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1281: ガラス上のマイクロピラーの作製 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1244: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1239: DOE(回折光学素子)および微細加工素子の試作検討 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | ローム株式会社 | 照元 幸次 | 2022 | 22KT1238: MEMSセンサの開発 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 松井 隆太郎 | 2022 | 22KT1180: プラズマ物理学とナノ工学の融合による極限物質科学への挑戦 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1135: ガラス上のマイクロﾋﾟﾗｰの作製 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1092: DOE(回折光学素子)の試作検討／偏光素子開発 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1085: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | パナソニックホールディングス株式会社 | 久田 和也 | 2022 | 22KT1080: ナノ構造による光制御技術 |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | 日本MEMS株式会社 | 山本 隆一郎 | 2022 | 22KT1076: チップTSV |
| 14 | KT-209 | 磁気中性線放電ドライエッチング装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1001: ガラス上のマイクロピラーの作製 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1442: 二段電極構造を有するイオン液体エレクトロスプレースラスタの作製 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1440: 静電力結合したMEMS非線形振動子アレイによるリザバーコンピューティング |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | Meffan Robert Claude | 2022 | 22KT1250: Reservoir Computing with Surface Acoustic Wave Resonators |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1051: (100）単結晶シリコンを用いたリング型振動ジャイロスコープにおける形状補償 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 長崎大学大学院工学研究科電気電子工学コース | 榎波 康文 | 2022 | 22KT1240: ポリマ光変調器の低消費電力化 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 澄川 貴志 | 2022 | 22KT1222: ナノ・ミクロンスケール金属の疲労現象の解明 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 濱野 誉 | 2022 | 22KT1157: シリコン深掘り構造作製における欠陥形成機構の研究 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1243: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1239: DOE(回折光学素子)および微細加工素子の試作検討 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院理学研究科 | 鈴木 惇也 | 2022 | 22KT1230: 超伝導体にNbを用いた超伝導検出器MKIDの製作 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 神戸大学 大学院工学研究科 | 磯野 吉正 | 2022 | 22KT1211: ナノ構造集積MEMSデバイスの研究 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学大学院工学研究科 | 山下 直輝 | 2022 | 22KT1185: 原子間力顕微鏡と金属ラインパターン作製技術の併用による潤滑添加剤吸着層の精密摩擦測定 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 大阪大学 大学院工学研究科 | 有馬 健太 | 2022 | 22KT1159: Si表面上での高アスペクト比構造構築のための高精細Au/Tiパターンの形成 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1140: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 神戸大学大学院工学研究科 | 磯野 吉正 | 2022 | 22KT1064: ナノ構造集積MEMSデバイスの研究 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 鳥取大学 マイクロデバイス工学研究室 | 李 相錫 | 2022 | 22KT1049: マイクロ流体デバイスをベースにした水質モニタリング用センサの開発 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 東京大学生産技術研究所 | 金 秀炫 | 2022 | 22UT1184: Fabrication of micro/nano devicesマイクロ・ナノデバイスの作製 |
| 18 | KT-103 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1110: Carbon nanotube field-effect transistor with two-dimensional boron nitride as interface layers |
| 4 | KT-108 | レジスト塗布装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1442: 二段電極構造を有するイオン液体エレクトロスプレースラスタの作製 |
| 4 | KT-108 | レジスト塗布装置 | 大阪大学 大学院工学研究科 | 有馬 健太 | 2022 | 22KT1159: Si表面上での高アスペクト比構造構築のための高精細Au/Tiパターンの形成 |
| 4 | KT-108 | レジスト塗布装置 | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1092: DOE(回折光学素子)の試作検討／偏光素子開発 |
| 4 | KT-108 | レジスト塗布装置 | 株式会社MARUWA | 西薗 和則 | 2022 | 22KT1002: MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1442: 二段電極構造を有するイオン液体エレクトロスプレースラスタの作製 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | Meffan Robert Claude | 2022 | 22KT1250: Reservoir Computing with Surface Acoustic Wave Resonators |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1051: (100）単結晶シリコンを用いたリング型振動ジャイロスコープにおける形状補償 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 濱野 誉 | 2022 | 22KT1157: シリコン深掘り構造作製における欠陥形成機構の研究 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 鳥取大学 工学部 電気情報系学科 | 松永 忠雄 | 2022 | 22KT1311: 触覚ピンディスプレイ |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 三井化学株式会社 | 稲田 智志 | 2022 | 22KT1295: チップ接合向け新規接着剤の接着性評価 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1287: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 鹿田 真一 | 2022 | 22KT1282: ダイヤモンドを利用したSBDの作成と評価 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1281: ガラス上のマイクロピラーの作製 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1243: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 神戸大学 大学院工学研究科 | 磯野 吉正 | 2022 | 22KT1211: ナノ構造集積MEMSデバイスの研究 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 滋賀県大学工学部機械システム工学科 | 出島 一仁 | 2022 | 22KT1203: 熱流束を直接測定する積層センサの開発 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 大阪大学 大学院工学研究科 | 有馬 健太 | 2022 | 22KT1159: Si表面上での高アスペクト比構造構築のための高精細Au/Tiパターンの形成 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 同志社大学 生命医科学部 医情報学科 | 高柳 真司 | 2022 | 22KT1153: 薄膜弾性波を利用した高感度質量センサの創製 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 東京大学定量生命科学研究所 | 多田隈 尚史 | 2022 | 22KT1152: ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1140: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1135: ガラス上のマイクロﾋﾟﾗｰの作製 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 京都大学 大学院工学研究科 合成・生物化学専攻 | 浜地 格 | 2022 | 22KT1126: 圧力印加による超分子・高分子複合ゲルの空間パターニング |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1092: DOE(回折光学素子)の試作検討／偏光素子開発 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 神戸大学大学院工学研究科 | 磯野 吉正 | 2022 | 22KT1064: ナノ構造集積MEMSデバイスの研究 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 鳥取大学 マイクロデバイス工学研究室 | 李 相錫 | 2022 | 22KT1049: マイクロ流体デバイスをベースにした水質モニタリング用センサの開発 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 株式会社MARUWA | 西薗 和則 | 2022 | 22KT1002: MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造 |
| 23 | KT-110 | レジスト現像装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1001: ガラス上のマイクロピラーの作製 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1442: 二段電極構造を有するイオン液体エレクトロスプレースラスタの作製 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1440: 静電力結合したMEMS非線形振動子アレイによるリザバーコンピューティング |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1439: 単結晶シリコンへき開によるナノギャップ作製 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1201: 周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザーバーコンピューティング |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1199: へき開ナノギャップ物性計測MEMSデバイス |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1052: 微小振動梁の機械的物性評価 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1051: (100）単結晶シリコンを用いたリング型振動ジャイロスコープにおける形状補償 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 福井大学 医学部医学科 | 清水 啓史 | 2022 | 22KT1271: X線1分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1288: シリコンの三次元微細構造を利用したアルカリ金属ガス封入セル |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1239: DOE(回折光学素子)および微細加工素子の試作検討 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | ローム株式会社 | 照元 幸次 | 2022 | 22KT1238: MEMSセンサの開発 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 東京工業大学工学院 | 廣川 二郎 | 2022 | 22KT1106: シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | ローム株式会社 | 照元 幸次 | 2022 | 22KT1091: MEMSセンサの開発 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 日本MEMS株式会社 | 山本 隆一郎 | 2022 | 22KT1076: チップTSV |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | 大阪大学大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1025: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 16 | KT-234 | 深堀りドライエッチング装置（１） | ニチコン株式会社 | 壷井 祐樹 | 2022 | 22KT1005: ドライエッチング（RIE）によるパターン形状への影響 |
| 6 | KT-205 | プラズマCVD装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1441: 単結晶シリコンマイクロミラーの信頼性に及ぼす梁加工プロセスの影響評価 |
| 6 | KT-205 | プラズマCVD装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1439: 単結晶シリコンへき開によるナノギャップ作製 |
| 6 | KT-205 | プラズマCVD装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | Meffan Robert Claude | 2022 | 22KT1250: Reservoir Computing with Surface Acoustic Wave Resonators |
| 6 | KT-205 | プラズマCVD装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1244: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 6 | KT-205 | プラズマCVD装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1085: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 6 | KT-205 | プラズマCVD装置 | 京都大学大学院工学研究科 | 濱野 誉 | 2022 | 22KT1015: シリコン深掘り構造作製における欠陥形成機構の研究 |
| 6 | KT-212 | シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1440: 静電力結合したMEMS非線形振動子アレイによるリザバーコンピューティング |
| 6 | KT-212 | シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1439: 単結晶シリコンへき開によるナノギャップ作製 |
| 6 | KT-212 | シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1201: 周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザーバーコンピューティング |
| 6 | KT-212 | シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1199: へき開ナノギャップ物性計測MEMSデバイス |
| 6 | KT-212 | シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1052: 微小振動梁の機械的物性評価 |
| 6 | KT-212 | シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム | 名城大学 理工学部メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22KT1360: MEMSデバイス用犠牲層エッチング技術の構築 |
| 2 | KT-154 | 両面マスクアライナー露光装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | Meffan Robert Claude | 2022 | 22KT1250: Reservoir Computing with Surface Acoustic Wave Resonators |
| 2 | KT-154 | 両面マスクアライナー露光装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1051: (100）単結晶シリコンを用いたリング型振動ジャイロスコープにおける形状補償 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | Meffan Robert Claude | 2022 | 22KT1250: Reservoir Computing with Surface Acoustic Wave Resonators |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 澄川 貴志 | 2022 | 22KT1222: ナノ・ミクロンスケール金属の疲労現象の解明 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 池之上 卓己 | 2022 | 22KT1206: ミストCVD法による岩塩構造ワイドバンドギャップ半導体の物性評価 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 濱野 誉 | 2022 | 22KT1157: シリコン深掘り構造作製における欠陥形成機構の研究 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 三井化学株式会社 | 稲田 智志 | 2022 | 22KT1295: チップ接合向け新規接着剤の接着性評価 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1288: シリコンの三次元微細構造を利用したアルカリ金属ガス封入セル |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1287: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1281: ガラス上のマイクロピラーの作製 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 神戸大学 大学院工学研究科 | 磯野 吉正 | 2022 | 22KT1211: ナノ構造集積MEMSデバイスの研究 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 滋賀県大学工学部機械システム工学科 | 出島 一仁 | 2022 | 22KT1203: 熱流束を直接測定する積層センサの開発 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 寺川 剛 | 2022 | 22KT1186: DNAカーテンを用いてDNA上のタンパク質の動態を明らかにする |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 大阪大学 大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1171: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 東京工業大学 工学院 | 高村 陽太 | 2022 | 22KT1166: 配向性Pt薄膜の形成 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 同志社大学 生命医科学部 医情報学科 | 高柳 真司 | 2022 | 22KT1153: 薄膜弾性波を利用した高感度質量センサの創製 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 東京大学定量生命科学研究所 | 多田隈 尚史 | 2022 | 22KT1152: ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1135: ガラス上のマイクロﾋﾟﾗｰの作製 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1095: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | パナソニックホールディングス株式会社 | 久田 和也 | 2022 | 22KT1080: ナノ構造による光制御技術 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 神戸大学大学院工学研究科 | 磯野 吉正 | 2022 | 22KT1064: ナノ構造集積MEMSデバイスの研究 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 鳥取大学 マイクロデバイス工学研究室 | 李 相錫 | 2022 | 22KT1049: マイクロ流体デバイスをベースにした水質モニタリング用センサの開発 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 大阪大学大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1025: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 京都大学大学院工学研究科 | 濱野 誉 | 2022 | 22KT1015: シリコン深掘り構造作製における欠陥形成機構の研究 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 株式会社MARUWA | 西薗 和則 | 2022 | 22KT1002: MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造 |
| 24 | KT-111 | ウエハスピン洗浄装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1001: ガラス上のマイクロピラーの作製 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1201: 周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザーバーコンピューティング |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1199: へき開ナノギャップ物性計測MEMSデバイス |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 廣谷 潤 | 2022 | 22KT1052: 微小振動梁の機械的物性評価 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 村井 俊介 | 2022 | 22KT1256: ナノアンテナ蛍光体の高性能化 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 長崎大学大学院工学研究科電気電子工学コース | 榎波 康文 | 2022 | 22KT1240: ポリマ光変調器の低消費電力化 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 村井 俊介 | 2022 | 22KT1105: シールを利用した積層ナノアンテナの作製と発光制御 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 村井 俊介 | 2022 | 22KT1053: 熱処理による金ナノロッドの光学特性変化 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 理化学研究所 生命機能科学研究センター | 山本 晃毅 | 2022 | 22KT1313: ガラス製マイクロ・ナノ流体デバイスの作製と分析デバイスへの展開 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1288: シリコンの三次元微細構造を利用したアルカリ金属ガス封入セル |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 鹿田 真一 | 2022 | 22KT1282: ダイヤモンドを利用したSBDの作成と評価 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1281: ガラス上のマイクロピラーの作製 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 住友電気工業株式会社 | 久保 優吾 | 2022 | 22KT1268: コンポジット材料界面の分析技術開発 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 江利口 浩二 | 2022 | 22KT1263: プラズマ暴露による機能性材料の粘弾性特性および電気特性変化の研究 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1243: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 | 中西 俊博 | 2022 | 22KT1233: 自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院理学研究科 | 鈴木 惇也 | 2022 | 22KT1230: 超伝導体にNbを用いた超伝導検出器MKIDの製作 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 寺川 剛 | 2022 | 22KT1186: DNAカーテンを用いてDNA上のタンパク質の動態を明らかにする |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 同志社大学 生命医科学部 医情報学科 | 高柳 真司 | 2022 | 22KT1153: 薄膜弾性波を利用した高感度質量センサの創製 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1150: リフトオフプロセスにむけたBEAMERを用いたEB描画法の開発 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 鹿田 真一 | 2022 | 22KT1136: ダイヤモンドデバイスの作製、評価 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1135: ガラス上のマイクロﾋﾟﾗｰの作製 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1095: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1092: DOE(回折光学素子)の試作検討／偏光素子開発 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 鈴木 惇也 | 2022 | 22KT1071: カシミール効果の検証 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1008: 電子線レジスト上の導電膜形成方法の検討 |
| 26 | KT-203 | 電子線蒸着装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22KT1001: ガラス上のマイクロピラーの作製 |
| 8 | KT-302 | 分析走査電子顕微鏡 | 京都大学大学院 地球環境学堂 社会基盤親和技術論分野 | 加藤 智大 | 2022 | 22KT1221: 地盤改良した土粒子の物理化学特性評価（H22060） |
| 8 | KT-302 | 分析走査電子顕微鏡 | 京都大学 化学研究所 | 森山 貴広 | 2022 | 22KT1362: EBSDによるカイラル反強磁性薄膜の結晶粒径の同定 |
| 8 | KT-302 | 分析走査電子顕微鏡 | 京都大学 | 北隅 優希 | 2022 | 22KT1363: 直接電子移動型酵素電極反応に適した多孔質金電極の作成 |
| 8 | KT-302 | 分析走査電子顕微鏡 | 京都大学 | 小林 敬 | 2022 | 22KT1248: 亜臨界水処理による糖の異性化に及ぼす卵殻の効果 |
| 8 | KT-302 | 分析走査電子顕微鏡 | 京都大学 大学院人間・環境学研究科 | 高見 剛 | 2022 | 22KT1226: フッ素ガスを用いた気相反応による革新型酸フッ化物材料の創製と構造解析 |
| 8 | KT-302 | 分析走査電子顕微鏡 | 日本MEMS株式会社 | 山本 隆一郎 | 2022 | 22KT1076: チップTSV |
| 8 | KT-302 | 分析走査電子顕微鏡 | 京都大学化学研究所 | 久富 隆佑 | 2022 | 22KT1044: 固体中の素励起を用いた光－マイクロ波変換 |
| 8 | KT-302 | 分析走査電子顕微鏡 | 福井県立大学 海洋生物資源学部 | 山田 和正 | 2022 | 22KT1019: 珪質鞭毛藻の骨格形成に関する元素分析 |
| 2 | KT-304 | 走査型プローブ顕微鏡システム | 京都大学 | 寺内 裕貴 | 2022 | 22KT1031: 麹菌分生子表面の自己組織化構造の観察 |
| 2 | KT-304 | 走査型プローブ顕微鏡システム | 大阪大学 レーザー科学研究所 | 藤岡 慎介 | 2022 | 22KT1231: 重水素化ポリスチレン球体表面の擾乱 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 京都大学高等研究院 豊田理研-京大連携拠点(TRiKUC) | 前野 悦輝 | 2022 | 22KT1348: Quartz結晶基板の切断 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | ローム株式会社 | 樋口 徹 | 2022 | 22KT1084: MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 京都大学高等研究院 豊田理研-京大連携拠点(TRiKUC) | 前野 悦輝 | 2022 | 22KT1050: Quartz結晶基板の切断 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22KT1285: 酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 立命館大学 理工学部電気電子工学科 | 荒木 努 | 2022 | 22KT1242: ScAlMgO4基板のダイシング |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | ローム株式会社 | 樋口 徹 | 2022 | 22KT1232: MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 愛知時計電機株式会社 | 西田 将志 | 2022 | 22KT1149: ブレードダイシング |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 株式会社Eサーモジェンテック | 南部 修太郎 | 2022 | 22KT1141: 排熱利用熱電発電モジュールの研究開発 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22KT1138: 酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 大阪公立大学 大学院工学研究科 | 重川 直輝 | 2022 | 22KT1134: 半導体異種材料接合の研究 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | ローム株式会社 | 下地 規之 | 2022 | 22KT1087: 圧電デバイスの作製と評価 |
| 12 | KT-221 | 紫外線照射装置 | 京都大学化学研究所 | 久富 隆佑 | 2022 | 22KT1044: 固体中の素励起を用いた光－マイクロ波変換 |
| 7 | KT-202 | 多元スパッタ装置（仕様Ｂ） | 京都大学大学院工学研究科 | 白石 誠司 | 2022 | 22KT1293: 固体中におけるスピン流輸送現象の解明 |
| 7 | KT-202 | 多元スパッタ装置（仕様Ｂ） | コーデンシ株式会社 | 冨井 秀晃 | 2022 | 22KT1255: 表面粗面化形状の形成 |
| 7 | KT-202 | 多元スパッタ装置（仕様Ｂ） | ローム株式会社 | 佐川 啓 | 2022 | 22KT1218: 酸化ガリウム SBD の開発 |
| 7 | KT-202 | 多元スパッタ装置（仕様Ｂ） | コーデンシ株式会社 | 冨井 秀晃 | 2022 | 22KT1103: 表面粗面化形状の形成 |
| 7 | KT-202 | 多元スパッタ装置（仕様Ｂ） | 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 | 中西 俊博 | 2022 | 22KT1081: 自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス |
| 7 | KT-202 | 多元スパッタ装置（仕様Ｂ） | 三洋化成工業株式会社 | 渡邉 貴士 | 2022 | 22KT1041: 微細加工UV硬化樹脂の開発 |
| 7 | KT-202 | 多元スパッタ装置（仕様Ｂ） | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1008: 電子線レジスト上の導電膜形成方法の検討 |
| 1 | KT-311 | 分光エリプソメーター | 京都大学 | 田辺 克明 | 2022 | 22KT1289: 新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発 |
| 7 | KT-217 | 基板接合装置 | 早稲田大学 大学院情報生産システム研究科 | 池橋 民雄 | 2022 | 22KT1277: シリコンウェハとガラスウェハの陽極接合 |
| 7 | KT-217 | 基板接合装置 | 京セラ株式会社 | 井上 広章 | 2022 | 22KT1162: MEMSデバイスの作製 |
| 7 | KT-217 | 基板接合装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平山 朋子 | 2022 | 22KT1058: 流路デバイスを使った高分子添加剤含有潤滑油の流動特性の評価 |
| 7 | KT-217 | 基板接合装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平山 朋子 | 2022 | 22KT1208: ナノ流路を用いたポリマー系添加剤入り潤滑油の流動特性の把握 |
| 7 | KT-217 | 基板接合装置 | 早稲田大学 大学院情報生産システム研究科 | 池橋 民雄 | 2022 | 22KT1132: シリコンウェハとガラスウェハの陽極接合 |
| 7 | KT-217 | 基板接合装置 | NTTアドバンステクノロジ（株） | 丸山 隆志 | 2022 | 22KT1113: シリコン深堀り加工における側壁形状の検討 |
| 7 | KT-217 | 基板接合装置 | 東京工業大学工学院 | 廣川 二郎 | 2022 | 22KT1106: シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究 |
| 4 | KT-326 | 高周波伝送特性測定装置 | 京都大学 | 後藤 康仁 | 2022 | 22KT1275: フィールドエミッタアレイの膜物性評価 |
| 4 | KT-326 | 高周波伝送特性測定装置 | 京都大学 | 信末 俊平 | 2022 | 22KT1217: グラフェンナノリボンの構造的特徴を活かした有機強誘電体の開発 |
| 4 | KT-326 | 高周波伝送特性測定装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 江利口 浩二 | 2022 | 22KT1263: プラズマ暴露による機能性材料の粘弾性特性および電気特性変化の研究 |
| 4 | KT-326 | 高周波伝送特性測定装置 | 京都大学 学際融合教育研究推進センター 宇宙総合学研究ユニット | 上ノ町 水紀 | 2022 | 22KT1197: Siピクセル検出器を用いたCompton-PET hybrid cameraの開発 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 1)早稲田大学 次世代ロボット研究機構、2)京都先端科学大学 ナガモリアクチュエータ研究所 | 長濱 峻介 | 2022 | 22KT1273: 生物を模倣したソフトロボットの開発 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 掛谷一弘 カケヤイツヒロ | 2022 | 22KT1209: 高温超伝導体の微細構造を用いた新規物性研究 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 池之上 卓己 | 2022 | 22KT1206: ミストCVD法による岩塩構造ワイドバンドギャップ半導体の物性評価 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 鳥取大学 工学部 電気情報系学科 | 松永 忠雄 | 2022 | 22KT1311: 触覚ピンディスプレイ |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1294: ドライエッチングによる微細モールド作成技術の開発 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1288: シリコンの三次元微細構造を利用したアルカリ金属ガス封入セル |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1287: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 鹿田 真一 | 2022 | 22KT1282: ダイヤモンドを利用したSBDの作成と評価 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 | 中西 俊博 | 2022 | 22KT1233: 自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 滋賀県大学工学部機械システム工学科 | 出島 一仁 | 2022 | 22KT1203: 熱流束を直接測定する積層センサの開発 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1140: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 早稲田大学次世代ロボット研究機構，2)京都先端科学大学ナガモリアクチュエータ研究所 | 長濱 峻介 | 2022 | 22KT1129: 生物を模倣したソフトロボットの開発 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 東京工業大学工学院 | 廣川 二郎 | 2022 | 22KT1106: シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究 |
| 14 | KT-104 | 高速マスクレス露光装置 | 日本MEMS株式会社 | 山本 隆一郎 | 2022 | 22KT1076: チップTSV |
| 8 | KT-306 | 3D測定レーザー顕微鏡 | 1)早稲田大学 次世代ロボット研究機構、2)京都先端科学大学 ナガモリアクチュエータ研究所 | 長濱 峻介 | 2022 | 22KT1273: 生物を模倣したソフトロボットの開発 |
| 8 | KT-306 | 3D測定レーザー顕微鏡 | 理化学研究所 生命機能科学研究センター | 山本 晃毅 | 2022 | 22KT1313: ガラス製マイクロ・ナノ流体デバイスの作製と分析デバイスへの展開 |
| 8 | KT-306 | 3D測定レーザー顕微鏡 | 京都大学 大学院工学研究科 | 宇都宮 徹 | 2022 | 22KT1266: 2次元材料の反応特性解析 |
| 8 | KT-306 | 3D測定レーザー顕微鏡 | 京都大学 大学院工学研究科 | 宇都宮 徹 | 2022 | 22KT1247: 高分子材料の表面形状観察 |
| 8 | KT-306 | 3D測定レーザー顕微鏡 | 株式会社OPTMASS | 中川 徹 | 2022 | 22KT1179: ナノ粒子を用いた透明な機能性材料およびデバイスの開発 |
| 8 | KT-306 | 3D測定レーザー顕微鏡 | 早稲田大学次世代ロボット研究機構，2)京都先端科学大学ナガモリアクチュエータ研究所 | 長濱 峻介 | 2022 | 22KT1129: 生物を模倣したソフトロボットの開発 |
| 8 | KT-306 | 3D測定レーザー顕微鏡 | 京都大学大学院 工学研究科 | 宇都宮 徹 | 2022 | 22KT1122: 二次元炭素材料の電気伝導特性解析 |
| 8 | KT-306 | 3D測定レーザー顕微鏡 | 京都大学大学院工学研究科 | 宇都宮 徹 | 2022 | 22KT1061: 高分子材料の表面形状観察 |
| 8 | KT-101 | 高速高精度電子ビーム描画装置 | 福井大学 医学部医学科 | 清水 啓史 | 2022 | 22KT1271: X線1分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製 |
| 8 | KT-101 | 高速高精度電子ビーム描画装置 | 京都大学 大学院理学研究科 | 武田 和行 | 2022 | 22KT1339: メタサーフェスミラーの開発 |
| 8 | KT-101 | 高速高精度電子ビーム描画装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 寺川 剛 | 2022 | 22KT1186: DNAカーテンを用いてDNA上のタンパク質の動態を明らかにする |
| 8 | KT-101 | 高速高精度電子ビーム描画装置 | 京都大学大学院理学研究科 | 武田 和行 | 2022 | 22KT1155: メタサーフェスミラーの開発 |
| 8 | KT-101 | 高速高精度電子ビーム描画装置 | 関西学院大学大学院理工学研究科 | 鹿田 真一 | 2022 | 22KT1136: ダイヤモンドデバイスの作製、評価 |
| 8 | KT-101 | 高速高精度電子ビーム描画装置 | 京都工芸繊維大学電気電子工学系 | 井上 純一 | 2022 | 22KT1109: 導波モード共鳴を用いた新規光学デバイスに関する研究 ２ |
| 8 | KT-101 | 高速高精度電子ビーム描画装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1095: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 8 | KT-101 | 高速高精度電子ビーム描画装置 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1008: 電子線レジスト上の導電膜形成方法の検討 |
| 1 | KT-237 | 赤外線ランプ加熱装置 | 福井大学 医学部医学科 | 清水 啓史 | 2022 | 22KT1271: X線1分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製 |
| 3 | KT-223 | ウェッジワイヤボンダ | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 野田 実 | 2022 | 22KT1270: 脂質膜リポソーム上プリオン様タンパク質の動態変化 |
| 3 | KT-223 | ウェッジワイヤボンダ | 京都大学 大学院工学研究科 | 掛谷一弘 カケヤイツヒロ | 2022 | 22KT1209: 高温超伝導体の微細構造を用いた新規物性研究 |
| 3 | KT-223 | ウェッジワイヤボンダ | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 電気電子工学系 | 野田 実 | 2022 | 22KT1125: 脂質膜リポソーム上プリオン様タンパク質の動態変化 |
| 1 | KT-112 | ICP質量分析装置 | 京都大学 エネルギー理工学研究所 | 八木 重郎 | 2022 | 22KT1249: トリチウム増殖材の精密化学分析 |
| 1 | KT-231 | 水蒸気プラズマクリーナー | 長崎大学大学院工学研究科電気電子工学コース | 榎波 康文 | 2022 | 22KT1240: ポリマ光変調器の低消費電力化 |
| 3 | KT-330 | 強誘電体特性評価システム | 京都大学 | 信末 俊平 | 2022 | 22KT1217: グラフェンナノリボンの構造的特徴を活かした有機強誘電体の開発 |
| 3 | KT-330 | 強誘電体特性評価システム | 京都大学化学研究所 | 菅 大介 | 2022 | 22KT1368: 遷移金属酸化物ナノ薄膜の誘電特性評価 |
| 3 | KT-330 | 強誘電体特性評価システム | 京都大学化学研究所 | 菅 大介 | 2022 | 22KT1223: 遷移金属酸化物ナノ薄膜の誘電特性評価 |
| 5 | KT-233 | 真空蒸着装置（２） | 京都大学 大学院工学研究科 | 黒川 修 | 2022 | 22KT1213: 貴金属表面に形成される炭素ナノ構造の同定 |
| 5 | KT-233 | 真空蒸着装置（２） | 京都大学 大学院工学研究科 | 深見 一弘 | 2022 | 22KT1182: 電気化学反応を利用した表面微細構造形成 |
| 5 | KT-233 | 真空蒸着装置（２） | 住友電気工業株式会社 | 久保 優吾 | 2022 | 22KT1268: コンポジット材料界面の分析技術開発 |
| 5 | KT-233 | 真空蒸着装置（２） | 京都大学大学院工学研究科 | 山下 直輝 | 2022 | 22KT1185: 原子間力顕微鏡と金属ラインパターン作製技術の併用による潤滑添加剤吸着層の精密摩擦測定 |
| 5 | KT-233 | 真空蒸着装置（２） | 住友電気工業株式会社 | 久保 優吾 | 2022 | 22KT1123: コンポジット材料界面の分析技術開発 |
| 1 | KT-224 | ボールワイヤボンダ | 京都大学 大学院工学研究科 | 掛谷一弘 カケヤイツヒロ | 2022 | 22KT1209: 高温超伝導体の微細構造を用いた新規物性研究 |
| 2 | KT-227 | 赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 | 京セラ株式会社 | 井上 広章 | 2022 | 22KT1162: MEMSデバイスの作製 |
| 2 | KT-227 | 赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 | 名城大学 理工学部メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22KT1360: MEMSデバイス用犠牲層エッチング技術の構築 |
| 8 | KT-222 | エキスパンド装置 | ローム株式会社 | 樋口 徹 | 2022 | 22KT1084: MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 |
| 8 | KT-222 | エキスパンド装置 | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22KT1285: 酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究 |
| 8 | KT-222 | エキスパンド装置 | 立命館大学 理工学部電気電子工学科 | 荒木 努 | 2022 | 22KT1242: ScAlMgO4基板のダイシング |
| 8 | KT-222 | エキスパンド装置 | ローム株式会社 | 樋口 徹 | 2022 | 22KT1232: MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 |
| 8 | KT-222 | エキスパンド装置 | 愛知時計電機株式会社 | 西田 将志 | 2022 | 22KT1149: ブレードダイシング |
| 8 | KT-222 | エキスパンド装置 | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22KT1138: 酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究 |
| 8 | KT-222 | エキスパンド装置 | ローム株式会社 | 下地 規之 | 2022 | 22KT1087: 圧電デバイスの作製と評価 |
| 8 | KT-222 | エキスパンド装置 | 京都大学化学研究所 | 久富 隆佑 | 2022 | 22KT1044: 固体中の素励起を用いた光－マイクロ波変換 |
| 3 | KT-313 | ゼータ電位・粒径測定システム | 京都大学 農学研究科地域環境科学専攻 | 中嶋 洋 | 2022 | 22KT1059: リーフレタスの水耕栽培養液へのナノバブル処理とレタス成長促進の関係 |
| 3 | KT-313 | ゼータ電位・粒径測定システム | 京都大学 生存圏研究所 | 西村 裕志 | 2022 | 22KT1267: バイオマス由来微粒子の特性分析 |
| 3 | KT-313 | ゼータ電位・粒径測定システム | 京都大学大学院 工学研究科 | 山本 武司 | 2022 | 22KT1099: 親水性/疎水性側鎖を有するらせん高分子の水中における構造体形成と不斉反応への利用 |
| 4 | KT-102 | 露光装置（ステッパー） | 京都大学 大学院工学研究科 | 平山 朋子 | 2022 | 22KT1058: 流路デバイスを使った高分子添加剤含有潤滑油の流動特性の評価 |
| 4 | KT-102 | 露光装置（ステッパー） | 京都大学 大学院工学研究科 | 平山 朋子 | 2022 | 22KT1208: ナノ流路を用いたポリマー系添加剤入り潤滑油の流動特性の把握 |
| 4 | KT-102 | 露光装置（ステッパー） | 大阪大学 大学院工学研究科 | 有馬 健太 | 2022 | 22KT1159: Si表面上での高アスペクト比構造構築のための高精細Au/Tiパターンの形成 |
| 4 | KT-102 | 露光装置（ステッパー） | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1092: DOE(回折光学素子)の試作検討／偏光素子開発 |
| 5 | KT-332 | 触針式段差計（CR） | 京都大学 大学院エネルギー科学研究科 | 池之上 卓己 | 2022 | 22KT1057: ミストCVD法による岩塩構造ワイドバンドギャップ半導体の物性評価 |
| 5 | KT-332 | 触針式段差計（CR） | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1243: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 5 | KT-332 | 触針式段差計（CR） | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1239: DOE(回折光学素子)および微細加工素子の試作検討 |
| 5 | KT-332 | 触針式段差計（CR） | サンアプロ株式会社 | 北野 匡章 | 2022 | 22KT1145: 光ナノインプリント用カチオン重合型樹脂の開発 |
| 5 | KT-332 | 触針式段差計（CR） | 三洋化成工業株式会社 | 渡邉 貴士 | 2022 | 22KT1041: 微細加工UV硬化樹脂の開発 |
| 4 | KT-322 | 超微小材料機械変形評価装置 | 京都大学 | 平方 寛之 | 2022 | 22KT1324: 二次元ナノ材料に対する局所機械的特性評価方法の開発 |
| 4 | KT-322 | 超微小材料機械変形評価装置 | 理化学研究所 生命機能科学研究センター | 山本 晃毅 | 2022 | 22KT1313: ガラス製マイクロ・ナノ流体デバイスの作製と分析デバイスへの展開 |
| 4 | KT-322 | 超微小材料機械変形評価装置 | ローム株式会社 | 樋口 徹 | 2022 | 22KT1232: MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 |
| 4 | KT-322 | 超微小材料機械変形評価装置 | 名古屋工業大学 大学院工学研究科 | 石井 大佑 | 2022 | 22KT1187: ジュズダマの殻の弾性率勾配の分析 |
| 1 | KT-256 | ダイシング装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1288: シリコンの三次元微細構造を利用したアルカリ金属ガス封入セル |
| 4 | KT-220 | 真空マウンター | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22KT1285: 酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究 |
| 4 | KT-220 | 真空マウンター | 立命館大学 理工学部電気電子工学科 | 荒木 努 | 2022 | 22KT1242: ScAlMgO4基板のダイシング |
| 4 | KT-220 | 真空マウンター | 愛知時計電機株式会社 | 西田 将志 | 2022 | 22KT1149: ブレードダイシング |
| 4 | KT-220 | 真空マウンター | 京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22KT1138: 酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究 |
| 8 | KT-333 | 触針式段差計（加工評価室） | 京都大学 | 中村 敏浩 | 2022 | 22KT1274: 高機能酸化物薄膜の作製と評価 |
| 8 | KT-333 | 触針式段差計（加工評価室） | 京都大学エネルギー理工学研究所 | 西原 大志 | 2022 | 22KT1254: カーボンナノチューブ薄膜の基礎物性評価 |
| 8 | KT-333 | 触針式段差計（加工評価室） | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1244: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 8 | KT-333 | 触針式段差計（加工評価室） | 株式会社OPTMASS | 中川 徹 | 2022 | 22KT1179: ナノ粒子を用いた透明な機能性材料およびデバイスの開発 |
| 8 | KT-333 | 触針式段差計（加工評価室） | 京都大学国際高等教育院/大学院人間・環境学研究科 | 中村 敏浩 | 2022 | 22KT1130: 高機能酸化物薄膜の作製と評価 |
| 8 | KT-333 | 触針式段差計（加工評価室） | 京都大学大学院工学研究科高分子化学専攻 | 田中 一生 | 2022 | 22KT1107: 固体発光性ホウ素錯体含有ポリマーの薄膜構造解析 |
| 8 | KT-333 | 触針式段差計（加工評価室） | 京都大学エネルギー理工学研究所 | 西原 大志 | 2022 | 22KT1101: カーボンナノチューブ薄膜の基礎物性評価 |
| 8 | KT-333 | 触針式段差計（加工評価室） | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1085: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 3 | KT-232 | 真空蒸着装置（１） | 住友電気工業株式会社 | 久保 優吾 | 2022 | 22KT1268: コンポジット材料界面の分析技術開発 |
| 3 | KT-232 | 真空蒸着装置（１） | 住友電気工業株式会社 | 久保 優吾 | 2022 | 22KT1123: コンポジット材料界面の分析技術開発 |
| 3 | KT-232 | 真空蒸着装置（１） | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1008: 電子線レジスト上の導電膜形成方法の検討 |
| 3 | KT-329 | 半導体パラメータアナライザ | 京都大学 大学院工学研究科 | 江利口 浩二 | 2022 | 22KT1263: プラズマ暴露による機能性材料の粘弾性特性および電気特性変化の研究 |
| 3 | KT-329 | 半導体パラメータアナライザ | 京都大学 学際融合教育研究推進センター 宇宙総合学研究ユニット | 上ノ町 水紀 | 2022 | 22KT1197: Siピクセル検出器を用いたCompton-PET hybrid cameraの開発 |
| 3 | KT-329 | 半導体パラメータアナライザ | 京都大学大学院工学研究科高分子化学専攻 | 田中 一生 | 2022 | 22KT1107: 固体発光性ホウ素錯体含有ポリマーの薄膜構造解析 |
| 2 | KT-230 | UVオゾンクリーナー・キュア装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1244: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 2 | KT-230 | UVオゾンクリーナー・キュア装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22KT1085: 低損失微小共振器の作製(2) |
| 3 | KT-116 | 近接効果補正システム | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 鈴木 秀忠 | 2022 | 22KT1239: DOE(回折光学素子)および微細加工素子の試作検討 |
| 3 | KT-116 | 近接効果補正システム | 大阪大学 大学院工学研究科 | 植木 祥高 | 2022 | 22KT1171: 微細構造面における伝熱に関する研究 |
| 3 | KT-116 | 近接効果補正システム | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1150: リフトオフプロセスにむけたBEAMERを用いたEB描画法の開発 |
| 2 | KT-214 | 赤外フェムト秒レーザ加工装置 | 日本原子力研究開発機構 物質科学研究センター | 横山 啓一 | 2022 | 22KT1234: 高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用 |
| 2 | KT-214 | 赤外フェムト秒レーザ加工装置 | 日本原子力研究開発機構 物質科学研究センター | 横山 啓一 | 2022 | 22KT1086: 高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用 |
| 2 | KT-236 | 誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置 | 京都大学 大学院理学研究科 | 鈴木 惇也 | 2022 | 22KT1230: 超伝導体にNbを用いた超伝導検出器MKIDの製作 |
| 2 | KT-236 | 誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 巽 和也 | 2022 | 22KT1095: 確率連結を有するマイクロ・ナノ構造体の熱伝導・熱伝達特性評価 |
| 3 | KT-201 | 多元スパッタ装置（仕様Ａ） | 滋賀県大学工学部機械システム工学科 | 出島 一仁 | 2022 | 22KT1203: 熱流束を直接測定する積層センサの開発 |
| 3 | KT-201 | 多元スパッタ装置（仕様Ａ） | 東京工業大学 工学院 | 高村 陽太 | 2022 | 22KT1166: 配向性Pt薄膜の形成 |
| 3 | KT-201 | 多元スパッタ装置（仕様Ａ） | 京都大学大学院工学研究科 | 白石 誠司 | 2022 | 22KT1142: 固体中におけるスピン流輸送現象の解明 |
| 1 | KT-117 | 超臨界洗浄・乾燥装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 西 直哉 | 2022 | 22KT1173: 共有結合性有機構造体の結晶性の評価 |
| 1 | KT-118 | 高圧ジェットリフトオフ装置 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22KT1150: リフトオフプロセスにむけたBEAMERを用いたEB描画法の開発 |
| 1 | KT-253 | 簡易RIE装置 | 京都大学 大学院工学研究科 | 平井 義和 | 2022 | 22KT1140: マイクロ流体デバイスを応用した先端計測技術の開発 |
| 2 | KT-325 | 卓上顕微鏡(SEM) | 京都医療科学大学、医療科学部、放射線技術学科 | 佐藤 敏幸 | 2022 | 22KT1120: 無機有機ペロブスカイト膜の構造評価 |
| 2 | KT-325 | 卓上顕微鏡(SEM) | 東京工業大学工学院 | 廣川 二郎 | 2022 | 22KT1106: シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究 |
| 1 | KT-305 | 共焦点レーザー走査型顕微鏡 | サラヤ株式会社 | 稲田 太一 | 2022 | 22KT1118: コラーゲン成型足場材の細胞足場特性の評価 |
| 1 | KT-207 | 熱酸化炉 | NTTアドバンステクノロジ（株） | 丸山 隆志 | 2022 | 22KT1113: シリコン深堀り加工における側壁形状の検討 |
| 2 | KT-317 | プローバ | 京都大学大学院工学研究科高分子化学専攻 | 田中 一生 | 2022 | 22KT1107: 固体発光性ホウ素錯体含有ポリマーの薄膜構造解析 |
| 2 | KT-317 | プローバ | 鹿児島大学 学術研究院理工学域工学系 | 吉田 賢史 | 2022 | 22KT1012: 高周波ダイオードのIVおよびCV特性計測 |
| 1 | KT-316 | マイクロシステムアナライザ | ローム株式会社 | 下地 規之 | 2022 | 22KT1087: 圧電デバイスの作製と評価 |
| 1 | KT-319 | パワーデバイスアナライザ | 鹿児島大学 学術研究院理工学域工学系 | 吉田 賢史 | 2022 | 22KT1012: 高周波ダイオードのIVおよびCV特性計測 |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | Advanced Analysis and Testing Center, Xi'An University of Technology | Jiqiang Jia | 2022 | 22JI0053: Observation of atomic arrangement at the heterojunction interface of high temperature superconductor heterostructures |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | ウシオ電機株式会社 | 遠藤 真一 | 2022 | 22JI0051: 真空紫外線照射による半導体パッケージ用絶縁樹脂とダイレクトカッパースパッタ層の界面結合改善の研究と評価 |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | 国立大学法人東京大学生産技術研究所基礎系部門 | 町田 友樹 | 2022 | 22JI0037: 二次元物質ツイストvan der Waals積層構造の原子構造観察 |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | 国立大学法人金沢大学理工研究域数物科学系 | 吉田 靖雄 | 2022 | 22JI0034: 絶縁基板上の反強磁性薄膜の断面TEM観察 |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | 澁谷工業株式会社 | 松井 慧 | 2022 | 22JI0025: ポリエチレンテレフタラートの表面状態の観察 |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | 東京都立大学理学研究科 物理学専攻 | 宮田 耕充 | 2022 | 22JI0015: 原子層ファンデルワールスヘテロ構造の電子顕微鏡観察 |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | 国立大学法人東京工業大学物質理工学院 | 平山 雅章 | 2022 | 22JI0007: 全固体リチウムイオン電池のTEM観察 |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | 独立行政法人国立高等専門学校機構富山高等専門学校 物質化学工学科 | 迫野 奈緒美 | 2022 | 22JI0005: コンポジットナノ粒子の高度構造解析 |
| 9 | JI-008 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 | ウシオ電機株式会社 | 有本 太郎 | 2022 | 22JI0003: 真空紫外線処理を施した高分子樹脂と無電解めっき膜密着性向上メカニズム解明のための密着界面評価 |
| 3 | JI-005 | マトリックス支援レーザー脱離イオン化タンデム飛行時間型質量分析計 | 東洋紡株式会社 | 福田 千紗 | 2022 | 22JI0052: π共役系ポリマーのMALDI-MSによる連鎖解析 |
| 3 | JI-005 | マトリックス支援レーザー脱離イオン化タンデム飛行時間型質量分析計 | 国立大学法人信州大学大学院総合医理工学研究科 | 風間 茜 | 2022 | 22JI0035: 炭素-炭素切断反応を利用した主鎖分解性ビニルポリマーの戦略的合成 |
| 3 | JI-005 | マトリックス支援レーザー脱離イオン化タンデム飛行時間型質量分析計 | 東洋紡株式会社 | 山根 遼平 | 2022 | 22JI0031: 共役ポリマーのMALDI-MSによる連鎖解析 |
| 1 | JI-006 | ガスクロマトグラフ質量分析計 | 東洋紡株式会社 | 福田 千紗 | 2022 | 22JI0052: π共役系ポリマーのMALDI-MSによる連鎖解析 |
| 4 | JI-007 | 液体クロマトグラフ質量分析計 | 芝浦機械株式会社 | 笹井 裕也 | 2022 | 22JI0049: マレイン酸変性PPの製造 |
| 4 | JI-007 | 液体クロマトグラフ質量分析計 | 国立大学法人信州大学大学院総合医理工学研究科 | 風間 茜 | 2022 | 22JI0035: 炭素-炭素切断反応を利用した主鎖分解性ビニルポリマーの戦略的合成 |
| 4 | JI-007 | 液体クロマトグラフ質量分析計 | 田岡化学工業株式会社 | 中重 雄一 | 2022 | 22JI0018: 炭素材料素材における組成構造解析および不純物解析 |
| 4 | JI-007 | 液体クロマトグラフ質量分析計 | 石川県公立大学法人石川県立大学生産科学科植物生産系 | 今村 智弘 | 2022 | 22JI0017: ベタレイン生産植物が蓄積する色素の分析 |
| 1 | JI-016 | 電界電離ガスイオン源搭載集束イオンビーム装置 | 新東工業株式会社 | 木野 泰志 | 2022 | 22JI0047: 磁性粉末表面層の構造解析 |
| 3 | JI-001 | 核磁気共鳴スペクトル測定装置 800MHz | 公立大学法人 奈良県立医科大学医学部教養教育未来基礎医学 | 五十棲 規嘉 | 2022 | 22JI0044: 新規なZnフィンガーモチーフの構造機能解析 |
| 3 | JI-001 | 核磁気共鳴スペクトル測定装置 800MHz | 国立大学法人金沢大学 理工研究域 物質化学系 | 西村 達也 | 2022 | 22JI0030: らせん状PDPAの合成と構造解析 |
| 3 | JI-001 | 核磁気共鳴スペクトル測定装置 800MHz | 国立大学法人東京大学 大学院総合文化研究科 広域科学専攻相関基礎科学系 | 堀内 新之介 | 2022 | 22JI0014: 高分解能NMRを用いた錯体内包型超分子の構造解析 |
| 2 | JI-014 | 大気中光電子分光装置 | 国立大学法人金沢大学ナノマテリアル研究所 | 辛川 誠 | 2022 | 22JI0042: 光触媒特性に関係する表面電位測定 |
| 2 | JI-014 | 大気中光電子分光装置 | 株式会社デンソー | 清水 皇 | 2022 | 22JI0027: 電界効果型トランジスタウィルスセンサーにおける誘電膜最適化と電子状態評価 |
| 1 | JI-018 | 工作室加工成形装置群 | 学校法人国士舘大学大学院工学研究科 電気工学専攻 | 酒井 平祐 | 2022 | 22JI0039: ミストデポジション法による有機機能性薄膜の製膜を目指した成長装置開発 |
| 2 | JI-002 | 核磁気共鳴スペクトル測定装置 500MHz | 石川県公立大学法人石川県立大学環境化学科田園資源活用系 | 勝見 尚也 | 2022 | 22JI0029: 固体NMRによる鉱物の風化過程解析 |
| 2 | JI-002 | 核磁気共鳴スペクトル測定装置 500MHz | 国立大学法人東海国立大学機構 岐阜大学高等研究院 | 近江 靖則 | 2022 | 22JI0009: ゼオライト骨格構造中への金属導入における構造解析 |
| 1 | JI-017 | クリーンルーム微細加工装置群 | 株式会社デンソー | 清水 皇 | 2022 | 22JI0027: 電界効果型トランジスタウィルスセンサーにおける誘電膜最適化と電子状態評価 |
| 1 | JI-011 | 走査型オージェ電子分光顕微鏡 | 国立大学法人金沢大学理工研究域数物科学系ナノ物理学研究室 | 新井 豊子 | 2022 | 22JI0019: 走査型プローブ顕微鏡用探針の分析評価 |
| 1 | JI-003 | 核磁気共鳴スペクトル測定装置 400MHz | 竹本油脂株式会社 | 木村 裕 | 2022 | 22JI0013: NMR測定による構造解析 |
| 1 | JI-012 | 大気中原子間力顕微鏡 | 独立行政法人国立高等専門学校機構 富山高等専門学校物質化学工学科 | 迫野 奈緒美 | 2022 | 22JI0011: 気相合成法で作製した金属ナノ粒子の固体基板上への固定化およびその構造解析 |
| 2 | JI-013 | X線光電子分光装置 | 独立行政法人国立高等専門学校機構 富山高等専門学校物質化学工学科 | 迫野 奈緒美 | 2022 | 22JI0011: 気相合成法で作製した金属ナノ粒子の固体基板上への固定化およびその構造解析 |
| 2 | JI-013 | X線光電子分光装置 | 独立行政法人国立高等専門学校機構富山高等専門学校 物質化学工学科 | 迫野 奈緒美 | 2022 | 22JI0005: コンポジットナノ粒子の高度構造解析 |
| 4 | SH-011 | ナノインデンター | 自然科学研究機構分子科学研究所 | 湊 丈俊 | 2022 | 22SH0032: 無機材料の弾性率測定 |
| 4 | SH-011 | ナノインデンター | セイコーエプソン株式会社 | 木村 清夏 | 2022 | 22SH0026: 有機フィルムの接着剤による物性変化 |
| 4 | SH-011 | ナノインデンター | 関西ペイント株式会社 | 永井 彰典 | 2022 | 22SH0023: ナノインデンターによる工程塗板の物性評価 |
| 4 | SH-011 | ナノインデンター | NHKエデュケーショナル | 芥川 美緒 | 2022 | 22SH0019: 甲虫の外骨格の硬度 |
| 4 | SH-010 | リモート対応型電子線マイクロアナライザー | アスザック株式会社 | 深石 翔太 | 2022 | 22SH0030: 原料の異なるSiCバルク体の不純物の比較 |
| 4 | SH-010 | リモート対応型電子線マイクロアナライザー | ウシオ電機株式会社 | 有本 太郎 | 2022 | 22SH0028: 真空紫外線処理を施した高分子樹脂表面の無電解めっき用触媒密着メカニズムの解析 |
| 4 | SH-010 | リモート対応型電子線マイクロアナライザー | 京都大学大学院 | 高島 秀聡 | 2022 | 22SH0027: マイクロ波プラズマCVD法によるナノダイヤモンドの作製 |
| 4 | SH-010 | リモート対応型電子線マイクロアナライザー | 信州大学理学部 | 江島 輝美 | 2022 | 22SH0015: マントル由来のかんらん岩中の構成鉱物に関する研究 |
| 6 | SH-004 | 光電子分光装置 | 関西ペイント株式会社 | 永井 彰典 | 2022 | 22SH0029: 塗料用原材料並びに塗膜の表面解析 |
| 6 | SH-004 | 光電子分光装置 | KOA株式会社 コア技術研究グループ | 伊藤 千佳 | 2022 | 22SH0024: セラミックス抵抗の電気的特性に関する研究 |
| 6 | SH-004 | 光電子分光装置 | 株式会社 ディスコ | 横尾 晋 | 2022 | 22SH0021: 研削・研磨後の被加工物の表面状態解析 |
| 6 | SH-004 | 光電子分光装置 | 長野工業高等専門学校 | 百瀬 成空 | 2022 | 22SH0006: 硫化物薄膜太陽電池材料の研究 |
| 6 | SH-004 | 光電子分光装置 | KOA株式会社 コア技術研究グループ | 津野 将弥 | 2022 | 22SH0003: 電子部品用機能性膜の開発 |
| 6 | SH-004 | 光電子分光装置 | Indean Institute of Technology Indore(IITI) | Shaibal Mukherjee | 2022 | 22SH0002: Development of compound semiconductors based electronic devices such as FET, gas sensor, solar cell, and memristor |
| 4 | SH-006 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 | 関西ペイント株式会社 | 永井 彰典 | 2022 | 22SH0029: 塗料用原材料並びに塗膜の表面解析 |
| 4 | SH-006 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 | 熊本大学 くまもと水循環・減災研究教育センター | 田中 源吾 | 2022 | 22SH0013: TOF-SIMSを用いた５億年前の節足動物の科学的研究 |
| 4 | SH-006 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 | 長野計器株式会社 | 佐々木 画有呂 | 2022 | 22SH0004: 計測機器の性能向上 |
| 4 | SH-006 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 | Indean Institute of Technology Indore(IITI) | Shaibal Mukherjee | 2022 | 22SH0002: Development of compound semiconductors based electronic devices such as FET, gas sensor, solar cell, and memristor |
| 4 | SH-009 | レーザラマン分光装置 | ウシオ電機株式会社 | 有本 太郎 | 2022 | 22SH0028: 真空紫外線処理を施した高分子樹脂表面の無電解めっき用触媒密着メカニズムの解析 |
| 4 | SH-009 | レーザラマン分光装置 | 京都大学大学院 | 高島 秀聡 | 2022 | 22SH0027: マイクロ波プラズマCVD法によるナノダイヤモンドの作製 |
| 4 | SH-009 | レーザラマン分光装置 | 電気通信大学 | 木村 誠二 | 2022 | 22SH0020: 星間減光217.5nm吸収を示す炭素質物質の構造評価 |
| 4 | SH-009 | レーザラマン分光装置 | Chonnam National University | Kim Yoong Arm | 2022 | 22SH0001: Fabrication of Nanocarbon/anticancer for drug delivery system |
| 2 | SH-002 | 走査型透過電子顕微鏡 | 信州大学理学部 | 江島 輝美 | 2022 | 22SH0015: マントル由来のかんらん岩中の構成鉱物に関する研究 |
| 2 | SH-002 | 走査型透過電子顕微鏡 | Indean Institute of Technology Indore(IITI) | Shaibal Mukherjee | 2022 | 22SH0002: Development of compound semiconductors based electronic devices such as FET, gas sensor, solar cell, and memristor |
| 2 | SH-001 | ダブル球面収差補正付透過型電子顕微鏡 | 長野工業高等専門学校 | 押 田京一 | 2022 | 22SH0009: 新奇構造のカーボンの生成とその応用 |
| 2 | SH-001 | ダブル球面収差補正付透過型電子顕微鏡 | Indean Institute of Technology Indore(IITI) | Shaibal Mukherjee | 2022 | 22SH0002: Development of compound semiconductors based electronic devices such as FET, gas sensor, solar cell, and memristor |
| 1 | SH-101 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | 長野工業高等専門学校 | 百瀬 成空 | 2022 | 22SH0006: 硫化物薄膜太陽電池材料の研究 |
| 1 | SH-007 | 複合ビーム加工観察装置 | 長野計器株式会社 | 佐々木 画有呂 | 2022 | 22SH0004: 計測機器の性能向上 |
| 2 | SH-003 | 原子分解能分析電子顕微鏡 | KOA株式会社 コア技術研究グループ | 津野 将弥 | 2022 | 22SH0003: 電子部品用機能性膜の開発 |
| 2 | SH-003 | 原子分解能分析電子顕微鏡 | Indean Institute of Technology Indore(IITI) | Shaibal Mukherjee | 2022 | 22SH0002: Development of compound semiconductors based electronic devices such as FET, gas sensor, solar cell, and memristor |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井坂 太聞 | 2022 | 22TT0045: 撥水機能のためのマイクロテクスチャ付き圧延ロールの製作 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 恩田 拓 | 2022 | 22TT0043: 微細パターン転写による機能性表面の形成 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0042: 微細加工技術による立体機械部品への機能性表面の創成 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 東京大学 カブリ数理連携宇宙研究機構 | 長谷部 孝 | 2022 | 22TT0030: シリコンレンズ広帯域反射防止加工による高感度電波観測望遠鏡の実現 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井藤 優斗 | 2022 | 22TT0026: 太陽電池におけるRPD誘起欠陥に関する研究 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | AGC株式会社先端基礎研究所 | 佐野 耕平 | 2022 | 22TT0025: 微細凹凸を有する基板へのレジストパターニング |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 杉山 裕子 | 2022 | 22TT0022: 単結晶シリコンの疲労過程における結晶すべり進展の動的その場観察 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所光基礎研究部門 | 山口 堅三 | 2022 | 22TT0018: 水平櫛電極型アクチュエータの試作 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 表面機能デザイン研究所合同会社 | 相澤 龍彦 | 2022 | 22TT0011: プラズマプリンティングの微細化 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 東京大学大学院工学系研究科 | 井川 光弘 | 2022 | 22TT0008: 自由曲面フォトマスク及び電子回路形成の高度化 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 藤 貴夫 | 2022 | 22TT0006: 超短光パルスを光源とした赤外線ハイパースペクトルイメージング装置の開発 |
| 12 | TT-005 | マスクレス露光装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科マイクロメカトロニクス研究室 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0002: 微細貫通穴構造を持つ細胞トラップ用MEMSノズルの製作 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井坂 太聞 | 2022 | 22TT0045: 撥水機能のためのマイクロテクスチャ付き圧延ロールの製作 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 恩田 拓 | 2022 | 22TT0043: 微細パターン転写による機能性表面の形成 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0042: 微細加工技術による立体機械部品への機能性表面の創成 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 株式会社ハイブリッジ | 和島 達希 | 2022 | 22TT0040: 三次元微細加工に関する機器類開発（2インチ基板対応） |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 株式会社アイセロ | 斉藤 誠法 | 2022 | 22TT0039: フォトレジスト改質のための添加剤評価 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 愛三工業株式会社 | 内木 英喜 | 2022 | 22TT0038: 半導体プロセス実習・講習会の受講 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 東京応化工業株式会社 | 志村 英一 | 2022 | 22TT0037: フォトレジスト材の検討 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 理化学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0034: 宇宙探査機用Volume binary(VB) grating の製作法の開発 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科 | 太田 淳 | 2022 | 22TT0033: インプラント型デバイスのための最小スペース微細配線技術 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | Villamin Maria Emma | 2022 | 22TT0031: GaNを用いたパワーデバイス作製それに用いるプロセス技術の開発 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 理科学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0023: 天文学観測用Trapezoid grating の製作法の開発 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所光基礎研究部門 | 山口 堅三 | 2022 | 22TT0018: 水平櫛電極型アクチュエータの試作 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 表面機能デザイン研究所合同会社 | 相澤 龍彦 | 2022 | 22TT0011: プラズマプリンティングの微細化 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 東京大学大学院工学系研究科 | 井川 光弘 | 2022 | 22TT0008: 自由曲面フォトマスク及び電子回路形成の高度化 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 名城大学 理工学部 メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TT0005: マイクロフィジカルセンサの構造形成 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 株式会社アイセロ | 斉藤 誠法 | 2022 | 22TT0004: 水溶性ポリマーを用いた微細加工応用の高度化 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 株式会社ハイブリッジ | 和島 達希 | 2022 | 22TT0001: 三次元微細加工に関する機器類開発とその応用 |
| 18 | TT-006 | マスクアライナ装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科マイクロメカトロニクス研究室 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0002: 微細貫通穴構造を持つ細胞トラップ用MEMSノズルの製作 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井坂 太聞 | 2022 | 22TT0045: 撥水機能のためのマイクロテクスチャ付き圧延ロールの製作 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0042: 微細加工技術による立体機械部品への機能性表面の創成 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 株式会社ハイブリッジ | 和島 達希 | 2022 | 22TT0040: 三次元微細加工に関する機器類開発（2インチ基板対応） |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 株式会社アイセロ | 斉藤 誠法 | 2022 | 22TT0039: フォトレジスト改質のための添加剤評価 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 愛三工業株式会社 | 内木 英喜 | 2022 | 22TT0038: 半導体プロセス実習・講習会の受講 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 東京応化工業株式会社 | 志村 英一 | 2022 | 22TT0037: フォトレジスト材の検討 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 新潟大学大学院自然科学研究科 | 安部 隆 | 2022 | 22TT0036: センサ電極形成のための金属成膜 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 新潟大学大学院自然科学研究科 | 安部 隆 | 2022 | 22TT0035: 弾性波デバイス用支持基板のための金属成膜 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 理化学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0034: 宇宙探査機用Volume binary(VB) grating の製作法の開発 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科 | 太田 淳 | 2022 | 22TT0033: インプラント型デバイスのための最小スペース微細配線技術 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 理科学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0023: 天文学観測用Trapezoid grating の製作法の開発 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス系 | 水谷 五郎 | 2022 | 22TT0019: 中赤外超短光パルス分光装置の開発 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所光基礎研究部門 | 山口 堅三 | 2022 | 22TT0018: 水平櫛電極型アクチュエータの試作 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 表面機能デザイン研究所合同会社 | 相澤 龍彦 | 2022 | 22TT0011: プラズマプリンティングの微細化 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 東京大学大学院工学系研究科 | 井川 光弘 | 2022 | 22TT0008: 自由曲面フォトマスク及び電子回路形成の高度化 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 藤 貴夫 | 2022 | 22TT0006: 超短光パルスを光源とした赤外線ハイパースペクトルイメージング装置の開発 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 名城大学 理工学部 メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TT0005: マイクロフィジカルセンサの構造形成 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 株式会社アイセロ | 斉藤 誠法 | 2022 | 22TT0004: 水溶性ポリマーを用いた微細加工応用の高度化 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 株式会社ハイブリッジ | 和島 達希 | 2022 | 22TT0001: 三次元微細加工に関する機器類開発とその応用 |
| 20 | TT-008 | 洗浄ドラフト一式 | 豊田工業大学大学院工学研究科マイクロメカトロニクス研究室 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0002: 微細貫通穴構造を持つ細胞トラップ用MEMSノズルの製作 |
| 5 | TT-007 | レジスト処理（アッシング）装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井坂 太聞 | 2022 | 22TT0045: 撥水機能のためのマイクロテクスチャ付き圧延ロールの製作 |
| 5 | TT-007 | レジスト処理（アッシング）装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 恩田 拓 | 2022 | 22TT0043: 微細パターン転写による機能性表面の形成 |
| 5 | TT-007 | レジスト処理（アッシング）装置 | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所光基礎研究部門 | 山口 堅三 | 2022 | 22TT0018: 水平櫛電極型アクチュエータの試作 |
| 5 | TT-007 | レジスト処理（アッシング）装置 | 表面機能デザイン研究所合同会社 | 相澤 龍彦 | 2022 | 22TT0011: プラズマプリンティングの微細化 |
| 5 | TT-007 | レジスト処理（アッシング）装置 | 株式会社アイセロ | 斉藤 誠法 | 2022 | 22TT0004: 水溶性ポリマーを用いた微細加工応用の高度化 |
| 4 | TT-018 | 非接触３次元表面形状・粗さ測定機 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井坂 太聞 | 2022 | 22TT0045: 撥水機能のためのマイクロテクスチャ付き圧延ロールの製作 |
| 4 | TT-018 | 非接触３次元表面形状・粗さ測定機 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 恩田 拓 | 2022 | 22TT0043: 微細パターン転写による機能性表面の形成 |
| 4 | TT-018 | 非接触３次元表面形状・粗さ測定機 | 理科学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0023: 天文学観測用Trapezoid grating の製作法の開発 |
| 4 | TT-018 | 非接触３次元表面形状・粗さ測定機 | 東京大学大学院工学系研究科 | 井川 光弘 | 2022 | 22TT0008: 自由曲面フォトマスク及び電子回路形成の高度化 |
| 6 | TT-009 | シリコン専用の各種熱処理（酸化、拡散）装置一式 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 原 知彦 | 2022 | 22TT0044: 評価解析用ダイオードの試作 |
| 6 | TT-009 | シリコン専用の各種熱処理（酸化、拡散）装置一式 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 柴田 貴斗 | 2022 | 22TT0041: フラーレンナノウィスカーの配向制御 |
| 6 | TT-009 | シリコン専用の各種熱処理（酸化、拡散）装置一式 | 理化学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0034: 宇宙探査機用Volume binary(VB) grating の製作法の開発 |
| 6 | TT-009 | シリコン専用の各種熱処理（酸化、拡散）装置一式 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井藤 優斗 | 2022 | 22TT0026: 太陽電池におけるRPD誘起欠陥に関する研究 |
| 6 | TT-009 | シリコン専用の各種熱処理（酸化、拡散）装置一式 | 豊田工業大学工学部先端工学基礎学科 | 大塚 丞 | 2022 | 22TT0024: ナノカーボン材料の成長メカニズムに関する研究 |
| 6 | TT-009 | シリコン専用の各種熱処理（酸化、拡散）装置一式 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 藤 貴夫 | 2022 | 22TT0006: 超短光パルスを光源とした赤外線ハイパースペクトルイメージング装置の開発 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 恩田 拓 | 2022 | 22TT0043: 微細パターン転写による機能性表面の形成 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0042: 微細加工技術による立体機械部品への機能性表面の創成 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 株式会社ハイブリッジ | 和島 達希 | 2022 | 22TT0040: 三次元微細加工に関する機器類開発（2インチ基板対応） |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 愛三工業株式会社 | 内木 英喜 | 2022 | 22TT0038: 半導体プロセス実習・講習会の受講 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 東京応化工業株式会社 | 志村 英一 | 2022 | 22TT0037: フォトレジスト材の検討 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 新潟大学大学院自然科学研究科 | 安部 隆 | 2022 | 22TT0036: センサ電極形成のための金属成膜 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 新潟大学大学院自然科学研究科 | 安部 隆 | 2022 | 22TT0035: 弾性波デバイス用支持基板のための金属成膜 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科 | 太田 淳 | 2022 | 22TT0033: インプラント型デバイスのための最小スペース微細配線技術 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 金子商店 | 金子 忠弘 | 2022 | 22TT0032: スチール缶再加工の高品質化のための天板切断面観察 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | Villamin Maria Emma | 2022 | 22TT0031: GaNを用いたパワーデバイス作製それに用いるプロセス技術の開発 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 理科学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0023: 天文学観測用Trapezoid grating の製作法の開発 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス系 | 水谷 五郎 | 2022 | 22TT0019: 中赤外超短光パルス分光装置の開発 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 東京大学大学院工学系研究科 | 井川 光弘 | 2022 | 22TT0008: 自由曲面フォトマスク及び電子回路形成の高度化 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 名城大学 理工学部 メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TT0005: マイクロフィジカルセンサの構造形成 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 株式会社アイセロ | 斉藤 誠法 | 2022 | 22TT0004: 水溶性ポリマーを用いた微細加工応用の高度化 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 株式会社ハイブリッジ | 和島 達希 | 2022 | 22TT0001: 三次元微細加工に関する機器類開発とその応用 |
| 17 | TT-015 | デジタルマイクロスコープ群 | 豊田工業大学大学院工学研究科マイクロメカトロニクス研究室 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0002: 微細貫通穴構造を持つ細胞トラップ用MEMSノズルの製作 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0042: 微細加工技術による立体機械部品への機能性表面の創成 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 愛三工業株式会社 | 内木 英喜 | 2022 | 22TT0038: 半導体プロセス実習・講習会の受講 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 理化学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0034: 宇宙探査機用Volume binary(VB) grating の製作法の開発 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井藤 優斗 | 2022 | 22TT0026: 太陽電池におけるRPD誘起欠陥に関する研究 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 理科学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0023: 天文学観測用Trapezoid grating の製作法の開発 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 杉山 裕子 | 2022 | 22TT0022: 単結晶シリコンの疲労過程における結晶すべり進展の動的その場観察 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所光基礎研究部門 | 山口 堅三 | 2022 | 22TT0018: 水平櫛電極型アクチュエータの試作 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 藤 貴夫 | 2022 | 22TT0006: 超短光パルスを光源とした赤外線ハイパースペクトルイメージング装置の開発 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 株式会社アイセロ | 斉藤 誠法 | 2022 | 22TT0004: 水溶性ポリマーを用いた微細加工応用の高度化 |
| 10 | TT-011 | Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） | 豊田工業大学大学院工学研究科マイクロメカトロニクス研究室 | 韓 剛 | 2022 | 22TT0002: 微細貫通穴構造を持つ細胞トラップ用MEMSノズルの製作 |
| 5 | TT-013 | ダイシング装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 柴田 貴斗 | 2022 | 22TT0041: フラーレンナノウィスカーの配向制御 |
| 5 | TT-013 | ダイシング装置 | 豊田工業大学工学部先端工学基礎学科 | 大塚 丞 | 2022 | 22TT0024: ナノカーボン材料の成長メカニズムに関する研究 |
| 5 | TT-013 | ダイシング装置 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 杉山 裕子 | 2022 | 22TT0022: 単結晶シリコンの疲労過程における結晶すべり進展の動的その場観察 |
| 5 | TT-013 | ダイシング装置 | 北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス系 | 水谷 五郎 | 2022 | 22TT0019: 中赤外超短光パルス分光装置の開発 |
| 5 | TT-013 | ダイシング装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 藤 貴夫 | 2022 | 22TT0006: 超短光パルスを光源とした赤外線ハイパースペクトルイメージング装置の開発 |
| 3 | TT-017 | 表面形状測定器（段差計） | 東京応化工業株式会社 | 志村 英一 | 2022 | 22TT0037: フォトレジスト材の検討 |
| 3 | TT-017 | 表面形状測定器（段差計） | 豊田工業大学大学院工学研究科 | Villamin Maria Emma | 2022 | 22TT0031: GaNを用いたパワーデバイス作製それに用いるプロセス技術の開発 |
| 3 | TT-017 | 表面形状測定器（段差計） | サンテック株式会社 | 鍋野 清輝 | 2022 | 22TT0009: 膜厚の精度確認 |
| 4 | TT-001 | スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置 | 東京応化工業株式会社 | 志村 英一 | 2022 | 22TT0037: フォトレジスト材の検討 |
| 4 | TT-001 | スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | 井藤 優斗 | 2022 | 22TT0026: 太陽電池におけるRPD誘起欠陥に関する研究 |
| 4 | TT-001 | スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置 | 豊田工業大学工学部先端工学基礎学科 | 大塚 丞 | 2022 | 22TT0024: ナノカーボン材料の成長メカニズムに関する研究 |
| 4 | TT-001 | スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置 | 名城大学 理工学部 メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TT0005: マイクロフィジカルセンサの構造形成 |
| 3 | TT-014 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属） | 理化学研究所光量子工学研究センター光端光学素子開発チーム | 海老塚 昇 | 2022 | 22TT0034: 宇宙探査機用Volume binary(VB) grating の製作法の開発 |
| 3 | TT-014 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属） | 金子商店 | 金子 忠弘 | 2022 | 22TT0032: スチール缶再加工の高品質化のための天板切断面観察 |
| 3 | TT-014 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属） | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 田中 雅章 | 2022 | 22TT0003: 強磁性体-非磁性体界面制御による磁壁構造の制御 |
| 1 | TT-003 | 原子層堆積装置 | 豊田工業大学大学院工学研究科 | Villamin Maria Emma | 2022 | 22TT0031: GaNを用いたパワーデバイス作製それに用いるプロセス技術の開発 |
| 1 | TT-016 | エリプソメーター | 豊田工業大学大学院工学研究科 | Villamin Maria Emma | 2022 | 22TT0031: GaNを用いたパワーデバイス作製それに用いるプロセス技術の開発 |
| 2 | TT-002 | 多機能薄膜作製装置 | 埼玉大学大学院理工学研究科 | 酒井 政道 | 2022 | 22TT0029: 希土類遷移金属フェリ磁性体・電子正孔補償金属接合におけるスピン電荷結合 |
| 2 | TT-002 | 多機能薄膜作製装置 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 田中 雅章 | 2022 | 22TT0003: 強磁性体-非磁性体界面制御による磁壁構造の制御 |
| 1 | TT-019 | ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム | 京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科 | 岡田 有史 | 2022 | 22TT0020: 走査プローブ顕微鏡を用いた結晶表面の研究 |
| 1 | TT-004 | 電子ビーム描画装置 | 北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス系 | 水谷 五郎 | 2022 | 22TT0019: 中赤外超短光パルス分光装置の開発 |
| 2 | TT-021 | 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能） | 九州大学大学院システム情報科学研究院 | 黒川 雄一郎 | 2022 | 22TT0013: Gd-Fe磁性細線における磁壁ビットシフト動作の観察 |
| 2 | TT-021 | 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能） | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 田中 雅章 | 2022 | 22TT0003: 強磁性体-非磁性体界面制御による磁壁構造の制御 |
| 2 | TT-022 | 磁気光学効果測定装置 | 長岡技術科学大学大学院工学研究科 | 石橋 隆幸 | 2022 | 22TT0010: 磁気光学効果を利用した新規デバイス開発 |
| 2 | TT-022 | 磁気光学効果測定装置 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 田中 雅章 | 2022 | 22TT0003: 強磁性体-非磁性体界面制御による磁壁構造の制御 |
| 1 | TT-010 | Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） | 名城大学 理工学部 メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TT0005: マイクロフィジカルセンサの構造形成 |
| 1 | NI-006 | UV/VIS/NIR分光光度計 | 室蘭工業大学 | 葛谷 俊博 | 2022 | 22NI0601: Zn添加CuInS2ナノ粒子の合成と光学特性評価 |
| 2 | NI-012 | 顕微蛍光X線分析装置 | 名古屋工業大学 | 井手 直樹 | 2022 | 22NI1202: 新規熱電変換材料開発のためのFe基ホイスラー化合物の組成分析 |
| 2 | NI-012 | 顕微蛍光X線分析装置 | 名古屋工業大学 | 西野 洋一 | 2022 | 22NI1201: 新規熱電変換材料開発のためのCo基ホイスラー化合物の組成分析 |
| 2 | NI-004 | メスバウアー分光装置群 | 島根大学 | 牧之瀬 佑旗 | 2022 | 22NI0402: 酸化鉄ナノ粒子の 57Fe メスバウアー分光測定 |
| 2 | NI-004 | メスバウアー分光装置群 | 東京工業大学 | 東 正樹 | 2022 | 22NI0401: PbFeO3 の高圧下での 57Fe メスバウアー分光測定 |
| 2 | NI-104 | 中規模カーボンナノファイバー室温合成装置 | 中部大学 | 河原 敏男 | 2022 | 22NI5503: 表面ナノ構造による殺ウイルス機能化 |
| 2 | NI-104 | 中規模カーボンナノファイバー室温合成装置 | 名古屋工業大学 | 園山 範之 | 2022 | 22NI5301: Mn系次世代電池電極材料の開発 |
| 2 | NI-106 | グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置 | 東北大学 | 岡田 健 | 2022 | 22NI5501: 液体に接するグラフェンの熱・電気伝導 |
| 2 | NI-106 | グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置 | 名古屋工業大学 | 本田 光裕 | 2022 | 22NI0202: 酸化チタンーグラフェン複合体光触媒の耐久性に関する研究 |
| 2 | NI-017 | 精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 | 名古屋工業大学 | 宮川 鈴衣奈 | 2022 | 22NI1702: 半導体薄膜の表面構造評価 |
| 2 | NI-017 | 精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 | 名古屋工業大学 | 森下 雅也 | 2022 | 22NI1701: 垂直磁気異方性をもつコバルトフェライト薄膜の導電性の制御 |
| 3 | NI-015 | 振動試料型磁束計 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 強 博文 | 2022 | 22NI1601: 窒化物薄膜の磁気特性と輸送特性に関する研究 |
| 3 | NI-015 | 振動試料型磁束計 | 島根大学 | 牧之瀬 佑旗 | 2022 | 22NI1502: 非極性溶媒で分散性を示すCoドープTiO2ナノ粒子の水熱合成 |
| 3 | NI-015 | 振動試料型磁束計 | 九州大学大学院 | 山下 尚人 | 2022 | 22NI1501: 様々な組成のFeGd薄膜における磁化の温度依存性 |
| 3 | NI-013 | 高精度ガス/蒸気吸着量測定装置 | 名古屋工業大学 | 本田 光裕 | 2022 | 22NI1303: 酸化チタンーゼオライト複合材料のガス吸着特性 |
| 3 | NI-013 | 高精度ガス/蒸気吸着量測定装置 | 東北大学 | 菊池 洋平 | 2022 | 22NI1302: メソポーラスシリカコアシェルナノ粒子の表面積測定および細孔の確認 |
| 3 | NI-013 | 高精度ガス/蒸気吸着量測定装置 | 名古屋工業大学 | 本田 光裕 | 2022 | 22NI1301: 酸化スズ薄膜のガス吸着特性 |
| 4 | NI-002 | 特型走査電子顕微鏡装置 | 名古屋工業大学 | 本田 光裕 | 2022 | 22NI1301: 酸化スズ薄膜のガス吸着特性 |
| 4 | NI-002 | 特型走査電子顕微鏡装置 | 名古屋工業大学 | 市川 洋 | 2022 | 22NI0204: 酸化物薄膜の構造制御に関する研究 －酸化タングステンスパッタ膜の斜め成長－ |
| 4 | NI-002 | 特型走査電子顕微鏡装置 | 名古屋工業大学 | 小野 晋吾 | 2022 | 22NI0203: フッ化ネオジム薄膜の真空紫外光伝導性への薄膜/基板界面の影響 |
| 4 | NI-002 | 特型走査電子顕微鏡装置 | 名古屋工業大学 | 本田 光裕 | 2022 | 22NI0202: 酸化チタンーグラフェン複合体光触媒の耐久性に関する研究 |
| 1 | NI-011 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 | 東京医科歯科大学生体材料工学研究所 | 田村 篤志 | 2022 | 22NI1101: 高分子表面のTOF-SIMS測定 |
| 1 | NI-010 | 表面増強赤外分光装置 | 株式会社デンソー | Iijima Go | 2022 | 22NI1001: 電極表面でのCO2およびイオン液体の挙動観察 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 薮谷 翔輝 | 2022 | 22NI0815: 窒素捕捉活性化を目指したN4型Mo錯体の構築 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 久保 匡輝 | 2022 | 22NI0814: 非ヘム型チオラート系単核鉄錯体の構造解析 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | Fukuoka Taichi | 2022 | 22NI0812: 溶液プロセスに利用可能な含ホウ素有機半導体材料の合成と物性 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 小山田 悠介 | 2022 | 22NI0811: イミノニトリルに対するチオール付加反応の開発 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 松岡 宏星 | 2022 | 22NI0810: キラルな結晶構造をもつ非磁性LuNi3Ga9におけるキャリア注入 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 服部 峻典 | 2022 | 22NI0809: 新物質RMn2Al10におけるマンガンの磁性 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 林 裕人 | 2022 | 22NI0808: R2Al3ハニカム層をもつR2Pd6Al15とR4Pd9Al24の新物質探査 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 児玉 洋輝 | 2022 | 22NI0807: 新物質R Ni6Si6の物性（R＝希土類） |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 鈴木 大斗 | 2022 | 22NI0806: カイラル磁性体YbNi3Al9の不斉合成 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 財津 将己 | 2022 | 22NI0805: 錯体の観察 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 渡邊 賢 | 2022 | 22NI0804: アルコキシフェニル基を有するビス(ジオキサボリン)誘導体の集合構造に基づく固体物性 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学 | 小嶋 洋平 | 2022 | 22NI0803: ホウ素キレート化および光照射によるキナクリドンキノンからジヒドロキシキナクリドンへの還元反応に関する研究 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 小林 寛法 | 2022 | 22NI0802: 太陽電池システム材料の構造解析 |
| 14 | NI-008 | 単結晶X線構造解析装置群 | 愛知工業大学 | 梶田 裕二 | 2022 | 22NI0801: 窒素分子の活性化を目指したクロム錯体の合成 |
| 1 | NI-009 | 電子スピン共鳴装置 | 愛知工業大学 | 梶田 裕二 | 2022 | 22NI0801: 窒素分子の活性化を目指したクロム錯体の合成 |
| 7 | NI-001 | 原子分解能分析電子顕微鏡群 | 豊田中央研究所 | Higashi Shougo | 2022 | 22NI0109: Surface structural analysis of high-performance water electrolysis catalysts |
| 7 | NI-001 | 原子分解能分析電子顕微鏡群 | 名古屋工業大学 | 成田 麻未 | 2022 | 22NI0107: 原子分解能分析電子顕微鏡によるアルミニウム合金のナノ組織観察 |
| 7 | NI-001 | 原子分解能分析電子顕微鏡群 | 名古屋工業大学 | 加藤 慎也 | 2022 | 22NI0106: シリコン量子ドットに関する研究 |
| 7 | NI-001 | 原子分解能分析電子顕微鏡群 | 豊田自動織機 | 吉田 周平 | 2022 | 22NI0105: ArイオンミリングによるCo水酸化物の化学状態変化 |
| 7 | NI-001 | 原子分解能分析電子顕微鏡群 | 新潟大学 | 齊藤 健二 | 2022 | 22NI0104: 酸化物ナノ構造の分析 |
| 7 | NI-001 | 原子分解能分析電子顕微鏡群 | 産業技術総合研究所 | 高橋 知里 | 2022 | 22NI0103: 合成した種々のナノ粒子の動的な微細構造観察および分析 |
| 7 | NI-001 | 原子分解能分析電子顕微鏡群 | 名古屋工業大学 | 辛 韵子 | 2022 | 22NI0102: 機能性金属ナノ粒子のTEM観察 |
| 2 | NU-006 | キラリティー分光装置群 | 岐阜薬科大学 創薬化学大講座 薬化学教室 | 永澤 秀子 | 2022 | 22NU0422: Deals-Alder反応酵素のデカリン環形成反応の立体選択性の解明に関する研究 |
| 2 | NU-006 | キラリティー分光装置群 | 名古屋市立大学 | 雨夜 徹 | 2022 | 22NU0406: スピロビフルオレンの連結に基づく新奇３次元π共役系分子の創成 |
| 5 | NU-201 | イオン注入装置 | 福井大学 遠赤外領域開発研究センター | 藤井 裕 | 2022 | 22NU0274: 抵抗検出型磁気共鳴測定のためのリンドープシリコン試料の作成 |
| 5 | NU-201 | イオン注入装置 | 京都大学大学院工学研究科 | 安藤 裕一郎 | 2022 | 22NU0272: 強誘電体/半導体界面におけるスピン物性評価 |
| 5 | NU-201 | イオン注入装置 | 京都大学大学院工学研究科 | 深見 一弘 | 2022 | 22NU0269: 陽極酸化ポーラスダイヤモンドの表面処理 |
| 5 | NU-201 | イオン注入装置 | 筑波大学 数理物質系 物理工学域 | 末益 崇 | 2022 | 22NU0262: イオン注入法によるシリサイド半導体への不純物のドーピング |
| 5 | NU-201 | イオン注入装置 | 株式会社豊田中央研究所 | 副島 成雅 | 2022 | 22NU0241: フォトニックデバイスに関する研究 |
| 2 | NU-202 | 急速加熱理装置 | 福井大学 遠赤外領域開発研究センター | 藤井 裕 | 2022 | 22NU0274: 抵抗検出型磁気共鳴測定のためのリンドープシリコン試料の作成 |
| 2 | NU-202 | 急速加熱理装置 | 株式会社豊田中央研究所 | 副島 成雅 | 2022 | 22NU0241: フォトニックデバイスに関する研究 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 立命館大学理工学部電気電子工学科 | 荒木 努 | 2022 | 22NU0084: 窒化物半導体ヘテロエピタキシャル界面構造の解析 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 宮本 聡 | 2022 | 22NU0083: 高純度同位体シリコンエピ基板の構造評価 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 梅原 徳次 | 2022 | 22NU0081: DLC膜上における油中添加剤由来トライボ被膜成長 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 薩摩 篤 | 2022 | 22NU0077: 透過型電子顕微鏡を用いた固体触媒のナノ構造解析 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 齋藤 晃 | 2022 | 22NU0061: 電子ビーム制御技術の高度化およびその応用 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 武藤 俊介 | 2022 | 22NU0058: 先端電子顕微鏡群によるナノ材料の物性解析及び可視化 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | PARK Jaehyeok | 2022 | 22NU0054: 高性能・高耐久・低コストMEAに向けた先端要素技術の研究開発 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 松尾 豊 | 2022 | 22NU0053: 高性能・高耐久・低コストMEAに向けた先端要素技術の研究開発 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 山本 剛久 | 2022 | 22NU0050: ジルコニアセラミックのフラッシュ修復 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 徳永 智春 | 2022 | 22NU0049: アモルファス薄膜の電子線照射による結晶化メカニズムの解明 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 原田 俊太 | 2022 | 22NU0045: 電子線エネルギー損失分光法へのベイズ超解像応用の検討 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 安田 啓司 | 2022 | 22NU0044: 超音波とウルトラファインバブルを用いたパラジウム/金の複合ナノ粒子の観察 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 京都大学 | 伊神 洋平 | 2022 | 22NU0041: STEM-EELSによる鉱物の水素イオン照射損傷過程の解明 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | キオクシア株式会社 | 徳田 祥典 | 2022 | 22NU0040: CVDにより結晶成長させたPt多結晶薄膜の微細構造解析 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 東京大学 | 吉田 英弘 | 2022 | 22NU0039: フラッシュ処理を行ったイットリア酸化物の微細組織観察 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 物質・材料研究機構 | 小林 清 | 2022 | 22NU0038: 還元処理を行ったチタン酸ストロンチウム単結晶の原子構造解析 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 物質・材料研究機構 | 森田 孝治 | 2022 | 22NU0037: クリープ変形を行った酸化チタン多結晶体の微細組織観察 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 北海道大学 工学研究科 | 米澤 徹 | 2022 | 22NU0035: 金属ナノ粒子の微細構造 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 浜松ホトニクス株式会社 | 鵜嶋 秋臣 | 2022 | 22NU0028: 光電効果用半導体の構造評価 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 名古屋工業大学 | 小野 晋吾 | 2022 | 22NU0025: レーザー加工による機能性表面に関する物性研究 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 東邦大学 | 桒原 彰太 | 2022 | 22NU0024: ナノ構造カーボン材料、金属ナノ粒子と触媒材料の形状解析 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 株式会社UACJ | 愛須 優輝 | 2022 | 22NU0019: Al-6.0%Zn-0.75%Mg合金における微細組織の観察 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 山口大学 | 喜多 條 鮎子 | 2022 | 22NU0015: 電子顕微鏡を利用したxLiF-LiCrO2 電極イメージング |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 早稲田大学大学院情報生産システム研究科 | 植田 研二 | 2022 | 22NU0014: 垂直配向グラフェン／ダイヤモンド接合デバイスの界面構造解析 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | トヨタ自動車株式会社 | 田中 展望 | 2022 | 22NU0013: 反応ガス中触媒活性サイトのオペランドTEM解析 |
| 26 | NU-102 | 高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム | 日本大学工学部電気電子工学科 | 高橋 竜太 | 2022 | 22NU0009: ナノ酸化物デバイスの断面観察 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 立命館大学理工学部電気電子工学科 | 荒木 努 | 2022 | 22NU0084: 窒化物半導体ヘテロエピタキシャル界面構造の解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 梅原 徳次 | 2022 | 22NU0081: DLC膜上における油中添加剤由来トライボ被膜成長 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 小椋 優 | 2022 | 22NU0075: ZnS結晶における室温塑性変形機構 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | ナプラ | 関根 重信 | 2022 | 22NU0074: 鉛フリーハンダ材料の構造解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 関西大学システム理工学部機械工学科 | 高橋 可昌 | 2022 | 22NU0070: 環境TEM下で行う水素吸蔵実験用サンプルの調整 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 株式会社愛工舎 | 早川 史洋 | 2022 | 22NU0068: プローブ部品の表面の微細構造 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 小森 祥央 | 2022 | 22NU0063: Fe/FeRhヘテロ構造における界面組成および界面平坦性の評価 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 株式会社デンソー | 日高 重和 | 2022 | 22NU0062: 金属とセラミックのナノコンポジット材料の観察と3D画像再構成 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 齋藤 晃 | 2022 | 22NU0061: 電子ビーム制御技術の高度化およびその応用 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 唯 美津木 | 2022 | 22NU0060: 1次元細孔をもつ針状MOF単結晶の観察 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 武藤 俊介 | 2022 | 22NU0058: 先端電子顕微鏡群によるナノ材料の物性解析及び可視化 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 山本 剛久 | 2022 | 22NU0050: ジルコニアセラミックのフラッシュ修復 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 巨 陽 | 2022 | 22NU0046: 高秩序ナノ構造体およびナノ粒子群の創製と評価 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 大阪公立大学 | 瀧川 順庸 | 2022 | 22NU0042: アルミニウム合金の微細組織観察 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 京都大学 | 伊神 洋平 | 2022 | 22NU0041: STEM-EELSによる鉱物の水素イオン照射損傷過程の解明 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | キオクシア株式会社 | 徳田 祥典 | 2022 | 22NU0040: CVDにより結晶成長させたPt多結晶薄膜の微細構造解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 東京大学 | 吉田 英弘 | 2022 | 22NU0039: フラッシュ処理を行ったイットリア酸化物の微細組織観察 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 物質・材料研究機構 | 小林 清 | 2022 | 22NU0038: 還元処理を行ったチタン酸ストロンチウム単結晶の原子構造解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 物質・材料研究機構 | 森田 孝治 | 2022 | 22NU0037: クリープ変形を行った酸化チタン多結晶体の微細組織観察 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 北海道大学 工学研究科 | 米澤 徹 | 2022 | 22NU0035: 金属ナノ粒子の微細構造 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 石黒 澄衞 | 2022 | 22NU0031: 花粉壁エキシンの立体構造の観察 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO） | 梅田 良人 | 2022 | 22NU0030: 積層金属の組織・構造解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 浜松ホトニクス株式会社 | 鵜嶋 秋臣 | 2022 | 22NU0028: 光電効果用半導体の構造評価 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 木下 専 | 2022 | 22NU0027: マウス脂肪肝組織の微細形態解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋大学 | 飯田 敦夫 | 2022 | 22NU0026: 時間分解透過電子顕微鏡を用いた胎生真骨魚類の卵巣構造の観察 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 名古屋工業大学 | 小野 晋吾 | 2022 | 22NU0025: レーザー加工による機能性表面に関する物性研究 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 東京都市大学 | 李 濬煥 | 2022 | 22NU0018: 階層性ナノ多孔層（HNL)硝子におけるHNL構造の構造解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 福井県立大学 | 山田 和正 | 2022 | 22NU0017: 単細胞藻類のシリカ構造形成過程の微細構造解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 京都大学 | 澄川 貴志 | 2022 | 22NU0016: ナノスケール金属材料対するその場観察引張圧縮負荷実験 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 東京工業大学 | 喜多 祐介 | 2022 | 22NU0010: 金属酸化物担持鉄粒子とその表面に堆積したカーボンの形状解析 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | 日本大学工学部電気電子工学科 | 高橋 竜太 | 2022 | 22NU0009: ナノ酸化物デバイスの断面観察 |
| 32 | NU-106 | 試料作製装置群 | ホーユー株式会社 | 今井 健仁 | 2022 | 22NU0004: ヒト毛髪の微細構造および元素分布の観察 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 足立 吉隆 | 2022 | 22NU0082: ミディアムエントロピー合金の相分離過程中のナノ組織解析 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 斎藤 永宏 | 2022 | 22NU0080: CNT担持コアシェル構造を有するPt基材ナノ粒子とその電気化学的活性 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 則永 行庸 | 2022 | 22NU0078: 電気化学的CO2還元を高効率化する電極触媒 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | ナプラ | 関根 重信 | 2022 | 22NU0074: 鉛フリーハンダ材料の構造解析 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 株式会社愛工舎 | 早川 史洋 | 2022 | 22NU0068: プローブ部品の表面の微細構造 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 小森 祥央 | 2022 | 22NU0063: Fe/FeRhヘテロ構造における界面組成および界面平坦性の評価 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 齋藤 晃 | 2022 | 22NU0061: 電子ビーム制御技術の高度化およびその応用 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 小川 智史 | 2022 | 22NU0057: シード粒子成長法によって調整されたAuナノ粒子のTEM観察 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 長田 実 | 2022 | 22NU0056: 新規ナノシートの合成とその応用展開 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 高田 尚記 | 2022 | 22NU0052: 金属3Dプリンタ造形体の材料組織観察と構造解析 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 高野 敦志 | 2022 | 22NU0048: SISPテトラブロック共重合体のミクロ相分離構造の精密分析 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 長尾 全寛 | 2022 | 22NU0047: ローレンツ電子顕微鏡によるトポロジカル磁気構造の相互作用の解析 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 巨 陽 | 2022 | 22NU0046: 高秩序ナノ構造体およびナノ粒子群の創製と評価 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 大阪公立大学 | 瀧川 順庸 | 2022 | 22NU0042: アルミニウム合金の微細組織観察 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 大同大学 | 高田 健 | 2022 | 22NU0033: Al-Mg-Si合金中析出物形態の時効時間変化 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 名古屋工業大学 | 小野 晋吾 | 2022 | 22NU0025: レーザー加工による機能性表面に関する物性研究 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 東京工業大学 | 服部 真史 | 2022 | 22NU0011: 水素化バリウム電子供与体により促進された鉄触媒によるアンモニア合成 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 東京工業大学 | 喜多 祐介 | 2022 | 22NU0010: 金属酸化物担持鉄粒子とその表面に堆積したカーボンの形状解析 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 島根大学 | 荒河 一渡 | 2022 | 22NU0005: TEM observation of electro-polished iron specimen |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | ホーユー株式会社 | 今井 健仁 | 2022 | 22NU0004: ヒト毛髪の微細構造および元素分布の観察 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 株式会社ソシオネクスト | 沖 朋幸 | 2022 | 22NU0003: TEMを用いた半導体デバイスの故障個所の抽出・微細観察・分析手法 |
| 22 | NU-103 | 高分解能透過電子顕微鏡システム | 大豊工業株式会社 | 児玉 勇人 | 2022 | 22NU0002: 銅合金および鋼球上に生成するトライボフィルムの観察 |
| 5 | NU-104 | 直交型高速加工観察分析装置 | 名古屋大学 | 梅原 徳次 | 2022 | 22NU0081: DLC膜上における油中添加剤由来トライボ被膜成長 |
| 5 | NU-104 | 直交型高速加工観察分析装置 | 名古屋大学 | 田中 宏彦 | 2022 | 22NU0055: ヘリウムおよび希ガス・窒素混合プラズマにより誘起されるナノ構造試料の結晶方位依存性調査 |
| 5 | NU-104 | 直交型高速加工観察分析装置 | 名古屋大学 | 山本 剛久 | 2022 | 22NU0050: ジルコニアセラミックのフラッシュ修復 |
| 5 | NU-104 | 直交型高速加工観察分析装置 | 名古屋大学 | 徳永 智春 | 2022 | 22NU0049: アモルファス薄膜の電子線照射による結晶化メカニズムの解明 |
| 5 | NU-104 | 直交型高速加工観察分析装置 | 名古屋大学 | 石黒 澄衞 | 2022 | 22NU0031: 花粉壁エキシンの立体構造の観察 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 岡 智絵美 | 2022 | 22NU0079: 磁性ナノ粒子複合材料のナノ構造評価 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 永島 壮 | 2022 | 22NU0076: 金属蒸着エラストマー材料の表面パターンFIB-SEM断面観察 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | ナプラ | 関根 重信 | 2022 | 22NU0074: 鉛フリーハンダ材料の構造解析 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 株式会社愛工舎 | 早川 史洋 | 2022 | 22NU0068: プローブ部品の表面の微細構造 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 大町 遼 | 2022 | 22NU0065: マキシンの表面構造解析 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 小森 祥央 | 2022 | 22NU0063: Fe/FeRhヘテロ構造における界面組成および界面平坦性の評価 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 齋藤 晃 | 2022 | 22NU0061: 電子ビーム制御技術の高度化およびその応用 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 唯 美津木 | 2022 | 22NU0060: 1次元細孔をもつ針状MOF単結晶の観察 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 福澤 健二 | 2022 | 22NU0059: ナノスケール隙間内のDNA分子の挙動解析 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 武藤 俊介 | 2022 | 22NU0058: 先端電子顕微鏡群によるナノ材料の物性解析及び可視化 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 高田 尚記 | 2022 | 22NU0051: 集束イオンビームを利用した金属材料の単結晶マイクロピラーの作製とその力学特性 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 高野 敦志 | 2022 | 22NU0048: SISPテトラブロック共重合体のミクロ相分離構造の精密分析 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 巨 陽 | 2022 | 22NU0046: 高秩序ナノ構造体およびナノ粒子群の創製と評価 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 名古屋大学 | 木下 専 | 2022 | 22NU0027: マウス脂肪肝組織の微細形態解析 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 東京都市大学 | 李 濬煥 | 2022 | 22NU0018: 階層性ナノ多孔層（HNL)硝子におけるHNL構造の構造解析 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 福井県立大学 | 山田 和正 | 2022 | 22NU0017: 単細胞藻類のシリカ構造形成過程の微細構造解析 |
| 17 | NU-105 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム | 大豊工業株式会社 | 児玉 勇人 | 2022 | 22NU0002: 銅合金および鋼球上に生成するトライボフィルムの観察 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 小椋 優 | 2022 | 22NU0075: ZnS結晶における室温塑性変形機構 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 東京工業大学物質理工学院 | 宮澤 知孝 | 2022 | 22NU0073: [-1 1 1] 銅単結晶の繰り返し変形によって形成された転位組織の超高圧電子顕微鏡による観察 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 旭化成株式会社 | 梅本 大樹 | 2022 | 22NU0072: ポリマー材料の無染色解析技術構築 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | ウプサラ大学 | Leifer Klaus | 2022 | 22NU0071: Cu2ZnSnSe4薄膜合成におけるナノ構造及び核生成現象その場観察 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 関西大学システム理工学部機械工学科 | 高橋 可昌 | 2022 | 22NU0070: 環境TEM下で行う水素吸蔵実験用サンプルの調整 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 日本製鉄株式会社 | 木村 幸彦 | 2022 | 22NU0069: 純鉄ベース材料の停留き裂先端のナノ構造の観察 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 株式会社デンソー | 森口 七瀬 | 2022 | 22NU0064: 金属微粒子成形体の3次元TEM観察 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 小森 祥央 | 2022 | 22NU0063: Fe/FeRhヘテロ構造における界面組成および界面平坦性の評価 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 株式会社デンソー | 日高 重和 | 2022 | 22NU0062: 金属とセラミックのナノコンポジット材料の観察と3D画像再構成 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 名古屋大学 | 武藤 俊介 | 2022 | 22NU0058: 先端電子顕微鏡群によるナノ材料の物性解析及び可視化 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 産業技術総合研究所 | 高木 英行 | 2022 | 22NU0036: メタン分解による水素生成触媒の動的観察 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 琉球大学 | 中川 鉄水 | 2022 | 22NU0032: AB2型水素吸蔵合金の水素化・CO2転化反応のin-situ TEM観察予備実験 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 大阪大学 | 中村 篤智 | 2022 | 22NU0029: 無機結晶における転位構造観察 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | トヨタ自動車株式会社 | 田中 展望 | 2022 | 22NU0022: カーボンニュートラル向け触媒のオペランドTEM解析 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 京都大学 | 澄川 貴志 | 2022 | 22NU0020: 引張圧縮試験後のマイクロニッケル単結晶の透過観察 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 京都大学 | 澄川 貴志 | 2022 | 22NU0016: ナノスケール金属材料対するその場観察引張圧縮負荷実験 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | トヨタ自動車株式会社 | 田中 展望 | 2022 | 22NU0013: 反応ガス中触媒活性サイトのオペランドTEM解析 |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 島根大学 | 荒河 一渡 | 2022 | 22NU0007: Observation of defect behavior in metals using HVEM |
| 19 | NU-101 | 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム | 大同大学工学部機械工学科 | 高田 健 | 2022 | 22NU0006: A1100アルミニウムにおける引張変形時の転位挙動観察 |
| 1 | NU-013 | 動的光散乱（DLS） | 名古屋大学大学院工学研究科 | 岡安 凌平 | 2022 | 22NU0421: 表面にπ電子供与部位を修飾したナノポーラス金属錯体の合成と性質 |
| 2 | NU-025 | X線CT・蛍光ダブルモーダルin vivoイメージングシステム | 三重大学大学院医学系研究科 | 江口 暁子 | 2022 | 22NU0417: 肝臓由来物質が関与する慢性肝疾患の病態進展メカニズムの解明 |
| 2 | NU-025 | X線CT・蛍光ダブルモーダルin vivoイメージングシステム | 京都大学大学院工学研究科 | 三木 康嗣 | 2022 | 22NU0414: デュアル応答性分子プローブを用いるがん幹細胞の可視化 |
| 2 | NU-003 | 蛍光X線分析装置 | 中京大学工学部 | 林 寛大 | 2022 | 22NU0413: 籾殻の各状態の組成の違い |
| 2 | NU-003 | 蛍光X線分析装置 | 中京大学工学部 | 橋本 快晴 | 2022 | 22NU0411: アパタイト被覆酸化チタンの作製条件と性能向上の関係 |
| 1 | NU-020 | 粒径測定装置 ゼータ電位・粒径測定システム(ゼータ電位、粒径・粒度分布） | NSファーファ・ジャパン 株式会社 | 元井 敏寛 | 2022 | 22NU0412: 柔軟剤における乳化粒子の安定性の向上 |
| 5 | NU-004 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 中京大学工学部 | 橋本 快晴 | 2022 | 22NU0411: アパタイト被覆酸化チタンの作製条件と性能向上の関係 |
| 5 | NU-004 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 名城大学理工学部 | 西山 桂 | 2022 | 22NU0410: 発光希土類ナノ粒子の新規開発 |
| 5 | NU-004 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 名古屋大学大学院環境学研究科 | 丸山 一平 | 2022 | 22NU0409: Comparison of microstructure of ordinary Portland cement paste and low heat Portland cement paste |
| 5 | NU-004 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 名古屋大学大学院理学研究科 | 中埜 彰俊 | 2022 | 22NU0405: 機能性半金属単結晶の組成・構造決定 |
| 5 | NU-004 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 愛知工科大学 | 近藤 敏彰 | 2022 | 22NU0401: ポーラス酸化ガリウムの幾何学形状評価 |
| 1 | NU-002 | X線粉末回折装置 | 名古屋大学大学院医学研究科 | 田崎 啓 | 2022 | 22NU0408: 陰イオン交換体の構造解析 |
| 1 | NU-001 | 全自動元素分析装置 | 名古屋大学未来材料システム研究所 | 山本 瑛祐 | 2022 | 22NU0407: 酸化物ナノシートの合成と評価 |
| 1 | NU-018 | MALDI TOF型質量分析装置 | 名古屋市立大学 | 雨夜 徹 | 2022 | 22NU0406: スピロビフルオレンの連結に基づく新奇３次元π共役系分子の創成 |
| 1 | NU-019 | 微小単結晶X線構造解析装置 | 名古屋大学大学院理学研究科 | 中埜 彰俊 | 2022 | 22NU0405: 機能性半金属単結晶の組成・構造決定 |
| 8 | NU-203 | 薄膜X線回折装置 | 京都大学大学院工学研究科 | 安藤 裕一郎 | 2022 | 22NU0272: 強誘電体/半導体界面におけるスピン物性評価 |
| 8 | NU-203 | 薄膜X線回折装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 大島 大輝 | 2022 | 22NU0271: データFSのためデータ収集実験 |
| 8 | NU-203 | 薄膜X線回折装置 | 愛知工科大学工学部機械システム工学科 | 近藤 敏彰 | 2022 | 22NU0265: ガリウムの結晶性制御 |
| 8 | NU-203 | 薄膜X線回折装置 | 名古屋大学大学院理学研究科 | 北口 雅暁 | 2022 | 22NU0260: TUCAN実験におけるUCNスピンフィルターの開発 |
| 8 | NU-203 | 薄膜X線回折装置 | 株式会社デンソー | 藤中 智徳 | 2022 | 22NU0255: 窒化物薄膜のXRD分析 |
| 8 | NU-203 | 薄膜X線回折装置 | 岐阜大学工学部 化学・生命工学科 | 山田 啓介 | 2022 | 22NU0236: LNO基板上に成膜したCo薄膜の結晶配向性と磁気異方性の相関解明 |
| 8 | NU-203 | 薄膜X線回折装置 | 核融合科学研究所 ヘリカル研究部 | FENG SHUANGYUAN | 2022 | 22NU0213: プラズマ照射試料の表面観察 |
| 8 | NU-203 | 薄膜X線回折装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 松尾 豊 | 2022 | 22NU0210: 逆型ペロブスカイト太陽電池の研究 |
| 8 | NU-204 | 原子間力顕微鏡 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 大島 大輝 | 2022 | 22NU0271: データFSのためデータ収集実験 |
| 8 | NU-204 | 原子間力顕微鏡 | 岐阜大学工学部 化学・生命工学科 | 山田 啓介 | 2022 | 22NU0236: LNO基板上に成膜したCo薄膜の結晶配向性と磁気異方性の相関解明 |
| 8 | NU-204 | 原子間力顕微鏡 | 三重大学大学院工学研究科 | 元垣内 敦司 | 2022 | 22NU0230: ナノオーダーの周期構造を用いた光学素子作製に関する研究 |
| 8 | NU-204 | 原子間力顕微鏡 | 自然科学研究機構 核融合科学研究所 | Shi Quan | 2022 | 22NU0228: 新規プラズマ照射技術を適用した半導体微細加工プロセスの開発 |
| 8 | NU-204 | 原子間力顕微鏡 | 東北大学大学院理学研究科 | 松原 正和 | 2022 | 22NU0226: 非空間反転対称磁性体の作製と新規スピン光機能の探索 |
| 8 | NU-204 | 原子間力顕微鏡 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 松尾 豊 | 2022 | 22NU0210: 逆型ペロブスカイト太陽電池の研究 |
| 8 | NU-204 | 原子間力顕微鏡 | 名古屋大学 大学院工学研究科 機械システム工学専攻 | 永島 壮 | 2022 | 22NU0208: エラストマー基板の表面改質 |
| 8 | NU-204 | 原子間力顕微鏡 | 株式会社 山一ハガネ | 田島 秀春 | 2022 | 22NU0206: 湿式処理により蓮の葉構造をナノレベルで再現する安価な撥水処理技術の研究開発 |
| 8 | NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 大島 大輝 | 2022 | 22NU0271: データFSのためデータ収集実験 |
| 8 | NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 | 三重大学大学院工学研究科 | 松井 龍之介 | 2022 | 22NU0267: ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発 |
| 8 | NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 | 岐阜大学工学部 化学・生命工学科 | 山田 啓介 | 2022 | 22NU0236: LNO基板上に成膜したCo薄膜の結晶配向性と磁気異方性の相関解明 |
| 8 | NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 中村 真季 | 2022 | 22NU0215: Electrochemical CO2 Reduction |
| 8 | NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 | イオンテクノセンター | 須山 篤志 | 2022 | 22NU0214: Mgをイオン注入したp-GaNの活性化に関する研究 |
| 8 | NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 | 核融合科学研究所 ヘリカル研究部 | FENG SHUANGYUAN | 2022 | 22NU0213: プラズマ照射試料の表面観察 |
| 8 | NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 | 名古屋大学 大学院工学研究科 機械システム工学専攻 | 永島 壮 | 2022 | 22NU0208: エラストマー基板の表面改質 |
| 8 | NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 | 大豊工業株式会社 | 林田 喜久治 | 2022 | 22NU0205: スパッタリングによる金属板上への個体触媒形成の研究 |
| 5 | NU-235 | 超高密度大気圧プラズマ装置 | 旭化成株式会社 | 東 瞭太 | 2022 | 22NU0270: 樹脂試料のXPSによる表面化学状態の評価 |
| 5 | NU-235 | 超高密度大気圧プラズマ装置 | 名城大学 理工学部 電気電子工学科 | 伊藤 昌文 | 2022 | 22NU0245: 大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究 |
| 5 | NU-235 | 超高密度大気圧プラズマ装置 | 名城大学理工学部電気電子工学科 | 竹田 圭吾 | 2022 | 22NU0244: プラズマ中の原子状ラジカル解析 |
| 5 | NU-235 | 超高密度大気圧プラズマ装置 | 名古屋大学医学部付属病院 | 水野 正明 | 2022 | 22NU0231: プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析 |
| 5 | NU-235 | 超高密度大気圧プラズマ装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 柏谷 聡 | 2022 | 22NU0229: トンネル接合の作製およびカーボンナノ物質成長制御 |
| 4 | NU-240 | in-situプラズマ照射表面分析装置 | 旭化成株式会社 | 東 瞭太 | 2022 | 22NU0270: 樹脂試料のXPSによる表面化学状態の評価 |
| 4 | NU-240 | in-situプラズマ照射表面分析装置 | 名城大学理工学部電気電子工学科 | 竹田 圭吾 | 2022 | 22NU0244: プラズマ中の原子状ラジカル解析 |
| 4 | NU-240 | in-situプラズマ照射表面分析装置 | 愛知工業大学電気学科電子情報工学専攻 | 竹内 和歌奈 | 2022 | 22NU0234: 半導体電極開発 |
| 4 | NU-240 | in-situプラズマ照射表面分析装置 | 株式会社SCREENホールディングス | 谷出 敦 | 2022 | 22NU0232: 先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発 |
| 1 | NU-219 | 酸化・拡散炉 | 愛知工業大学工学部機械学科 | 田中 浩 | 2022 | 22NU0268: シリコン異方性ウエットエッチングの全方位加工特性に関する研究 |
| 6 | NU-208 | 両面露光用マスクアライナ | 名古屋大学大学院工学研究科 | 上野 藍 | 2022 | 22NU0264: ウェアラブル機器搭載を見据えた超薄型熱輸送デバイスの開発研究 |
| 6 | NU-208 | 両面露光用マスクアライナ | 名古屋大学大学院工学研究科 | 上野 藍 | 2022 | 22NU0263: Unidirectional thermal conductivity enhancement in yttrium Iron garnet due to the effect of spin waves |
| 6 | NU-208 | 両面露光用マスクアライナ | 名古屋大学大学院工学研究科 | 清水 一憲 | 2022 | 22NU0250: 細胞培養マイクロデバイスの開発 |
| 6 | NU-208 | 両面露光用マスクアライナ | 東京大学工学系研究科 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22NU0222: 水晶振動子を用いた計測装置に関する研究開発 |
| 6 | NU-208 | 両面露光用マスクアライナ | 東京大学工学系研究科 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22NU0221: ムーンショット型研究開発事業（目標３）「サイエンス探求マイクロロボットツール」 |
| 6 | NU-208 | 両面露光用マスクアライナ | 株式会社豊田中央研究所 | 舟山 啓太 | 2022 | 22NU0217: マイクロデバイスの作製 |
| 2 | NU-248 | パリレンコーティング装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 上野 藍 | 2022 | 22NU0264: ウェアラブル機器搭載を見据えた超薄型熱輸送デバイスの開発研究 |
| 2 | NU-248 | パリレンコーティング装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 清水 一憲 | 2022 | 22NU0250: 細胞培養マイクロデバイスの開発 |
| 4 | NU-222 | レーザー描画装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 上野 藍 | 2022 | 22NU0263: Unidirectional thermal conductivity enhancement in yttrium Iron garnet due to the effect of spin waves |
| 4 | NU-222 | レーザー描画装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 清水 一憲 | 2022 | 22NU0250: 細胞培養マイクロデバイスの開発 |
| 4 | NU-222 | レーザー描画装置 | ローム株式会社 | 合田 賢司 | 2022 | 22NU0249: 超耐熱性非晶質合金の探索 |
| 4 | NU-222 | レーザー描画装置 | 名古屋大学 学際統合物質科学研究機構 | 大町 遼 | 2022 | 22NU0242: 化学修飾ナノカーボンデバイスの研究 |
| 4 | NU-245 | スパッタリング装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 上野 藍 | 2022 | 22NU0263: Unidirectional thermal conductivity enhancement in yttrium Iron garnet due to the effect of spin waves |
| 4 | NU-245 | スパッタリング装置 | ローム株式会社 | 合田 賢司 | 2022 | 22NU0249: 超耐熱性非晶質合金の探索 |
| 4 | NU-245 | スパッタリング装置 | 東京大学工学系研究科 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22NU0222: 水晶振動子を用いた計測装置に関する研究開発 |
| 4 | NU-245 | スパッタリング装置 | 東京大学工学系研究科 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22NU0221: ムーンショット型研究開発事業（目標３）「サイエンス探求マイクロロボットツール」 |
| 3 | NU-220 | 小型微細形状測定機 | 名古屋大学大学院理学研究科 | 北口 雅暁 | 2022 | 22NU0260: TUCAN実験におけるUCNスピンフィルターの開発 |
| 3 | NU-220 | 小型微細形状測定機 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 清水 一憲 | 2022 | 22NU0250: 細胞培養マイクロデバイスの開発 |
| 3 | NU-220 | 小型微細形状測定機 | 名古屋大学 大学院工学研究科 機械システム工学専攻 | 永島 壮 | 2022 | 22NU0208: エラストマー基板の表面改質 |
| 4 | NU-209 | ICPエッチング装置 | コーデンシ株式会社 | 山本 博 | 2022 | 22NU0258: シリコン深堀エッチング加工形状の最適化 |
| 4 | NU-209 | ICPエッチング装置 | 東京大学工学系研究科 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22NU0222: 水晶振動子を用いた計測装置に関する研究開発 |
| 4 | NU-209 | ICPエッチング装置 | 東京大学工学系研究科 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22NU0221: ムーンショット型研究開発事業（目標３）「サイエンス探求マイクロロボットツール」 |
| 4 | NU-209 | ICPエッチング装置 | 株式会社豊田中央研究所 | 舟山 啓太 | 2022 | 22NU0217: マイクロデバイスの作製 |
| 1 | NU-214 | 8元MBE装置 | 東京大学 物性研究所 | 松田 巌 | 2022 | 22NU0256: スピントロニクスヘテロ構造の軟X線非線形光学効果の研究 |
| 2 | NU-259 | 磁気特性評価システム群 | 東京大学 物性研究所 | 松田 巌 | 2022 | 22NU0256: スピントロニクスヘテロ構造の軟X線非線形光学効果の研究 |
| 2 | NU-259 | 磁気特性評価システム群 | 日本大学理工学部物理学科 | 高瀬 浩一 | 2022 | 22NU0227: 極薄酸化膜上への高密度ナノドットの一括形成と化学構造評価 |
| 7 | NU-223 | フォトリソグラフィ装置群 | 名古屋大学 シンクロトロン光研究センター | 田渕 雅夫 | 2022 | 22NU0254: 磁性薄膜の高効率スピン制御についての研究 |
| 7 | NU-223 | フォトリソグラフィ装置群 | 株式会社デンソー | 木口 拓也 | 2022 | 22NU0253: マイクロギャップ電極の作製 |
| 7 | NU-223 | フォトリソグラフィ装置群 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 清水 一憲 | 2022 | 22NU0250: 細胞培養マイクロデバイスの開発 |
| 7 | NU-223 | フォトリソグラフィ装置群 | 信州大学 理学部 理学科 | 高野 恵介 | 2022 | 22NU0246: 高効率テラヘルツ波周波数変換のための導波路作製 |
| 7 | NU-223 | フォトリソグラフィ装置群 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 柏谷 聡 | 2022 | 22NU0229: トンネル接合の作製およびカーボンナノ物質成長制御 |
| 7 | NU-223 | フォトリソグラフィ装置群 | 早稲田大学大学院情報生産システム研究科 | 植田 研二 | 2022 | 22NU0225: グラフェン／ダイヤモンド接合を用いた新規デバイス作製 |
| 7 | NU-223 | フォトリソグラフィ装置群 | 朝日インテック株式会社 | 田川 智裕 | 2022 | 22NU0209: レジスト材料の成膜、露光プロセスの品質確認 |
| 4 | NU-226 | RIEエッチング装置 | 名古屋大学 シンクロトロン光研究センター | 田渕 雅夫 | 2022 | 22NU0254: 磁性薄膜の高効率スピン制御についての研究 |
| 4 | NU-226 | RIEエッチング装置 | 早稲田大学大学院情報生産システム研究科 | 植田 研二 | 2022 | 22NU0225: グラフェン／ダイヤモンド接合を用いた新規デバイス作製 |
| 4 | NU-226 | RIEエッチング装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 宮本 聡 | 2022 | 22NU0218: 高純度同位体シリコンエピ基板上の量子デバイス作製 |
| 4 | NU-226 | RIEエッチング装置 | ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社 | 澤野 亮介 | 2022 | 22NU0207: 光学素子の作成 |
| 6 | NU-206 | 電子線露光装置 | 株式会社デンソー | 木口 拓也 | 2022 | 22NU0253: マイクロギャップ電極の作製 |
| 6 | NU-206 | 電子線露光装置 | 株式会社日本触媒 | 河野 晃丈 | 2022 | 22NU0243: 新規EBレジスト材料の開発 |
| 6 | NU-206 | 電子線露光装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 田中 久暁 | 2022 | 22NU0237: 導電性高分子デバイスの作製と評価 |
| 6 | NU-206 | 電子線露光装置 | 三重大学大学院工学研究科 | 元垣内 敦司 | 2022 | 22NU0230: ナノオーダーの周期構造を用いた光学素子作製に関する研究 |
| 6 | NU-206 | 電子線露光装置 | 東北大学大学院理学研究科 | 松原 正和 | 2022 | 22NU0226: 非空間反転対称磁性体の作製と新規スピン光機能の探索 |
| 6 | NU-206 | 電子線露光装置 | 株式会社豊田中央研究所 | 舟山 啓太 | 2022 | 22NU0217: マイクロデバイスの作製 |
| 4 | NU-224 | 電子ビーム蒸着装置 | 株式会社デンソー | 木口 拓也 | 2022 | 22NU0253: マイクロギャップ電極の作製 |
| 4 | NU-224 | 電子ビーム蒸着装置 | 名古屋大学大学院理学研究科 | 北浦 良 | 2022 | 22NU0248: 原子層デバイスの創製 |
| 4 | NU-224 | 電子ビーム蒸着装置 | 信州大学 理学部 理学科 | 高野 恵介 | 2022 | 22NU0246: 高効率テラヘルツ波周波数変換のための導波路作製 |
| 4 | NU-224 | 電子ビーム蒸着装置 | 早稲田大学大学院情報生産システム研究科 | 植田 研二 | 2022 | 22NU0225: グラフェン／ダイヤモンド接合を用いた新規デバイス作製 |
| 1 | NU-257 | 両面露光用マスクアライナ | ローム株式会社 | 合田 賢司 | 2022 | 22NU0249: 超耐熱性非晶質合金の探索 |
| 2 | NU-210 | ダイシングソー装置 | ローム株式会社 | 合田 賢司 | 2022 | 22NU0249: 超耐熱性非晶質合金の探索 |
| 2 | NU-210 | ダイシングソー装置 | イビデン株式会社 | 東 広和 | 2022 | 22NU0204: 微細パターニング |
| 1 | NU-252 | 共焦点レーザ顕微鏡 | 日本ガイシ株式会社 | 高橋 知典 | 2022 | 22NU0247: 新規表面活性化接合の開発 |
| 5 | NU-231 | マスクレス露光装置 | 信州大学 理学部 理学科 | 高野 恵介 | 2022 | 22NU0246: 高効率テラヘルツ波周波数変換のための導波路作製 |
| 5 | NU-231 | マスクレス露光装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 田中 久暁 | 2022 | 22NU0237: 導電性高分子デバイスの作製と評価 |
| 5 | NU-231 | マスクレス露光装置 | 三重大学大学院工学研究科 | 藤原 裕司 | 2022 | 22NU0235: FeSiBアモルファス薄膜を用いたひずみセンサの試作 |
| 5 | NU-231 | マスクレス露光装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 柏谷 聡 | 2022 | 22NU0229: トンネル接合の作製およびカーボンナノ物質成長制御 |
| 5 | NU-231 | マスクレス露光装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 宮本 聡 | 2022 | 22NU0218: 高純度同位体シリコンエピ基板上の量子デバイス作製 |
| 3 | NU-236 | In-situ電子スピン共鳴 | 名城大学 理工学部 電気電子工学科 | 伊藤 昌文 | 2022 | 22NU0245: 大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究 |
| 3 | NU-236 | In-situ電子スピン共鳴 | 名古屋大学医学部付属病院 | 水野 正明 | 2022 | 22NU0231: プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析 |
| 3 | NU-236 | In-situ電子スピン共鳴 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 神田 英輝 | 2022 | 22NU0219: 亜臨界流体を用いた特異な分離反応場による材料創製 |
| 1 | NU-234 | ICPエッチング装置 | 名城大学理工学部電気電子工学科 | 竹田 圭吾 | 2022 | 22NU0244: プラズマ中の原子状ラジカル解析 |
| 1 | NU-221 | プラズマCVD装置 | 株式会社豊田中央研究所 | 副島 成雅 | 2022 | 22NU0241: フォトニックデバイスに関する研究 |
| 1 | NU-249 | 高精度電子線描画装置 | ローム株式会社 研究開発センター | 四方 啓太 | 2022 | 22NU0240: 高周波GaN-HEMTの微細Tゲートの形成プロセス |
| 2 | NU-237 | ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置 | AGC株式会社 | 西田 航 | 2022 | 22NU0239: イオン照射による多層薄膜の損傷調査 |
| 2 | NU-237 | ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置 | 株式会社 SCREENホールディングス | 谷出 敦 | 2022 | 22NU0212: プラズマを用いたGaN成膜/加工技術の開発 |
| 2 | NU-239 | 表面解析プラズマビーム装置 | 株式会社 日立ハイテク | 前田 賢治 | 2022 | 22NU0238: 次世代ドライエッチング技術の開発 |
| 2 | NU-239 | 表面解析プラズマビーム装置 | 株式会社SCREENホールディングス | 谷出 敦 | 2022 | 22NU0232: 先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発 |
| 1 | NU-211 | フェムト秒レーザー加工分析システム | 名古屋大学大学院工学研究科 | 田中 久暁 | 2022 | 22NU0237: 導電性高分子デバイスの作製と評価 |
| 1 | NU-243 | 真空紫外吸収分光計 | 株式会社片桐エンジニアリング | 桑原 清 | 2022 | 22NU0233: 高密度ラジカル源の機能性・信頼性・高付加価値化に関わる技術開発及び評価 |
| 2 | NU-232 | 原子層堆積装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 柏谷 聡 | 2022 | 22NU0229: トンネル接合の作製およびカーボンナノ物質成長制御 |
| 2 | NU-232 | 原子層堆積装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 宮本 聡 | 2022 | 22NU0218: 高純度同位体シリコンエピ基板上の量子デバイス作製 |
| 1 | NU-213 | 8元マグネトロンスパッタ装置 | 東北大学大学院理学研究科 | 松原 正和 | 2022 | 22NU0226: 非空間反転対称磁性体の作製と新規スピン光機能の探索 |
| 1 | NU-215 | ECR-SIMSエッチング装置 | 東北大学大学院理学研究科 | 松原 正和 | 2022 | 22NU0226: 非空間反転対称磁性体の作製と新規スピン光機能の探索 |
| 4 | NU-228 | 走査型電子顕微鏡 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 向井 康人 | 2022 | 22NU0223: 高度分離を目的とした機能性ナノファイバー膜の創製 |
| 4 | NU-228 | 走査型電子顕微鏡 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 神田 英輝 | 2022 | 22NU0219: 亜臨界流体を用いた特異な分離反応場による材料創製 |
| 4 | NU-228 | 走査型電子顕微鏡 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 中村 真季 | 2022 | 22NU0215: Electrochemical CO2 Reduction |
| 4 | NU-228 | 走査型電子顕微鏡 | 核融合科学研究所 ヘリカル研究部 | FENG SHUANGYUAN | 2022 | 22NU0213: プラズマ照射試料の表面観察 |
| 2 | NU-256 | Deep Si Etcher | 東京大学工学系研究科 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22NU0222: 水晶振動子を用いた計測装置に関する研究開発 |
| 2 | NU-256 | Deep Si Etcher | 東京大学工学系研究科 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22NU0221: ムーンショット型研究開発事業（目標３）「サイエンス探求マイクロロボットツール」 |
| 4 | NU-207 | X線光電子分光装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 中谷 真人 | 2022 | 22NU0220: 光電子分光および原子間力顕微鏡によるナノ空間材料の金属イオン収着特性評価 |
| 4 | NU-207 | X線光電子分光装置 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 中村 真季 | 2022 | 22NU0215: Electrochemical CO2 Reduction |
| 4 | NU-207 | X線光電子分光装置 | 株式会社 SCREENホールディングス | 谷出 敦 | 2022 | 22NU0212: プラズマを用いたGaN成膜/加工技術の開発 |
| 4 | NU-207 | X線光電子分光装置 | 株式会社 山一ハガネ | 田島 秀春 | 2022 | 22NU0206: 湿式処理により蓮の葉構造をナノレベルで再現する安価な撥水処理技術の研究開発 |
| 2 | NU-227 | 走査型電子顕微鏡 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 神田 英輝 | 2022 | 22NU0219: 亜臨界流体を用いた特異な分離反応場による材料創製 |
| 2 | NU-227 | 走査型電子顕微鏡 | 株式会社 山一ハガネ | 田島 秀春 | 2022 | 22NU0206: 湿式処理により蓮の葉構造をナノレベルで再現する安価な撥水処理技術の研究開発 |
| 1 | NU-247 | ナノインプリント装置 | 株式会社豊田中央研究所 | 舟山 啓太 | 2022 | 22NU0217: マイクロデバイスの作製 |
| 1 | NU-246 | 3次元レーザ・リソグラフィシステム群 | 株式会社豊田中央研究所 | 舟山 啓太 | 2022 | 22NU0217: マイクロデバイスの作製 |
| 1 | NU-233 | 蛍光りん光分光光度計 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 髙見 誠一 | 2022 | 22NU0216: 水熱合成した金属酸化物ナノ粒子における原子価測定と蛍光評価 |
| 1 | NU-225 | ICPエッチング装置 | 株式会社 Photo electron Soul | 小泉 淳 | 2022 | 22NU0201: 半導体フォトカソードへの微細加工に関する研究 |
| 6 | MS-101 | マスクレス露光装置 | 自然科学研究機構分子科学研究所装置開発室 | 高田 紀子 | 2022 | 22MS5044: リソグラフィによる微細構造の製作および評価 |
| 6 | MS-101 | マスクレス露光装置 | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5021: 分子と対称性に基づいた新奇機能性デバイス作成 |
| 6 | MS-101 | マスクレス露光装置 | 豊田工業高等専門学校機械工学科 | 神永 真帆 | 2022 | 22MS3005: がん細胞特異的結合分子探索効率を向上させるマイクロ流路デバイスの開発 |
| 6 | MS-101 | マスクレス露光装置 | 自然科学研究機構基礎生物学研究所植物環境応答研究部門 | 四方 明格 | 2022 | 22MS3004: マイクロ流体デバイスを用いた植物の成長解析 |
| 6 | MS-101 | マスクレス露光装置 | 自然科学研究機構基礎生物学研究所生命創成探究センター | 杉山 博紀 | 2022 | 22MS3002: 分裂酵母ライブイメージングとデバイス内部からの選択的回収 |
| 6 | MS-101 | マスクレス露光装置 | 静岡大学理学部物理学科 | 広部 大地 | 2022 | 22MS0019: 結晶性キラル半導体におけるスピン依存非相反伝導とその電気的制御 |
| 8 | MS-102 | 3次元光学プロファイラーシステム | 自然科学研究機構分子科学研究所装置開発室 | 高田 紀子 | 2022 | 22MS5044: リソグラフィによる微細構造の製作および評価 |
| 8 | MS-102 | 3次元光学プロファイラーシステム | 自然科学研究機構分子科学研究所社会連携研究部門 平等G | 小林 純 | 2022 | 22MS5040: ビームスポットの深さ測定 |
| 8 | MS-102 | 3次元光学プロファイラーシステム | 自然科学研究機構分子科学研究所社会連携研究部門 平等G | 小林 純 | 2022 | 22MS5035: 結晶の表面粗さ評価 |
| 8 | MS-102 | 3次元光学プロファイラーシステム | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5021: 分子と対称性に基づいた新奇機能性デバイス作成 |
| 8 | MS-102 | 3次元光学プロファイラーシステム | 自然科学研究機構基礎生物学研究所進化発生研究部門 | 中村 太郎 | 2022 | 22MS3009: 昆虫の発音器官の構造評価 |
| 8 | MS-102 | 3次元光学プロファイラーシステム | 海洋研究開発機構 数理科学・先端技術研究開発センター | 廣瀬 重信 | 2022 | 22MS3008: α反跳トラックの密度測定による白雲母の年代推定 |
| 8 | MS-102 | 3次元光学プロファイラーシステム | 帝京大学医療共通教育研究センター | 藤代 尚文 | 2022 | 22MS3007: FI-02製イマージョン回折格子の形状・表面粗さ測定 |
| 8 | MS-102 | 3次元光学プロファイラーシステム | 愛知教育大学教育学部 | 日野 和之 | 2022 | 22MS3001: フラーレン誘導体LB薄膜の表面観察と光電気化学測定 |
| 3 | MS-103 | 電子ビーム描画装置 | 自然科学研究機構分子科学研究所装置開発室 | 高田 紀子 | 2022 | 22MS5044: リソグラフィによる微細構造の製作および評価 |
| 3 | MS-103 | 電子ビーム描画装置 | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5021: 分子と対称性に基づいた新奇機能性デバイス作成 |
| 3 | MS-103 | 電子ビーム描画装置 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 本林 健太 | 2022 | 22MS3003: 界面選択的な振動分光を実現するナノ構造電極基板の開発 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 自然科学研究機構分子科学研究所物質分子科学研究領域 | 竹入 史隆 | 2022 | 22MS5016: ヒドリトの物質研究 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5007: 分子と対称性を用いた新奇機能性の創出 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 自然科学研究機構分子科学研究所物質分子科学研究領域 分子機能研究部門 小林グループ | 内村 祐 | 2022 | 22MS5033: スパッタリング法で得られた薄膜の膜厚測定 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 自然科学研究機構分子科学研究所分子機能研究部門（小林グループ） | 泉 善貴 | 2022 | 22MS5030: 蛍石型構造を持つ水素化物の結晶相同定 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 自然科学研究機構分子科学研究所物質分子科学研究領域 分子機能研究部門 小林グループ | 内村 祐 | 2022 | 22MS5028: 遷移金属酸水素化物BaTiO3-xHxの特性解析 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 大阪工業大学工学部環境工学科 | 平郡 諭 | 2022 | 22MS1074: バリウム黒鉛層間化合物の磁化率 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 高知大学教育研究部自然科学系理工学部門 | 藤代 史 | 2022 | 22MS1046: 鉄含有ペロブスカイト型酸化物の酸素放出挙動と結晶構造変化の相関解明 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 岐阜大学教育学部理科教育講座（化学） | 萩原 宏明 | 2022 | 22MS1034: スピン転移とサーモサリエント特性が連動する錯体分子結晶のアルキル置換基効果の解明 |
| 9 | MS-210 | オペランド多目的X線回析 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 濱中 泰 | 2022 | 22MS1025: 半導体量子ドット三次元超格子の構築と構造・電子状態解析 |
| 6 | MS-223 | 熱分析（固体、粉末） | 自然科学研究機構分子科学研究所物質分子科学研究領域 | 竹入 史隆 | 2022 | 22MS5016: ヒドリトの物質研究 |
| 6 | MS-223 | 熱分析（固体、粉末） | 自然科学研究機構分子科学研究所物質分子科学研究領域 分子機能研究部門 小林グループ | 内村 祐 | 2022 | 22MS5033: スパッタリング法で得られた薄膜の膜厚測定 |
| 6 | MS-223 | 熱分析（固体、粉末） | 自然科学研究機構分子科学研究所物質分子科学研究領域 分子機能研究部門 小林グループ | 内村 祐 | 2022 | 22MS5028: 遷移金属酸水素化物BaTiO3-xHxの特性解析 |
| 6 | MS-223 | 熱分析（固体、粉末） | 岐阜大学教育学部理科教育講座（化学） | 萩原 宏明 | 2022 | 22MS1034: スピン転移とサーモサリエント特性が連動する錯体分子結晶のアルキル置換基効果の解明 |
| 6 | MS-223 | 熱分析（固体、粉末） | 東京大学大学院工学系研究科 | 恒川 英介 | 2022 | 22MS1023: βシート性ペプチド錯体の熱力学特性の評価 |
| 6 | MS-223 | 熱分析（固体、粉末） | 京都大学大学院工学研究科 | 清水 大貴 | 2022 | 22MS1022: スピン依存的な光化学特性を示す開殻電子系の創製 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5015: 有機材料局所伝導度測定 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所社会連携研究部門 | Kausas Arvydas | 2022 | 22MS5038: comparison of surface rougness profile |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所電子構造研究部門 | 櫻井 敦教 | 2022 | 22MS5037: 電極表面の微細反応メカニズムを解明するための表面観察 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所機器センター | 湊 丈俊 | 2022 | 22MS5010: 電極と電解質の表面や界面で起きる現象の解析 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 海洋研究開発機構高知コア研究所 | 伊藤 元雄 | 2022 | 22MS0033: 走査プローブ顕微鏡による始原的隕石の物性の解析 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 九州工業大学大学院工学研究院電気電子工学研究系 | 河野 翔也 | 2022 | 22MS0032: 二酸化チタンのナノ構造と電子状態 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 千葉大学大学院融合科学研究科 | 城田 秀明 | 2022 | 22MS0030: イオン液体の基板に対する濡れ特性：基板依存性 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 九州大学先導物質化学研究所 | 金川 慎治 | 2022 | 22MS0029: 電子焦電性を示す分子結晶の表面構造と電子特性の解析 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 桐蔭横浜大学医用工学部臨床工学科 | 石河 睦生 | 2022 | 22MS0025: 水中での非線形音響現象によるセラミックス合成の観察 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 東北大学大学院工学研究科 | 丸山 伸伍 | 2022 | 22MS0024: 液晶性有機薄膜の液晶転移に伴う表面モルフォロジー変化のその場観察 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 金沢大学理工研究域数物科学系 | 荒木 優希 | 2022 | 22MS0023: コハク酸、リンゴ酸の吸着によるカルサイトの溶解促進メカニズムの解明 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 神戸大学大学院理学研究科 | 大西 洋 | 2022 | 22MS0008: 原子間力顕微鏡を用いた潤滑油添加剤層のヤング率計測 |
| 13 | MS-204 | 走査プローブ顕微鏡 | 岐阜大学教育学部理科教育講座（化学） | 萩原 宏明 | 2022 | 22MS0007: 多形により機械的柔軟性が異なる錯体分子結晶の結晶表面状態の観察と機械特性の定量化 |
| 4 | MS-233 | 高磁場NMR(600MHz溶液) | 自然科学研究機構分子科学研究所生命創成探究センター | 村木 則文 | 2022 | 22MS5008: 金属センサータンパク質のNMR構造研究 |
| 4 | MS-233 | 高磁場NMR(600MHz溶液) | 岡山大学大学院自然科学研究科応用化学専攻 | 押木 俊之 | 2022 | 22MS1041: 重合触媒として機能するタングステン錯体の分子構造研究 (触媒機能をもつ遷移金属錯体の遠赤外スペクトルによる金属ハロゲン結合の分析) |
| 4 | MS-233 | 高磁場NMR(600MHz溶液) | 高知大学教育研究部総合科学系複合領域科学部門 | 上田 忠治 | 2022 | 22MS1031: ポリオキソメタレートの酸化還元反応メカニズムの定量的解析 |
| 4 | MS-233 | 高磁場NMR(600MHz溶液) | 愛知工業大学工学部応用化学科 | 梶田 裕二 | 2022 | 22MS1018: 常温常圧で機能する高活性窒素固定触媒の開発 |
| 6 | MS-202 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5007: 分子と対称性を用いた新奇機能性の創出 |
| 6 | MS-202 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所機器センター | 中本 圭一 | 2022 | 22MS5027: AFM液中電気化学電極評価 |
| 6 | MS-202 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所物質分子科学研究領域杉本グループ | 斎藤 晃 | 2022 | 22MS5026: 合成した光触媒の粒子の分析 |
| 6 | MS-202 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所装置開発室 | 木村 幸代 | 2022 | 22MS5019: EB描画によるCrパターンの組成分析 |
| 6 | MS-202 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所電子構造研究部門杉本グループ | 櫻井 敦教 | 2022 | 22MS5018: 非常に鋭利な先端形状をもつSTM用金属探針の開発 |
| 6 | MS-202 | 低真空分析走査電子顕微鏡 | 早稲田大学院理工学術院 先進理工学部化学・生命化学科 | 井村 考平 | 2022 | 22MS1062: 金およびSiナノ粒子集合体の光学特性の解明 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5007: 分子と対称性を用いた新奇機能性の創出 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 名古屋市立大学大学院薬学研究科 | 樋口 恒彦 | 2022 | 22MS1083: ヘム-カルコゲナート錯体の物性・化学研究 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 大阪工業大学工学部環境工学科 | 平郡 諭 | 2022 | 22MS1074: バリウム黒鉛層間化合物の磁化率 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 日本大学文理学部化学科 | 周 彪 | 2022 | 22MS1071: 強い水素結合相互作用をもつ新規分子性伝導体の合成と物性研究 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 愛媛大学大学院理工学研究科 | 藤崎 真広 | 2022 | 22MS1060: キラリティーを有する分子性導体の物性研究 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 愛媛大学大学院理工学研究科 | 白旗 崇 | 2022 | 22MS1059: 有機π電子系化合物を成分とする有機電子材料の構造と物性 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 山形大学大学院理工学研究科 | 有馬 ボシールアハンマド | 2022 | 22MS1050: 金属ドープ型BiFeO3ナノ粒子の磁性に関する研究 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 広島大学大学院先進理工系科学研究科 | 井上 克也 | 2022 | 22MS1047: キラル磁性体の磁気物性 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 岐阜大学教育学部理科教育講座（化学） | 萩原 宏明 | 2022 | 22MS1034: スピン転移とサーモサリエント特性が連動する錯体分子結晶のアルキル置換基効果の解明 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 東京海洋大学海洋電子機械工学部門 | 藤田 渉 | 2022 | 22MS1028: 新規配位高分子錯体の合成と磁気的性質に関する研究 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 神戸大学大学院理学研究科 | 内野 隆司 | 2022 | 22MS1017: 超伝導/強磁性/半導体ナノ複合材料の超伝導近接効果 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 岐阜大学工学部化学・生命工学科 | 植村 一広 | 2022 | 22MS1016: 常磁性異種金属一次元鎖錯体と二次元状混合原子価集積体の合成と磁気物性 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 静岡大学学術院工学領域電子物質科学系列 | 川口 昂彦 | 2022 | 22MS1010: 逆ペロブスカイト型マンガン窒化物における特異な磁気特性の解明 |
| 14 | MS-219 | SQUID（MPMS-XL7） | 岐阜大学工学部化学・生命工学科 | 嶋 睦宏 | 2022 | 22MS1006: Sn/Ni多層膜の電気伝導特性, Cu-ZnOナノロッドの磁気的性質の解明 |
| 6 | MS-228 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5007: 分子と対称性を用いた新奇機能性の創出 |
| 6 | MS-228 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 自然科学研究機構分子科学研究所機器センター | 上田 正 | 2022 | 22MS5006: 蛍光材料等の分光実験 |
| 6 | MS-228 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 自然科学研究機構分子科学研究所光分子科学研究領域 | 長坂 将成 | 2022 | 22MS5031: 溶液光化学反応の励起ダイナミクスの研究 |
| 6 | MS-228 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 自然科学研究機構分子科学研究所物質分子科学研究領域杉本グループ | 斎藤 晃 | 2022 | 22MS5026: 合成した光触媒の粒子の分析 |
| 6 | MS-228 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 広島大学先進理工系科学研究科 基礎化学プログラム 固体物性G | 岡 芳美 | 2022 | 22MS1027: フラビンタンパク質の光誘起ラジカルペア生成に関する人工システムの構築 |
| 6 | MS-228 | 紫外・可視・近赤外分光光度計 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 濱中 泰 | 2022 | 22MS1025: 半導体量子ドット三次元超格子の構築と構造・電子状態解析 |
| 5 | MS-230 | 円二色性分散 | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 佐藤 拓朗 | 2022 | 22MS5007: 分子と対称性を用いた新奇機能性の創出 |
| 5 | MS-230 | 円二色性分散 | 自然科学研究機構分子科学研究所生命創成探究センター金属生命科学研究グループ（青野G） | 南 多娟 | 2022 | 22MS5041: 金属センサータンパク質の機能解明 |
| 5 | MS-230 | 円二色性分散 | 自然科学研究機構分子科学研究所特別研究部門 | 三橋 隆章 | 2022 | 22MS5014: 超分子化学のツールを用いたタンパク質の構造・機能に関する研究 |
| 5 | MS-230 | 円二色性分散 | 自然科学研究機構分子科学研究所生命創成探究センター生命分子動秩序創発研究グループ | 加藤 晃一 | 2022 | 22MS5012: 生命分子システムの動的秩序形成と高次機能発現の仕組みの探究 |
| 5 | MS-230 | 円二色性分散 | 京都府立大学大学院生命環境科学研究科 | 織田 昌幸 | 2022 | 22MS1020: コラーゲンの構造物性と抗体との分子間相互作用解析 |
| 5 | MS-231 | ピコ秒レーザー | 自然科学研究機構分子科学研究所機器センター | 上田 正 | 2022 | 22MS5006: 蛍光材料等の分光実験 |
| 5 | MS-231 | ピコ秒レーザー | 愛知教育大学教育学部自然科学系理科教育講座 | 日野 和之 | 2022 | 22MS1084: 6-chloro-2,4-dinitroaniline会合体の特異な発光過程の研究 |
| 5 | MS-231 | ピコ秒レーザー | 神戸大学大学院工学研究科 | 堀家 匠平 | 2022 | 22MS1072: 有機色素の光学特性に関する研究 |
| 5 | MS-231 | ピコ秒レーザー | 広島大学先進理工系科学研究科 基礎化学プログラム 固体物性G | 岡 芳美 | 2022 | 22MS1027: フラビンタンパク質の光誘起ラジカルペア生成に関する人工システムの構築 |
| 5 | MS-231 | ピコ秒レーザー | 大阪公立大学大学院理学研究科 | 松岡 秀人 | 2022 | 22MS1021: 光エネルギー変換物質の励起状態の研究 |
| 5 | MS-227 | 蛍光分光 | 自然科学研究機構分子科学研究所機器センター | 上田 正 | 2022 | 22MS5006: 蛍光材料等の分光実験 |
| 5 | MS-227 | 蛍光分光 | 自然科学研究機構分子科学研究所光分子科学研究領域 | 長坂 将成 | 2022 | 22MS5031: 溶液光化学反応の励起ダイナミクスの研究 |
| 5 | MS-227 | 蛍光分光 | 広島大学先進理工系科学研究科 基礎化学プログラム 固体物性G | 岡 芳美 | 2022 | 22MS1027: フラビンタンパク質の光誘起ラジカルペア生成に関する人工システムの構築 |
| 5 | MS-227 | 蛍光分光 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 濱中 泰 | 2022 | 22MS1025: 半導体量子ドット三次元超格子の構築と構造・電子状態解析 |
| 5 | MS-227 | 蛍光分光 | 大阪公立大学大学院理学研究科 | 松岡 秀人 | 2022 | 22MS1021: 光エネルギー変換物質の励起状態の研究 |
| 2 | MS-229 | 絶対PL量子収率測定装置 | 自然科学研究機構分子科学研究所機器センター | 上田 正 | 2022 | 22MS5006: 蛍光材料等の分光実験 |
| 2 | MS-229 | 絶対PL量子収率測定装置 | 神戸大学大学院工学研究科 | 堀家 匠平 | 2022 | 22MS1072: 有機色素の光学特性に関する研究 |
| 5 | MS-224 | MALDI-TOF質量分析 | 東京大学大学院工学系研究科 | 中間 貴寛 | 2022 | 22MS1092: 巨大中空錯体に内包されたタンパク質の構造解析 |
| 5 | MS-224 | MALDI-TOF質量分析 | 自然科学研究機構分子科学研究所特別研究部門 | 三橋 隆章 | 2022 | 22MS5014: 超分子化学のツールを用いたタンパク質の構造・機能に関する研究 |
| 5 | MS-224 | MALDI-TOF質量分析 | 自然科学研究機構分子科学研究所生命創成探究センター生命分子動秩序創発研究グループ | 加藤 晃一 | 2022 | 22MS5012: 生命分子システムの動的秩序形成と高次機能発現の仕組みの探究 |
| 5 | MS-224 | MALDI-TOF質量分析 | 愛媛大学大学院理工学研究科 | 藤崎 真広 | 2022 | 22MS1060: キラリティーを有する分子性導体の物性研究 |
| 5 | MS-224 | MALDI-TOF質量分析 | 愛媛大学大学院理工学研究科 | 白旗 崇 | 2022 | 22MS1059: 有機π電子系化合物を成分とする有機電子材料の構造と物性 |
| 3 | MS-221 | 熱分析（示差走査型カロリメーター/溶液） | 神戸大学大学院農学研究科 | 木村 行宏 | 2022 | 22MS1090: Ca結合型光合成タンパク質における耐熱化メカニズムの解明 |
| 3 | MS-221 | 熱分析（示差走査型カロリメーター/溶液） | 広島大学先進理工系科学研究科 基礎化学プログラム 固体物性G | 岡 芳美 | 2022 | 22MS1027: フラビンタンパク質の光誘起ラジカルペア生成に関する人工システムの構築 |
| 3 | MS-221 | 熱分析（示差走査型カロリメーター/溶液） | 熊本大学大学院先端科学研究部 | 松田 元秀 | 2022 | 22MS1015: 遷移金属で置換したゼオライト粒子の磁気特性の解明 |
| 5 | MS-222 | 熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液） | 自然科学研究機構分子科学研究所生命創成探究センター金属生命科学研究グループ（青野G） | 南 多娟 | 2022 | 22MS5041: 金属センサータンパク質の機能解明 |
| 5 | MS-222 | 熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液） | 自然科学研究機構分子科学研究所特別研究部門 | 三橋 隆章 | 2022 | 22MS5014: 超分子化学のツールを用いたタンパク質の構造・機能に関する研究 |
| 5 | MS-222 | 熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液） | 福井大学学術研究院工学系部門 | 内藤 順也 | 2022 | 22MS1051: キラルな大環状分子のゲスト包接と光学特性との相関解明 |
| 5 | MS-222 | 熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液） | 京都府立大学大学院生命環境科学研究科 | 織田 昌幸 | 2022 | 22MS1020: コラーゲンの構造物性と抗体との分子間相互作用解析 |
| 5 | MS-222 | 熱分析（等温滴定型カロリメーター/溶液） | 北陸先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科 | Robin Rajan | 2022 | 22MS1007: Interaction of polymers with lipids |
| 4 | MS-001 | X線磁気円二色性分光 | 自然科学研究機構分子科学研究所電子構造研究部門横山グループ | 山本 航平 | 2022 | 22MS5029: X線反射率による多層膜構造評価 |
| 4 | MS-001 | X線磁気円二色性分光 | 名古屋大学未来材料・システム研究所 | 宮町 俊生 | 2022 | 22MS2003: 磁性ヘテロ薄膜構造の磁化方向制御に関する研究 |
| 4 | MS-001 | X線磁気円二色性分光 | 名古屋大学シンクロトロン光研究センター | 伊藤 孝寛 | 2022 | 22MS2002: XMCDを用いたβ-Mn型カイラル磁性体 Fe2-xPdxMo3Nおよび Co2-xPdxMo3Nエピタキシャル薄膜における磁気状態の研究 |
| 4 | MS-001 | X線磁気円二色性分光 | 名古屋大学未来材料・システム研究所 | 宮町 俊生 | 2022 | 22MS2001: 有機-無機界面磁気結合を利用した原子層物質の磁気状態制御 |
| 4 | MS-225 | 顕微ラマン分光 | 自然科学研究機構分子科学研究所機器センター | 湊 丈俊 | 2022 | 22MS5022: エネルギー材料の物性解明 |
| 4 | MS-225 | 顕微ラマン分光 | 自然科学研究機構分子科学研究所電子構造研究部門杉本グループ | 櫻井 敦教 | 2022 | 22MS5018: 非常に鋭利な先端形状をもつSTM用金属探針の開発 |
| 4 | MS-225 | 顕微ラマン分光 | 大同大学工学部電気電子工学科 | 橋本 雄一 | 2022 | 22MS1053: 液相合成法を用いたダイヤモンド様炭素膜の作製 |
| 4 | MS-225 | 顕微ラマン分光 | 大阪大学大学院理学研究科 | 圷 広樹 | 2022 | 22MS1032: beta''-(BEDT-TTF)2XC2H4SO3(X = Cl, Br)におけるRaman分光によるBEDT-TTFの価数決定 |
| 2 | MS-226 | FT遠赤外分光 | 自然科学研究機構分子科学研究所電子構造研究部門杉本グループ | 櫻井 敦教 | 2022 | 22MS5018: 非常に鋭利な先端形状をもつSTM用金属探針の開発 |
| 2 | MS-226 | FT遠赤外分光 | 岡山大学大学院自然科学研究科応用化学専攻 | 押木 俊之 | 2022 | 22MS1041: 重合触媒として機能するタングステン錯体の分子構造研究 (触媒機能をもつ遷移金属錯体の遠赤外スペクトルによる金属ハロゲン結合の分析) |
| 6 | MS-203 | 電界放出形透過型電子顕微鏡 | 自然科学研究機構分子科学研究所錯体触媒研究部門 | 奥村 慎太郎 | 2022 | 22MS5009: 有機分子変換を駆動・制御する新しい反応システムの構築 |
| 6 | MS-203 | 電界放出形透過型電子顕微鏡 | 神戸大学大学院理学研究科 | 大西 洋 | 2022 | 22MS1079: 超薄層半導体光触媒の透過電子顕微鏡による計測評価 |
| 6 | MS-203 | 電界放出形透過型電子顕微鏡 | 大阪公立大学理学研究科 | 河相 武利 | 2022 | 22MS1040: 種々のKI結晶中に生成したAgIナノ結晶の電子顕微鏡観察 |
| 6 | MS-203 | 電界放出形透過型電子顕微鏡 | 関西学院大学理学部化学科 | 江口 大地 | 2022 | 22MS1038: InP系コアシェル型ナノ結晶の界面ポテンシャルが及ぼす励起子素過程の調査 |
| 6 | MS-203 | 電界放出形透過型電子顕微鏡 | 関西学院大学生命環境学部環境応用化学科 | 増尾 貞弘 | 2022 | 22MS1029: 有機分子の自己組織化に基づく新規有機・無機ハイブリッドナノ構造の構築３ |
| 6 | MS-203 | 電界放出形透過型電子顕微鏡 | 名城大学理工学部応用化学科 | 丸山 隆浩 | 2022 | 22MS1001: カーボンナノチューブの生成メカニズムの解明 |
| 2 | MS-211 | X線溶液散乱計測システム | 自然科学研究機構分子科学研究所協奏分子システム研究センター | 秋山 修志 | 2022 | 22MS5002: Ｘ線溶液散乱法およびＸ線単結晶回折法による生体分子の構造解析 |
| 2 | MS-211 | X線溶液散乱計測システム | 大阪大学大学院理学研究科 | 石川 春人 | 2022 | 22MS0018: 光制御タンパク質ケージの構造解析 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 自然科学研究機構分子科学研究所錯生命・錯体分子科学研究領域 錯体物性研究部門 | 草本 哲郎 | 2022 | 22MS5001: 開殻分子性物質の創製と機能創出 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 小澤 智宏 | 2022 | 22MS1080: 新規N3S3型Fe(III)錯体によるメタノール酸化反応の中間体および活性種の解明 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 新潟大学研究推進機構共用設備基盤センター | 古川 貢 | 2022 | 22MS1070: アドバンスドESR法による植物性食品による環境計測 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 東京理科大学理学部応用化学科 | 根岸 雄一 | 2022 | 22MS1064: ESRを用いた新規Agクラスターの組成並びに電子状態研究 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 奈良女子大学研究院自然科学系化学領域 | 藤井 浩 | 2022 | 22MS1033: 金属酵素モデル錯体の電子構造の研究 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 名古屋大学大学院理学研究科 | 三野 広幸 | 2022 | 22MS1019: 多周波EPR法による光合成タンパク質の構造及び機能の解析 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 岐阜大学工学部化学・生命工学科 | 植村 一広 | 2022 | 22MS1016: 常磁性異種金属一次元鎖錯体と二次元状混合原子価集積体の合成と磁気物性 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 熊本大学大学院先端科学研究部 | 松田 元秀 | 2022 | 22MS1015: 遷移金属で置換したゼオライト粒子の磁気特性の解明 |
| 9 | MS-216 | 電子スピン共鳴（E500） | 佐賀大学農学部生物資源科学科生命機能科学コース | 堀谷 正樹 | 2022 | 22MS1005: 電子スピン共鳴による酵素の構造学的研究 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 新居浜工業高等専門学校生物応用化学科 | 山口 英俊 | 2022 | 22MS1087: 放射線照射されたアラニン中のラジカル数の定量 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 大阪工業大学工学部環境工学科 | 平郡 諭 | 2022 | 22MS1074: バリウム黒鉛層間化合物の磁化率 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 日本大学文理学部化学科 | 周 彪 | 2022 | 22MS1071: 強い水素結合相互作用をもつ新規分子性伝導体の合成と物性研究 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 名古屋工業大学先進セラミックス研究センター | 安達 信泰 | 2022 | 22MS1057: マグネシウムフェライ薄膜およびその置換系の強磁性に関する研究 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 山形大学大学院理工学研究科 | 有馬 ボシールアハンマド | 2022 | 22MS1050: 金属ドープ型BiFeO3ナノ粒子の磁性に関する研究 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 広島大学大学院先進理工系科学研究科 | 井上 克也 | 2022 | 22MS1047: キラル磁性体の磁気物性 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 岐阜大学教育学部理科教育講座（化学） | 萩原 宏明 | 2022 | 22MS1034: スピン転移とサーモサリエント特性が連動する錯体分子結晶のアルキル置換基効果の解明 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 東京海洋大学海洋電子機械工学部門 | 藤田 渉 | 2022 | 22MS1028: 新規配位高分子錯体の合成と磁気的性質に関する研究 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 愛知工業大学工学部応用化学科 | 梶田 裕二 | 2022 | 22MS1018: 常温常圧で機能する高活性窒素固定触媒の開発 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 神戸大学大学院理学研究科 | 内野 隆司 | 2022 | 22MS1017: 超伝導/強磁性/半導体ナノ複合材料の超伝導近接効果 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 岐阜大学工学部化学・生命工学科 | 植村 一広 | 2022 | 22MS1016: 常磁性異種金属一次元鎖錯体と二次元状混合原子価集積体の合成と磁気物性 |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 京都大学大学院人間・環境学研究科 | 高見 剛 | 2022 | 22MS1012: 多元系酸フッ化物の磁性 IV |
| 13 | MS-218 | SQUID（MPMS-7） | 静岡大学学術院工学領域電子物質科学系列 | 川口 昂彦 | 2022 | 22MS1010: 逆ペロブスカイト型マンガン窒化物における特異な磁気特性の解明 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 名古屋市立大学大学院薬学研究科 | 樋口 恒彦 | 2022 | 22MS1083: ヘム-カルコゲナート錯体の物性・化学研究 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 新潟大学研究推進機構共用設備基盤センター | 古川 貢 | 2022 | 22MS1070: アドバンスドESR法による植物性食品による環境計測 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 新潟大学研究推進機構共用設備基盤センター | 古川 貢 | 2022 | 22MS1061: ドナー・アクセプター型光誘起複合機能物質群のメカニズム解明 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 愛媛大学大学院理工学研究科 | 内藤 俊雄 | 2022 | 22MS1039: 光のエネルギーを蓄えることができる物質の光励起状態と緩和過程の電子スピン共鳴 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 奈良女子大学研究院自然科学系化学領域 | 藤井 浩 | 2022 | 22MS1033: 金属酵素モデル錯体の電子構造の研究 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 高知大学教育研究部総合科学系複合領域科学部門 | 上田 忠治 | 2022 | 22MS1031: ポリオキソメタレートの酸化還元反応メカニズムの定量的解析 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 京都大学大学院工学研究科 | 清水 大貴 | 2022 | 22MS1022: スピン依存的な光化学特性を示す開殻電子系の創製 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 名古屋大学大学院理学研究科 | 三野 広幸 | 2022 | 22MS1019: 多周波EPR法による光合成タンパク質の構造及び機能の解析 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 神戸大学大学院理学研究科 | 大西 洋 | 2022 | 22MS1009: 人工光合成をめざす半導体光触媒の水中ESR測定 |
| 10 | MS-215 | 電子スピン共鳴（EMX） | 佐賀大学農学部生物資源科学科生命機能科学コース | 堀谷 正樹 | 2022 | 22MS1005: 電子スピン共鳴による酵素の構造学的研究 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 新潟大学研究推進機構共用設備基盤センター | 古川 貢 | 2022 | 22MS1070: アドバンスドESR法による植物性食品による環境計測 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 新潟大学研究推進機構共用設備基盤センター | 古川 貢 | 2022 | 22MS1061: ドナー・アクセプター型光誘起複合機能物質群のメカニズム解明 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 埼玉大学大学院理工学研究科 | 長嶋 宏樹 | 2022 | 22MS1049: 三重項状態アントラキノン誘導体の磁気パラメーターの決定 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 広島大学大学院先進理工系科学研究科 | 井上 克也 | 2022 | 22MS1047: キラル磁性体の磁気物性 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 群馬大学大学院理工学府分子科学部門 | 浅野 素子 | 2022 | 22MS1037: 金属錯体の時間分解ESRによる光励起構造の解明 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 広島大学先進理工系科学研究科 基礎化学プログラム 固体物性G | 岡 芳美 | 2022 | 22MS1027: フラビンタンパク質の光誘起ラジカルペア生成に関する人工システムの構築 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 大阪公立大学大学院理学研究科 | 松岡 秀人 | 2022 | 22MS1021: 光エネルギー変換物質の励起状態の研究 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 名古屋大学大学院理学研究科 | 三野 広幸 | 2022 | 22MS1019: 多周波EPR法による光合成タンパク質の構造及び機能の解析 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 佐賀大学農学部生物資源科学科生命機能科学コース | 堀谷 正樹 | 2022 | 22MS1005: 電子スピン共鳴による酵素の構造学的研究 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 埼玉大学大学院理工学研究科 | 前田 公憲 | 2022 | 22MS0012: 量子生物物理化学のための新しいパルスESR実験 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 九州大学大学院工学研究院 | 楊井 伸浩 | 2022 | 22MS0010: 光励起三重項の電子スピン特性評価 |
| 12 | MS-214 | 電子スピン共鳴（E680） | 東京都立産業技術研究センター計測分析技術グループ | 中川 清子 | 2022 | 22MS0001: パルスESR法を用いた高LET放射線照射で生成するアラニンラジカルの局所的ラジカル分布の評価 |
| 1 | MS-232 | 高磁場NMR(600MHz固体) | 名古屋市立大学大学院薬学研究科 | 矢木 真穂 | 2022 | 22MS1068: 糖鎖脂質含有二重膜表面で誘起されるアミドイドβ会合状態の固体NMRを用いた構造解析 |
| 5 | MS-207 | 単結晶X線回折（微小結晶用） | 新潟大学研究推進機構共用設備基盤センター | 古川 貢 | 2022 | 22MS1061: ドナー・アクセプター型光誘起複合機能物質群のメカニズム解明 |
| 5 | MS-207 | 単結晶X線回折（微小結晶用） | 愛媛大学大学院理工学研究科 | 藤崎 真広 | 2022 | 22MS1060: キラリティーを有する分子性導体の物性研究 |
| 5 | MS-207 | 単結晶X線回折（微小結晶用） | 愛媛大学大学院理工学研究科 | 白旗 崇 | 2022 | 22MS1059: 有機π電子系化合物を成分とする有機電子材料の構造と物性 |
| 5 | MS-207 | 単結晶X線回折（微小結晶用） | 奈良女子大学研究院自然科学系化学領域 | 藤井 浩 | 2022 | 22MS1033: 金属酵素モデル錯体の電子構造の研究 |
| 5 | MS-207 | 単結晶X線回折（微小結晶用） | 東京海洋大学海洋電子機械工学部門 | 藤田 渉 | 2022 | 22MS1028: 新規配位高分子錯体の合成と磁気的性質に関する研究 |
| 4 | MS-213 | X線光電子分光 | 名古屋工業大学大学院工学系研究科 | 小野 晋吾 | 2022 | 22MS1056: 炭化水素中でのレーザー照射による金属表面への硬質炭化物被膜形成 |
| 4 | MS-213 | X線光電子分光 | 熊本大学大学院先端科学研究部 | 松田 元秀 | 2022 | 22MS1015: 遷移金属で置換したゼオライト粒子の磁気特性の解明 |
| 4 | MS-213 | X線光電子分光 | 名古屋大学大学院理学研究科物質理学専攻 | 邨次 智 | 2022 | 22MS1011: 複合酸化物触媒、及び電極触媒の表面構造解析 |
| 4 | MS-213 | X線光電子分光 | 神戸大学大学院理学研究科 | 内野 隆司 | 2022 | 22MS0004: 超伝導体／磁性体／半導体複合材料の価電子バンド構造解析 |
| 5 | MS-205 | 単結晶X線回折（CCD-1） | 名城大学理工学部応用化学科 | 永田 央 | 2022 | 22MS1054: 二酸化炭素還元を指向した金属錯体の合成と構造解析 |
| 5 | MS-205 | 単結晶X線回折（CCD-1） | 豊橋技術科学大学応用化学・生命工学系 | 藤沢 郁英 | 2022 | 22MS1043: X線結晶構造解析による新規合成有機化合物の構造決定 |
| 5 | MS-205 | 単結晶X線回折（CCD-1） | 奈良女子大学研究院自然科学系化学領域 | 藤井 浩 | 2022 | 22MS1033: 金属酵素モデル錯体の電子構造の研究 |
| 5 | MS-205 | 単結晶X線回折（CCD-1） | 東京海洋大学海洋電子機械工学部門 | 藤田 渉 | 2022 | 22MS1028: 新規配位高分子錯体の合成と磁気的性質に関する研究 |
| 5 | MS-205 | 単結晶X線回折（CCD-1） | 岐阜大学工学部化学・生命工学科 | 植村 一広 | 2022 | 22MS1016: 常磁性異種金属一次元鎖錯体と二次元状混合原子価集積体の合成と磁気物性 |
| 4 | MS-206 | 単結晶X線回折（CCD-2） | 名城大学理工学部応用化学科 | 永田 央 | 2022 | 22MS1054: 二酸化炭素還元を指向した金属錯体の合成と構造解析 |
| 4 | MS-206 | 単結晶X線回折（CCD-2） | 豊橋技術科学大学応用化学・生命工学系 | 藤沢 郁英 | 2022 | 22MS1043: X線結晶構造解析による新規合成有機化合物の構造決定 |
| 4 | MS-206 | 単結晶X線回折（CCD-2） | 奈良女子大学研究院自然科学系化学領域 | 藤井 浩 | 2022 | 22MS1033: 金属酵素モデル錯体の電子構造の研究 |
| 4 | MS-206 | 単結晶X線回折（CCD-2） | 岐阜大学工学部化学・生命工学科 | 植村 一広 | 2022 | 22MS1016: 常磁性異種金属一次元鎖錯体と二次元状混合原子価集積体の合成と磁気物性 |
| 1 | MS-217 | 電子スピン共鳴（E580） | 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター | 石川 健治 | 2022 | 22MS1052: E580イメージングユニットを利用した低温プラズマ-マテリアルインフォマティクス |
| 1 | MS-209 | 粉末X線回折 | 東京海洋大学海洋電子機械工学部門 | 藤田 渉 | 2022 | 22MS1028: 新規配位高分子錯体の合成と磁気的性質に関する研究 |
| 2 | MS-302 | 大規模量子化学計算 | 大阪公立大学大学院理学研究科 | 武藤 克也 | 2022 | 22MS0031: 量子化学計算に基づく金属ナノクラスターの構造-物性相間の解明 |
| 2 | MS-302 | 大規模量子化学計算 | School of Physics, Xi'an Jiaotong University | Tao Yang | 2022 | 22MS0020: TheoreticalStudies on Endohedral Metal-Metal-Bonding Fullerenes Lu2@C2n(2n = 76 - 84) and Their Two-Dimensional Nanomaterials |
| 2 | MS-301 | 有機FET | 静岡大学理学部物理学科 | 広部 大地 | 2022 | 22MS0019: 結晶性キラル半導体におけるスピン依存非相反伝導とその電気的制御 |
| 2 | MS-301 | 有機FET | 名古屋大学大学院工学研究科応用物理学専攻 | 伊東 裕 | 2022 | 22MS0013: 有機結晶表面に作成した電解質トランジスタと歪印加を併用した新奇物性探索 |
| 1 | MS-305 | 金属錯体 | 龍谷大学先端理工学部応用化学課程 | 服部 陽平 | 2022 | 22MS0011: 安定発光性ラジカルPyBTM及びF2PyBTMのパラ置換による新たな光物性開発 |
| 1 | MS-212 | 機能性材料バンド構造顕微分析システム | 千葉大学大学院工学研究院 | 吉田 弘幸 | 2022 | 22MS0003: 高移動度有機半導体の完全なバンド構造決定 |
| 5 | UE-008 | 電子スピン共鳴装置 | 株式会社村田製作所 | 一条 直規 | 2022 | 22UE5289: 電子スピン共鳴装置による電子部品材料の電子状態解析 |
| 5 | UE-008 | 電子スピン共鳴装置 | 北里大学理学部化学科 | 土屋 敬広 | 2022 | 22UE5285: 動的共有結合性を示す有機ラジカルの電子状態解明 |
| 5 | UE-008 | 電子スピン共鳴装置 | 東京理科大学理学部第一部化学科 | 金友 拓哉 | 2022 | 22UE5271: スピロビラジカル分子における分子内強磁性的相互作用のスピロ原子依存性 |
| 5 | UE-008 | 電子スピン共鳴装置 | 北里大学理学部化学科 | 真崎 康博 | 2022 | 22UE5006: 有機機能性色素のクロミック特性における常時性化学種の存否 |
| 5 | UE-008 | 電子スピン共鳴装置 | 信越化学工業株式会社 | 井上 友博 | 2022 | 22UE5003: 電子スピン共鳴装置を利用した光触媒の活性酸素種の評価 |
| 4 | UE-004 | DSC粉末X線同時測定装置 | 国士舘大学理工学部 | 名越 篤史 | 2022 | 22UE5288: DSC粉末X線同時測定装置を利用したシリカ細孔中のトリグリセリドの結晶構造の同定 |
| 4 | UE-004 | DSC粉末X線同時測定装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 中村 仁 | 2022 | 22UE0280: 3d遍歴電子と4f局在電子が共存する金属間化合物の磁性 |
| 4 | UE-004 | DSC粉末X線同時測定装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 中村 淳 | 2022 | 22UE0059: 新規電池材料開発 |
| 4 | UE-004 | DSC粉末X線同時測定装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 一色 秀夫 | 2022 | 22UE0015: 機能性酸化物の非エピタキシャル成長とシリコンフォトニクス応用 |
| 2 | UE-017 | 透過型電子顕微鏡 | 帝京科学大学生命環境学部自然環境学科 | 山際 清史 | 2022 | 22UE5283: CVDおよび液相法により合成した各種ナノカーボンの透過型電子顕微鏡および顕微レーザーラマン分光計を用いた構造評価 |
| 2 | UE-017 | 透過型電子顕微鏡 | 信越化学工業株式会社 | 井上 友博 | 2022 | 22UE5002: 酸化チタン系微粒子の分散・粒子表面・薄膜内部の観察と、光学物性との関係の研究 |
| 1 | UE-006 | 顕微レーザーラマン分光計 | 帝京科学大学生命環境学部自然環境学科 | 山際 清史 | 2022 | 22UE5283: CVDおよび液相法により合成した各種ナノカーボンの透過型電子顕微鏡および顕微レーザーラマン分光計を用いた構造評価 |
| 2 | UE-009 | 共焦点蛍光顕微鏡システム | 電気通信大学情報理工学研究科 | 田仲 真紀子 | 2022 | 22UE0281: 二本鎖DNAの構造機能相関の調査 |
| 2 | UE-009 | 共焦点蛍光顕微鏡システム | 電気通信大学情報理工学研究科 | 仲村 厚志 | 2022 | 22UE0032: 神経情報伝達のメカニズム |
| 2 | UE-015 | 円二色性分散計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 田仲 真紀子 | 2022 | 22UE0281: 二本鎖DNAの構造機能相関の調査 |
| 2 | UE-015 | 円二色性分散計 | 電気通信大学教育研究技師部 | 菅 虎雄 | 2022 | 22UE0268: III類学生実験における生体高分子の立体構造評価 |
| 3 | UE-011 | 電子線元素状態分析装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 中村 仁 | 2022 | 22UE0280: 3d遍歴電子と4f局在電子が共存する金属間化合物の磁性 |
| 3 | UE-011 | 電子線元素状態分析装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 村中 隆弘 | 2022 | 22UE0101: 新超伝導体の開発 |
| 3 | UE-011 | 電子線元素状態分析装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 一色 秀夫 | 2022 | 22UE0015: 機能性酸化物の非エピタキシャル成長とシリコンフォトニクス応用 |
| 4 | UE-001 | 超伝導量子干渉型磁束計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 中村 仁 | 2022 | 22UE0280: 3d遍歴電子と4f局在電子が共存する金属間化合物の磁性 |
| 4 | UE-001 | 超伝導量子干渉型磁束計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 村中 隆弘 | 2022 | 22UE0101: 新超伝導体の開発 |
| 4 | UE-001 | 超伝導量子干渉型磁束計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 松林 和幸 | 2022 | 22UE0024: 極限環境下での物性測定 |
| 4 | UE-001 | 超伝導量子干渉型磁束計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 石田 尚行 | 2022 | 22UE0016: 興味ある電子物性材料の開発 |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 牧 昌次郎 | 2022 | 22UE0274: 新規抗ガン剤の開発研究 |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 日本大学文理学部化学科 | 早川 一郎 | 2022 | 22UE5272: 500MHz NMRとESI-TOF MSを利用した天然有機化合物合成中間体の構造解析 |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 牧 昌次郎 | 2022 | 22UE0037: 生物発光を利用した新規標識材料の開発研究 |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 瀧 真清 | 2022 | 22UE0028: 創薬システムエンジニアリング |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 電気通信大学研究設備センター | 桑原 大介 | 2022 | 22UE0023: エチレンジアミン四酢酸キレート錯体中の重原子が周りの核に及ぼす相対論的効果 |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 石田 尚行 | 2022 | 22UE0016: 興味ある電子物性材料の開発 |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 電気通信大学 大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2022 | 22UE0012: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発への展開 |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 電気通信大学研究設備センター | 桑原 大介 | 2021 | 21UE0002: 硝酸塩水溶液中における重原子の希釈濃縮シフトの研究 |
| 9 | UE-003 | 溶液NMR装置 | 電気通信大学大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2021 | 21UE0001: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発展開 |
| 5 | UE-012 | 高速応答FT-IR | 電気通信大学情報理工学研究科 | 牧 昌次郎 | 2022 | 22UE0274: 新規抗ガン剤の開発研究 |
| 5 | UE-012 | 高速応答FT-IR | 電気通信大学情報理工学研究科 | 牧 昌次郎 | 2022 | 22UE0037: 生物発光を利用した新規標識材料の開発研究 |
| 5 | UE-012 | 高速応答FT-IR | 電気通信大学情報理工学研究科 | 石田 尚行 | 2022 | 22UE0016: 興味ある電子物性材料の開発 |
| 5 | UE-012 | 高速応答FT-IR | 電気通信大学 大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2022 | 22UE0012: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発への展開 |
| 5 | UE-012 | 高速応答FT-IR | 電気通信大学大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2021 | 21UE0001: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発展開 |
| 5 | UE-013 | ESI-TOF型質量分析計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 牧 昌次郎 | 2022 | 22UE0274: 新規抗ガン剤の開発研究 |
| 5 | UE-013 | ESI-TOF型質量分析計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 牧 昌次郎 | 2022 | 22UE0037: 生物発光を利用した新規標識材料の開発研究 |
| 5 | UE-013 | ESI-TOF型質量分析計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 瀧 真清 | 2022 | 22UE0028: 創薬システムエンジニアリング |
| 5 | UE-013 | ESI-TOF型質量分析計 | 電気通信大学 大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2022 | 22UE0012: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発への展開 |
| 5 | UE-013 | ESI-TOF型質量分析計 | 電気通信大学大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2021 | 21UE0001: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発展開 |
| 3 | UE-019 | MALDI-スパイラルTOF 質量分析装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 牧 昌次郎 | 2022 | 22UE0274: 新規抗ガン剤の開発研究 |
| 3 | UE-019 | MALDI-スパイラルTOF 質量分析装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 牧 昌次郎 | 2022 | 22UE0037: 生物発光を利用した新規標識材料の開発研究 |
| 3 | UE-019 | MALDI-スパイラルTOF 質量分析装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 瀧 真清 | 2022 | 22UE0028: 創薬システムエンジニアリング |
| 3 | UE-002 | 高磁場多目的物性測定システム | 電気通信大学情報理工学研究科 | 村中 隆弘 | 2022 | 22UE0101: 新超伝導体の開発 |
| 3 | UE-002 | 高磁場多目的物性測定システム | 電気通信大学情報理工学研究科 | 松林 和幸 | 2022 | 22UE0024: 極限環境下での物性測定 |
| 3 | UE-002 | 高磁場多目的物性測定システム | 電気通信大学情報理工学研究科 | 石田 尚行 | 2022 | 22UE0016: 興味ある電子物性材料の開発 |
| 3 | UE-018 | 精密構造解析用X線回折装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 村中 隆弘 | 2022 | 22UE0101: 新超伝導体の開発 |
| 3 | UE-018 | 精密構造解析用X線回折装置 | 電気通信大学 大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2022 | 22UE0012: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発への展開 |
| 3 | UE-018 | 精密構造解析用X線回折装置 | 電気通信大学大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2021 | 21UE0001: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発展開 |
| 2 | UE-020 | 超伝導量子干渉型磁束計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 村中 隆弘 | 2022 | 22UE0101: 新超伝導体の開発 |
| 2 | UE-020 | 超伝導量子干渉型磁束計 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 松林 和幸 | 2022 | 22UE0024: 極限環境下での物性測定 |
| 3 | UE-005 | HPC型単結晶X線回折装置 | 電気通信大学情報理工学研究科 | 石田 尚行 | 2022 | 22UE0016: 興味ある電子物性材料の開発 |
| 3 | UE-005 | HPC型単結晶X線回折装置 | 電気通信大学 大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2022 | 22UE0012: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発への展開 |
| 3 | UE-005 | HPC型単結晶X線回折装置 | 電気通信大学大学院情報理工学研究科 | 平野 誉 | 2021 | 21UE0001: 生物・化学発光の分子基盤確立と材料開発展開 |
| 4 | WS-027 | ダイシングソー | 早稲田大学理工学術院 | 平岩 篤 | 2022 | 22WS0109: ワイドバンドギャップ半導体用高信頼ゲート絶縁膜技術の開発 |
| 4 | WS-027 | ダイシングソー | 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構 | 野崎 義人 | 2022 | 22WS0083: ドライ酸素ガスによるSi基板の熱酸化膜の評価 |
| 4 | WS-027 | ダイシングソー | 早稲田大学理工学術院 | 荒木 大輝 | 2022 | 22WS0046: メッキによるCoPt薄膜の形成とその制御のための予備検討 |
| 4 | WS-027 | ダイシングソー | 日本山村硝子株式会社 ニューガラスカンパニー | 笠 晴也 | 2022 | 22WS0034: セラミックス微細加工金型の作製 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 早稲田大学理工学術院 | 平岩 篤 | 2022 | 22WS0109: ワイドバンドギャップ半導体用高信頼ゲート絶縁膜技術の開発 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 早稲田大学理工学術院 | 太田 康介 | 2022 | 22WS0108: ダイヤモンドパワー電界効果トランジスタの研究 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 早稲田大学 先進理工学部 応用化学科 | 澤木 昴 | 2022 | 22WS0099: 表面増強ラマン分光法を用いたステアリン酸-鉄摺動界面の解析 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 応用化学専攻 | 吉田 立樹 | 2022 | 22WS0094: 表面増強ラマン分光法を用いた氷の摺動界面における摩擦と化学構造の解析 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 早稲田大学 ナノテクノロジー研究センター | 星野 勝美 | 2022 | 22WS0004: 成膜装置による膜特性の差異確認 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 応用物理学科 | 鈴木 彩斗 | 2022 | 22WS0085: Al2O3 WGAチップの製作 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 早稲田大学 基幹理工学部 電子物理システム学科 | 芝田 陸 | 2022 | 22WS0080: ナノストロースタンピングによる直接物質導入の改良 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 日本山村硝子株式会社 ニューガラスカンパニー | 笠 晴也 | 2022 | 22WS0034: セラミックス微細加工金型の作製 |
| 9 | WS-004 | 原子層堆積装置 | 株式会社ニコン | 蓮見 学 | 2022 | 22WS0005: カンチレバーへのAl2O3膜の成膜 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | 早稲田大学理工学術院 | 平岩 篤 | 2022 | 22WS0109: ワイドバンドギャップ半導体用高信頼ゲート絶縁膜技術の開発 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | 早稲田大学理工学術院 | 太田 康介 | 2022 | 22WS0108: ダイヤモンドパワー電界効果トランジスタの研究 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | AGC株式会社 | 齋藤 敦史 | 2022 | 22WS0098: イオンビームスパッタにより成膜したSiO2膜の特性評価 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | Research Organization for Nano & Life Innovation, Waseda University | Mahmudul HASAN | 2022 | 22WS0093: Ti/Cu layer deposition on the polycarbonate template by using Ion Beam Sputtering System |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | 早稲田大学 ナノテクノロジー研究センター | 星野 勝美 | 2022 | 22WS0004: 成膜装置による膜特性の差異確認 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | 早稲田大学 創造理工学部 総合機械工学科 | 神井 聡太 | 2022 | 22WS0087: イオンビームスパッタによるアノード基板上へのAl2O3/Pt膜成形 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | 早稲田大学 先進理工学部 応用化学科 | 船岡 聖矢 | 2022 | 22WS0079: CO2電解還元用新規ナノ複合電極創製に向けたCuおよびCu-Au薄膜の特性把握 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | 早稲田大学 大学院情報生産システム研究科 | 池橋 民雄 | 2022 | 22WS0072: 超低共振周波数MEMS共振器を用いた振動計の研究 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0023: 厚いCr膜形成法の検討 |
| 10 | WS-001 | イオンビームスパッタ装置 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0011: ICP-RIEを利用したSiO2の深掘りエッチング |
| 2 | WS-022 | 高耐圧デバイス測定装置＋ 高耐圧プローバ | 早稲田大学理工学術院 | 平岩 篤 | 2022 | 22WS0109: ワイドバンドギャップ半導体用高信頼ゲート絶縁膜技術の開発 |
| 2 | WS-022 | 高耐圧デバイス測定装置＋ 高耐圧プローバ | 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 | 劉 江偉 | 2022 | 22WS0031: デバイスの耐圧特性 |
| 3 | WS-023 | 高性能半導体デバイス アナライザ＋プローバ | 早稲田大学理工学術院 | 平岩 篤 | 2022 | 22WS0109: ワイドバンドギャップ半導体用高信頼ゲート絶縁膜技術の開発 |
| 3 | WS-023 | 高性能半導体デバイス アナライザ＋プローバ | 早稲田大学 ナノテクノロジー研究センター | 星野 勝美 | 2022 | 22WS0004: 成膜装置による膜特性の差異確認 |
| 3 | WS-023 | 高性能半導体デバイス アナライザ＋プローバ | 埼玉大学 | 白井 肇 | 2022 | 22WS0024: 半導体、誘電体薄膜の作製と評価に関する研究 |
| 1 | WS-030 | プラズマCVD装置 | 早稲田大学理工学術院 | 太田 康介 | 2022 | 22WS0108: ダイヤモンドパワー電界効果トランジスタの研究 |
| 8 | WS-007 | ICP-RIE装置 | 早稲田大学理工学術院 | 太田 康介 | 2022 | 22WS0108: ダイヤモンドパワー電界効果トランジスタの研究 |
| 8 | WS-007 | ICP-RIE装置 | 早稲田大学理工学術院 | ヘインサル シーム | 2022 | 22WS0106: シリコンアレー導波路回折格子の作製 |
| 8 | WS-007 | ICP-RIE装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 応用物理学科 | 鈴木 彩斗 | 2022 | 22WS0085: Al2O3 WGAチップの製作 |
| 8 | WS-007 | ICP-RIE装置 | 早稲田大学理工学術院 | 小林 雅史 | 2022 | 22WS0051: 石英ガラスの深堀エッチングのための予備検討 |
| 8 | WS-007 | ICP-RIE装置 | 早稲田大学理工学術院 | 高橋 勇磨 | 2022 | 22WS0045: Er:O共添加Siナノピラーからの室温フォトルミネッセンス計測 |
| 8 | WS-007 | ICP-RIE装置 | 早稲田大学理工学術院 | 齋藤 大樹 | 2022 | 22WS0035: ダイヤモンド表面へのナノピラー配列の作製 |
| 8 | WS-007 | ICP-RIE装置 | 日本山村硝子株式会社 ニューガラスカンパニー | 笠 晴也 | 2022 | 22WS0034: セラミックス微細加工金型の作製 |
| 8 | WS-007 | ICP-RIE装置 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0011: ICP-RIEを利用したSiO2の深掘りエッチング |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学理工学術院 | 太田 康介 | 2022 | 22WS0108: ダイヤモンドパワー電界効果トランジスタの研究 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学理工学術院 | ヘインサル シーム | 2022 | 22WS0106: シリコンアレー導波路回折格子の作製 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | Research Organization for Nano & Life Innovation, Waseda University | Mahmudul HASAN | 2022 | 22WS0093: Ti/Cu layer deposition on the polycarbonate template by using Ion Beam Sputtering System |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学 先進理工学研究科 生命医科学専攻 | 飯田 万由花 | 2022 | 22WS0088: メソポーラス材料の電気化学デバイスの開発 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学 先進理工学研究科 応用物理学科 | 鈴木 彩斗 | 2022 | 22WS0085: Al2O3 WGAチップの製作 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学 先進理工学部 応用化学科 | 船岡 聖矢 | 2022 | 22WS0079: CO2電解還元用新規ナノ複合電極創製に向けたCuおよびCu-Au薄膜の特性把握 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学 大学院情報生産システム研究科 | 池橋 民雄 | 2022 | 22WS0072: 超低共振周波数MEMS共振器を用いた振動計の研究 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学理工学術院 | 小柳 翔也 | 2022 | 22WS0053: マイクロ熱電変換素子の作製のための予備検討 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学理工学術院 | 太田 圭 | 2022 | 22WS0044: リチウムイオン蓄電デバイス用電極の開発のための予備検討 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学理工学術院 | 齋藤 大樹 | 2022 | 22WS0035: ダイヤモンド表面へのナノピラー配列の作製 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0025: マイクロ流路作製におけるリソグラフィー条件の検討 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 日本大学大学院 理工学研究科 物性実験研究室 | 高瀬 浩一 | 2022 | 22WS0021: 電子顕微鏡によるサンプルの観察 |
| 13 | WS-012 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0011: ICP-RIEを利用したSiO2の深掘りエッチング |
| 2 | WS-011 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学理工学術院 | SONG KEWEI | 2022 | 22WS0111: 無電解めっき法の検討 |
| 2 | WS-011 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 | 早稲田大学理工学術院 | 齋藤 大樹 | 2022 | 22WS0035: ダイヤモンド表面へのナノピラー配列の作製 |
| 7 | WS-005 | 精密めっき装置群＋ドラフト群 | 早稲田大学理工学術院 | SONG KEWEI | 2022 | 22WS0111: 無電解めっき法の検討 |
| 7 | WS-005 | 精密めっき装置群＋ドラフト群 | 早稲田大学 創造理工学研究科 総合機械工学 | 梅津 信二朗 | 2022 | 22WS0074: ペロブスカイト太陽電池のデジタルファブリケーション |
| 7 | WS-005 | 精密めっき装置群＋ドラフト群 | 早稲田大学理工学術院 | 小柳 翔也 | 2022 | 22WS0058: マイクロ熱電変換素子の作製のための予備検討 |
| 7 | WS-005 | 精密めっき装置群＋ドラフト群 | 東京工業大学 機械系機械コース 進士研究室 | 永井 慧大 | 2022 | 22WS0032: マイクロコイルの作製 |
| 7 | WS-005 | 精密めっき装置群＋ドラフト群 | 株式会社プロブエース | 清宮 政雄 | 2022 | 22WS0027: 配線一括製造方式シート構造の作製 |
| 7 | WS-005 | 精密めっき装置群＋ドラフト群 | 東京大学大学院 理学系研究科 宇宙科学研究所 | 八木 雄大 | 2022 | 22WS0026: アクシオン探査用超伝導転移端型カロリメータの吸収体Fe成膜 |
| 7 | WS-005 | 精密めっき装置群＋ドラフト群 | 東京工業大学 | 仁田 帆南 | 2022 | 22WS0018: コイルの作製 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 早稲田大学理工学術院 | 宇田川 諒 | 2022 | 22WS0110: ガラス基板に対するマイクロピラーアレイの作製 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 早稲田大学理工学術院 | 桒田 椋 | 2022 | 22WS0107: 45°ミラー付きポリマー光スイッチの作製 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 早稲田大学理工学術院 | SHENGQI ZHENG | 2022 | 22WS0101: 有機反応に応用可能な超微小有機溶媒液滴生成デバイスの作製 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 早稲田大学理工学術院 | 宮崎 彩 | 2022 | 22WS0100: PDMS-PDMS接合を用いたマイクロ流体デバイス作製プロセスの最適化 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 ナノ理工学専攻 | 四條 星斗 | 2022 | 22WS0095: 選択的液滴抽出マイクロ流体デバイスの作製 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 ナノ理工学専攻 | 森 渉 | 2022 | 22WS0091: 微細加工によるバイオセンサー用くし型電極チップの作製 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 早稲田大学 基幹理工学研究科 電子物理システム学専攻 | 小林 雅史 | 2022 | 22WS0084: マイクロ流体デバイスを用いたリアルタイム化学合成観察に向けた金属錯体の効率的な合成 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 早稲田大学 先進理工学部 応用化学科 | 船岡 聖矢 | 2022 | 22WS0079: CO2電解還元用新規ナノ複合電極創製に向けたCuおよびCu-Au薄膜の特性把握 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 東京工業大学 機械系機械コース 進士研究室 | 永井 慧大 | 2022 | 22WS0032: マイクロコイルの作製 |
| 10 | WS-016 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0025: マイクロ流路作製におけるリソグラフィー条件の検討 |
| 2 | WS-020 | 顕微ラマン分光装置 | 早稲田大学 先進理工学部 応用化学科 | 澤木 昴 | 2022 | 22WS0099: 表面増強ラマン分光法を用いたステアリン酸-鉄摺動界面の解析 |
| 2 | WS-020 | 顕微ラマン分光装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 応用化学専攻 | 吉田 立樹 | 2022 | 22WS0094: 表面増強ラマン分光法を用いた氷の摺動界面における摩擦と化学構造の解析 |
| 6 | WS-003 | 電子ビーム蒸着装置 | 早稲田大学理工学術院 | 桒田 椋 | 2022 | 22WS0107: 45°ミラー付きポリマー光スイッチの作製 |
| 6 | WS-003 | 電子ビーム蒸着装置 | 早稲田大学理工学術院 | ヘインサル シーム | 2022 | 22WS0106: シリコンアレー導波路回折格子の作製 |
| 6 | WS-003 | 電子ビーム蒸着装置 | 早稲田大学理工学術院 | 臼井 俊太郎 | 2022 | 22WS0105: ダイヤモンド上オンチップマイクロ波アンテナの作製 |
| 6 | WS-003 | 電子ビーム蒸着装置 | 早稲田大学 ナノテクノロジー研究センター | 星野 勝美 | 2022 | 22WS0004: 成膜装置による膜特性の差異確認 |
| 6 | WS-003 | 電子ビーム蒸着装置 | 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構 | 児島 映理 | 2022 | 22WS0090: Cu箔の上へのアルミ蒸着 |
| 6 | WS-003 | 電子ビーム蒸着装置 | 東京工業大学 機械系機械コース 進士研究室 | 永井 慧大 | 2022 | 22WS0032: マイクロコイルの作製 |
| 5 | WS-015 | 電子ビーム描画装置 | 早稲田大学理工学術院 | ヘインサル シーム | 2022 | 22WS0106: シリコンアレー導波路回折格子の作製 |
| 5 | WS-015 | 電子ビーム描画装置 | 量子科学技術研究開発機構 | 小野田 忍 | 2022 | 22WS0102: ダイヤモンド中の浅いNVセンター規則配列の形成 |
| 5 | WS-015 | 電子ビーム描画装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 応用物理学科 | 鈴木 彩斗 | 2022 | 22WS0085: Al2O3 WGAチップの製作 |
| 5 | WS-015 | 電子ビーム描画装置 | 早稲田大学理工学術院 | 高橋 勇磨 | 2022 | 22WS0045: Er:O共添加Siナノピラーからの室温フォトルミネッセンス計測 |
| 5 | WS-015 | 電子ビーム描画装置 | 早稲田大学理工学術院 | 齋藤 大樹 | 2022 | 22WS0035: ダイヤモンド表面へのナノピラー配列の作製 |
| 1 | WS-031 | 共焦点レーザー走査型顕微鏡 | 早稲田大学理工学術院 | 津川 雅人 | 2022 | 22WS0104: ダイヤモンド中の浅い単一NVセンター配列の共焦点顕微鏡像観察 |
| 5 | WS-014 | 紫外線露光装置 | 早稲田大学理工学術院 | SHENGQI ZHENG | 2022 | 22WS0101: 有機反応に応用可能な超微小有機溶媒液滴生成デバイスの作製 |
| 5 | WS-014 | 紫外線露光装置 | 早稲田大学理工学術院 | 宮崎 彩 | 2022 | 22WS0100: PDMS-PDMS接合を用いたマイクロ流体デバイス作製プロセスの最適化 |
| 5 | WS-014 | 紫外線露光装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 ナノ理工学専攻 | 四條 星斗 | 2022 | 22WS0095: 選択的液滴抽出マイクロ流体デバイスの作製 |
| 5 | WS-014 | 紫外線露光装置 | 早稲田大学 基幹理工学研究科 電子物理システム学専攻 | 小林 雅史 | 2022 | 22WS0084: マイクロ流体デバイスを用いたリアルタイム化学合成観察に向けた金属錯体の効率的な合成 |
| 5 | WS-014 | 紫外線露光装置 | 早稲田大学 大学院情報生産システム研究科 | 池橋 民雄 | 2022 | 22WS0072: 超低共振周波数MEMS共振器を用いた振動計の研究 |
| 1 | WS-029 | 電気計測装置群（オシロスコープ、スペクトルアナライザー、ＬＣＲメーター、等） | 早稲田大学 先進理工学研究科 ナノ理工学専攻 | 四條 星斗 | 2022 | 22WS0096: マイクロ流体デバイスによる個別液滴の操作 |
| 4 | WS-010 | 集束イオン/電子ビーム加工観察装置 | Research Organization for Nano & Life Innovation, Waseda University | Mahmudul HASAN | 2022 | 22WS0093: Ti/Cu layer deposition on the polycarbonate template by using Ion Beam Sputtering System |
| 4 | WS-010 | 集束イオン/電子ビーム加工観察装置 | 早稲田大学 先進理工学部 応用化学科 | 船岡 聖矢 | 2022 | 22WS0079: CO2電解還元用新規ナノ複合電極創製に向けたCuおよびCu-Au薄膜の特性把握 |
| 4 | WS-010 | 集束イオン/電子ビーム加工観察装置 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0025: マイクロ流路作製におけるリソグラフィー条件の検討 |
| 4 | WS-010 | 集束イオン/電子ビーム加工観察装置 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0011: ICP-RIEを利用したSiO2の深掘りエッチング |
| 4 | WS-002 | 電子ビーム蒸着装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 ナノ理工学専攻 | 森 渉 | 2022 | 22WS0091: 微細加工によるバイオセンサー用くし型電極チップの作製 |
| 4 | WS-002 | 電子ビーム蒸着装置 | 早稲田大学 各務記念材料技術研究所 | 寺澤 有果菜 | 2022 | 22WS0089: 有機強誘電体（絶縁体）単結晶試料の特性評価のための電極の形成と特性評価 |
| 4 | WS-002 | 電子ビーム蒸着装置 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0023: 厚いCr膜形成法の検討 |
| 4 | WS-002 | 電子ビーム蒸着装置 | 東京大学 マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構 北森グループ | 清水 久史 | 2022 | 22WS0011: ICP-RIEを利用したSiO2の深掘りエッチング |
| 6 | WS-026 | 高性能分光エリプソメータ | 早稲田大学 ナノテクノロジー研究センター | 星野 勝美 | 2022 | 22WS0004: 成膜装置による膜特性の差異確認 |
| 6 | WS-026 | 高性能分光エリプソメータ | 早稲田大学 先進理工学研究科 応用物理学科 | 鈴木 彩斗 | 2022 | 22WS0085: Al2O3 WGAチップの製作 |
| 6 | WS-026 | 高性能分光エリプソメータ | 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構 | 野崎 義人 | 2022 | 22WS0083: ドライ酸素ガスによるSi基板の熱酸化膜の評価 |
| 6 | WS-026 | 高性能分光エリプソメータ | 埼玉大学 | 白井 肇 | 2022 | 22WS0024: 半導体、誘電体薄膜の作製と評価に関する研究 |
| 6 | WS-026 | 高性能分光エリプソメータ | 株式会社 堀場テクノサービス | 和才 容子 | 2022 | 22WS0006: 分光エリプソメーターのデモ |
| 6 | WS-026 | 高性能分光エリプソメータ | 株式会社ニコン | 蓮見 学 | 2022 | 22WS0005: カンチレバーへのAl2O3膜の成膜 |
| 2 | WS-008 | CCP-RIE装置 | 早稲田大学 先進理工学研究科 生命医科学専攻 | 飯田 万由花 | 2022 | 22WS0088: メソポーラス材料の電気化学デバイスの開発 |
| 2 | WS-008 | CCP-RIE装置 | 早稲田大学 大学院情報生産システム研究科 | 池橋 民雄 | 2022 | 22WS0072: 超低共振周波数MEMS共振器を用いた振動計の研究 |
| 2 | WS-021 | 触針式段差計 | 早稲田大学 先進理工学研究科 生命医科学専攻 | 飯田 万由花 | 2022 | 22WS0088: メソポーラス材料の電気化学デバイスの開発 |
| 2 | WS-021 | 触針式段差計 | 早稲田大学理工学術院 | 内田 諒真 | 2022 | 22WS0036: 有機シロキサン系エラストマーを用いた成膜（薄膜評価装置・触針式段差計 事前検討） |
| 3 | WS-009 | Deep-RIE装置 | 早稲田大学 基幹理工学研究科 電子物理システム学専攻 | 小林 雅史 | 2022 | 22WS0084: マイクロ流体デバイスを用いたリアルタイム化学合成観察に向けた金属錯体の効率的な合成 |
| 3 | WS-009 | Deep-RIE装置 | 早稲田大学 大学院情報生産システム研究科 | 池橋 民雄 | 2022 | 22WS0072: 超低共振周波数MEMS共振器を用いた振動計の研究 |
| 3 | WS-009 | Deep-RIE装置 | 東京工業大学 機械系機械コース 進士研究室 | 永井 慧大 | 2022 | 22WS0032: マイクロコイルの作製 |
| 3 | WS-006 | プラズマアッシャー | 早稲田大学 先進理工学部 応用化学科 | 船岡 聖矢 | 2022 | 22WS0079: CO2電解還元用新規ナノ複合電極創製に向けたCuおよびCu-Au薄膜の特性把握 |
| 3 | WS-006 | プラズマアッシャー | 早稲田大学理工学術院 | 吉原 昌幸 | 2022 | 22WS0054: イオン液体を用いた電析Si薄膜の作製のための予備検討 |
| 3 | WS-006 | プラズマアッシャー | 早稲田大学 先進理工学研究科 応用化学専攻 | TAKAZA Collen | 2022 | 22WS0042: 熱電デバイスの開発のためのプラズマアッシャー利用の事前検討 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学 | 鈴木 左文 | 2022 | 22IT0029: 高出力共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の研究 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学 | 鈴木 左文 | 2022 | 22IT0028: 高周波共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の研究 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0023: 波長可変レーザのための下部面発光レーザ構造の作製 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0022: MIS HEMTに向けたGaN MISダイオードの研究 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0021: InGaAs ナノシートトンネルFETに向けた研究 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学 物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0043: 温度波解析のためのマイクロデバイス開発 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0033: マスクレス露光装置を用いたMEMSデバイスの作製 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 風田川 統之 | 2022 | 22IT0015: III-V族半導体共鳴トンネル構造を用いたテラヘルツ波発生とその応用 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学工学院電気電子系 | 高村 陽太 | 2022 | 22IT0011: 磁歪フリー層を持つトンネル磁気抵抗変化素子の作製 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学工学院電気電子系 | 高村 陽太 | 2022 | 22IT0010: メサ形磁性体へ高効率に圧力を印加する構造の試作 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学 | 三宅 玄悟 | 2022 | 22IT0004: 超電導／スピントロにクス材料接合素子の作製とその近接効果の評価 |
| 12 | IT-004 | マスクレス露光装置 | 千葉大学大学院理学研究院 | 伊藤 弘明 | 2022 | 22IT0003: マイクロデバイスを用いた微粒子・細胞変形能計測 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 鈴木 左文 | 2022 | 22IT0029: 高出力共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の研究 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 鈴木 左文 | 2022 | 22IT0028: 高周波共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の研究 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0021: InGaAs ナノシートトンネルFETに向けた研究 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学科学技術創成研究院 | 庄司 雄哉 | 2022 | 22IT0031: 磁気光学ガーネットのシリコン基板上への集積手法の研究開発 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学科学技術創成研究院 | 庄司 雄哉 | 2022 | 22IT0030: 導波路型光アイソレータおよび磁気光学デバイスの作製 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 科学技術創成研究院 | 雨宮 智宏 | 2022 | 22IT0027: トポロジカル光回路の作製手法の検討 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 高橋 直樹 | 2022 | 22IT0026: 半導体薄膜光集積回路作製手法の検討と測定 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 / 技術研究組合光電子融合基盤研究所 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0025: 異種材料接合を利用した光集積回路作製手法の検討と測定 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 | Pham Nam Hai | 2022 | 22IT0035: 超高速磁化反転技術の開発 |
| 10 | IT-007 | 走査型電子顕微鏡 | 芝浦工業大学 工学部 電子工学科 | 横井 秀樹 | 2022 | 22IT0034: マスクレス露光による磁気光学導波路製作 |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | 東京工業大学 | 鈴木 左文 | 2022 | 22IT0029: 高出力共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の研究 |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | 東京工業大学 | 鈴木 左文 | 2022 | 22IT0028: 高周波共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の研究 |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0023: 波長可変レーザのための下部面発光レーザ構造の作製 |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0022: MIS HEMTに向けたGaN MISダイオードの研究 |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0021: InGaAs ナノシートトンネルFETに向けた研究 |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | 大阪工業大学 | 吉田 福蔵 | 2022 | 22IT0060: 熱刺激電流（TSC)の可視化解析技術による電気・電子材料の欠陥評価 |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | スペースパワーテクノロジーズ | 古川 実 | 2022 | 22IT0050: 光レクテナ用幾何学的ダイオードの開発（4） |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 高橋 直樹 | 2022 | 22IT0026: 半導体薄膜光集積回路作製手法の検討と測定 |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | スペースパワーテクノロジーズ | 古川 実 | 2022 | 22IT0012: 光レクテナ用幾何学的ダイオードの開発（３） |
| 10 | IT-008 | 3連Eガン蒸着装置 | 東京農工大学 工学研究院 先端電気電子部門 | 鈴木 健仁 | 2022 | 22IT0005: Si基板上への正方形積層（Au/SiO2/Au）パッチの作製 |
| 3 | IT-009 | 高真空Eガン蒸着装置 | 東京工業大学 | 鈴木 左文 | 2022 | 22IT0029: 高出力共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の研究 |
| 3 | IT-009 | 高真空Eガン蒸着装置 | 東京工業大学 | 鈴木 左文 | 2022 | 22IT0028: 高周波共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の研究 |
| 3 | IT-009 | 高真空Eガン蒸着装置 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 風田川 統之 | 2022 | 22IT0015: III-V族半導体共鳴トンネル構造を用いたテラヘルツ波発生とその応用 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0024: 緑色光導波のためのSiN細線導波路作製 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 分島 彰男 | 2022 | 22IT0045: GaNゲーティッドアノードダイオードに対する電子線露光微細ゲートプロセス適用可能性の検討 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 分島 彰男 | 2022 | 22IT0016: 準ミリ波帯で動作する窒化物半導体トランジスタ増幅器の高耐圧・高出力化に関する研究 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学物質理工学院 | 大曲 駿 | 2022 | 22IT0052: 表面プラズモンポラリトンと発光性ナノ結晶間のエネルギー移動 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学物質理工学院 | 大曲 駿 | 2022 | 22IT0017: 表面プラズモンポラリトンと発光性ナノ結晶間のエネルギー移動 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 日本放送協会 | 宮本 泰敬 | 2022 | 22IT0008: 磁性細線メモリーの高精度多層配置プロセスの開発 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学物質理工学院 | 神戸 遼太 | 2022 | 22IT0051: 単一PSI分子の光電流特性と規則正しく配置されたAuナノロッドによるプラズモン増強と偏光依存性 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | スペースパワーテクノロジーズ | 古川 実 | 2022 | 22IT0050: 光レクテナ用幾何学的ダイオードの開発（4） |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学 科学技術創成研究院 | 雨宮 智宏 | 2022 | 22IT0027: トポロジカル光回路の作製手法の検討 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 高橋 直樹 | 2022 | 22IT0026: 半導体薄膜光集積回路作製手法の検討と測定 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学 / 技術研究組合光電子融合基盤研究所 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0025: 異種材料接合を利用した光集積回路作製手法の検討と測定 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学 | 神戸 遼太 | 2022 | 22IT0014: 単一PSIプラズモ分子の光電流特性と規則正しく配置されたAuナノロッドによるプラズモン増強と偏光依存性 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | スペースパワーテクノロジーズ | 古川 実 | 2022 | 22IT0012: 光レクテナ用幾何学的ダイオードの開発（３） |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京農工大学 工学研究院 先端電気電子部門 | 鈴木 健仁 | 2022 | 22IT0005: Si基板上への正方形積層（Au/SiO2/Au）パッチの作製 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京工業大学 | 三宅 玄悟 | 2022 | 22IT0004: 超電導／スピントロにクス材料接合素子の作製とその近接効果の評価 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 徳島大学 | 塚本 真彩 | 2022 | 22IT0046: 高速高偏光ビーム素子電極向レジスト条件探索 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東北大学 | 那須川 蓮 | 2022 | 22IT0042: 高速高偏光ビーム素子電極向レジスト条件探索 |
| 18 | IT-002 | 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア | 東京大学工学系研究科機械工学専攻 | 徐 偉倫 | 2022 | 22IT0009: 無機材料ナノポアを用いた単鎖DNAシーケンサーの製作 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0024: 緑色光導波のためのSiN細線導波路作製 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学物質理工学院 | 大曲 駿 | 2022 | 22IT0052: 表面プラズモンポラリトンと発光性ナノ結晶間のエネルギー移動 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学物質理工学院 | 大曲 駿 | 2022 | 22IT0017: 表面プラズモンポラリトンと発光性ナノ結晶間のエネルギー移動 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 日本放送協会 | 宮本 泰敬 | 2022 | 22IT0008: 磁性細線メモリーの高精度多層配置プロセスの開発 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学物質理工学院 | 神戸 遼太 | 2022 | 22IT0051: 単一PSI分子の光電流特性と規則正しく配置されたAuナノロッドによるプラズモン増強と偏光依存性 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | スペースパワーテクノロジーズ | 古川 実 | 2022 | 22IT0050: 光レクテナ用幾何学的ダイオードの開発（4） |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 三菱電機株式会社 | 増山 圭 | 2022 | 22IT0020: 微細光導波路の試作 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 神戸 遼太 | 2022 | 22IT0014: 単一PSIプラズモ分子の光電流特性と規則正しく配置されたAuナノロッドによるプラズモン増強と偏光依存性 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | スペースパワーテクノロジーズ | 古川 実 | 2022 | 22IT0012: 光レクテナ用幾何学的ダイオードの開発（３） |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 東京農工大学 工学研究院 先端電気電子部門 | 鈴木 健仁 | 2022 | 22IT0005: Si基板上への正方形積層（Au/SiO2/Au）パッチの作製 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 三宅 玄悟 | 2022 | 22IT0004: 超電導／スピントロにクス材料接合素子の作製とその近接効果の評価 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 徳島大学 | 塚本 真彩 | 2022 | 22IT0046: 高速高偏光ビーム素子電極向レジスト条件探索 |
| 13 | IT-006 | 走査型電子顕微鏡 | 東北大学 | 那須川 蓮 | 2022 | 22IT0042: 高速高偏光ビーム素子電極向レジスト条件探索 |
| 2 | IT-013 | ICPリアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0024: 緑色光導波のためのSiN細線導波路作製 |
| 2 | IT-013 | ICPリアクテブイオンエッチング装置 | 三菱電機株式会社 | 増山 圭 | 2022 | 22IT0020: 微細光導波路の試作 |
| 2 | IT-014 | ダイヤモンド用ICPリアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0024: 緑色光導波のためのSiN細線導波路作製 |
| 2 | IT-014 | ダイヤモンド用ICPリアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学 科学技術創成研究院 | 雨宮 智宏 | 2022 | 22IT0027: トポロジカル光回路の作製手法の検討 |
| 4 | IT-005 | コンタクト光学露光装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0023: 波長可変レーザのための下部面発光レーザ構造の作製 |
| 4 | IT-005 | コンタクト光学露光装置 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0022: MIS HEMTに向けたGaN MISダイオードの研究 |
| 4 | IT-005 | コンタクト光学露光装置 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0021: InGaAs ナノシートトンネルFETに向けた研究 |
| 4 | IT-005 | コンタクト光学露光装置 | 東京工業大学 / 技術研究組合光電子融合基盤研究所 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0025: 異種材料接合を利用した光集積回路作製手法の検討と測定 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0023: 波長可変レーザのための下部面発光レーザ構造の作製 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0022: MIS HEMTに向けたGaN MISダイオードの研究 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学物質理工学院 | 大曲 駿 | 2022 | 22IT0052: 表面プラズモンポラリトンと発光性ナノ結晶間のエネルギー移動 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学物質理工学院 | 大曲 駿 | 2022 | 22IT0017: 表面プラズモンポラリトンと発光性ナノ結晶間のエネルギー移動 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学物質理工学院 | 神戸 遼太 | 2022 | 22IT0051: 単一PSI分子の光電流特性と規則正しく配置されたAuナノロッドによるプラズモン増強と偏光依存性 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 三菱電機株式会社 | 増山 圭 | 2022 | 22IT0020: 微細光導波路の試作 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学 | 神戸 遼太 | 2022 | 22IT0014: 単一PSIプラズモ分子の光電流特性と規則正しく配置されたAuナノロッドによるプラズモン増強と偏光依存性 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学工学院電気電子系 | 高村 陽太 | 2022 | 22IT0011: 磁歪フリー層を持つトンネル磁気抵抗変化素子の作製 |
| 9 | IT-012 | リアクテブイオンエッチング装置 | 東京工業大学 | 三宅 玄悟 | 2022 | 22IT0004: 超電導／スピントロにクス材料接合素子の作製とその近接効果の評価 |
| 7 | IT-015 | SiO2プラズマCVD 装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0023: 波長可変レーザのための下部面発光レーザ構造の作製 |
| 7 | IT-015 | SiO2プラズマCVD 装置 | 東京工業大学科学技術創成研究院 | 庄司 雄哉 | 2022 | 22IT0031: 磁気光学ガーネットのシリコン基板上への集積手法の研究開発 |
| 7 | IT-015 | SiO2プラズマCVD 装置 | 東京工業大学科学技術創成研究院 | 庄司 雄哉 | 2022 | 22IT0030: 導波路型光アイソレータおよび磁気光学デバイスの作製 |
| 7 | IT-015 | SiO2プラズマCVD 装置 | 神奈川工科大学 工学部 電気電子情報工学科 | 中津原 克己 | 2022 | 22IT0032: 異種材料を複合集積した導波路形光機能デバイスの研究 |
| 7 | IT-015 | SiO2プラズマCVD 装置 | 三菱電機株式会社 | 増山 圭 | 2022 | 22IT0020: 微細光導波路の試作 |
| 7 | IT-015 | SiO2プラズマCVD 装置 | 株式会社ディスコ | 廣瀬 美幸 | 2022 | 22IT0007: 小径基板もしくは小片への成膜、加工、測定 |
| 7 | IT-015 | SiO2プラズマCVD 装置 | 芝浦工業大学 工学部 電子工学科 | 横井 秀樹 | 2022 | 22IT0034: マスクレス露光による磁気光学導波路製作 |
| 1 | IT-011 | 原子層堆積装置 | 東京工業大学 | 宮本 恭幸 | 2022 | 22IT0022: MIS HEMTに向けたGaN MISダイオードの研究 |
| 8 | IT-003 | マスクレス露光装置 | 大阪工業大学 | 吉田 福蔵 | 2022 | 22IT0060: 熱刺激電流（TSC)の可視化解析技術による電気・電子材料の欠陥評価 |
| 8 | IT-003 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学科学技術創成研究院 | 庄司 雄哉 | 2022 | 22IT0031: 磁気光学ガーネットのシリコン基板上への集積手法の研究開発 |
| 8 | IT-003 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学科学技術創成研究院 | 庄司 雄哉 | 2022 | 22IT0030: 導波路型光アイソレータおよび磁気光学デバイスの作製 |
| 8 | IT-003 | マスクレス露光装置 | スペースパワーテクノロジーズ | 古川 実 | 2022 | 22IT0050: 光レクテナ用幾何学的ダイオードの開発（4） |
| 8 | IT-003 | マスクレス露光装置 | 東京工業大学 / 技術研究組合光電子融合基盤研究所 | 西山 伸彦 | 2022 | 22IT0025: 異種材料接合を利用した光集積回路作製手法の検討と測定 |
| 8 | IT-003 | マスクレス露光装置 | 三菱電機株式会社 | 増山 圭 | 2022 | 22IT0020: 微細光導波路の試作 |
| 8 | IT-003 | マスクレス露光装置 | スペースパワーテクノロジーズ | 古川 実 | 2022 | 22IT0012: 光レクテナ用幾何学的ダイオードの開発（３） |
| 8 | IT-003 | マスクレス露光装置 | 芝浦工業大学 工学部 電子工学科 | 横井 秀樹 | 2022 | 22IT0034: マスクレス露光による磁気光学導波路製作 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 大阪工業大学 | 吉田 福蔵 | 2022 | 22IT0060: 熱刺激電流（TSC)の可視化解析技術による電気・電子材料の欠陥評価 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 東京工業大学科学技術創成研究院 | 庄司 雄哉 | 2022 | 22IT0031: 磁気光学ガーネットのシリコン基板上への集積手法の研究開発 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 東京工業大学科学技術創成研究院 | 庄司 雄哉 | 2022 | 22IT0030: 導波路型光アイソレータおよび磁気光学デバイスの作製 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 東京工業大学 物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0043: 温度波解析のためのマイクロデバイス開発 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 東京工業大学物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0033: マスクレス露光装置を用いたMEMSデバイスの作製 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 神奈川工科大学 工学部 電気電子情報工学科 | 中津原 克己 | 2022 | 22IT0032: 異種材料を複合集積した導波路形光機能デバイスの研究 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 東京工業大学 科学技術創成研究院 | 雨宮 智宏 | 2022 | 22IT0027: トポロジカル光回路の作製手法の検討 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 東京工業大学理学院物理学系 | 一ノ倉 聖 | 2022 | 22IT0018: SiC上エピタキシャルグラフェンの超電導機構解明 |
| 9 | IT-027 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 | 芝浦工業大学 工学部 電子工学科 | 横井 秀樹 | 2022 | 22IT0034: マスクレス露光による磁気光学導波路製作 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 分島 彰男 | 2022 | 22IT0045: GaNゲーティッドアノードダイオードに対する電子線露光微細ゲートプロセス適用可能性の検討 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 分島 彰男 | 2022 | 22IT0016: 準ミリ波帯で動作する窒化物半導体トランジスタ増幅器の高耐圧・高出力化に関する研究 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学物質理工学院 | 大曲 駿 | 2022 | 22IT0052: 表面プラズモンポラリトンと発光性ナノ結晶間のエネルギー移動 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学物質理工学院 | 大曲 駿 | 2022 | 22IT0017: 表面プラズモンポラリトンと発光性ナノ結晶間のエネルギー移動 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 日本放送協会 | 宮本 泰敬 | 2022 | 22IT0008: 磁性細線メモリーの高精度多層配置プロセスの開発 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学物質理工学院 | 神戸 遼太 | 2022 | 22IT0051: 単一PSI分子の光電流特性と規則正しく配置されたAuナノロッドによるプラズモン増強と偏光依存性 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学 物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0043: 温度波解析のためのマイクロデバイス開発 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0033: マスクレス露光装置を用いたMEMSデバイスの作製 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学 | 神戸 遼太 | 2022 | 22IT0014: 単一PSIプラズモ分子の光電流特性と規則正しく配置されたAuナノロッドによるプラズモン増強と偏光依存性 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学工学院電気電子系 | 高村 陽太 | 2022 | 22IT0011: 磁歪フリー層を持つトンネル磁気抵抗変化素子の作製 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学工学院電気電子系 | 高村 陽太 | 2022 | 22IT0010: メサ形磁性体へ高効率に圧力を印加する構造の試作 |
| 12 | IT-024 | 触針式段差計 | 東京工業大学 | Pham Nam Hai | 2022 | 22IT0035: 超高速磁化反転技術の開発 |
| 2 | IT-032 | 共焦点ラマン顕微鏡 | 東京工業大学 | 岩崎 孝之 | 2022 | 22IT0059: ダイアモンド中のカラーセンタに関する研究 |
| 2 | IT-032 | 共焦点ラマン顕微鏡 | 東京工業大学 | 波多野 睦子 | 2022 | 22IT0058: ダイアモンド量子センサに関する研究 |
| 2 | IT-033 | マイクロ波プラズマCVD装置 | 東京工業大学 | 岩崎 孝之 | 2022 | 22IT0059: ダイアモンド中のカラーセンタに関する研究 |
| 2 | IT-033 | マイクロ波プラズマCVD装置 | 東京工業大学 | 波多野 睦子 | 2022 | 22IT0058: ダイアモンド量子センサに関する研究 |
| 3 | IT-034 | クライオ共焦点顕微鏡 | 東京工業大学 | 岩崎 孝之 | 2022 | 22IT0059: ダイアモンド中のカラーセンタに関する研究 |
| 3 | IT-034 | クライオ共焦点顕微鏡 | 東京工業大学 | 波多野 睦子 | 2022 | 22IT0058: ダイアモンド量子センサに関する研究 |
| 3 | IT-034 | クライオ共焦点顕微鏡 | 株式会社豊田中央研究所 | 田原 康佐 | 2022 | 22IT0054: ワイドバンドギャップ半導体の低温光学特性 |
| 5 | IT-010 | 有機金属気相成長装置 | JX金属株式会社 | 岡 俊介 | 2022 | 22IT0053: InP基板表面の不純物解析 |
| 5 | IT-010 | 有機金属気相成長装置 | 株式会社 東芝 | 橋本 玲 | 2022 | 22IT0036: 有機金属気相成長法によるInP再成長埋め込み |
| 5 | IT-010 | 有機金属気相成長装置 | 沖電気工業株式会社 | 古田 裕典 | 2022 | 22IT0048: InP基板上へのレーザ構造エピタキシャル成長 |
| 5 | IT-010 | 有機金属気相成長装置 | 東京工業大学 工学院電気電子系 | 高橋 直樹 | 2022 | 22IT0026: 半導体薄膜光集積回路作製手法の検討と測定 |
| 5 | IT-010 | 有機金属気相成長装置 | 東京大学 | 竹中 充 | 2022 | 22IT0044: III-V族半導体薄膜を用いた光集積回路 |
| 1 | IT-022 | 化合物半導体光素子用酸化炉 | 旭化成エレクトロニクス（株） | 八木 立志 | 2022 | 22IT0039: 化合物半導体光導波路用埋め込み酸化膜形成 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 旭化成エレクトロニクス（株） | 八木 立志 | 2022 | 22IT0039: 化合物半導体光導波路用埋め込み酸化膜形成 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 東京工業大学 物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0043: 温度波解析のためのマイクロデバイス開発 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 東京工業大学物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0033: マスクレス露光装置を用いたMEMSデバイスの作製 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 風田川 統之 | 2022 | 22IT0015: III-V族半導体共鳴トンネル構造を用いたテラヘルツ波発生とその応用 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 東京工業大学工学院電気電子系 | 高村 陽太 | 2022 | 22IT0011: 磁歪フリー層を持つトンネル磁気抵抗変化素子の作製 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 東京工業大学工学院電気電子系 | 高村 陽太 | 2022 | 22IT0010: メサ形磁性体へ高効率に圧力を印加する構造の試作 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 千葉大学大学院理学研究院 | 伊藤 弘明 | 2022 | 22IT0003: マイクロデバイスを用いた微粒子・細胞変形能計測 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 東京工業大学 | Pham Nam Hai | 2022 | 22IT0035: 超高速磁化反転技術の開発 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 東京工業大学理学院物理学系 | 一ノ倉 聖 | 2022 | 22IT0018: SiC上エピタキシャルグラフェンの超電導機構解明 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 東京工業大学 | 秦 徳郎 | 2022 | 22IT0055: 新規量子アンチドットデバイスの作製 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | Department of Physics, Tokyo Institute of Technology | LIN CHAOJING | 2022 | 22IT0047: 半導体ナノデバイスにおける電子ダイナミクス研究2 |
| 12 | IT-037 | クリーンルーム付帯設備一式 | 東京工業大学 | 秦 徳郎 | 2022 | 22IT0013: 量子ホールエッジチャネルにおける熱輸送制御 |
| 1 | IT-030 | フォトルミネッセンス測定装置 | 沖電気工業株式会社 | 古田 裕典 | 2022 | 22IT0048: InP基板上へのレーザ構造エピタキシャル成長 |
| 2 | IT-026 | デジタル顕微鏡 | 東京工業大学 物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0043: 温度波解析のためのマイクロデバイス開発 |
| 2 | IT-026 | デジタル顕微鏡 | 東京工業大学物質理工学院 | 森川 淳子 | 2022 | 22IT0033: マスクレス露光装置を用いたMEMSデバイスの作製 |
| 1 | IT-018 | スパッタ成膜装置(絶縁膜用） | 東京農工大学 工学研究院 先端電気電子部門 | 鈴木 健仁 | 2022 | 22IT0005: Si基板上への正方形積層（Au/SiO2/Au）パッチの作製 |
| 2 | IT-016 | SiN/a-SiプラズマCVD 装置 | 慶應義塾大学理工学部物理情報工学科 | 太田 泰友 | 2022 | 22IT0002: 集積磁気ナノフォトニクス構造の形成 |
| 2 | IT-016 | SiN/a-SiプラズマCVD 装置 | 東京大学先端科学技術研究センター | 岩本 敏 | 2022 | 22IT0001: イットリウム鉄ガーネットを用いたナノフォトニクス |
| 1 | IT-031 | 磁気光学効果評価装置 | 芝浦工業大学 工学部 電子工学科 | 横井 秀樹 | 2022 | 22IT0034: マスクレス露光による磁気光学導波路製作 |
| 1 | IT-021 | C-Vプロファイラ | 東京大学 | 竹中 充 | 2022 | 22IT0044: III-V族半導体薄膜を用いた光集積回路 |
| 1 | IT-029 | Ｘ線回折装置 | 東京大学 | 竹中 充 | 2022 | 22IT0044: III-V族半導体薄膜を用いた光集積回路 |
| 1 | IT-019 | 基板貼付け装置 | 東京大学先端科学技術研究センター | 岩本 敏 | 2022 | 22IT0041: リング共振器を用いたスキルミオンレーザに関する研究 |
| 1 | IT-020 | ウェハ洗浄装置 | 東京大学先端科学技術研究センター | 岩本 敏 | 2022 | 22IT0041: リング共振器を用いたスキルミオンレーザに関する研究 |
| 2 | UT-804 | UVオゾンクリーナー | LIMMS/CNRS-IIS | 黄 吉卿 | 2022 | 22UT1006: 3D プリンティングと微細加工によるソフトマイクロスイマーの試作とマルチモーダル制御 |
| 2 | UT-804 | UVオゾンクリーナー | 福井大学 | 坂元 博昭 | 2022 | 22UT1182: 表面弾性波による微量液滴撹拌技術とバイオエレクトロニクスの融合プロジェクト |
| 6 | UT-501 | 卓上アッシング装置 | LIMMS/CNRS-IIS | 黄 吉卿 | 2022 | 22UT1006: 3D プリンティングと微細加工によるソフトマイクロスイマーの試作とマルチモーダル制御 |
| 6 | UT-501 | 卓上アッシング装置 | 東京理科大学 | 元祐 昌廣 | 2022 | 22UT1156: 高速気流測定用薄膜シートセンサーの開発 |
| 6 | UT-501 | 卓上アッシング装置 | 株式会社タムロン | 冨士 航 | 2022 | 22UT1133: SiおよびGeウエハ深掘りエッチング |
| 6 | UT-501 | 卓上アッシング装置 | 東京大学 | Tabata Prof. Dr. Hitoshi | 2022 | 22UT1107: CoFeB/Y3Fe5O12ヘテロ構造におけるスピン波磁気センサの開発 |
| 6 | UT-501 | 卓上アッシング装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1081: カーボンナノチューブ構造制御に向けた成長素過程の速度論 |
| 6 | UT-501 | 卓上アッシング装置 | 国立大学法人電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻 | 菅 哲朗 | 2022 | 22UT1030: TWISTED AND CONTACTED AU MICRO-RODS 3D CHIRAL METAMATERIALS WITH CIRCULAR DICHROISM VIA AN ABSORPTIVE ROUTE IN LONG-WAVELENGTH INFRARED |
| 4 | UT-913 | UVレーザープリント基板加工装置 | LIMMS/CNRS-IIS | 黄 吉卿 | 2022 | 22UT1006: 3D プリンティングと微細加工によるソフトマイクロスイマーの試作とマルチモーダル制御 |
| 4 | UT-913 | UVレーザープリント基板加工装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1003: 生体組織のソフトハンドリングを可能とするイオン液体添加PVDFアクチュエータ素子 |
| 4 | UT-913 | UVレーザープリント基板加工装置 | 東北大学 | 山田 駿介 | 2022 | 22UT1201: ウェラブエルデバイス向け伸縮性電極の作製 |
| 4 | UT-913 | UVレーザープリント基板加工装置 | 東京大学 | 小林 研介 | 2022 | 22UT1131: 量子センシングのためのマイクロ波アンテナ作製 |
| 1 | UT-710 | ニッケルめっき装置 | LIMMS/CNRS-IIS | 黄 吉卿 | 2022 | 22UT1006: 3D プリンティングと微細加工によるソフトマイクロスイマーの試作とマルチモーダル制御 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | LIMMS/CNRS-IIS | 黄 吉卿 | 2022 | 22UT1006: 3D プリンティングと微細加工によるソフトマイクロスイマーの試作とマルチモーダル制御 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1003: 生体組織のソフトハンドリングを可能とするイオン液体添加PVDFアクチュエータ素子 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 志村 敬彬 | 2022 | 22UT5003: ジルコニア薄膜の電気化学特性計測 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 千足 昇平 | 2022 | 22UT1185: 架橋カーボンナノチューブの作製と分光計測 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 中辻 知 | 2022 | 22UT1181: 反磁性体を用いた微細反転素子の形成 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学大学院理学系研究科 | 岩崎 純史 | 2022 | 22UT1166: 金属および誘電体の高次高調波加工 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 神谷 好郎 | 2022 | 22UT1165: 高精度な中性子イメージングセンサーの開発 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京理科大学 | 元祐 昌廣 | 2022 | 22UT1156: 高速気流測定用薄膜シートセンサーの開発 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 一木 隆範 | 2022 | 22UT1152: ナノ粒子計測のためのナノ構造形成とデバイス作製 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 慶應義塾大学 | 嘉副 裕 | 2022 | 22UT1147: トップダウン加工によるナノ流体デバイスの開発 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 中川 桂一 | 2022 | 22UT1144: 超高速干渉イメージング光学系の基礎評価のためのナノ構造試料の作製 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 菊池 利克 | 2022 | 22UT1143: シリコン基板上の電極の加工 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1134: 単層カーボンナノチューブ分割ゲート発光素子構造の作製 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 小西 邦昭 | 2022 | 22UT1129: ホットエレクトロンを活用した光検出器の高高度化に関する研究 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 百瀬 健 | 2022 | 22UT1117: Cu表面上における有機Cu錯体の吸着特性 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 百瀬 健 | 2022 | 22UT1116: Co(W)膜のCu拡散バリア特性 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 株式会社小糸製作所 | 本橋 和也 | 2022 | 22UT1114: 人工ナノ構造を用いた広帯域集光素子の作製 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | アズビル株式会社 | 矢吹 紘久 | 2022 | 22UT1109: 圧電MEMSデバイスの開発 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学工学部 | 太田 涼介 | 2022 | 22UT1104: 波長計測デバイスの作製 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学大学院新領域創成科学研究科 | 吉田 雅貴 | 2022 | 22UT1103: SnO2ガスセンサの作製 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 新電元工業株式会社 | 野間 真樹子 | 2022 | 22UT1102: ガスセンシングデバイスの作製 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京都立大学 | 中嶋 秀 | 2022 | 22UT1092: ISFETセンサーの開発 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1086: ヘテロナノチューブの電界効果トランジスタ応用 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学工学系研究科 | Le Duc Anh | 2022 | 22UT1082: 非磁性半導体/強磁性半導体ヘテロ接合における新規量子輸送現象の研究 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1081: カーボンナノチューブ構造制御に向けた成長素過程の速度論 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 研究開発センター 化合物半導体開発部 開発第一グループ | 藤田 浩己 | 2022 | 22UT1061: 半導体デバイス上の誘電体積層膜の成膜 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学大学院情報理工学系研究科 | 成瀬 誠 | 2022 | 22UT1057: 探針への金属薄膜の成膜 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京工業大学 | 石 原光希 | 2022 | 22UT1046: 金属-絶縁体-金属構造波長選択赤外線放射体によるインク保湿剤の定着に関する研究 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京工業大学 | 吉岡 駿 | 2022 | 22UT1043: 金フィッシュネット金属/半導体/金属構造共振器を用いた波長選択型熱光起電力電池の製作 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 高橋 浩之 | 2022 | 22UT1037: 超伝導転移端センサの開発 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 新井 史人 | 2022 | 22UT1033: MEMS加工と3Dプリントの融合プロセスによるセンサ集積化ピペットチップを用いた細胞操作 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 産業技術総合研究所 | 岡本 有貴 | 2022 | 22UT1029: MEMSミラーの作製 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 杵淵 郁也 | 2022 | 22UT1013: 蒸発界面を保持するためのナノ細孔アレイ膜の作成 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学大学院理学系研究科地球惑星科学専攻 | 茅根 創 | 2022 | 22UT1001: 次世代型半導体 ISFET pHセンサーの開発 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 電子実装工学研究所 | 竹内 魁 | 2022 | 22UT0176: パワーデバイス実装のための低温接合 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 新電元工業株式会社 | 前山 雄介 | 2022 | 22UT0072: 酸化ガリウムデバイスの開発 |
| 37 | UT-711 | LL式高密度汎用スパッタリング装置 | 明星大学 | Martinez Nora | 2022 | 22UT0060: 表面活性化常温接合 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1005: Programmable Matter：再構成可能なエネルギー自立マイクロロボットに向けたCMOS-MEMSチップレット集積 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1002: バイオ電気機械センシングに向けたSOI-CMOSポストプロセス加工 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 深津 晋 | 2022 | 22UT1202: 準安定相酸化ガリウムの速度論的安定化に向けた研究 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 先端システム技術研究組合(RaaS) | 二宮 健生 | 2022 | 22UT1192: 高熱伝導率無機層間絶縁材料・プロセスの開発 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 株式会社 日立製作所 研究開発グループ ナノプロセス研究部 | 津野 夏規 | 2022 | 22UT1191: 半導体プロセスによる高精度な電子顕微鏡用レンズの試作 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 千足 昇平 | 2022 | 22UT1185: 架橋カーボンナノチューブの作製と分光計測 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 福井大学 | 坂元 博昭 | 2022 | 22UT1182: 表面弾性波による微量液滴撹拌技術とバイオエレクトロニクスの融合プロジェクト |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | E&E evolution（株） | 鈴木 敦志 | 2022 | 22UT1178: サファイア基板上への微細凹凸加工 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | (株)日立製作所 研究開発グループ | Kawamoto Erina | 2022 | 22UT1150: シリコンメンブレンへのスリット加工 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 中川 桂一 | 2022 | 22UT1144: 超高速干渉イメージング光学系の基礎評価のためのナノ構造試料の作製 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 小林 研介 | 2022 | 22UT1131: 量子センシングのためのマイクロ波アンテナ作製 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | Konishi Kuniaki | 2022 | 22UT1128: 誘電体ナノメンブレン微細加工技術の開発 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 内田 建 | 2022 | 22UT1113: グラフェン転写用デバイスの作製 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | アズビル株式会社 | 矢吹 紘久 | 2022 | 22UT1109: 圧電MEMSデバイスの開発 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | Tabata Prof. Dr. Hitoshi | 2022 | 22UT1107: CoFeB/Y3Fe5O12ヘテロ構造におけるスピン波磁気センサの開発 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 新電元工業株式会社 | 野間 真樹子 | 2022 | 22UT1102: ガスセンシングデバイスの作製 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 工学系研究科機械工学専攻 | MOUTERDE Timothee | 2022 | 22UT1096: Micro patterning for biphilic surface creation |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | AGC株式会社 | 梅田 賢一 | 2022 | 22UT1091: 微細加工技術検討 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学工学系研究科 | Le Duc Anh | 2022 | 22UT1082: 非磁性半導体/強磁性半導体ヘテロ接合における新規量子輸送現象の研究 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学生産技術研究所 | 年吉 洋 | 2022 | 22UT1077: 天文分光用ＭＥＭＳマイクロシャッタアレイ |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 関 真一郎 | 2022 | 22UT1071: 時間反転対称性の破れた反強磁性体における創発物性の開拓 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 中外製薬株式会社 | 須山 英悟 | 2022 | 22UT1065: バイオアッセイへの応用に向けたシリコン製マイクロ流体デバイスの作製 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 大日本印刷株式会社ファインデバイス事業部 | 大川 晃次郎 | 2022 | 22UT1051: 微細加工技術の開発 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京都立大学 | Miyoshi Hiromi | 2022 | 22UT1045: 培養基板の表面構造が細胞に及ぼす作用の解析 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 高橋 浩之 | 2022 | 22UT1037: 超伝導転移端センサの開発 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 新井 史人 | 2022 | 22UT1033: MEMS加工と3Dプリントの融合プロセスによるセンサ集積化ピペットチップを用いた細胞操作 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | ドロネー ジャンジャック | 2022 | 22UT1026: GaN Ultraviolet Laser based on Bound States in the Continuum (BIC) |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学物性研究所 | 井手上 敏也 | 2022 | 22UT1012: マイクロ波共振器を用いた物性測定 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 横浜国立大学 | 鷹尾 祥典 | 2022 | 22UT1007: グレースケールリソグラフィを利用した尖塔構造を持つエミッタアレイの作製 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 東京大学 | 唐 思逸 | 2022 | 22UT0188: スピン波計算のためのフェライトを用いたスピン波変調素子の開発 |
| 31 | UT-505 | レーザー直接描画装置 | 新電元工業株式会社 | 前山 雄介 | 2022 | 22UT0072: 酸化ガリウムデバイスの開発 |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1005: Programmable Matter：再構成可能なエネルギー自立マイクロロボットに向けたCMOS-MEMSチップレット集積 |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1003: 生体組織のソフトハンドリングを可能とするイオン液体添加PVDFアクチュエータ素子 |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | 株式会社ニコン | 森 大祐 | 2022 | 22UT1172: アモルファスSiメタ表面の試作 |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | 東京大学 | 肥後 昭男 | 2022 | 22UT1160: ナノワイヤ選択成長のためのF7000S-VD02を利用したナノテンプレート作製技術の開発 |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1134: 単層カーボンナノチューブ分割ゲート発光素子構造の作製 |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | キオクシア 株式会社 マスク技術課 | 本川 剛治 | 2022 | 22UT1089: 極薄膜成膜実験用石英ガラス基板の前処理検討/Pretreatment of quartz glass substrates for ultra thin film deposition experiments |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | 横浜国立大学 | 荒川 太郎 | 2022 | 22UT1049: 半導体光デバイスの作製 |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | キヤノン電子株式会社 | 渡辺 茂高 | 2022 | 22UT1034: パリレンＣ厚膜構造体の密着性 |
| 9 | UT-703 | 8インチ汎用スパッタ装置 | 日本大学理工学部精密機械工学科 | 齊藤 健 | 2022 | 22UT1019: マイクロロボットの脚部を駆動する静電アクチュエータの作製に関する試行利用 |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1005: Programmable Matter：再構成可能なエネルギー自立マイクロロボットに向けたCMOS-MEMSチップレット集積 |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | 東京理科大学 | 大久保 喬平 | 2022 | 22UT1173: 金ナノ粒子7量体をアレイ型配置した近赤外共振器の設計と作製 |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | 国立研究開発法人海洋研究開発機構 | 張 翼 | 2022 | 22UT1126: 単一細胞分析用マイクロデバイス作製 |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | キオクシア 株式会社 マスク技術課 | 本川 剛治 | 2022 | 22UT1089: 極薄膜成膜実験用石英ガラス基板の前処理検討/Pretreatment of quartz glass substrates for ultra thin film deposition experiments |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | 株式会社ディスコ | 大町 修 | 2022 | 22UT1083: 石英基板の微細加工評価 |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | アンリツ株式会社 | 松井 朋裕 | 2022 | 22UT1064: グラフェンナノスケールデバイスの作製と多層グラフェンの光学特性 |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | 横浜国立大学 | 荒川 太郎 | 2022 | 22UT1049: 半導体光デバイスの作製 |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | キヤノン電子株式会社 | 渡辺 茂高 | 2022 | 22UT1034: パリレンＣ厚膜構造体の密着性 |
| 9 | UT-606 | 汎用平行平板RIE装置 | 東京大学物性研究所 | 井手上 敏也 | 2022 | 22UT1012: マイクロ波共振器を用いた物性測定 |
| 2 | UT-911 | 精密フリップチップボンダー | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1005: Programmable Matter：再構成可能なエネルギー自立マイクロロボットに向けたCMOS-MEMSチップレット集積 |
| 2 | UT-911 | 精密フリップチップボンダー | 東レ株式会社、東京大学工学部三田研究室 | 壽慶 将也 | 2022 | 22UT1031: 絶縁材にポリマーを用いた低温ハイブリッドボンディングの実証 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1005: Programmable Matter：再構成可能なエネルギー自立マイクロロボットに向けたCMOS-MEMSチップレット集積 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1003: 生体組織のソフトハンドリングを可能とするイオン液体添加PVDFアクチュエータ素子 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1002: バイオ電気機械センシングに向けたSOI-CMOSポストプロセス加工 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 藤田 浩己 | 2022 | 22UT1212: グラフェン付きウエハのダイシング |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1211: 双安定MEMS機構を用いたイジングマシンの研究 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 今泉 伸治 | 2022 | 22UT1209: シリコン基板の異方性エッチング検証 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 弘前大学 | 島田 透 | 2022 | 22UT1199: 金ナノ構造周期配列の作製 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学カブリ数物連携宇宙研究機構 | 長谷部 孝 | 2022 | 22UT1193: ドライエッチング加工を用いた広帯域サブミリ波観測用シリコンレンズの開発 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京農工大学 | 安藤 泰久 | 2022 | 22UT1157: DRIEを利用した立体構造の作製 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | (株)日立製作所 研究開発グループ | Kawamoto Erina | 2022 | 22UT1150: シリコンメンブレンへのスリット加工 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | コニカミノルタ株式会社 | 鈴木 謙次 | 2022 | 22UT1142: 周波数分散PMUTアレイによる広帯域超音波トランスデューサー |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1139: Optical properties of air-suspended 1D-2D heterostructure |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1138: Photonic crystal for 2D material light-matter coupling |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 理化学研究所 | 山下 大喜 | 2022 | 22UT1137: ナノ材料-ナノフォトニクスハイブリッドデバイスの開発 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1136: 単層架橋カーボンナノチューブに対するアリルハライドを用いた気相機能化 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 理化学研究所 | 方 楠 | 2022 | 22UT1135: Hexagonal boron nitride as an ideal substrate for carbon nanotube photonics |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1134: 単層カーボンナノチューブ分割ゲート発光素子構造の作製 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 株式会社タムロン | 冨士 航 | 2022 | 22UT1133: SiおよびGeウエハ深掘りエッチング |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | JSR株式会社 | 犬飼 晃司 | 2022 | 22UT1115: Siウエハのステルスダイシング |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1086: ヘテロナノチューブの電界効果トランジスタ応用 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1081: カーボンナノチューブ構造制御に向けた成長素過程の速度論 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学生産技術研究所 | 年吉 洋 | 2022 | 22UT1076: ＭＥＭＳ振動発電型エナジーハーベスタ |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学生産技術研究所 | 年吉 洋 | 2022 | 22UT1075: 超小型原子時計用のＭＥＭＳ波長可変光源 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 群馬大学大学院理工学府電子情報部門 | 曾根 逸人 | 2022 | 22UT1054: 電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学工学系研究科機械工学専攻 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1053: 低消費電力MEMSガスセンサの開発 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 埼玉大学 | 高崎 正也 | 2022 | 22UT1050: 2自由度ゼロコンプライアンス式力測定機構の製作 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 横浜国立大学 | 荒川 太郎 | 2022 | 22UT1049: 半導体光デバイスの作製 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1041: 電子ビーム描画及び深掘りエッチング装置を利用したSiメタレンズ |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | ドロネー ジャンジャック | 2022 | 22UT1026: GaN Ultraviolet Laser based on Bound States in the Continuum (BIC) |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 日本大学理工学部精密機械工学科 | 齊藤 健 | 2022 | 22UT1019: マイクロロボットの脚部を駆動する静電アクチュエータの作製に関する試行利用 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1009: ウエアラブルデバイスのためのエレクトレット環境発電の創成 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 木村 隆志 | 2022 | 22UT1008: 超微細加工を活用したX線イメージング技術の高度化 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 横浜国立大学 | 鷹尾 祥典 | 2022 | 22UT1007: グレースケールリソグラフィを利用した尖塔構造を持つエミッタアレイの作製 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学大学院理学系研究科地球惑星科学専攻 | 茅根 創 | 2022 | 22UT1001: 次世代型半導体 ISFET pHセンサーの開発 |
| 35 | UT-900 | ステルスダイサー | 東京大学 | 横前 俊也 | 2022 | 22UT0215: X線ミラー加工に向けた表面分析 |
| 3 | UT-853 | 簡易電子顕微鏡 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1003: 生体組織のソフトハンドリングを可能とするイオン液体添加PVDFアクチュエータ素子 |
| 3 | UT-853 | 簡易電子顕微鏡 | 国立研究開発法人海洋研究開発機構 | 張 翼 | 2022 | 22UT1126: 単一細胞分析用マイクロデバイス作製 |
| 3 | UT-853 | 簡易電子顕微鏡 | 東レ株式会社、東京大学工学部三田研究室 | 壽慶 将也 | 2022 | 22UT1031: 絶縁材にポリマーを用いた低温ハイブリッドボンディングの実証 |
| 2 | UT-901 | 精密研磨装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1002: バイオ電気機械センシングに向けたSOI-CMOSポストプロセス加工 |
| 2 | UT-901 | 精密研磨装置 | 東レ株式会社、東京大学工学部三田研究室 | 壽慶 将也 | 2022 | 22UT1031: 絶縁材にポリマーを用いた低温ハイブリッドボンディングの実証 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1002: バイオ電気機械センシングに向けたSOI-CMOSポストプロセス加工 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京理科大学 | 大久保 喬平 | 2022 | 22UT1173: 金ナノ粒子7量体をアレイ型配置した近赤外共振器の設計と作製 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 株式会社ニコン | 森 大祐 | 2022 | 22UT1172: アモルファスSiメタ表面の試作 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1146: 電子線描画装置を用いた回転可変型アキシコンレンズメタレンズの開発 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京大学 | 中川 桂一 | 2022 | 22UT1144: 超高速干渉イメージング光学系の基礎評価のためのナノ構造試料の作製 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 菊池 利克 | 2022 | 22UT1143: シリコン基板上の電極の加工 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 株式会社タムロン | 冨士 航 | 2022 | 22UT1133: SiおよびGeウエハ深掘りエッチング |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京応化工業株式会社 新事業開発本部 新事業開発技術一課 | 藤井 恭 | 2022 | 22UT1130: RIEエッチング装置によるエッチングレートの比較検討 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | アズビル株式会社 | 矢吹 紘久 | 2022 | 22UT1109: 圧電MEMSデバイスの開発 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1100: 単結晶シリコンによる可視光用可変焦点メタレンズの開発 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 古河電気工業株式会社 | 松原 礼高 | 2022 | 22UT1078: SiO系材料のエッチング形状の制御法開発 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 太陽誘電株式会社 | 川島 由 | 2022 | 22UT1067: ニオブ酸リチウムLiNbO3上のSiO2 RIE加工検討 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 理化学研究所 | 太田 亘俊 | 2022 | 22UT1063: ガラス製マイクロ・ナノ流体デバイスの作製 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1059: 照射光多点分配のためのメタサーフェス光学素子の開発 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1056: 電子線描画装置を用いた近赤外光用可変焦点メタレンズの製作 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1048: トップハット型光強度分布整形メタサーフェス |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1040: 高い色再現性を備えたシネマトグラフ式フルカラーメタサーフェスホログラムの開発 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京大学大学院理学系研究科 | 山崎 洋人 | 2022 | 22UT1036: 安定的自立型窒化シリコンナノ薄膜加工プロセスの構築 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京大学 | 大宮司 啓文 | 2022 | 22UT1035: Fabrication of Diamond LikeCarbon (DLC) based superhydrophobic surface |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | キヤノン電子株式会社 | 渡辺 茂高 | 2022 | 22UT1034: パリレンＣ厚膜構造体の密着性 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1018: マイクロ光学セルのためのメタサーフェス光学素子開発 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学工学院工学府機械システム専攻 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1016: 結晶シリコンメタサーフェスによる可視3次元ホログラム |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1015: マイクロ医療のための可視ガウシアン―トップハットビームコンバータ |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1014: 窒化シリコンを利用した高透過率メタサーフェスホログラム |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京大学 | 杵淵 郁也 | 2022 | 22UT1013: 蒸発界面を保持するためのナノ細孔アレイ膜の作成 |
| 26 | UT-603 | 汎用高品位ICPエッチング装置 | 東京大学 | 前田 拓也 | 2022 | 22UT0404: GaN系デバイスの作製・構造評価 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1002: バイオ電気機械センシングに向けたSOI-CMOSポストプロセス加工 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学カブリ数物連携宇宙研究機構 | 長谷部 孝 | 2022 | 22UT1193: ドライエッチング加工を用いた広帯域サブミリ波観測用シリコンレンズの開発 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 菊池 利克 | 2022 | 22UT1143: シリコン基板上の電極の加工 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | コニカミノルタ株式会社 | 鈴木 謙次 | 2022 | 22UT1142: 周波数分散PMUTアレイによる広帯域超音波トランスデューサー |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 国立研究開発法人海洋研究開発機構 | 張 翼 | 2022 | 22UT1126: 単一細胞分析用マイクロデバイス作製 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学大学院工学系研究科 | 内田 建 | 2022 | 22UT1111: ノイズ測定用グラフェン電界効果トランジスタの作製 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1085: Device applications of one-dimensional heterostructure nanotubes |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1085: Device applications of one-dimensional heterostructure nanotubes |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学工学系研究科 | Le Duc Anh | 2022 | 22UT1082: 非磁性半導体/強磁性半導体ヘテロ接合における新規量子輸送現象の研究 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1081: カーボンナノチューブ構造制御に向けた成長素過程の速度論 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学 | 神保 泰彦 | 2022 | 22UT1072: マイクロ加工技術を利用した神経細胞群の機能評価 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学大学院理学系研究科 | 山崎 洋人 | 2022 | 22UT1036: 安定的自立型窒化シリコンナノ薄膜加工プロセスの構築 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | キヤノン電子株式会社 | 渡辺 茂高 | 2022 | 22UT1034: パリレンＣ厚膜構造体の密着性 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京医科歯科大学 | 梶 弘和 | 2022 | 22UT1020: 臓器チップの研究開発 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 東京大学 | 杵淵 郁也 | 2022 | 22UT1013: 蒸発界面を保持するためのナノ細孔アレイ膜の作成 |
| 16 | UT-504 | 光リソグラフィ装置MA-6 | 新電元工業株式会社 | 前山 雄介 | 2022 | 22UT0072: 酸化ガリウムデバイスの開発 |
| 8 | UT-152 | CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム | 千葉工業大学 | 平馬 拓真 | 2022 | 22UT0432: C６０ Pyrrolidine Tris Acid薄膜素子の観察 |
| 8 | UT-152 | CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム | （地独）大阪産業技術研究所 | 小畠 淳平 | 2022 | 22UT0428: 希ガス含有非晶質合金膜の微細組織観察 |
| 8 | UT-152 | CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム | 東京大学 | 南條 航平 | 2022 | 22UT0299: 二次元材料成長用基板の表面分析 |
| 8 | UT-152 | CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム | Dalhousie University | Plucknett Kevin | 2022 | 22UT0283: ホウ化物コーティング膜の断面観察 |
| 8 | UT-152 | CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム | 株式会社プロテリアル | 川田 常弘 | 2022 | 22UT0272: 永久磁石の微細構造解析 |
| 8 | UT-152 | CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム | アズビル株式会社 | 矢吹 紘久 | 2022 | 22UT0266: 圧電薄膜の結晶構造解析 |
| 8 | UT-152 | CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム | 東京大学 | Guo Rulei | 2022 | 22UT0205: The thermal boundary conductance of wafer bonding |
| 8 | UT-152 | CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム | 東京理科大学 | TAKADA KENJI | 2022 | 22UT0007: 配位ナノシートの構造解析 |
| 2 | UT-003 | 超高分解能透過型電子顕微鏡(Cs-HRTEM) | 千葉工業大学 | 平馬 拓真 | 2022 | 22UT0432: C６０ Pyrrolidine Tris Acid薄膜素子の観察 |
| 2 | UT-003 | 超高分解能透過型電子顕微鏡(Cs-HRTEM) | 日本特殊陶業株式会社 | 加藤 大貴 | 2022 | 22UT0041: 窒化アルミニウム焼結体の欠陥解析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 千葉工業大学 | 平馬 拓真 | 2022 | 22UT0432: C６０ Pyrrolidine Tris Acid薄膜素子の観察 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 日本大学 | 外山 直樹 | 2022 | 22UT0417: ナノマイクロカプセルの微細構造解析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | Zhang Bowen | 2022 | 22UT0405: CNTの表面分析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京都市大学 | 藤間 卓也 | 2022 | 22UT0395: ガラス表面に形成した多孔質構造の組成分析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京都立大学 | 蓬田 陽平 | 2022 | 22UT0374: 無機ナノチューブの構造制御と物性開拓 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 申 宇美 | 2022 | 22UT0358: ポリオキソメタレート修飾した担持銀ナノ粒子の合成と触媒活性の探求 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 株式会社カーボンフライ | 森 彩乃 | 2022 | 22UT0315: 多層カーボンナノチューブの分析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | MAアルミニウム株式会社 | 西田 寛明 | 2022 | 22UT0307: アルミニウム合金のTEM観察 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 上智大学 | 横田 幸恵 | 2022 | 22UT0286: Pdナノ粒子及びPdAuナノ粒子の形態観察及び元素マッピング |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 古屋 俊江 | 2022 | 22UT0276: 標準試料（タンパク質のネガティブ染色グリッド,細胞の超薄切片）のTEM観察 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 栃木カネカ(株) | 梅津 聡子 | 2022 | 22UT0259: 炭素材料の開発 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学大学院工学系研究科 | 米里 健太郎 | 2022 | 22UT0253: 電子顕微鏡観察による金属置換ポリオキソメタレートの構造と分散状態の評価 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | JSR株式会社 | 犬飼 晃司 | 2022 | 22UT0231: 金属薄膜の分析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 荻原 直希 | 2022 | 22UT0230: ポリ酸を構成要素とするナノ複合材料の構造分析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 夏 康 | 2022 | 22UT0184: ポリオキソメタレート修飾した高活性アニオン性貴金属ナノ粒子触媒の創製 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | キム ナヒョン | 2022 | 22UT0125: Microstructural analysis of pure shear deformation experiment |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 片山 裕美子 | 2022 | 22UT0083: 重金属を含む薄膜の構造観察 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 株式会社弘輝 | 山本 佑樹 | 2022 | 22UT0079: はんだ粉の酸化膜測定 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 日本電子株式会社 | 斎藤 光浩 | 2022 | 22UT0077: セラミックス結晶粒界の原子構造解析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 上村 祥史 | 2022 | 22UT0053: カルコゲナイド系準結晶物質の作製と物性 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京理科大学 | 宮島 顕祐 | 2022 | 22UT0048: レーザーアブレーションで作製した半導体ナノ微粒子の構造解析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 中村 乃理子 | 2022 | 22UT0038: 機能性ナノ-マイクロサイズ材料の構造分析 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 小泉 早苗 | 2022 | 22UT0015: 鉱物多結晶体の創製 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 増田 紘士 | 2022 | 22UT0013: セラミックスの焼結および力学特性についての研究 |
| 25 | UT-007 | 高分解能分析電子顕微鏡 | 東京大学 | 張 鋭璽 | 2022 | 22UT0012: ヘテロナノチューブの構造分析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 先端システム技術研究組合 | 二宮 健生 | 2022 | 22UT0435: 高熱伝導率無機層間絶縁材料・プロセスの開発 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学大学院工学系研究科化学システム工学専攻 | 董 翰霖 | 2022 | 22UT1195: 次世代電子デバイスのための2次元材料の研究 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 百瀬 健 | 2022 | 22UT1117: Cu表面上における有機Cu錯体の吸着特性 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 董 翰霖 | 2022 | 22UT0366: サファイア上の合金を基板とした2次元半導体及び絶縁体の生成 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 青田 聖治 | 2022 | 22UT0343: GaAs111B面上の鉄ヒ素化合物薄膜の結晶構造と磁気特性 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 二階堂 圭 | 2022 | 22UT0332: 層状結晶性有機半導体の構造解析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 鎮目 邦彦 | 2022 | 22UT0328: 不秩序系における熱輸送の理解へ向けた非晶質・準安定材料の構造評価 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | BAE SUMIN | 2022 | 22UT0320: 炭素膜内のクロム結晶化分析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京理科大学 | 宮澤 薫一 | 2022 | 22UT0310: エネルギー用材料の構造評価 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 党 棠 | 2022 | 22UT0305: 多層膜構造体の各層の厚み測定 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 上智大学 | 中岡 俊裕 | 2022 | 22UT0275: 準安定相AgTeのX線回折 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学大学院工学系研究科 | 中野 匡規 | 2022 | 22UT0273: 二次元物質エピタキシャル薄膜の構造解析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 孫 瑞卓 | 2022 | 22UT0270: 金ナノ粒子の表面鉄酸化物の分析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | アズビル株式会社 | 矢吹 紘久 | 2022 | 22UT0266: 圧電薄膜の結晶構造解析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | オウ チウ | 2022 | 22UT0234: Perovskiteの表面分析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | JSR株式会社 | 犬飼 晃司 | 2022 | 22UT0231: 金属薄膜の分析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 古河電気工業 | 佐々木 宏和 | 2022 | 22UT0227: 銅合金の構造解析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 李 海寧 | 2022 | 22UT0226: Study on Memristor using Perovskite-Spinel PbTiO3-CoFe2O4Vertically Aligned Nanocomposite Thin Films |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | BAE Sumin | 2022 | 22UT0214: エンジンの摩擦低減に関する研究 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 辻 佳子 | 2022 | 22UT0209: 塗布成膜有機/無機半導体の構造制御 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 日産化学株式会社 物質科学研究所 | 鉄谷 尚士 | 2022 | 22UT0179: 有機無機薄膜の薄膜構造解析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | GAO Mang | 2022 | 22UT0088: The fundamental research of DLC related films for high performance and durable TENG（ナノ発電機） |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 高木 里奈 | 2022 | 22UT0086: トポロジーや対称性に由来した新しい量子現象の開拓 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 株式会社マグネスケール | 丸田 秀昭 | 2022 | 22UT0064: GaAs基板上への酸化物反射膜形成と解析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 桐蔭横浜大学 | 柴山 直之 | 2022 | 22UT0046: ペロブスカイト多結晶薄膜の微細構造の観察 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 五月女 真人 | 2022 | 22UT0045: ペロブスカイト型半導体の組成分析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | Abdelrahman Mohamed Farghali Abdelati | 2022 | 22UT0016: Surface analysis of stainless steel |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京理科大学 | TAKADA KENJI | 2022 | 22UT0007: 配位ナノシートの構造解析 |
| 29 | UT-202 | 高輝度In-plane型X線回折装置 | 東京大学 | 伊藤 喜光 | 2022 | 22UT0003: 新規機能性材料の表面･結晶･電子構造解析 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 李 禮林 | 2022 | 22UT0438: 熱放射薄膜の表面分析 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 株式会社マグネスケール | 丸田 秀昭 | 2022 | 22UT1179: GaAs基板上への酸化物反射膜形成と解析 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 小西 邦昭 | 2022 | 22UT1129: ホットエレクトロンを活用した光検出器の高高度化に関する研究 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 西村 佳菜 | 2022 | 22UT0436: テラヘルツ波非標識センシングにむけたWTe2薄膜と表面プラズモンの研究 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 肥後 友也 | 2022 | 22UT0416: 反強磁性金属薄膜での磁気光学効果 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 肥後 昭男 | 2022 | 22UT0413: シリコンフォトニクスのための透明材料の赤外領域における光学特性評価 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学大学院新領域創成科学研究科 | 大岩 達典 | 2022 | 22UT0365: カーボン薄膜や半導体薄膜の光学特性評価 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 株式会社ダイセル | 望田 憲嗣 | 2022 | 22UT0242: 選択的なウェットエッチングを可能とする表面基盤処理材の開発 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 小西 邦昭 | 2022 | 22UT0222: 集光用人工ナノ構造材料の屈折率評価 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 電子実装工学研究所 | 王 俊沙 | 2022 | 22UT0174: Al2O3の表面分析 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 竹中 充 | 2022 | 22UT0162: 異種材料集積に基づくシリコンフォトニクス |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 李 瑩聰 | 2022 | 22UT0161: キラルフィルタリングおよび円偏光発光に用いる誘電体微細構造を有する外因性キラルメタサーフェス |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 東京大学 | 韓 雪揚 | 2022 | 22UT0159: (111) Ge-on-Insulator Structure and Extremly-thin-body nMOSFETs |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 株式会社ディスコ | 横尾 晋 | 2022 | 22UT0093: 研削・研磨後の被加工物の表面状態解析 |
| 15 | UT-303 | 分光エリプソメータ | 株式会社マグネスケール | 丸田 秀昭 | 2022 | 22UT0064: GaAs基板上への酸化物反射膜形成と解析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 大井 昴幸 | 2022 | 22UT0441: 新規金クラスターの合成研究 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 和知 慶樹 | 2022 | 22UT0410: 金属酸化物クラスター触媒の観察 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 若林 空良 | 2022 | 22UT0357: 触媒表面上のPdの粒子状態の分析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 山崎 裕一 | 2022 | 22UT0331: 遺伝子・制がん剤のDDS |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 李 輝 | 2022 | 22UT0329: Mg(OH)2担持Pdナノ粒子触媒を用いた新規アニリン合成反応の開発 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 日本ゼオン株式会社 | 吉田 洋樹 | 2022 | 22UT0319: 固体触媒の活性差解析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 国立科学博物館 | 林 峻 | 2022 | 22UT0313: Ir系複合クラスター触媒の電子顕微鏡による局所構造解析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 南條 航平 | 2022 | 22UT0299: 二次元材料成長用基板の表面分析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 三菱マテリアル株式会社 | 今 直誓 | 2022 | 22UT0277: 切削工具用セラミックス膜の加熱その場TEM観察 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学大学院工学系研究科 | 北條 智裕 | 2022 | 22UT0274: CO2水素化反応を指向した担持Ruナノ粒子触媒の開発 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | アズビル株式会社 | 矢吹 紘久 | 2022 | 22UT0266: 圧電薄膜の結晶構造解析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 千葉大学 | 森田 剛 | 2022 | 22UT0224: 金-白金および金-銀合金系ナノ粒子の元素マッピングによる元素混合状態の分析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | Guo Rulei | 2022 | 22UT0205: The thermal boundary conductance of wafer bonding |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 鈴木 崇哲 | 2022 | 22UT0186: 担持ポリオキソメタレートテトラブチルアンモニウム塩のアルカリ金属塩へのカチオン交換法の開発 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 夏 康 | 2022 | 22UT0184: ポリオキソメタレート修飾した高活性アニオン性貴金属ナノ粒子触媒の創製 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 秋田大学 | 肖 英紀 | 2022 | 22UT0065: 正20面体構造をもつ合金物質の原子構造解析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 古河電気工業株式会社 | 下山田 篤史 | 2022 | 22UT0040: 銅合金析出相の微細構造解析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 株式会社村田製作所 | 高本 昌弥 | 2022 | 22UT0034: タンタル酸リチウムの構造分析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 山田 太郎 | 2022 | 22UT0023: 光触媒の分析・解析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 増田 晋也 | 2022 | 22UT0020: 担持金属クラスター触媒の幾何構造解析 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 山崎 友香理 | 2022 | 22UT0011: 担持金属触媒による加水素分解反応の開発 |
| 22 | UT-005 | 原子分解能元素マッピング構造解析装置 | 東京大学 | 松山 剛大 | 2022 | 22UT0009: 担持ナノ粒子触媒の表面分析 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | （地独）大阪産業技術研究所 | 小畠 淳平 | 2022 | 22UT0428: 希ガス含有非晶質合金膜の微細組織観察 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | Dalhousie University | Plucknett Kevin | 2022 | 22UT0283: ホウ化物コーティング膜の断面観察 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 三菱マテリアル株式会社 | 今 直誓 | 2022 | 22UT0277: 切削工具用セラミックス膜の加熱その場TEM観察 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | Lin Jinghuang | 2022 | 22UT0082: セラミックス欠陥の原子構造と機能特性 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 日本電子株式会社 | 斎藤 光浩 | 2022 | 22UT0077: セラミックス結晶粒界の原子構造解析 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 楊 楚楚 | 2022 | 22UT0058: 異種元素偏析アルミナ粒界の原子構造解析とその物性研究 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学 | 太田 裕道 | 2022 | 22UT0055: 機能性酸化物薄膜の構造解析 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0052: ジルコニアの粒界偏析構造の分析 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | ソニーグループ株式会社 | 蟹谷 裕也 | 2022 | 22UT0044: 窒化ガリウム系半導体ヘテロ接合の断面観察 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 日本特殊陶業株式会社 | 加藤 大貴 | 2022 | 22UT0041: 窒化アルミニウム焼結体の欠陥解析 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 株式会社村田製作所 | 高本 昌弥 | 2022 | 22UT0034: タンタル酸リチウムの構造分析 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0014: ジルコニア微構造解析 |
| 13 | UT-004 | 環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 山崎 友香理 | 2022 | 22UT0011: 担持金属触媒による加水素分解反応の開発 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1211: 双安定MEMS機構を用いたイジングマシンの研究 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 徳本 有紀 | 2022 | 22UT1200: トポロジカル絶縁体の輸送特性 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 北海道大学 | 繁富 香織 | 2022 | 22UT1162: 細胞折紙技術と計算折り紙による立体構造の最適化 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 早稲田大学 | 岩瀬 英治 | 2022 | 22UT1159: 電子線描画を用いた高アスペクト比ピラーアレイの作製 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 横田 知之 | 2022 | 22UT1158: 有機フォトディテクタの高性能化に向けた電極パターンの最適化 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京理科大学 | 元祐 昌廣 | 2022 | 22UT1156: 高速気流測定用薄膜シートセンサーの開発 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京工業高等専門学校 | 伊藤 浩 | 2022 | 22UT1154: MEMSフローセンサの開発 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 宇宙航空研究開発機構 | 太刀川 純孝 | 2022 | 22UT1151: メタサーフェスを利用した宇宙機用ラジエータの開発 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | リバーエレテック株式会社 | 芦沢 英紀 | 2022 | 22UT1149: 電子線描画装置を使用した1GHz OPAW振動子の電極パターニング |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 慶應義塾大学 | 嘉副 裕 | 2022 | 22UT1147: トップダウン加工によるナノ流体デバイスの開発 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | コニカミノルタ株式会社 | 鈴木 謙次 | 2022 | 22UT1142: 周波数分散PMUTアレイによる広帯域超音波トランスデューサー |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 理化学研究所 | 山下 大喜 | 2022 | 22UT1137: ナノ材料-ナノフォトニクスハイブリッドデバイスの開発 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 株式会社タムロン | 冨士 航 | 2022 | 22UT1133: SiおよびGeウエハ深掘りエッチング |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学大学院工学系研究科 | 内田 建 | 2022 | 22UT1111: ノイズ測定用グラフェン電界効果トランジスタの作製 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | Tabata Prof. Dr. Hitoshi | 2022 | 22UT1107: CoFeB/Y3Fe5O12ヘテロ構造におけるスピン波磁気センサの開発 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1086: ヘテロナノチューブの電界効果トランジスタ応用 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1085: Device applications of one-dimensional heterostructure nanotubes |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1081: カーボンナノチューブ構造制御に向けた成長素過程の速度論 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学生産技術研究所 | 芦原 聡 | 2022 | 22UT1080: 赤外フェムト秒レーザーの波形整形に向けたスペクトルフィルターの作製 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学生産技術研究所 | 年吉 洋 | 2022 | 22UT1076: ＭＥＭＳ振動発電型エナジーハーベスタ |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学大学院工学系研究科 | 古川 克子 | 2022 | 22UT1070: 骨分化制御のためのサブミクロン表面微細構造の作製 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 中外製薬株式会社 | 須山 英悟 | 2022 | 22UT1065: バイオアッセイへの応用に向けたシリコン製マイクロ流体デバイスの作製 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 小関 泰之 | 2022 | 22UT1055: 超解像イメージング評価用試料の作製と評価 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学工学系研究科機械工学専攻 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1053: 低消費電力MEMSガスセンサの開発 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 埼玉大学 | 高崎 正也 | 2022 | 22UT1050: 2自由度ゼロコンプライアンス式力測定機構の製作 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京工業大学 | 石 原光希 | 2022 | 22UT1046: 金属-絶縁体-金属構造波長選択赤外線放射体によるインク保湿剤の定着に関する研究 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京電機大学 | 小松 聡 | 2022 | 22UT1044: CMOSプロセスを用いたMEMSセンサの実現 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1041: 電子ビーム描画及び深掘りエッチング装置を利用したSiメタレンズ |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 大宮司 啓文 | 2022 | 22UT1035: Fabrication of Diamond LikeCarbon (DLC) based superhydrophobic surface |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 国立大学法人電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻 | 菅 哲朗 | 2022 | 22UT1030: TWISTED AND CONTACTED AU MICRO-RODS 3D CHIRAL METAMATERIALS WITH CIRCULAR DICHROISM VIA AN ABSORPTIVE ROUTE IN LONG-WAVELENGTH INFRARED |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 産業技術総合研究所 | 岡本 有貴 | 2022 | 22UT1029: MEMSミラーの作製 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 国立大学法人電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻 | 菅哲 朗 | 2022 | 22UT1021: UNIQUE DISPERSION RELATION FOR PLASMONIC PHOTODETECTORS WITH SUBMICRON GRATING |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 日本大学理工学部精密機械工学科 | 齊藤 健 | 2022 | 22UT1019: マイクロロボットの脚部を駆動する静電アクチュエータの作製に関する試行利用 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 杵淵 郁也 | 2022 | 22UT1013: 蒸発界面を保持するためのナノ細孔アレイ膜の作成 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1009: ウエアラブルデバイスのためのエレクトレット環境発電の創成 |
| 36 | UT-500 | 高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 木村 隆志 | 2022 | 22UT1008: 超微細加工を活用したX線イメージング技術の高度化 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1211: 双安定MEMS機構を用いたイジングマシンの研究 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 今泉 伸治 | 2022 | 22UT1209: シリコン基板の異方性エッチング検証 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学カブリ数物連携宇宙研究機構 | 長谷部 孝 | 2022 | 22UT1193: ドライエッチング加工を用いた広帯域サブミリ波観測用シリコンレンズの開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 株式会社 日立製作所 研究開発グループ ナノプロセス研究部 | 津野 夏規 | 2022 | 22UT1191: 半導体プロセスによる高精度な電子顕微鏡用レンズの試作 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 富士フイルム株式会社 | 菱沼 慶一 | 2022 | 22UT1183: シリコン深掘エッチングの品質向上(3) |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京理科大学 | 早瀬 仁則 | 2022 | 22UT1167: 血中循環腫瘍細胞捕捉に向けたマイクロ流体デバイス |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 早稲田大学 | 岩瀬 英治 | 2022 | 22UT1159: 電子線描画を用いた高アスペクト比ピラーアレイの作製 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京農工大学 | 安藤 泰久 | 2022 | 22UT1157: DRIEを利用した立体構造の作製 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | (株)日立製作所 研究開発グループ | Kawamoto Erina | 2022 | 22UT1150: シリコンメンブレンへのスリット加工 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | コニカミノルタ株式会社 | 鈴木 謙次 | 2022 | 22UT1142: 周波数分散PMUTアレイによる広帯域超音波トランスデューサー |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1139: Optical properties of air-suspended 1D-2D heterostructure |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1138: Photonic crystal for 2D material light-matter coupling |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 理化学研究所 | 山下 大喜 | 2022 | 22UT1137: ナノ材料-ナノフォトニクスハイブリッドデバイスの開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1136: 単層架橋カーボンナノチューブに対するアリルハライドを用いた気相機能化 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 理化学研究所 | 方 楠 | 2022 | 22UT1135: Hexagonal boron nitride as an ideal substrate for carbon nanotube photonics |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1134: 単層カーボンナノチューブ分割ゲート発光素子構造の作製 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 株式会社タムロン | 冨士 航 | 2022 | 22UT1133: SiおよびGeウエハ深掘りエッチング |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学 | Konishi Kuniaki | 2022 | 22UT1128: 誘電体ナノメンブレン微細加工技術の開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 物質・材料研究機構 | 竹口 雅樹 | 2022 | 22UT1121: 電気化学液体セル電子顕微鏡技術の開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | アズビル株式会社 | 矢吹 紘久 | 2022 | 22UT1109: 圧電MEMSデバイスの開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | AGC株式会社 | 梅田 賢一 | 2022 | 22UT1091: 微細加工技術検討 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1086: ヘテロナノチューブの電界効果トランジスタ応用 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1085: Device applications of one-dimensional heterostructure nanotubes |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京応化工業(株) | Maniwa Hitomi | 2022 | 22UT1073: Si深堀エッチング用保護膜の開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 中外製薬株式会社 | 須山 英悟 | 2022 | 22UT1065: バイオアッセイへの応用に向けたシリコン製マイクロ流体デバイスの作製 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1056: 電子線描画装置を用いた近赤外光用可変焦点メタレンズの製作 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 群馬大学大学院理工学府電子情報部門 | 曾根 逸人 | 2022 | 22UT1054: 電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学工学系研究科機械工学専攻 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1053: 低消費電力MEMSガスセンサの開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 埼玉大学 | 高崎 正也 | 2022 | 22UT1050: 2自由度ゼロコンプライアンス式力測定機構の製作 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1048: トップハット型光強度分布整形メタサーフェス |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京都立大学 | Miyoshi Hiromi | 2022 | 22UT1045: 培養基板の表面構造が細胞に及ぼす作用の解析 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京電機大学 | 小松 聡 | 2022 | 22UT1044: CMOSプロセスを用いたMEMSセンサの実現 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1041: 電子ビーム描画及び深掘りエッチング装置を利用したSiメタレンズ |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学 | 高橋 浩之 | 2022 | 22UT1037: 超伝導転移端センサの開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学 | 大宮司 啓文 | 2022 | 22UT1035: Fabrication of Diamond LikeCarbon (DLC) based superhydrophobic surface |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 産業技術総合研究所 | 岡本 有貴 | 2022 | 22UT1029: MEMSミラーの作製 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 国立大学法人電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻 | 菅哲 朗 | 2022 | 22UT1021: UNIQUE DISPERSION RELATION FOR PLASMONIC PHOTODETECTORS WITH SUBMICRON GRATING |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 日本大学理工学部精密機械工学科 | 齊藤 健 | 2022 | 22UT1019: マイクロロボットの脚部を駆動する静電アクチュエータの作製に関する試行利用 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1018: マイクロ光学セルのためのメタサーフェス光学素子開発 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 東京大学 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1009: ウエアラブルデバイスのためのエレクトレット環境発電の創成 |
| 41 | UT-604 | 高速シリコン深掘りエッチング装置 | 横浜国立大学 | 鷹尾 祥典 | 2022 | 22UT1007: グレースケールリソグラフィを利用した尖塔構造を持つエミッタアレイの作製 |
| 6 | UT-602 | 気相フッ酸エッチング装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1211: 双安定MEMS機構を用いたイジングマシンの研究 |
| 6 | UT-602 | 気相フッ酸エッチング装置 | AGC株式会社 | 梅田 賢一 | 2022 | 22UT1091: 微細加工技術検討 |
| 6 | UT-602 | 気相フッ酸エッチング装置 | 東京大学工学系研究科機械工学専攻 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1053: 低消費電力MEMSガスセンサの開発 |
| 6 | UT-602 | 気相フッ酸エッチング装置 | 埼玉大学 | 高崎 正也 | 2022 | 22UT1050: 2自由度ゼロコンプライアンス式力測定機構の製作 |
| 6 | UT-602 | 気相フッ酸エッチング装置 | 東京電機大学 | 小松 聡 | 2022 | 22UT1044: CMOSプロセスを用いたMEMSセンサの実現 |
| 6 | UT-602 | 気相フッ酸エッチング装置 | 日本大学理工学部精密機械工学科 | 齊藤 健 | 2022 | 22UT1019: マイクロロボットの脚部を駆動する静電アクチュエータの作製に関する試行利用 |
| 4 | UT-851 | 機械特性評価装置 | 東京大学 | 三田 吉郎 | 2022 | 22UT1211: 双安定MEMS機構を用いたイジングマシンの研究 |
| 4 | UT-851 | 機械特性評価装置 | 東京大学工学部 | 別所 和樹 | 2022 | 22UT1105: 微小メカニカル素子の評価 |
| 4 | UT-851 | 機械特性評価装置 | AGC株式会社 | 梅田 賢一 | 2022 | 22UT1091: 微細加工技術検討 |
| 4 | UT-851 | 機械特性評価装置 | 埼玉大学 | 高崎 正也 | 2022 | 22UT1050: 2自由度ゼロコンプライアンス式力測定機構の製作 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京応化工業株式会社 | 久保 慧輔 | 2022 | 22UT1204: 次世代フォトレジストの開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学大学院総合文化研究科 | 桐谷 乃輔 | 2022 | 22UT1203: 2次元半導体への高濃度電子注入と微細デバイス特性評価 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 弘前大学 | 島田 透 | 2022 | 22UT1199: 金ナノ構造周期配列の作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | E&E evolution（株） | 鈴木 敦志 | 2022 | 22UT1178: サファイア基板上への微細凹凸加工 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 富士フイルム株式会社 | 永﨑 秀雄 | 2022 | 22UT1174: レジスト材料の評価 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京理科大学 | 大久保 喬平 | 2022 | 22UT1173: 金ナノ粒子7量体をアレイ型配置した近赤外共振器の設計と作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 株式会社ニコン | 森 大祐 | 2022 | 22UT1172: アモルファスSiメタ表面の試作 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学生産技術研究所 | 志村 努 | 2022 | 22UT1164: 金ナノロッドペアの作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 肥後 昭男 | 2022 | 22UT1160: ナノワイヤ選択成長のためのF7000S-VD02を利用したナノテンプレート作製技術の開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 種村 拓夫 | 2022 | 22UT1153: 光集積デバイスの作製と評価 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | (株)日立製作所 研究開発グループ | Kawamoto Erina | 2022 | 22UT1150: シリコンメンブレンへのスリット加工 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1146: 電子線描画装置を用いた回転可変型アキシコンレンズメタレンズの開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 内田 建 | 2022 | 22UT1141: (NH4)xWO3ナノワイヤを用いたアセトンセンシングデバイスの作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1139: Optical properties of air-suspended 1D-2D heterostructure |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1138: Photonic crystal for 2D material light-matter coupling |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 理化学研究所 | 山下 大喜 | 2022 | 22UT1137: ナノ材料-ナノフォトニクスハイブリッドデバイスの開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1136: 単層架橋カーボンナノチューブに対するアリルハライドを用いた気相機能化 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 理化学研究所 | 方 楠 | 2022 | 22UT1135: Hexagonal boron nitride as an ideal substrate for carbon nanotube photonics |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 理化学研究所 | 加藤 雄一郎 | 2022 | 22UT1134: 単層カーボンナノチューブ分割ゲート発光素子構造の作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 小西 邦昭 | 2022 | 22UT1129: ホットエレクトロンを活用した光検出器の高高度化に関する研究 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | Konishi Kuniaki | 2022 | 22UT1128: 誘電体ナノメンブレン微細加工技術の開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 九州大学大学院総合理工学研究院 | 浜本 貴一 | 2022 | 22UT1120: ナノピクセル光集積回路の研究 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 株式会社小糸製作所 | 本橋 和也 | 2022 | 22UT1114: 人工ナノ構造を用いた広帯域集光素子の作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 内田 建 | 2022 | 22UT1112: ジュール加熱可能なナノスケール幅Auナノシートの作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 千葉工業大学 | 安川 雪子 | 2022 | 22UT1108: 磁性／貴金属積層構造の微細加工 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | Tabata Prof. Dr. Hitoshi | 2022 | 22UT1107: CoFeB/Y3Fe5O12ヘテロ構造におけるスピン波磁気センサの開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1100: 単結晶シリコンによる可視光用可変焦点メタレンズの開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22UT1099: Fogging Effect低減のための分割プロセスによるリフトオフパターン作製方法について |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | AGC株式会社 | 五十川 健 | 2022 | 22UT1088: ドライエッチング後のレジスト剥離 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 早稲田大学先進理工学部青木研究室 | 小野村 優作 | 2022 | 22UT1087: ランダム性を付与した透過型回折格子の作製・観察 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1085: Device applications of one-dimensional heterostructure nanotubes |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | SCIVAX株式会社 | 北山 清章 | 2022 | 22UT1084: 17×3分割ビームスプリッターの開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | NHK放送技術研究所 | 信川 輝吉 | 2022 | 22UT1074: 光メタサーフェスの試作 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | アンリツ株式会社 | 松井 朋裕 | 2022 | 22UT1064: グラフェンナノスケールデバイスの作製と多層グラフェンの光学特性 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 青山学院大学 | 石河 泰明 | 2022 | 22UT1060: ナノ構造パターニングに用いるマスターモールドの作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1059: 照射光多点分配のためのメタサーフェス光学素子の開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1056: 電子線描画装置を用いた近赤外光用可変焦点メタレンズの製作 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 横浜国立大学 | 荒川 太郎 | 2022 | 22UT1049: 半導体光デバイスの作製 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1048: トップハット型光強度分布整形メタサーフェス |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 田中 雅明 | 2022 | 22UT1047: Giant voltage-controllable magnetoresistance switching in Ge short-channel devices with epitaxial ultra-thin Fe electrodes |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京工業大学 | 吉岡 駿 | 2022 | 22UT1043: 金フィッシュネット金属/半導体/金属構造共振器を用いた波長選択型熱光起電力電池の製作 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1040: 高い色再現性を備えたシネマトグラフ式フルカラーメタサーフェスホログラムの開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | Takenaka Mitsuru | 2022 | 22UT1028: シリコン光集積回路の研究 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | ドロネー ジャンジャック | 2022 | 22UT1026: GaN Ultraviolet Laser based on Bound States in the Continuum (BIC) |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 北海道大学 | 戸谷 剛 | 2022 | 22UT1023: 反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 北海道大学 | 戸谷 剛 | 2022 | 22UT1022: 赤外線励起による溶剤の分子内振動の緩和と溶剤乾燥に効果的な赤外線吸収波長帯の解明 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1018: マイクロ光学セルのためのメタサーフェス光学素子開発 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学工学院工学府機械システム専攻 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1016: 結晶シリコンメタサーフェスによる可視3次元ホログラム |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1015: マイクロ医療のための可視ガウシアン―トップハットビームコンバータ |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1014: 窒化シリコンを利用した高透過率メタサーフェスホログラム |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 木村 隆志 | 2022 | 22UT1008: 超微細加工を活用したX線イメージング技術の高度化 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 前田 拓也 | 2022 | 22UT0404: GaN系デバイスの作製・構造評価 |
| 53 | UT-503 | 超高速大面積電子線描画装置 | 東京大学 | 唐 思逸 | 2022 | 22UT0188: スピン波計算のためのフェライトを用いたスピン波変調素子の開発 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 東京大学大学院総合文化研究科 | 桐谷 乃輔 | 2022 | 22UT1203: 2次元半導体への高濃度電子注入と微細デバイス特性評価 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 東京大学 | 徳本 有紀 | 2022 | 22UT1200: トポロジカル絶縁体の輸送特性 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 弘前大学 | 島田 透 | 2022 | 22UT1199: 金ナノ構造周期配列の作製 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 東京大学 | 石坂 香子 | 2022 | 22UT1190: 金アシスト劈開法による単層遷移金属ダイカルコゲナイドの作製 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 東京大学大学院工学系研究科 | 内田 建 | 2022 | 22UT1111: ノイズ測定用グラフェン電界効果トランジスタの作製 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 東京大学工学部電気電子工学科 | 片瀬 大祐 | 2022 | 22UT1094: 第一原理計算とX線光電子分光法による金属/絶縁ポリマー界面のバンドアラインメントの解明 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 早稲田大学先進理工学部青木研究室 | 小野村 優作 | 2022 | 22UT1087: ランダム性を付与した透過型回折格子の作製・観察 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 東京大学 | 関 真一郎 | 2022 | 22UT1071: 時間反転対称性の破れた反強磁性体における創発物性の開拓 |
| 9 | UT-700 | 4インチ高真空EB蒸着装置 | 東京工業大学 | 吉岡 駿 | 2022 | 22UT1043: 金フィッシュネット金属/半導体/金属構造共振器を用いた波長選択型熱光起電力電池の製作 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東京大学大学院総合文化研究科 | 桐谷 乃輔 | 2022 | 22UT1203: 2次元半導体への高濃度電子注入と微細デバイス特性評価 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 芝浦工業大学 | 吉田 慎哉 | 2022 | 22UT1194: 単結晶圧電薄膜を用いたＭＥＭＳの研究 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 福井大学 | 坂元 博昭 | 2022 | 22UT1182: 表面弾性波による微量液滴撹拌技術とバイオエレクトロニクスの融合プロジェクト |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 株式会社小糸製作所 | 本橋 和也 | 2022 | 22UT1114: 人工ナノ構造を用いた広帯域集光素子の作製 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東京大学大学院 工学系研究科 物理工学専攻 長谷川研究室 | Inoue Satoru | 2022 | 22UT1106: 有機材料を用いた全塗布型・超高精細TFTアレイの開発 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 新電元工業株式会社 | 野間 真樹子 | 2022 | 22UT1102: ガスセンシングデバイスの作製 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東京大学NMfD機構 | 北森 武彦 | 2022 | 22UT1098: ガラス製ナノ流路の作製と観察 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 中外製薬株式会社 | 須山 英悟 | 2022 | 22UT1065: バイオアッセイへの応用に向けたシリコン製マイクロ流体デバイスの作製 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東京大学 | 新井 史人 | 2022 | 22UT1033: MEMS加工と3Dプリントの融合プロセスによるセンサ集積化ピペットチップを用いた細胞操作 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東レ株式会社、東京大学工学部三田研究室 | 壽慶 将也 | 2022 | 22UT1031: 絶縁材にポリマーを用いた低温ハイブリッドボンディングの実証 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東京大学 | 杵淵 郁也 | 2022 | 22UT1013: 蒸発界面を保持するためのナノ細孔アレイ膜の作成 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東京大学 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1009: ウエアラブルデバイスのためのエレクトレット環境発電の創成 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東京大学大学院理学系研究科地球惑星科学専攻 | 茅根 創 | 2022 | 22UT1001: 次世代型半導体 ISFET pHセンサーの開発 |
| 14 | UT-906 | ブレードダイサー | 東京大学 | 前田 拓也 | 2022 | 22UT0404: GaN系デバイスの作製・構造評価 |
| 7 | UT-506 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | 弘前大学 | 島田 透 | 2022 | 22UT1199: 金ナノ構造周期配列の作製 |
| 7 | UT-506 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | 東京理科大学 | 元祐 昌廣 | 2022 | 22UT1156: 高速気流測定用薄膜シートセンサーの開発 |
| 7 | UT-506 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | AGC株式会社 | 五十川 健 | 2022 | 22UT1088: ドライエッチング後のレジスト剥離 |
| 7 | UT-506 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | 早稲田大学先進理工学部青木研究室 | 小野村 優作 | 2022 | 22UT1087: ランダム性を付与した透過型回折格子の作製・観察 |
| 7 | UT-506 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | 国立大学法人電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻 | 菅 哲朗 | 2022 | 22UT1030: TWISTED AND CONTACTED AU MICRO-RODS 3D CHIRAL METAMATERIALS WITH CIRCULAR DICHROISM VIA AN ABSORPTIVE ROUTE IN LONG-WAVELENGTH INFRARED |
| 7 | UT-506 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | 東京大学 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1009: ウエアラブルデバイスのためのエレクトレット環境発電の創成 |
| 7 | UT-506 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 | 東京大学 | 木村 隆志 | 2022 | 22UT1008: 超微細加工を活用したX線イメージング技術の高度化 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 弘前大学 | 島田 透 | 2022 | 22UT1199: 金ナノ構造周期配列の作製 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 東京大学カブリ数物連携宇宙研究機構 | 長谷部 孝 | 2022 | 22UT1193: ドライエッチング加工を用いた広帯域サブミリ波観測用シリコンレンズの開発 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | （株）ナノフォトニックテクノロジーズ | 杉浦 聡 | 2022 | 22UT1155: ハードディスク用ヘッドの平滑化の研究 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 菊池 利克 | 2022 | 22UT1143: シリコン基板上の電極の加工 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 東京大学 | 小林 研介 | 2022 | 22UT1131: 量子センシングのためのマイクロ波アンテナ作製 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 国立研究開発法人海洋研究開発機構 | 張 翼 | 2022 | 22UT1126: 単一細胞分析用マイクロデバイス作製 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 東京大学 | Tabata Prof. Dr. Hitoshi | 2022 | 22UT1107: CoFeB/Y3Fe5O12ヘテロ構造におけるスピン波磁気センサの開発 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 新電元工業株式会社 | 野間 真樹子 | 2022 | 22UT1102: ガスセンシングデバイスの作製 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1100: 単結晶シリコンによる可視光用可変焦点メタレンズの開発 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | SCIVAX株式会社 | 北山 清章 | 2022 | 22UT1084: 17×3分割ビームスプリッターの開発 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 東京大学 | 高橋 浩之 | 2022 | 22UT1037: 超伝導転移端センサの開発 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 東京大学大学院理学系研究科 | 山崎 洋人 | 2022 | 22UT1036: 安定的自立型窒化シリコンナノ薄膜加工プロセスの構築 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1014: 窒化シリコンを利用した高透過率メタサーフェスホログラム |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 株式会社ダイセル | 望田 憲嗣 | 2022 | 22UT1004: 選択的なウェットエッチングを可能とする基板表面処理剤の開発 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 東京大学大学院理学系研究科地球惑星科学専攻 | 茅根 創 | 2022 | 22UT1001: 次世代型半導体 ISFET pHセンサーの開発 |
| 16 | UT-800 | クリーンドラフト潤沢超純水付 | 新電元工業株式会社 | 前山 雄介 | 2022 | 22UT0072: 酸化ガリウムデバイスの開発 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学工学系研究科マテリアル工学専攻 | 内田 建 | 2022 | 22UT1198: IrOx薄膜の形成 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学大学院工学系研究科化学システム工学専攻 | 董 翰霖 | 2022 | 22UT1195: 次世代電子デバイスのための2次元材料の研究 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 先端システム技術研究組合(RaaS) | 二宮 健生 | 2022 | 22UT1192: 高熱伝導率無機層間絶縁材料・プロセスの開発 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 一木 隆範 | 2022 | 22UT1152: ナノ粒子計測のためのナノ構造形成とデバイス作製 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 内田 建 | 2022 | 22UT1141: (NH4)xWO3ナノワイヤを用いたアセトンセンシングデバイスの作製 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 理化学研究所 | 山下 大喜 | 2022 | 22UT1137: ナノ材料-ナノフォトニクスハイブリッドデバイスの開発 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 百瀬 健 | 2022 | 22UT1118: 新規半導体配線材料用のMo薄膜特性 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学 | 内田 建 | 2022 | 22UT1112: ジュール加熱可能なナノスケール幅Auナノシートの作製 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学工学部 | 太田 涼介 | 2022 | 22UT1104: 波長計測デバイスの作製 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学大学院新領域創成科学研究科 | 吉田 雅貴 | 2022 | 22UT1103: SnO2ガスセンサの作製 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学生産技術研究所 | 鹿園 直毅 | 2022 | 22UT1066: The formation of pattern Ni thin film |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 群馬大学大学院理工学府電子情報部門 | 曾根 逸人 | 2022 | 22UT1054: 電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京工業大学 | 石 原光希 | 2022 | 22UT1046: 金属-絶縁体-金属構造波長選択赤外線放射体によるインク保湿剤の定着に関する研究 |
| 14 | UT-704 | 高密度汎用スパッタリング装置 | 東京大学大学院理学系研究科地球惑星科学専攻 | 茅根 創 | 2022 | 22UT1001: 次世代型半導体 ISFET pHセンサーの開発 |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 志村 敬彬 | 2022 | 22UT5003: ジルコニア薄膜の電気化学特性計測 |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | エレファンテック株式会社 | 藤島 翔太 | 2022 | 22UT1079: Cuめっき表面の変色分析および原因究明 |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | Saxena Krishna | 2022 | 22UT0430: SEM EDX of NbC after ECM |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | Pornthep CHIVAVIBUL | 2022 | 22UT0337: 3Dプリンター法で作製したNi合金の評価 |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 李 長建 | 2022 | 22UT0271: 電解液ジェット加工を用いた大面積抗菌性表面のテクスチャリング |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | 東京大学工学部システム創成学科Aコース（E&Eコース） | 阿部 竣哉 | 2022 | 22UT0268: 静電選別によって処理されたチャーの表面分析 |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 伊藤 大知 | 2022 | 22UT0260: 医用材料の構造分析 |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | 株式会社SUN METALON | 景山 宏治 | 2022 | 22UT0238: 積層造形金属の組織観察 |
| 9 | UT-104 | 低真空走査型電子顕微鏡 | 東京大学 | 中野 斉 | 2022 | 22UT0051: ワイヤ放電加工機上での電解仕上げ加工の研究 |
| 8 | UT-306 | 超微量元素計測システム(SIMS) | 東京大学 | 志村 敬彬 | 2022 | 22UT5003: ジルコニア薄膜の電気化学特性計測 |
| 8 | UT-306 | 超微量元素計測システム(SIMS) | 東京工業大学 花村研究室 | 小杉 達哉 | 2022 | 22UT0403: 固体酸化物型燃料電池(SOFC)の電極電解質界面分析 |
| 8 | UT-306 | 超微量元素計測システム(SIMS) | 東京大学 | 木下 卓巳 | 2022 | 22UT0346: 高効率光電変換材料の構造解析 |
| 8 | UT-306 | 超微量元素計測システム(SIMS) | 東京工業大学 | 長澤 剛 | 2022 | 22UT0325: 酸化物材料内部の同位体分析 |
| 8 | UT-306 | 超微量元素計測システム(SIMS) | 一般財団法人ファインセラミックスセンター | 松平 恒昭 | 2022 | 22UT0218: 環境遮蔽コーティング材料のNanoSIMS分析 |
| 8 | UT-306 | 超微量元素計測システム(SIMS) | 茨城大学 | 藤谷 渉 | 2022 | 22UT0207: NanoSIMSによる隕石中の炭酸塩鉱物の年代測定 |
| 8 | UT-306 | 超微量元素計測システム(SIMS) | 富士フイルム | 大塚 徹郎 | 2022 | 22UT0185: 当社開発品または製造品の表面分析 |
| 8 | UT-306 | 超微量元素計測システム(SIMS) | 日亜化学工業株式会社 | 村山 昌宏 | 2022 | 22UT0004: リチウムイオン電池電極材料の解析 |
| 3 | UT-509 | 枚葉式自動リフトオフ装置 | 先端システム技術研究組合(RaaS) | 二宮 健生 | 2022 | 22UT1192: 高熱伝導率無機層間絶縁材料・プロセスの開発 |
| 3 | UT-509 | 枚葉式自動リフトオフ装置 | 早稲田大学先進理工学部青木研究室 | 小野村 優作 | 2022 | 22UT1087: ランダム性を付与した透過型回折格子の作製・観察 |
| 3 | UT-509 | 枚葉式自動リフトオフ装置 | 東京工業大学 | 吉岡 駿 | 2022 | 22UT1043: 金フィッシュネット金属/半導体/金属構造共振器を用いた波長選択型熱光起電力電池の製作 |
| 4 | UT-854 | オージェ分光分析装置 | 東京大学 | 千足 昇平 | 2022 | 22UT1185: 架橋カーボンナノチューブの作製と分光計測 |
| 4 | UT-854 | オージェ分光分析装置 | 東京大学 | 百瀬 健 | 2022 | 22UT1119: CuOx/TiO2光触媒の反応機構 |
| 4 | UT-854 | オージェ分光分析装置 | 株式会社ダイセル | 望田 憲嗣 | 2022 | 22UT1004: 選択的なウェットエッチングを可能とする基板表面処理剤の開発 |
| 4 | UT-854 | オージェ分光分析装置 | 東京大学 | 鎮目 邦彦 | 2022 | 22UT0328: 不秩序系における熱輸送の理解へ向けた非晶質・準安定材料の構造評価 |
| 4 | NM-616 | シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] | 東京大学生産技術研究所 | 金 秀炫 | 2022 | 22UT1184: Fabrication of micro/nano devicesマイクロ・ナノデバイスの作製 |
| 4 | NM-616 | シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] | 慶應義塾大学 | 今福 諒平 | 2022 | 22NM0006: 光デバイス用シリコン加工 |
| 4 | NM-616 | シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] | 早稲田大学 | 若林 千幸 | 2022 | 22NM0004: 超伝導ダイヤモンドソースドレインと2DHGダイヤモンドによる超伝導FETの実現 |
| 4 | NM-616 | シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] | 産業技術総合研究所 | 馬場 宗明 | 2022 | 22NM0002: Nano/Micro機能付加による高性能伝熱面に関する研究 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 東京大学生産技術研究所 | 金 秀炫 | 2022 | 22UT1184: Fabrication of micro/nano devicesマイクロ・ナノデバイスの作製 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1110: Carbon nanotube field-effect transistor with two-dimensional boron nitride as interface layers |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 東京大学工学部電気電子工学科 | 片瀬 大祐 | 2022 | 22UT1094: 第一原理計算とX線光電子分光法による金属/絶縁ポリマー界面のバンドアラインメントの解明 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 神戸市立工業高等専門学校 | 瀬戸浦 健仁 | 2022 | 22NM0116: 窒化チタンナノ粒子の作製 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 防衛大学校 | 吉田 雅輝 | 2022 | 22NM0025: 赤外線カメラを用いた微細流路内の沸騰熱伝達の非定常測定 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 宇都宮大学 | 篠田 一馬 | 2022 | 22NM0022: 分光偏光撮影のための波状多層膜型フォトニック結晶の製造 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 産業技術総合研究所 | 長坂 恵一 | 2022 | 22NM0019: 電子・レーザービーム描画を用いた微細デバイス加工技術開発 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 日本女子大学 | 石黒 亮輔 | 2022 | 22NM0012: 金属半導体接合における界面状態の新機能開発 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 早稲田大学 | 柏崎 翼 | 2022 | 22NM0009: CMOSプロセスを用いたSi熱電発電集積デバイスの開発 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 産業技術総合研究所 | 渥美 裕樹 | 2022 | 22NM0003: シリコンフォトニクスデバイスの開発 |
| 11 | NM-607 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 産業技術総合研究所 | 馬場 宗明 | 2022 | 22NM0002: Nano/Micro機能付加による高性能伝熱面に関する研究 |
| 6 | TU-001 | エッチングチャンバー | 東京大学生産技術研究所 | 金 秀炫 | 2022 | 22UT1184: Fabrication of micro/nano devicesマイクロ・ナノデバイスの作製 |
| 6 | TU-001 | エッチングチャンバー | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0202: 前工程プロセス及びIoTモジュール製作 |
| 6 | TU-001 | エッチングチャンバー | センスチップ株式会社 | 伊藤 隆広 | 2022 | 22TU0081: エンドトキシン測定用くし形電極の開発 / Development of comb electrodes for endotoxin measurement |
| 6 | TU-001 | エッチングチャンバー | 東北大学大学院理学研究科 | 遊佐 剛 | 2022 | 22TU0054: 半導体ナノ構造の作成 / Semiconductor Nanostructure Fabrication |
| 6 | TU-001 | エッチングチャンバー | 東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センター | 矢代 航 | 2022 | 22TU0045: Fabrication of X-ray optics for millisecond X-ray tomography |
| 6 | TU-001 | エッチングチャンバー | 日本テクノカーボン株式会社 | 加藤 弘菜 | 2022 | 22TU0011: エピサセプターの酸洗浄 / Acid cleaning of susceptor for epitaxial growth |
| 4 | UT-701 | 川崎ブランチスパッタリング装置 | 福井大学 | 坂元 博昭 | 2022 | 22UT1182: 表面弾性波による微量液滴撹拌技術とバイオエレクトロニクスの融合プロジェクト |
| 4 | UT-701 | 川崎ブランチスパッタリング装置 | 東京大学 | 種村 拓夫 | 2022 | 22UT1153: 光集積デバイスの作製と評価 |
| 4 | UT-701 | 川崎ブランチスパッタリング装置 | 慶應義塾大学 | 嘉副 裕 | 2022 | 22UT1147: トップダウン加工によるナノ流体デバイスの開発 |
| 4 | UT-701 | 川崎ブランチスパッタリング装置 | 理化学研究所 | 太田 亘俊 | 2022 | 22UT1063: ガラス製マイクロ・ナノ流体デバイスの作製 |
| 2 | UT-712 | 8元電子線蒸着装置 | 株式会社マグネスケール | 丸田 秀昭 | 2022 | 22UT1179: GaAs基板上への酸化物反射膜形成と解析 |
| 2 | UT-712 | 8元電子線蒸着装置 | 株式会社マグネスケール | 丸田 秀昭 | 2022 | 22UT0064: GaAs基板上への酸化物反射膜形成と解析 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 株式会社マグネスケール | 丸田 秀昭 | 2022 | 22UT1179: GaAs基板上への酸化物反射膜形成と解析 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学大学院理学系研究科 | 岩崎 純史 | 2022 | 22UT1166: 金属および誘電体の高次高調波加工 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | 肥後 昭男 | 2022 | 22UT1160: ナノワイヤ選択成長のためのF7000S-VD02を利用したナノテンプレート作製技術の開発 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | （株）ナノフォトニックテクノロジーズ | 杉浦 聡 | 2022 | 22UT1155: ハードディスク用ヘッドの平滑化の研究 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | 一木 隆範 | 2022 | 22UT1152: ナノ粒子計測のためのナノ構造形成とデバイス作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 宇宙航空研究開発機構 | 太刀川 純孝 | 2022 | 22UT1151: メタサーフェスを利用した宇宙機用ラジエータの開発 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | (株)日立製作所 研究開発グループ | Kawamoto Erina | 2022 | 22UT1150: シリコンメンブレンへのスリット加工 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | 中川 桂一 | 2022 | 22UT1144: 超高速干渉イメージング光学系の基礎評価のためのナノ構造試料の作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | 伊藤 喜光 | 2022 | 22UT1140: 新規機能性材料の表面･結晶･電子構造解析 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 株式会社シリコンセンシングプロダクツ | 行藤 敏克 | 2022 | 22UT1127: スプレーコーター塗布条件出し |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 国立研究開発法人海洋研究開発機構 | 張 翼 | 2022 | 22UT1126: 単一細胞分析用マイクロデバイス作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | 内田 建 | 2022 | 22UT1113: グラフェン転写用デバイスの作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学大学院工学系研究科 | 内田 建 | 2022 | 22UT1111: ノイズ測定用グラフェン電界効果トランジスタの作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学大学院新領域創成科学研究科 | 吉田 雅貴 | 2022 | 22UT1103: SnO2ガスセンサの作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | キオクシア 株式会社 マスク技術課 | 本川 剛治 | 2022 | 22UT1089: 極薄膜成膜実験用石英ガラス基板の前処理検討/Pretreatment of quartz glass substrates for ultra thin film deposition experiments |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学生産技術研究所 | 年吉 洋 | 2022 | 22UT1075: 超小型原子時計用のＭＥＭＳ波長可変光源 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | 関 真一郎 | 2022 | 22UT1071: 時間反転対称性の破れた反強磁性体における創発物性の開拓 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 中外製薬株式会社 | 須山 英悟 | 2022 | 22UT1065: バイオアッセイへの応用に向けたシリコン製マイクロ流体デバイスの作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | アンリツ株式会社 | 松井 朋裕 | 2022 | 22UT1064: グラフェンナノスケールデバイスの作製と多層グラフェンの光学特性 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京電機大学工学部電子システム工学科田所研 | 山内 博 | 2022 | 22UT1062: マスクレスダイレクトパターニングによる有機トランジスタの作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 研究開発センター 化合物半導体開発部 開発第一グループ | 藤田 浩己 | 2022 | 22UT1061: 半導体デバイス上の誘電体積層膜の成膜 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京電機大学 | 小松 聡 | 2022 | 22UT1044: CMOSプロセスを用いたMEMSセンサの実現 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学大学院理学系研究科 | 山崎 洋人 | 2022 | 22UT1036: 安定的自立型窒化シリコンナノ薄膜加工プロセスの構築 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | ドロネー ジャンジャック | 2022 | 22UT1026: GaN Ultraviolet Laser based on Bound States in the Continuum (BIC) |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1014: 窒化シリコンを利用した高透過率メタサーフェスホログラム |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 横浜国立大学 | 鷹尾 祥典 | 2022 | 22UT1007: グレースケールリソグラフィを利用した尖塔構造を持つエミッタアレイの作製 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | Wang Chao | 2022 | 22UT0298: 熱電対埋設型工具の断面解析 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 新電元工業株式会社 | 前山 雄介 | 2022 | 22UT0072: 酸化ガリウムデバイスの開発 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 株式会社マグネスケール | 丸田 秀昭 | 2022 | 22UT0064: GaAs基板上への酸化物反射膜形成と解析 |
| 30 | UT-850 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 | 東京大学 | 伊藤 喜光 | 2022 | 22UT0003: 新規機能性材料の表面･結晶･電子構造解析 |
| 5 | UT-709 | パリレンコーター | 東京大学マテリアル工学専攻 | 長汐 晃輔 | 2022 | 22UT1175: ２次元層状FET特性の経時変化の起源の解明 |
| 5 | UT-709 | パリレンコーター | 慶應義塾大学 | 田口 良広 | 2022 | 22UT1097: 細線へのパリレン蒸着 |
| 5 | UT-709 | パリレンコーター | 東京電機大学工学部電子システム工学科田所研 | 山内 博 | 2022 | 22UT1062: マスクレスダイレクトパターニングによる有機トランジスタの作製 |
| 5 | UT-709 | パリレンコーター | キヤノン電子株式会社 | 渡辺 茂高 | 2022 | 22UT1034: パリレンＣ厚膜構造体の密着性 |
| 5 | UT-709 | パリレンコーター | 東京大学 | Wang Chao | 2022 | 22UT0298: 熱電対埋設型工具の断面解析 |
| 3 | UT-508 | 電子線描画用近接効果補正ソフト | 富士フイルム株式会社 | 永﨑 秀雄 | 2022 | 22UT1174: レジスト材料の評価 |
| 3 | UT-508 | 電子線描画用近接効果補正ソフト | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22UT1099: Fogging Effect低減のための分割プロセスによるリフトオフパターン作製方法について |
| 3 | UT-508 | 電子線描画用近接効果補正ソフト | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1048: トップハット型光強度分布整形メタサーフェス |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 株式会社ニコン | 森 大祐 | 2022 | 22UT1172: アモルファスSiメタ表面の試作 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | tei Solutions | 古賀 拓哉 | 2022 | 22UT1168: SEM観察によるAl膜パターンの断線調査 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学生産技術研究所 | 志村 努 | 2022 | 22UT1164: 金ナノロッドペアの作製 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 宇宙航空研究開発機構 | 太刀川 純孝 | 2022 | 22UT1151: メタサーフェスを利用した宇宙機用ラジエータの開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 慶應義塾大学 | 嘉副 裕 | 2022 | 22UT1147: トップダウン加工によるナノ流体デバイスの開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1146: 電子線描画装置を用いた回転可変型アキシコンレンズメタレンズの開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学 | 内田 建 | 2022 | 22UT1141: (NH4)xWO3ナノワイヤを用いたアセトンセンシングデバイスの作製 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学 | 小西 邦昭 | 2022 | 22UT1129: ホットエレクトロンを活用した光検出器の高高度化に関する研究 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学 | Konishi Kuniaki | 2022 | 22UT1128: 誘電体ナノメンブレン微細加工技術の開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 九州大学大学院総合理工学研究院 | 浜本 貴一 | 2022 | 22UT1120: ナノピクセル光集積回路の研究 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 株式会社小糸製作所 | 本橋 和也 | 2022 | 22UT1114: 人工ナノ構造を用いた広帯域集光素子の作製 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 千葉工業大学 | 安川 雪子 | 2022 | 22UT1108: 磁性／貴金属積層構造の微細加工 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1100: 単結晶シリコンによる可視光用可変焦点メタレンズの開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | AGC株式会社 | 梅田 賢一 | 2022 | 22UT1091: 微細加工技術検討 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | NHK放送技術研究所 | 信川 輝吉 | 2022 | 22UT1074: 光メタサーフェスの試作 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学大学院工学系研究科 | 古川 克子 | 2022 | 22UT1070: 骨分化制御のためのサブミクロン表面微細構造の作製 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 青山学院大学 | 石河 泰明 | 2022 | 22UT1060: ナノ構造パターニングに用いるマスターモールドの作製 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1059: 照射光多点分配のためのメタサーフェス光学素子の開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1056: 電子線描画装置を用いた近赤外光用可変焦点メタレンズの製作 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学工学系研究科機械工学専攻 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1053: 低消費電力MEMSガスセンサの開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1048: トップハット型光強度分布整形メタサーフェス |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1040: 高い色再現性を備えたシネマトグラフ式フルカラーメタサーフェスホログラムの開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学大学院理学系研究科化学専攻 | 合田 圭介 | 2022 | 22UT1039: 金ナノメッシュの表面形態観察 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学 | 大宮司 啓文 | 2022 | 22UT1035: Fabrication of Diamond LikeCarbon (DLC) based superhydrophobic surface |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学 | ドロネー ジャンジャック | 2022 | 22UT1026: GaN Ultraviolet Laser based on Bound States in the Continuum (BIC) |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1018: マイクロ光学セルのためのメタサーフェス光学素子開発 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1017: 紫外プラズモン共鳴を利用した光学式ガスセンサ |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学工学院工学府機械システム専攻 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1016: 結晶シリコンメタサーフェスによる可視3次元ホログラム |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1015: マイクロ医療のための可視ガウシアン―トップハットビームコンバータ |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1014: 窒化シリコンを利用した高透過率メタサーフェスホログラム |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学 | 鎮目 邦彦 | 2022 | 22UT0328: 不秩序系における熱輸送の理解へ向けた非晶質・準安定材料の構造評価 |
| 32 | UT-855 | 高精細電子顕微鏡 | 東京大学 | 辻 佳子 | 2022 | 22UT0209: 塗布成膜有機/無機半導体の構造制御 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 株式会社ニコン | 森 大祐 | 2022 | 22UT1172: アモルファスSiメタ表面の試作 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学 | 肥後 昭男 | 2022 | 22UT1160: ナノワイヤ選択成長のためのF7000S-VD02を利用したナノテンプレート作製技術の開発 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 宇宙航空研究開発機構 | 太刀川 純孝 | 2022 | 22UT1151: メタサーフェスを利用した宇宙機用ラジエータの開発 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | リバーエレテック株式会社 | 芦沢 英紀 | 2022 | 22UT1149: 電子線描画装置を使用した1GHz OPAW振動子の電極パターニング |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1146: 電子線描画装置を用いた回転可変型アキシコンレンズメタレンズの開発 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学 | Konishi Kuniaki | 2022 | 22UT1128: 誘電体ナノメンブレン微細加工技術の開発 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 九州大学大学院総合理工学研究院 | 浜本 貴一 | 2022 | 22UT1120: ナノピクセル光集積回路の研究 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学 | 内田 建 | 2022 | 22UT1112: ジュール加熱可能なナノスケール幅Auナノシートの作製 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1110: Carbon nanotube field-effect transistor with two-dimensional boron nitride as interface layers |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学大学院新領域創成科学研究科 | 吉田 雅貴 | 2022 | 22UT1103: SnO2ガスセンサの作製 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1100: 単結晶シリコンによる可視光用可変焦点メタレンズの開発 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1086: ヘテロナノチューブの電界効果トランジスタ応用 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学大学院工学系研究科 | 古川 克子 | 2022 | 22UT1070: 骨分化制御のためのサブミクロン表面微細構造の作製 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 青山学院大学 | 石河 泰明 | 2022 | 22UT1060: ナノ構造パターニングに用いるマスターモールドの作製 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1059: 照射光多点分配のためのメタサーフェス光学素子の開発 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 群馬大学大学院理工学府電子情報部門 | 曾根 逸人 | 2022 | 22UT1054: 電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 群馬大学 | 尹 友 | 2022 | 22UT1052: ブロックコポリマーを用いた量子ドット型太陽電池の開発 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 横浜国立大学 | 荒川 太郎 | 2022 | 22UT1049: 半導体光デバイスの作製 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1040: 高い色再現性を備えたシネマトグラフ式フルカラーメタサーフェスホログラムの開発 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学 | 大宮司 啓文 | 2022 | 22UT1035: Fabrication of Diamond LikeCarbon (DLC) based superhydrophobic surface |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京農工大学工学院工学府機械システム専攻 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1016: 結晶シリコンメタサーフェスによる可視3次元ホログラム |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学 | 木村 隆志 | 2022 | 22UT1008: 超微細加工を活用したX線イメージング技術の高度化 |
| 23 | UT-600 | 汎用ICPエッチング装置 | 東京大学 | 前田 拓也 | 2022 | 22UT0404: GaN系デバイスの作製・構造評価 |
| 3 | UT-859 | 小型原子間力顕微鏡 | 東京大学 | 長谷川 修司 | 2022 | 22UT1163: 2次元物質の表面観察 |
| 3 | UT-859 | 小型原子間力顕微鏡 | 東京都立大学 | 中嶋 秀 | 2022 | 22UT1092: ISFETセンサーの開発 |
| 3 | UT-859 | 小型原子間力顕微鏡 | キオクシア 株式会社 マスク技術課 | 本川 剛治 | 2022 | 22UT1089: 極薄膜成膜実験用石英ガラス基板の前処理検討/Pretreatment of quartz glass substrates for ultra thin film deposition experiments |
| 2 | UT-605 | 塩素系ICPエッチング装置 | 東京大学 | 種村 拓夫 | 2022 | 22UT1153: 光集積デバイスの作製と評価 |
| 2 | UT-605 | 塩素系ICPエッチング装置 | 東京大学生産技術研究所 | 年吉 洋 | 2022 | 22UT1075: 超小型原子時計用のＭＥＭＳ波長可変光源 |
| 1 | UT-713 | カーボンコーター | 東京大学 | 一木 隆範 | 2022 | 22UT1152: ナノ粒子計測のためのナノ構造形成とデバイス作製 |
| 2 | UT-902 | マニュアルウエッジボンダ― | 横浜国立大学 | 片山 郁文 | 2022 | 22UT1145: テラヘルツ電場誘起電子トンネリング計測用金属ナノギャップデバイスの作製 |
| 2 | UT-902 | マニュアルウエッジボンダ― | 東京大学 | 高橋 浩之 | 2022 | 22UT1037: 超伝導転移端センサの開発 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 伊藤 喜光 | 2022 | 22UT1140: 新規機能性材料の表面･結晶･電子構造解析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1011: アンモニア燃焼における表面反応の解明 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | BAE SUMIN | 2022 | 22UT0397: フッ素添加による炭素膜の特性 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 金元 俊輔 | 2022 | 22UT0375: 金ナノ粒子触媒によるタンデム酸化を経る第3級アミンを基質とした選択的エナミノン合成 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 砂田 祐輔 | 2022 | 22UT0359: 金属集積型触媒における電子状態解析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22UT0352: 水晶の表面分析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 杉浦 広峻 | 2022 | 22UT0333: 水晶振動子に関する研究 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | BAE SUMIN | 2022 | 22UT0320: 炭素膜内のクロム結晶化分析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 嶺岸 耕 | 2022 | 22UT0248: CO2の電解還元による有用物質生成 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 大阪大学 | 太田 遼至 | 2022 | 22UT0223: リチウムイオン電池用ケイ素微粒子の構造分析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 森永 俊太朗 | 2022 | 22UT0217: 撥液性表面の開発 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 吉田 悠希 | 2022 | 22UT0190: Pd@MFIゼオライトの表面分析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 夏 康 | 2022 | 22UT0184: ポリオキソメタレート修飾した高活性アニオン性貴金属ナノ粒子触媒の創製 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | YUAN KANG | 2022 | 22UT0183: Pt/WO3/ZrO2の表面分析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 陳 偉彦 | 2022 | 22UT0172: 金属-樹脂異材接合 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 丸見 真智子 | 2022 | 22UT0168: Carbonized electrospun nanofibers for surface-enhanced Raman spectroscopy |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 株式会社ディスコ | 横尾 晋 | 2022 | 22UT0093: 研削・研磨後の被加工物の表面状態解析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 桐蔭横浜大学 | 柴山 直之 | 2022 | 22UT0046: ペロブスカイト多結晶薄膜の微細構造の観察 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 五月女 真人 | 2022 | 22UT0045: ペロブスカイト型半導体の組成分析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京工業大学 | 神戸 徹也 | 2022 | 22UT0025: 精密無機合成による新規ナノ材料の構造解明 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 増田 晋也 | 2022 | 22UT0020: 担持金属クラスター触媒の幾何構造解析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 松山 剛大 | 2022 | 22UT0009: 担持ナノ粒子触媒の表面分析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京理科大学 | TAKADA KENJI | 2022 | 22UT0007: 配位ナノシートの構造解析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 伊藤 喜光 | 2022 | 22UT0003: 新規機能性材料の表面･結晶･電子構造解析 |
| 25 | UT-301 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) | 東京大学 | 岸本 史直 | 2022 | 22UT0002: ナノ構造固体触媒の幾何構造解析および表面化学分析 |
| 2 | UT-608 | 汎用NLDエッチング装置 | 株式会社小糸製作所 | 本橋 和也 | 2022 | 22UT1114: 人工ナノ構造を用いた広帯域集光素子の作製 |
| 2 | UT-608 | 汎用NLDエッチング装置 | 早稲田大学先進理工学部青木研究室 | 小野村 優作 | 2022 | 22UT1087: ランダム性を付与した透過型回折格子の作製・観察 |
| 3 | UT-609 | XeF2ドライエッチングシステム | 東京大学 | 丸山 茂夫 | 2022 | 22UT1110: Carbon nanotube field-effect transistor with two-dimensional boron nitride as interface layers |
| 3 | UT-609 | XeF2ドライエッチングシステム | 東京電機大学 | 小松 聡 | 2022 | 22UT1044: CMOSプロセスを用いたMEMSセンサの実現 |
| 3 | UT-609 | XeF2ドライエッチングシステム | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1017: 紫外プラズモン共鳴を利用した光学式ガスセンサ |
| 8 | UT-304 | 極限環境下電磁物性計測装置 | 東京大学工学系研究科 | Le Duc Anh | 2022 | 22UT1082: 非磁性半導体/強磁性半導体ヘテロ接合における新規量子輸送現象の研究 |
| 8 | UT-304 | 極限環境下電磁物性計測装置 | 東京大学工学部電気電子工学科 | 佐久間 尊通 | 2022 | 22UT0429: 磁性ナノ粒子/YIGハイブリッド構造におけるスピン波の研究 |
| 8 | UT-304 | 極限環境下電磁物性計測装置 | 株式会社東芝 | 河本 崇博 | 2022 | 22UT0372: 機能性材料の低温域における物性評価 |
| 8 | UT-304 | 極限環境下電磁物性計測装置 | 東京工業大学 | 村松 央教 | 2022 | 22UT0267: 鋳型合成した微小粒子の物性解明 |
| 8 | UT-304 | 極限環境下電磁物性計測装置 | 株式会社東芝 研究開発センター | 江口 朋子 | 2022 | 22UT0249: 新機能材料の低温物性測定 |
| 8 | UT-304 | 極限環境下電磁物性計測装置 | 東京大学 | 永廣 怜平 | 2022 | 22UT0169: 低熱伝導率Si熱電材料の開発 |
| 8 | UT-304 | 極限環境下電磁物性計測装置 | 東京大学 | 堀田 智貴 | 2022 | 22UT0163: トポロジカル物質/強磁性半導体ヘテロ接合による新機能材料とデバイスの作製 |
| 8 | UT-304 | 極限環境下電磁物性計測装置 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 並木 宏允 | 2022 | 22UT0005: 熱電変換材料の物性評価 |
| 6 | UT-151 | 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置 | 東京大学工学系研究科 | Le Duc Anh | 2022 | 22UT1082: 非磁性半導体/強磁性半導体ヘテロ接合における新規量子輸送現象の研究 |
| 6 | UT-151 | 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置 | 東京大学 | 嶺岸 耕 | 2022 | 22UT0248: CO2の電解還元による有用物質生成 |
| 6 | UT-151 | 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置 | 東京大学 工学系研究科機械工学専攻 | Mouterde Timothee | 2022 | 22UT0158: Characterization of nanoscale mold for antifogging |
| 6 | UT-151 | 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置 | 東京大学 | 山田 太郎 | 2022 | 22UT0023: 光触媒の分析・解析 |
| 6 | UT-151 | 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置 | 千葉工業大学 | 原 祥太郎 | 2022 | 22UT0022: セラミックス積層体の三次元構造解析 |
| 6 | UT-151 | 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置 | 東京大学 | 増田 紘士 | 2022 | 22UT0013: セラミックスの焼結および力学特性についての研究 |
| 4 | UT-858 | 電子顕微鏡 | 太陽誘電株式会社 | 川島 由 | 2022 | 22UT1067: ニオブ酸リチウムLiNbO3上のSiO2 RIE加工検討 |
| 4 | UT-858 | 電子顕微鏡 | 東京大学大学院理学系研究科化学専攻 | 合田 圭介 | 2022 | 22UT1039: 金ナノメッシュの表面形態観察 |
| 4 | UT-858 | 電子顕微鏡 | 東京大学 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1011: アンモニア燃焼における表面反応の解明 |
| 4 | UT-858 | 電子顕微鏡 | 東京大学 | 永廣 怜平 | 2022 | 22UT0169: 低熱伝導率Si熱電材料の開発 |
| 1 | UT-861 | 走査型プローブ顕微鏡 | 太陽誘電株式会社 | 川島 由 | 2022 | 22UT1067: ニオブ酸リチウムLiNbO3上のSiO2 RIE加工検討 |
| 1 | UT-705 | 超高真空蒸着装置(ベルジャー) | 東京電機大学工学部電子システム工学科田所研 | 山内 博 | 2022 | 22UT1062: マスクレスダイレクトパターニングによる有機トランジスタの作製 |
| 1 | UT-802 | 高速ランプアニール装置 | 群馬大学大学院理工学府電子情報部門 | 曾根 逸人 | 2022 | 22UT1054: 電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製 |
| 1 | UT-805 | プラズマ表面改質装置 | 東レ株式会社、東京大学工学部三田研究室 | 壽慶 将也 | 2022 | 22UT1031: 絶縁材にポリマーを用いた低温ハイブリッドボンディングの実証 |
| 1 | UT-507 | スプレーコーター | 国立大学法人電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻 | 菅 哲朗 | 2022 | 22UT1030: TWISTED AND CONTACTED AU MICRO-RODS 3D CHIRAL METAMATERIALS WITH CIRCULAR DICHROISM VIA AN ABSORPTIVE ROUTE IN LONG-WAVELENGTH INFRARED |
| 6 | TU-002 | 有機ドラフトチャンバー | 東京農工大学岩見研究室 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22UT1018: マイクロ光学セルのためのメタサーフェス光学素子開発 |
| 6 | TU-002 | 有機ドラフトチャンバー | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 古林 庸子 | 2022 | 22TU0157: レジストの形状観察 / Shape Observation of photoresist |
| 6 | TU-002 | 有機ドラフトチャンバー | 東北大学大学院環境科学研究科 | 昆沙賀 菜々子 | 2022 | 22TU0085: 固体酸化物形電解セル（SOEC）を用いた共電解における燃料極 / Fuel electrode in co-electrolysis using solid oxide electrolysis cell (SOEC) |
| 6 | TU-002 | 有機ドラフトチャンバー | 株式会社シンクロン | 菅田 博雅 | 2022 | 22TU0083: 絶縁膜の耐電圧特性評価 / Withstand voltage test of insulating film |
| 6 | TU-002 | 有機ドラフトチャンバー | 大阪大学大学院工学研究科 | 平原 佳織 | 2022 | 22TU0072: カーボンナノチューブ１本レベルの熱動態計測のためのMEMSヒータ作製 / Fabrication of a MEMS heater for the measurement of thermal characteristics of individual carbon nanotubes |
| 6 | TU-002 | 有機ドラフトチャンバー | 東北大学大学院理学研究科 | 遊佐 剛 | 2022 | 22TU0054: 半導体ナノ構造の作成 / Semiconductor Nanostructure Fabrication |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 鈴木 雄二 | 2022 | 22UT1011: アンモニア燃焼における表面反応の解明 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 千葉工業大学 | 安川 雪子 | 2022 | 22UT0341: 六方晶フェライトの微細構造観察 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 二階堂 圭 | 2022 | 22UT0332: 層状結晶性有機半導体の構造解析 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 公立小松大学 | 朴 亨原 | 2022 | 22UT0290: 加工熱処理した純チタンの相（α，β相）の分析 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 川原 一晃 | 2022 | 22UT0244: フッ化物イオン伝導体の構造解析 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 斉藤 拓巳 | 2022 | 22UT0212: 廃棄物処分バリア材料の物性評価 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 佐々野 駿 | 2022 | 22UT0182: 高エネルギー密度を有する新規電極材料の開発 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 陳 偉彦 | 2022 | 22UT0172: 金属-樹脂異材接合 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 永廣 怜平 | 2022 | 22UT0169: 低熱伝導率Si熱電材料の開発 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 金 容九 | 2022 | 22UT0164: PCB廃棄物の溶媒浸出 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0089: 高速焼結による高靭性ジルコニアの創製 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 小暮 敏博 | 2022 | 22UT0076: 水田土壌の窒素供給力を支える鉄還元菌窒素固定の学術的基盤解明と低窒素農業への応用 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京工業大学 | 神戸 徹也 | 2022 | 22UT0025: 精密無機合成による新規ナノ材料の構造解明 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東京大学 | 小泉 早苗 | 2022 | 22UT0015: 鉱物多結晶体の創製 |
| 15 | UT-203 | 粉末X線回折装置 | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0014: ジルコニア微構造解析 |
| 7 | UT-302 | 電子スピン共鳴装置 | 東京大学工学部電気電子工学科 | 佐久間 尊通 | 2022 | 22UT0429: 磁性ナノ粒子/YIGハイブリッド構造におけるスピン波の研究 |
| 7 | UT-302 | 電子スピン共鳴装置 | 東京大学 | 森 貴裕 | 2022 | 22UT0402: 天然物生合成に関わる酸化酵素の反応解析 |
| 7 | UT-302 | 電子スピン共鳴装置 | 東京大学 | 吉野 貴大 | 2022 | 22UT0353: 機能性酸化物を用いたマグノニクスデバイスの創製 |
| 7 | UT-302 | 電子スピン共鳴装置 | 東京大学 | 伊藤 佑 | 2022 | 22UT0316: 新規有機分子・金属錯体触媒反応の開発 |
| 7 | UT-302 | 電子スピン共鳴装置 | クアーズテック(株) | 内丸 知紀 | 2022 | 22UT0251: セラミックスの特性 |
| 7 | UT-302 | 電子スピン共鳴装置 | 東京大学 | 北尾 岳史 | 2022 | 22UT0204: MOFを鋳型とした機能性ナノ材料の創製 |
| 7 | UT-302 | 電子スピン共鳴装置 | 東京大学 | 唐 思逸 | 2022 | 22UT0188: スピン波計算のためのフェライトを用いたスピン波変調素子の開発 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | Lin JIANG | 2022 | 22UT0418: SiCの表面分析 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 株式会社エクア | 松倉 和浩 | 2022 | 22UT0407: アルミ反射部の線幅が製品の性能に及ぼす影響について |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 酒井 雄也 | 2022 | 22UT0394: 廃棄物を用いたコンクリート代替材料の開発 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 萩原 大貴 | 2022 | 22UT0393: 階層性多孔質(HNL)ガラスの構造分析 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 株式会社 日立製作所 | 児玉 一宗 | 2022 | 22UT0386: 超伝導MgB2線材の構造解析 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 木村 優香 | 2022 | 22UT0323: ゼオライト含有塗膜の断面観察 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 長谷川 優 | 2022 | 22UT0306: 残留γ制御を通じたNi鋼の液化水素貯槽用材料としての適合性 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | Wang Chao | 2022 | 22UT0298: 熱電対埋設型工具の断面解析 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 友寄 篤 | 2022 | 22UT0261: セメントおよび火山ガラス微粉末の表面分析 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 伊藤 大知 | 2022 | 22UT0260: 医用材料の構造分析 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 河合 敬宏 | 2022 | 22UT0240: 炭素質コンドライト隕石の構造分析 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 酒井 雄也 | 2022 | 22UT0239: 砂同士を直接接着した建設材料の開発 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 株式会社オーク製作所 | 松崎 宏行 | 2022 | 22UT0166: レジスト断面評価 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 岩橋 壱征 | 2022 | 22UT0078: ゼオライトの断面観察 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 中野 斉 | 2022 | 22UT0051: ワイヤ放電加工機上での電解仕上げ加工の研究 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 東京大学 | 方 正隆 | 2022 | 22UT0042: 鉄系金属の表面分析 |
| 17 | UT-153 | クロスセクションポリッシャー(CP) | 株式会社村田製作所 | 田口 秀幸 | 2022 | 22UT0001: 金属の状態評価 |
| 3 | UT-305 | 環境制御マニュアルプローバステーション | ファインセラミックスセンター | 小林 俊介 | 2022 | 22UT0409: 電池材料のイオン移動と構造に関する研究 |
| 3 | UT-305 | 環境制御マニュアルプローバステーション | 東京大学 | 李 海寧 | 2022 | 22UT0226: Study on Memristor using Perovskite-Spinel PbTiO3-CoFe2O4Vertically Aligned Nanocomposite Thin Films |
| 3 | UT-305 | 環境制御マニュアルプローバステーション | 東京大学 | 吉津 遼平 | 2022 | 22UT0160: InAs MOS界面制御技術 |
| 3 | UT-154 | イオンスライサー | 東京都市大学 | 藤間 卓也 | 2022 | 22UT0395: ガラス表面に形成した多孔質構造の組成分析 |
| 3 | UT-154 | イオンスライサー | 東京大学 | 山田 太郎 | 2022 | 22UT0023: 光触媒の分析・解析 |
| 3 | UT-154 | イオンスライサー | 東京大学 | 小泉 早苗 | 2022 | 22UT0015: 鉱物多結晶体の創製 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 金元 俊輔 | 2022 | 22UT0375: 金ナノ粒子触媒によるタンデム酸化を経る第3級アミンを基質とした選択的エナミノン合成 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 竹本 晶紀 | 2022 | 22UT0360: ゼオライト粒子の形態観察 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 申 宇美 | 2022 | 22UT0358: ポリオキソメタレート修飾した担持銀ナノ粒子の合成と触媒活性の探求 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 若林 空良 | 2022 | 22UT0357: 触媒表面上のPdの粒子状態の分析 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 井元 健太 | 2022 | 22UT0228: 新規磁性金属錯体の合成と物性に関する研究 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 夏 康 | 2022 | 22UT0184: ポリオキソメタレート修飾した高活性アニオン性貴金属ナノ粒子触媒の創製 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京理科大学 | 宮島 顕祐 | 2022 | 22UT0048: レーザーアブレーションで作製した半導体ナノ微粒子の構造解析 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 賈 方達 | 2022 | 22UT0033: 黒色酸化チタンのナノ微粒子化に関する研究 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 吉清 まりえ | 2022 | 22UT0031: 金属酸化物ナノ粒子の合成と物性に関する研究 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京濾器株式会社 | 田中 潤矢 | 2022 | 22UT0024: 自動車触媒の開発 |
| 11 | UT-008 | 高分解能トップエントリー型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 岸本 史直 | 2022 | 22UT0002: ナノ構造固体触媒の幾何構造解析および表面化学分析 |
| 6 | UT-001 | 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 | TDK株式会社 | 橋本 晋亮 | 2022 | 22UT0373: 金属と誘電体の界面の原子構造観察 |
| 6 | UT-001 | 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 | 栃木カネカ(株) | 梅津 聡子 | 2022 | 22UT0259: 炭素材料の開発 |
| 6 | UT-001 | 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 | 東京大学 | 二塚 俊洋 | 2022 | 22UT0246: サファイア対応粒界の共偏析構造解析 |
| 6 | UT-001 | 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 | 日本電子株式会社 | 斎藤 光浩 | 2022 | 22UT0077: セラミックス結晶粒界の原子構造解析 |
| 6 | UT-001 | 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0052: ジルコニアの粒界偏析構造の分析 |
| 6 | UT-001 | 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 | ソニーグループ株式会社 | 蟹谷 裕也 | 2022 | 22UT0044: 窒化ガリウム系半導体ヘテロ接合の断面観察 |
| 7 | UT-002 | 軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM） | TDK株式会社 | 橋本 晋亮 | 2022 | 22UT0373: 金属と誘電体の界面の原子構造観察 |
| 7 | UT-002 | 軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM） | 東京大学 | 嶺岸 耕 | 2022 | 22UT0248: CO2の電解還元による有用物質生成 |
| 7 | UT-002 | 軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM） | 東京大学 | Lin Jinghuang | 2022 | 22UT0082: セラミックス欠陥の原子構造と機能特性 |
| 7 | UT-002 | 軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM） | 日本電子株式会社 | 斎藤 光浩 | 2022 | 22UT0077: セラミックス結晶粒界の原子構造解析 |
| 7 | UT-002 | 軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM） | 東京大学 | 徐 偉倫 | 2022 | 22UT0059: 二次元材料におけるナノポアの作成 |
| 7 | UT-002 | 軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM） | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0052: ジルコニアの粒界偏析構造の分析 |
| 7 | UT-002 | 軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM） | 東京大学 | 江草 大佑 | 2022 | 22UT0008: Mg合金の構造解析 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 藤浦 健斗 | 2022 | 22UT0364: 生体適合性ポリマー修飾金コロイドのTEM観察 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 明海大学 | 室岡 志津子 | 2022 | 22UT0361: 筋ジストロフィーモデルマウスの筋構造 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 山崎 裕一 | 2022 | 22UT0331: 遺伝子・制がん剤のDDS |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 伏信 進矢 | 2022 | 22UT0291: 微生物のタンパク質の立体構造解析 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 赤木 友紀 | 2022 | 22UT0257: PEO/silica分散系の挙動評価 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 安楽 泰孝 | 2022 | 22UT0247: 多種多様な構造を有する高分子集合体の開発 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 福島 和樹 | 2022 | 22UT0220: 生分解性ブロック共重合体の自己組織化挙動の解明 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 林 洸樹 | 2022 | 22UT0189: フェノール性高分子エマルジョン粒子の観察 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 山田 江里子 | 2022 | 22UT0085: セルロースナノ結晶複合化によるガロールポリマーの水中接着強度向上 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 大学院工学系研究科 化学生命工学専攻 加藤隆史研究室 | 加藤 利喜 | 2022 | 22UT0081: 単分散ナノシートの観察 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京都立大学大学院 都市環境科学研究科 | 朝山 章一郎 | 2022 | 22UT0074: QOLの向上を目指すバイオマテリアルの構造解析 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | WANG CHENYU | 2022 | 22UT0050: エクソソームの表面分析 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 中村 乃理子 | 2022 | 22UT0038: 機能性ナノ-マイクロサイズ材料の構造分析 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | HONG Taehun | 2022 | 22UT0029: ガン治療のためのドラックデリバリーシステムの開発 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 藤原 潤紀 | 2022 | 22UT0028: シャペロニンタンパク質GroELの自己組織化 |
| 16 | UT-011 | 有機材料ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 木幡 愛 | 2022 | 22UT0019: 含フッ素化合物の合成と自己組織化制御 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 理化学研究所 | 三苫 伸彦 | 2022 | 22UT0340: 新奇超分子の構造解析 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 日本大学 | 大月 穣 | 2022 | 22UT0317: 機能性分子結晶の特性 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 三ツ沼 治信 | 2022 | 22UT0297: 光増感分子配位子を持つ金属錯体の結晶構造解析 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 高橋 講平 | 2022 | 22UT0287: ケミカルリサイクルのための樹脂分解触媒の開発 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 井元 健太 | 2022 | 22UT0228: 新規磁性金属錯体の合成と物性に関する研究 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 西島 杏実 | 2022 | 22UT0206: 新規金属有機構造体の単結晶X線構造解析の検討 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 坂巻 拓海 | 2022 | 22UT0203: 有機デバイスへの応用を志向した新規有機材料の構造解析 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 森本 淳平 | 2022 | 22UT0202: ペプトイドの構造解析 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 畠山 元気 | 2022 | 22UT0199: Zrを含む金属-有機複合材料の表面分析 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 岩崎 孝紀 | 2022 | 22UT0196: 不安定有機金属化合物の構造解析 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 萩原 浩一 | 2022 | 22UT0195: 天然物合成研究における中間体・最終化合物の構造決定 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 楠本 周平 | 2022 | 22UT0194: 有機金属錯体の構造解析 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 福間 翔太 | 2022 | 22UT0191: 配向結晶性有機半導体の創出と電子デバイス応用 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京理科大学 | 榎本 真哉 | 2022 | 22UT0080: 微小配位高分子ならびに金属錯体の構造決定 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 吉川 功 | 2022 | 22UT0063: 光機能性を有する有機結晶材料の開発 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 緒方 嵩隼 | 2022 | 22UT0047: 環状超分子口縁部におけるイオン結合による新規分子認識機能の開拓 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 高杉 明徳 | 2022 | 22UT0030: 鉄触媒によるエナミンのC–Hアルケニル化反応の開発 |
| 18 | UT-201 | 無機微小結晶構造解析装置 | 東京大学 | 木幡 愛 | 2022 | 22UT0019: 含フッ素化合物の合成と自己組織化制御 |
| 1 | UT-403 | ウルトラミクロトーム | 栃木カネカ(株) | 梅津 聡子 | 2022 | 22UT0259: 炭素材料の開発 |
| 1 | UT-607 | 集積回路パターン微細加工（FIB）装置 | 東京大学 | イシハラ ケイタ | 2022 | 22UT0233: 強磁性半導体上に成長した超伝導Al薄膜の表面分析 |
| 5 | UT-009 | ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | MAN Youyuan | 2022 | 22UT0193: 分子鋳型高分子を用いたタンパク質の電気化学計測 |
| 5 | UT-009 | ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 徳本 有紀 | 2022 | 22UT0066: トポロジカル絶縁体中転位の観察 （熱電変換材料） |
| 5 | UT-009 | ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 都島 健介 | 2022 | 22UT0039: 心筋の膜小胞ダイナミクスの解析 |
| 5 | UT-009 | ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 山田 太郎 | 2022 | 22UT0023: 光触媒の分析・解析 |
| 5 | UT-009 | ハイコントラスト透過型電子顕微鏡 | 東京大学 | 江草 大佑 | 2022 | 22UT0008: Mg合金の構造解析 |
| 1 | UT-714 | 電子線顕微鏡観察用コーター | 東京大学 | 小泉 早苗 | 2022 | 22UT0015: 鉱物多結晶体の創製 |
| 1 | UT-155 | クライオイオンスライサー | 東ソー株式会社 | 細井 浩平 | 2022 | 22UT0014: ジルコニア微構造解析 |
| 1 | UT-404 | TEM試料調製システム_ナノミル | 東京大学 | 増田 紘士 | 2022 | 22UT0013: セラミックスの焼結および力学特性についての研究 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 国立大学法人東海国立大学機構岐阜大学 | 古山 浩子 | 2022 | 22AT5050: 固体NMRを利用した非環式レチノイドの生体膜貯蔵機構の解析 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 産業技術総合研究所 | 服部 峰之 | 2022 | 22AT5040: 回転エコー二重共鳴法による精密原子間距離測定 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 東京理科大学 | 町田 慎悟 | 2022 | 22AT5038: 無機層状化合物の有機誘導体の合成と評価 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 物質・材料研究機構 | 藤井 和子 | 2022 | 22AT5037: 固体NMRによる新規層状無機-有機共有結合体の構造解明 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 産業技術総合研究所 | 服部 峰之 | 2022 | 22AT5036: 新規核種の固体NMR測定 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 東京薬科大学 | 小島 正樹 | 2022 | 22AT5035: 固体NMRによるアガリクス由来β-グルカンの構造解析 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 奈良先端科学技術大学院大学 | 淺野間 文夫 | 2022 | 22AT5034: ヨウ化銅の127I MAS固体NMR測定 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 奈良先端科学技術大学院大学 | 淺野間 文夫 | 2022 | 22AT5033: 有機化合物結晶の1H,13C固体NMR測定 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 兵庫県立大学 | 橋本 倫也 | 2022 | 22AT5032: ヨウ化銅の63Cu MAS固体NMR測定 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 兵庫県立大学 | 橋本 倫也 | 2022 | 22AT5031: アダマンタン、グリシン、アラニンの1H,13C固体NMR測定 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 東洋大学 | 加藤 悦子 | 2022 | 22AT5030: デンプンの構造と物性との相関解明 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 広島大学 | 森山 教洋 | 2022 | 22AT5029: オルガノシリカ分離膜におけるサブナノ空隙中の分子輸送の動的解析 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 東京大学 | 山野井 慶徳 | 2022 | 22AT5021: メカノクロミック特性を持つジシラン分子の構造変化 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 東京工業大学 | 古屋 秀峰 | 2022 | 22AT5005: 固体重水素NMRによる高分子中の分子ダイナミックス測定 |
| 15 | AT-505 | 固体NMR装置 (SSNMR) | 東京大学 | 山野井 慶徳 | 2022 | 22AT5002: ジシラン結合を持つ銅錯体の温度による構造変化 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 物質・材料研究機構 | 李 香蘭 | 2022 | 22AT5049: 時間分解レーザー分光による光機能性材料の評価 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 産業技術総合研究所 | 古郡 美紀 | 2022 | 22AT5048: 発光寿命計測による極めて小さな逆系間交差速度定数の評価 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 産業技術総合研究所 | DHONGADE SIDDHANT | 2022 | 22AT5047: ペロブスカイト太陽電池の時間分解分光測定 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 産業技術総合研究所 | DHONGADE SIDDHANT | 2022 | 22AT5046: 酸化物強誘電材料の過渡分光測定 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 産業技術総合研究所 | 東海林 良太 | 2022 | 22AT5045: 光触媒材料の過渡吸収分光測定 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 産業技術総合研究所 | 東海林 良太 | 2022 | 22AT5044: 光触媒材料の過渡発光分光測定 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 産業技術総合研究所 | 松﨑 弘幸 | 2022 | 22AT5043: ペロブスカイト太陽電池の過渡吸収分光測定 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 産業技術総合研究所 | 松﨑 弘幸 | 2022 | 22AT5042: ペロブスカイト太陽電池の過渡発光測定 |
| 9 | AT-503 | 可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) | 愛知工業大学 | 五島 敬史郎 | 2022 | 22AT5009: 半導体材料のキャリアダイナミクス計測1 |
| 2 | AT-502 | 超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS) | 産業技術総合研究所 | 志岐 成友 | 2022 | 22AT5041: 超伝導検出器を備えたX線吸収分光装置の高度化のための200素子STJ検出器アレイの評価 |
| 2 | AT-502 | 超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS) | 産業技術総合研究所 | 志岐 成友 | 2022 | 22AT5039: SC-XAFS装置を用いた軽元素含有試料の蛍光X線スペクトル測定 |
| 4 | AT-504 | リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) | 電気通信大学 | 惣角 翔 | 2022 | 22AT5028: 窒化ガリウムフォトニック結晶のSPMを用いた表面解析 |
| 4 | AT-504 | リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) | 株式会社生体分子計測研究所 | 伊藤 大直 | 2022 | 22AT5027: 溶液中高速AFM像の質に探針が与える影響の評価 ―形状における差異の検証― |
| 4 | AT-504 | リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) | 株式会社生体分子計測研究所 | 伊藤 大直 | 2022 | 22AT5025: 溶液中高速AFM像の質に探針が与える影響の評価―角度における差異の検証― |
| 4 | AT-504 | リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) | 株式会社生体分子計測研究所 | 伊藤 大直 | 2022 | 22AT5024: 溶液中高速AFM像の質に探針角度が与える影響の評価 |
| 4 | AT-506 | 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) | 産業技術総合研究所 | 藤井 剛 | 2022 | 22AT5023: 超伝導検出器の黒体輻射影響評価 |
| 4 | AT-506 | 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) | 埼玉大学 | 中村 雄 | 2022 | 22AT5022: 超伝導検出器の波形信号処理のための研究 |
| 4 | AT-506 | 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) | 埼玉大学 | 野口 剛志 | 2022 | 22AT5008: 超伝導検出器開発のための研究 |
| 4 | AT-506 | 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) | 大阪大学 | 植村 寿公 | 2022 | 22AT5007: 細胞組織内のイオン分布に関する研究 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 量子科学技術研究開発機構 | 河裾 厚男 | 2022 | 22AT5020: 陽電子消滅法を用いたトポロジカル物質の結晶欠陥評価に関する研究 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 国立大学法人大阪大学大学院 | 大畑 充 | 2022 | 22AT5019: 材料損傷発展に及ぼす加工時多軸応力場の影響解明 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 大阪公立大学 | 岸田 尚樹 | 2022 | 22AT5018: 陽電子プローブアナライザーによる全固体電池を構成する粒子の欠陥・空隙評価 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 山形大学 | 北浦 守 | 2022 | 22AT5017: 酸化クロムエピタキシャル膜の陽電子消滅寿命分光 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 山形大学 | 北浦 守 | 2022 | 22AT5016: CsPbBr3薄膜の陽電子消滅寿命分光 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 山形大学 | 北浦 守 | 2022 | 22AT5015: 実験と計算で比較したベータ石英結晶のバルク陽電子消滅寿命 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 京都大学 | 木野村 淳 | 2022 | 22AT5013: シリコン中にイオン照射で形成されたナノボイドの分析 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 早稲田大学 | 小林 慶規 | 2022 | 22AT5012: 高分子中のポジトロニウム |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 産業技術総合研究所 | 小橋 和文 | 2022 | 22AT5011: ナノカーボン、セルロースを含むナノ材料構造解析 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 国立研究開発法人海洋研究開発機構 | 廣瀬 重信 | 2022 | 22AT5010: 低エネルギーイオン照射が白雲母内部に作る格子欠陥の直接観察 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 早稲田大学 | 賈 軍軍 | 2022 | 22AT5006: P型酸化銅半導体薄膜の欠陥構造解析 |
| 12 | AT-501 | 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) | 筑波大学 | 上殿 明良 | 2022 | 22AT5003: high-k薄膜評価 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 信州大学 | 高野 恵介 | 2022 | 22AT0274: Metal-HfZrO-semiconductorキャパシタの試作 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 内田 紀行 | 2022 | 22AT0267: 原子層堆積法によるRu薄膜の形成 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 国立大学法人 筑波大学 | 片岡 佑真 | 2022 | 22AT0219: 多層MIMダイオードを用いた28GHz整流回路の性能評価 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 秋吉 美也子 | 2022 | 22AT0154: 反応に不活性な熱分析容器の開発 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 鈴木 健太 | 2022 | 22AT0397: ALDを用いたモールド作製プロセスの研究 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 梅沢 仁 | 2022 | 22AT0375: ダイヤモンド半導体パワーデバイスの開発 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 入沢 寿史 | 2022 | 22AT0369: 2次元材料成膜用高誘電体絶縁膜被覆Si基板の作製 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 株式会社東レリサーチセンター | 棚橋 優策 | 2022 | 22AT0346: ALD成膜による極薄積層膜の膜特性及び界面評価 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 村上 勝久 | 2022 | 22AT0281: グラフェン電極を用いた平面型電子放出素子 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 東京工業大学 | 甲斐 嶺 | 2022 | 22AT0276: ナノシートInGaAs FETの高移動度化に関する研究 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 株式会社ニコン | 矢野 真葵 | 2022 | 22AT0250: ALD膜の評価 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 上川 由紀子 | 2022 | 22AT0246: CIGS太陽電池への界面パッシベーション導入 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 京都大学 | 村井 俊介 | 2022 | 22AT0227: HfO2薄膜の結晶化挙動 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 長尾 昌善 | 2022 | 22AT0167: スパッタにより成膜したハフニウムナイトライド薄膜のXPS分析 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | ソニーグループ株式会社 | 今泉 伸治 | 2022 | 22AT0135: 原子層堆積法による微細加工シリコン基板上への導電性酸化物薄膜形成 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 筑波大学 | 上殿 明良 | 2022 | 22AT0128: High-k膜の成膜 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 株式会社SteraVision | 馬場 亮吉 | 2022 | 22AT0124: ALD法によるAZO成膜条件の最適化 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 松井 卓矢 | 2022 | 22AT0109: 結晶シリコン太陽電池用新規コンタクトの開発 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 松井 卓矢 | 2022 | 22AT0107: ペロブスカイト太陽電池用新規キャリア輸送材料の開発 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 張 文馨 | 2022 | 22AT0106: 低温異種材料接合技術の開発 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 高 磊 | 2022 | 22AT0096: トランスファープリンティングによる光回路集積 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 石井 裕之 | 2022 | 22AT0092: InGaAsOI基板と受光素子の作成 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 株式会社シリコンセンシングプロダクツ | 行藤 敏克 | 2022 | 22AT0079: MEMS構成でのTa2O5膜評価 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | （株）高純度化学研究所 | 水谷 文一 | 2022 | 22AT0056: GaN薄膜の原子層堆積 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ | 谷村 英昭 | 2022 | 22AT0052: MIM構造作製プロセスの検討と試作 |
| 26 | AT-031 | 原子層堆積装置_1[FlexAL] | 産業技術総合研究所 | 布村 正太 | 2022 | 22AT0010: 水素プラズマ処理 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 信州大学 | 高野 恵介 | 2022 | 22AT0274: Metal-HfZrO-semiconductorキャパシタの試作 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 渡邊 幸志 | 2022 | 22AT0025: ダイヤモンドデバイスのためのプロセス技術開発 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 中村 文 | 2022 | 22AT0374: 光電コパッケージ用電気配線試作 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 住友大阪セメント株式会社 | 近藤 勝利 | 2022 | 22AT0361: 反応性スパッタによる 窒化シリコン膜の形成 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 三沢 源人 | 2022 | 22AT0359: Ta2O5の熱刺激電流測定 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 富士通オプティカルコンポーネンツ | 倉橋 輝雄 | 2022 | 22AT0313: バリア性実験 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 防衛大学校 | 岡野 真人 | 2022 | 22AT0305: スピントロニックテラヘルツ発生素子の作製 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 桜井 美穂 | 2022 | 22AT0221: 原子層半導体材料を用いた電子デバイスの作製 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 上野 秀貴 | 2022 | 22AT0215: ITO薄膜の成膜 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 佐々木 史雄 | 2022 | 22AT0200: 溶液キャスト法による有機半導体微小結晶共振器のEL発光 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 劉 芽久哉 | 2022 | 22AT0183: マスクレスリソグラフィーを用いた、微小熱物性計測システムの構築 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 馬場 宗明 | 2022 | 22AT0163: Nano/Micro機能付加による高性能伝熱面に関する研究 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 浅沼 周太郎 | 2022 | 22AT0152: メモリ用酸化物多層膜の成膜 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 内藤 泰久 | 2022 | 22AT0150: 白金/酸化チタンナノ接合を用いた水素センサー |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 弓削 亮太 | 2022 | 22AT0104: カーボンナノチューブネットワーク用素子構造の試作 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 微細加工デザイン | 高橋 千春 | 2022 | 22AT0101: カーボン高精度パタン加工のための高アスペクト比SiO2ハードマスクの検討 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 高 磊 | 2022 | 22AT0096: トランスファープリンティングによる光回路集積 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | Turkevych Ivan | 2022 | 22AT0019: オプトエレクトロニクス用途の鉛なしハイブリッドハライド半導体のポリハライド処理 |
| 19 | AT-025 | スパッタ成膜装置(芝浦） | 産業技術総合研究所 | 齋藤 慎平 | 2022 | 22AT0004: 感温塗料による温度分布計測実験のための基板作成および評価 |
| 3 | AT-081 | プラズマCVD薄膜堆積装置（SiN） | 産業技術総合研究所 | 太田 裕之 | 2022 | 22AT0436: プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)で堆積したSiO2薄膜の均一性 |
| 3 | AT-081 | プラズマCVD薄膜堆積装置（SiN） | 株式会社サイオクス | 黒田 稔顕 | 2022 | 22AT0174: KNN薄膜上へのP-CVDによるSiO2薄膜形成 |
| 3 | AT-081 | プラズマCVD薄膜堆積装置（SiN） | 産業技術総合研究所 | 木内 真希 | 2022 | 22AT0130: GaN スパッタ膜の評価 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 京都大学 | 平山 朋子 | 2022 | 22AT0421: ナノ流路を用いたポリマー系添加剤入り潤滑油の流動特性の把握 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | Bushclover株式会社 | 廣谷 務 | 2022 | 22AT0360: ステッパ露光およびリフトオフプロセスによる、金属パターン構造作製 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 株式会社KOKUSAI ELECTRIC | 芳本 祐樹 | 2022 | 22AT0399: Si膜の微細加工およびNiパターン形成加工 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 株式会社 東芝 | 馬場 祥太郎 | 2022 | 22AT0393: シリコンへのトレンチ構造形成 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 東北大学 | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22AT0299: MEMSリゾネータのシリコンマイグレーションシール真空封止技術 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 上川 由紀子 | 2022 | 22AT0246: CIGS太陽電池への界面パッシベーション導入 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 信越化学工業㈱ | 丹野 雅行 | 2022 | 22AT0245: 基板上への微細Al電極作成 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | アイアールスペック株式会社 | 小倉 睦郎 | 2022 | 22AT0243: 誘電体微細加工 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | Le Thu | 2022 | 22AT0233: メタレンズの実証 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | スタンレー電気株式会社 | 山路 知明 | 2022 | 22AT0199: Si基板上におけるレジストのテーパー形状作製 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 穂苅 遼平 | 2022 | 22AT0185: 縮小投影露光装置によるナノ構造の作製 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 長尾 昌善 | 2022 | 22AT0167: スパッタにより成膜したハフニウムナイトライド薄膜のXPS分析 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 武井 亮平 | 2022 | 22AT0158: SiN光導波路の作製 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 王 学論 | 2022 | 22AT0155: 高効率InGaN/GaNマイクロLEDの開発 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 浮田 茂也 | 2022 | 22AT0151: 3D集積システム技術の研究開発 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 吉田 知也 | 2022 | 22AT0131: シリコン光導波路の開発 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 渥美 裕樹 | 2022 | 22AT0111: マルチビーム出射シリコンフォトニクスデバイスの作製 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 石井 裕之 | 2022 | 22AT0092: InGaAsOI基板と受光素子の作成 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 国立大学法人 大阪大学 | 君野 和也 | 2022 | 22AT0085: 回折光学素子のウエハ全面への作製 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 木内 祐治 | 2022 | 22AT0067: 6インチSi基板上GaN HEMTの試作 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | パナソニック インダストリー株式会社 | 仕立 博康 | 2022 | 22AT0063: ステッパ露光適用によるセンサの高精度化検証 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 慶應義塾大学 | 渡邉 紳一 | 2022 | 22AT0054: 表面弾性波デバイスの絶対振動量計測 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 日本MEMS株式会社 | 山本 隆一郎 | 2022 | 22AT0035: ステッパー露光による400nmレジストパターンの作成と薄膜Crのドライエッチング |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 面田 惠美子 | 2022 | 22AT0022: 立体湾曲型シリコン光カプラに関する研究 |
| 25 | AT-011 | i線露光装置 | 産業技術総合研究所 | 杉本 喜正 | 2022 | 22AT0020: 単一走行キャリアフォトダイオード作製プロセス |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 北海道大学 | 桝村 匡史 | 2022 | 22AT0419: リフトオフによるダイヤモンド上への電極作製 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22AT0442: 微細機械試験のためのSiO2ガラスのマイクロピラー作製 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 筑波大学 | 福田 拓未 | 2022 | 22AT0412: 超高速光電流デバイス作成のための露光装置を用いた微細加工 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 渡邊 幸志 | 2022 | 22AT0025: ダイヤモンドデバイスのためのプロセス技術開発 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 日本電気株式会社 | 大森 康智 | 2022 | 22AT0384: 磁性ガーネット膜のドット加工 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 梅沢 仁 | 2022 | 22AT0375: ダイヤモンド半導体パワーデバイスの開発 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 岡田 光博 | 2022 | 22AT0260: フォトリソグラフィを用いた原子層物質デバイスの作製 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 山本 竜也 | 2022 | 22AT0240: 電圧変調強磁性共鳴測定に向けたµCPWの作製 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | Le Thu | 2022 | 22AT0233: メタレンズの実証 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 生田 美植 | 2022 | 22AT0206: カーボンナノチューブを複数の手法で計測する基板の作成 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 日比野 有岐 | 2022 | 22AT0205: スピン軌道トルクを用いた磁化制御に関する研究 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 梅沢 仁 | 2022 | 22AT0201: ダイヤモンド半導体デバイスの開発 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 劉 芽久哉 | 2022 | 22AT0183: マスクレスリソグラフィーを用いた、微小熱物性計測システムの構築 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 太田 俊輔 | 2022 | 22AT0180: 電極の作製 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 馬場 宗明 | 2022 | 22AT0163: Nano/Micro機能付加による高性能伝熱面に関する研究 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 陳 国海 | 2022 | 22AT0159: Investigation of microstructure, composition and passivation performance of silicon nitride, silicon oxide, and titanium nitride thin films |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 佐久間 裕美 | 2022 | 22AT0115: ダイヤモンド量子デバイスのための微細電極の形成 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 弓削 亮太 | 2022 | 22AT0104: カーボンナノチューブネットワーク用素子構造の試作 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 石井 裕之 | 2022 | 22AT0092: InGaAsOI基板と受光素子の作成 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 山脇 浩 | 2022 | 22AT0075: 水晶振動子の表面加工 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 慶應義塾大学 | 渡邉 紳一 | 2022 | 22AT0054: 表面弾性波デバイスの絶対振動量計測 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 三澤 哲郎 | 2022 | 22AT0011: ヘリウムイオン顕微鏡技術による高温超伝導体YBCOジョセフソン接合の作製 |
| 23 | AT-006 | マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 南木 創 | 2022 | 22AT0007: 微生物解析に向けたピコリットル培養器の開発 |
| 8 | AT-109 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） | 北海道大学 | 桝村 匡史 | 2022 | 22AT0419: リフトオフによるダイヤモンド上への電極作製 |
| 8 | AT-109 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） | Bushclover株式会社 | 廣谷 務 | 2022 | 22AT0360: ステッパ露光およびリフトオフプロセスによる、金属パターン構造作製 |
| 8 | AT-109 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） | 産業技術総合研究所 | 間部 謙三 | 2022 | 22AT0439: n型メタルゲート材料TiAlの成膜 |
| 8 | AT-109 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） | 産業技術総合研究所 | 新田 詠子 | 2022 | 22AT0282: 真空蒸着で作成したアルミニウムの表面粗さの評価 |
| 8 | AT-109 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） | 産業技術総合研究所 | Le Thu | 2022 | 22AT0233: メタレンズの実証 |
| 8 | AT-109 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） | 産業技術総合研究所 | 千田 めぐみ | 2022 | 22AT0116: ダイヤモンド表面弾性波フィルタの開発 |
| 8 | AT-109 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） | 産業技術総合研究所 | 弓削 亮太 | 2022 | 22AT0104: カーボンナノチューブネットワーク用素子構造の試作 |
| 8 | AT-109 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 木内 祐治 | 2022 | 22AT0067: 6インチSi基板上GaN HEMTの試作 |
| 7 | AT-038 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) | 北海道大学 | 曲 勇作 | 2022 | 22AT0418: SIMSによる酸化インジウム薄膜中の水素濃度評価 |
| 7 | AT-038 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) | 高エネルギー加速器研究機構 | 井藤 隼人 | 2022 | 22AT0415: 熱処理により拡散したNb表面元素の分析 |
| 7 | AT-038 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) | 宇宙航空研究開発機構 | 中村 徹哉 | 2022 | 22AT0416: ヘテロpn接合太陽電池中のドーパント濃度の定量分析 |
| 7 | AT-038 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) | 東京大学 | 片山 裕美子 | 2022 | 22AT0373: 酸化物薄膜から基板へのNb元素の拡散層の評価 |
| 7 | AT-038 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) | 総合研究大学院大学 | 梅澤 裕明 | 2022 | 22AT0296: SIMSによるNb中の高感度ガス分析 |
| 7 | AT-038 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) | 東京大学 | 王 道遠 | 2022 | 22AT0269: アンモニア火炎が金属壁面に及ぼす影響 |
| 7 | AT-038 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) | 東京理科大学 | 杉山 睦 | 2022 | 22AT0044: Earth abundance半導体のスパッタ堆積薄膜評価 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 高エネルギー加速器研究機構 | 井藤 隼人 | 2022 | 22AT0415: 熱処理により拡散したNb表面元素の分析 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 産業技術総合研究所 | 島田 涼介 | 2022 | 22AT0392: 光量子集積回路製作に向けたSOIエッチングレシピの考案 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22AT0378: EB描画を使用したグレイスケール露光法の技術開発 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 防衛大学校 | 岡野 真人 | 2022 | 22AT0305: スピントロニックテラヘルツ発生素子の作製 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22AT0273: レーザー描画装置による3次元形状作製技術の開発 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 産業技術総合研究所 | 劉 芽久哉 | 2022 | 22AT0183: マスクレスリソグラフィーを用いた、微小熱物性計測システムの構築 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 産業技術総合研究所 | 島 久 | 2022 | 22AT0153: 抵抗変化素子用酸化物薄膜の膜厚評価 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 東京大学 | 三上 晃良 | 2022 | 22AT0125: 光量子集積回路製作に向けたSOIエッチングレシピの考案 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 産業技術総合研究所 | 渥美 裕樹 | 2022 | 22AT0111: マルチビーム出射シリコンフォトニクスデバイスの作製 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 微細加工デザイン | 高橋 千春 | 2022 | 22AT0101: カーボン高精度パタン加工のための高アスペクト比SiO2ハードマスクの検討 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 株式会社エルテック | 石濱 晃 | 2022 | 22AT0082: ミリングレート安定性評価 |
| 12 | AT-045 | 触針式段差計 | 産業技術総合研究所 | 三澤 哲郎 | 2022 | 22AT0011: ヘリウムイオン顕微鏡技術による高温超伝導体YBCOジョセフソン接合の作製 |
| 7 | AT-034 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) | 産業技術総合研究所 | 須賀 正太郎 | 2022 | 22AT0408: 銅インク塗膜の断面観察による焼結性評価 |
| 7 | AT-034 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) | 日本電気株式会社 | 佐藤 哲朗 | 2022 | 22AT0179: FIBによる超伝導共振器の断面加工および観察 |
| 7 | AT-034 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) | 産業技術総合研究所 | 内田 紀行 | 2022 | 22AT0403: 導電性AFMカンチレバーの作製 |
| 7 | AT-034 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) | 産業技術総合研究所 | 野本 淳一 | 2022 | 22AT0314: 透明導電酸化物薄膜の結晶粒観察 |
| 7 | AT-034 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) | 産業技術総合研究所 | 吉田 誠 | 2022 | 22AT0220: 印刷銅配線の断面観察による焼結処理評価 |
| 7 | AT-034 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) | 社団法人ミニマルファブ推進機構 | 浜本 毅司 | 2022 | 22AT0118: SOI CMOSにおけるViaコンタクトの導通不良の解析 |
| 7 | AT-034 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) | ウルトラメモリ株式会社 | 川越 剛 | 2022 | 22AT0076: TSV抵抗測定と断面解析 |
| 4 | AT-092 | 高圧ジェットリフトオフ装置 | Bushclover株式会社 | 廣谷 務 | 2022 | 22AT0360: ステッパ露光およびリフトオフプロセスによる、金属パターン構造作製 |
| 4 | AT-092 | 高圧ジェットリフトオフ装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22AT0442: 微細機械試験のためのSiO2ガラスのマイクロピラー作製 |
| 4 | AT-092 | 高圧ジェットリフトオフ装置 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 木内 祐治 | 2022 | 22AT0067: 6インチSi基板上GaN HEMTの試作 |
| 4 | AT-092 | 高圧ジェットリフトオフ装置 | 慶應義塾大学 | 渡邉 紳一 | 2022 | 22AT0054: 表面弾性波デバイスの絶対振動量計測 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | Bushclover株式会社 | 廣谷 務 | 2022 | 22AT0360: ステッパ露光およびリフトオフプロセスによる、金属パターン構造作製 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22AT0378: EB描画を使用したグレイスケール露光法の技術開発 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 山本 竜也 | 2022 | 22AT0240: 電圧変調強磁性共鳴測定に向けたµCPWの作製 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 諸田 美砂子 | 2022 | 22AT0223: 電子線リソグラフィーを用いたネガレジストによるパターン形成 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 西山 伸平 | 2022 | 22AT0197: 物理形成シリコン量子ドットの細線ゲート構造の電気特性評価 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 陳 国海 | 2022 | 22AT0159: Investigation of microstructure, composition and passivation performance of silicon nitride, silicon oxide, and titanium nitride thin films |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 井上 悠 | 2022 | 22AT0156: ECRスパッタ装置によるNb細線の作製 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | ソニーグループ株式会社 | 今泉 伸治 | 2022 | 22AT0135: 原子層堆積法による微細加工シリコン基板上への導電性酸化物薄膜形成 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 久保田 均 | 2022 | 22AT0119: 人工スピンアイスの作製 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 長坂 恵一 | 2022 | 22AT0114: 半導体・磁気デバイス微細加工技術の開発 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | ティーイーアイソリューションズ株式会社 | 古賀 拓哉 | 2022 | 22AT0112: EB描画装置用ネガレジスト膜厚分流実験 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 高橋 光恵 | 2022 | 22AT0105: FeFET微細位置合わせのためのEB描画位置ずれ改修 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | キオクシア株式会社 | 山根 武 | 2022 | 22AT0095: SiO2膜のハードマスク適用性評価 |
| 14 | AT-093 | 高速電子ビーム描画装置（エリオニクス） | YODA-S株式会社 | 大沢 裕一 | 2022 | 22AT0037: 新磁性素子加工用カーボンハードマスクの作製 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 村田 正行 | 2022 | 22AT0263: 熱電材料の物性評価 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22AT0442: 微細機械試験のためのSiO2ガラスのマイクロピラー作製 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 株式会社KOKUSAI ELECTRIC | 芳本 祐樹 | 2022 | 22AT0399: Si膜の微細加工およびNiパターン形成加工 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 梅沢 仁 | 2022 | 22AT0375: ダイヤモンド半導体パワーデバイスの開発 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 防衛大学校 | 岡野 真人 | 2022 | 22AT0305: スピントロニックテラヘルツ発生素子の作製 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 岡田 光博 | 2022 | 22AT0260: フォトリソグラフィを用いた原子層物質デバイスの作製 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | Le Thu | 2022 | 22AT0233: メタレンズの実証 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 桒原 有紀 | 2022 | 22AT0226: カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 桜井 美穂 | 2022 | 22AT0221: 原子層半導体材料を用いた電子デバイスの作製 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 生田 美植 | 2022 | 22AT0206: カーボンナノチューブを複数の手法で計測する基板の作成 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 梅沢 仁 | 2022 | 22AT0201: ダイヤモンド半導体デバイスの開発 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 太田 俊輔 | 2022 | 22AT0180: 電極の作製 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 東京理科大学 | 石井 寛仁 | 2022 | 22AT0162: TCO/p-Ge ショットキーフォトダイオードの作製 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 木内 真希 | 2022 | 22AT0130: GaN スパッタ膜の評価 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 牧野 俊晴 | 2022 | 22AT0117: ダイヤモンド横型Schottky-pnダイオード開発 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 佐久間 裕美 | 2022 | 22AT0115: ダイヤモンド量子デバイスのための微細電極の形成 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 松井 卓矢 | 2022 | 22AT0109: 結晶シリコン太陽電池用新規コンタクトの開発 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 東京大学 | 松井 裕章 | 2022 | 22AT0108: 中赤外表面プラズモンフォノンデバイスの構築 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 石井 裕之 | 2022 | 22AT0092: InGaAsOI基板と受光素子の作成 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 慶應義塾大学 | 渡邉 紳一 | 2022 | 22AT0054: 表面弾性波デバイスの絶対振動量計測 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社 | 亀田 直人 | 2022 | 22AT0049: 高純度オゾンを用いたALD Al2O3膜および SiO2膜の特性評価 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 富士電機株式会社 | 田中 亮 | 2022 | 22AT0036: GaNへのMgイオン注入と常圧熱処理で形成したp型層のHall効果測定 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 筑波大学 | 奥村 宏典 | 2022 | 22AT0026: Siイオン注入したα-Al2O3の電気的特性 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 杉本 喜正 | 2022 | 22AT0020: 単一走行キャリアフォトダイオード作製プロセス |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 山田 貴壽 | 2022 | 22AT0009: グラフェンデバイス用電極蒸着 |
| 26 | AT-023 | 電子ビーム真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 齋藤 慎平 | 2022 | 22AT0004: 感温塗料による温度分布計測実験のための基板作成および評価 |
| 3 | AT-001 | 電子ビーム描画装置(CRESTEC) | 東京理科大学 | 林 翔平 | 2022 | 22AT0211: 電子ビーム描画装置を用いたシリコン光共振器作製プロセスの検討 |
| 3 | AT-001 | 電子ビーム描画装置(CRESTEC) | 産業技術総合研究所 | 沖川 侑揮 | 2022 | 22AT0237: EB描画装置を用いた2次元材料への電極コンタクト作製 |
| 3 | AT-001 | 電子ビーム描画装置(CRESTEC) | 産業技術総合研究所 | 千田 めぐみ | 2022 | 22AT0116: ダイヤモンド表面弾性波フィルタの開発 |
| 4 | AT-068 | 磁気特性測定システム(MPMS) | 産業技術総合研究所 | 山口 英俊 | 2022 | 22AT0013: 放射線照射したアラニンの放射線化学収量の測定 |
| 4 | AT-068 | 磁気特性測定システム(MPMS) | 産業技術総合研究所 | 全 伸幸 | 2022 | 22AT0232: ニオブフォノニック結晶の特性評価III |
| 4 | AT-068 | 磁気特性測定システム(MPMS) | 産業技術総合研究所 | 松本 信洋 | 2022 | 22AT0222: 液体ヘリウム温度以下におけるフリーラジカル試薬4HTB・TEMPOLの磁気モーメントの温度依存性測定 |
| 4 | AT-068 | 磁気特性測定システム(MPMS) | 筑波大学 | 後藤 博正 | 2022 | 22AT0043: 導電性高分子の磁場下での電子物性測定 |
| 1 | AT-107 | 3次元電界放出形走査電子顕微鏡（エリオニクス） | 産業技術総合研究所 | 小林 慶太 | 2022 | 22AT0453: 透過電子顕微鏡－原子間力顕微鏡比較測長用試作標準物質パターン線幅の走査電子顕微鏡を利用したSIトレーサブルな値付け |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 日本電気硝子株式会社 | 加藤 嘉成 | 2022 | 22AT0442: 微細機械試験のためのSiO2ガラスのマイクロピラー作製 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 株式会社 東芝 | 馬場 祥太郎 | 2022 | 22AT0393: シリコンへのトレンチ構造形成 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | 島田 涼介 | 2022 | 22AT0392: 光量子集積回路製作に向けたSOIエッチングレシピの考案 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | 日下 靖之 | 2022 | 22AT0251: レジスト印刷膜の特性評価 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | 上川 由紀子 | 2022 | 22AT0246: CIGS太陽電池への界面パッシベーション導入 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | アイアールスペック株式会社 | 小倉 睦郎 | 2022 | 22AT0243: 誘電体微細加工 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | Le Thu | 2022 | 22AT0233: メタレンズの実証 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | 馬場 宗明 | 2022 | 22AT0163: Nano/Micro機能付加による高性能伝熱面に関する研究 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | 陳 国海 | 2022 | 22AT0159: Investigation of microstructure, composition and passivation performance of silicon nitride, silicon oxide, and titanium nitride thin films |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | 武井 亮平 | 2022 | 22AT0158: SiN光導波路の作製 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | ソニーグループ株式会社 | 今泉 伸治 | 2022 | 22AT0135: 原子層堆積法による微細加工シリコン基板上への導電性酸化物薄膜形成 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 東京大学 | 三上 晃良 | 2022 | 22AT0125: 光量子集積回路製作に向けたSOIエッチングレシピの考案 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | 弓削 亮太 | 2022 | 22AT0104: カーボンナノチューブネットワーク用素子構造の試作 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | キオクシア株式会社 | 山根 武 | 2022 | 22AT0095: SiO2膜のハードマスク適用性評価 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 国立大学法人筑波大学 | 宮川 順乃介 | 2022 | 22AT0083: 微細な球状液滴を実現する撥水性基板の作製 |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 日本MEMS株式会社 | 山本 隆一郎 | 2022 | 22AT0035: ステッパー露光による400nmレジストパターンの作成と薄膜Crのドライエッチング |
| 17 | AT-019 | 多目的エッチング装置(ICP-RIE) | 産業技術総合研究所 | 杉本 喜正 | 2022 | 22AT0020: 単一走行キャリアフォトダイオード作製プロセス |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 黒河 明 | 2022 | 22AT0440: 試料の高さ合わせのばらつきによるXPS定量分析の精度の低下 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 間部 謙三 | 2022 | 22AT0439: n型メタルゲート材料TiAlの成膜 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 信越化学工業株式会社 | 山中 健太郎 | 2022 | 22AT0042: 防汚剤塗膜表面分析 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 一ノ瀬 智浩 | 2022 | 22AT0309: X線光電子分光によるCoFeB/FeドープMgO構造の化学状態評価 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 日産自動車株式会社 | 潘 テン | 2022 | 22AT0272: XPSを用いるAlGaN基板表面欠陥分析 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 日本化薬株式会社 | 塩崎 啓史 | 2022 | 22AT0262: 印刷物のXPS測定条件検討 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 桐蔭横浜大学 | 柴山 直之 | 2022 | 22AT0261: 有機半導体材料の電子状態の調査 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 日下 靖之 | 2022 | 22AT0259: 酸化物半導体薄膜のUPS測定 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | ヤマハロボティクスホールディングス(株) | 菊地 広 | 2022 | 22AT0247: 熱酸化膜の膜厚測定およびXPS測定 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 周 英 | 2022 | 22AT0175: カーボンナノチューブの表面状態の解析 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 長尾 昌善 | 2022 | 22AT0167: スパッタにより成膜したハフニウムナイトライド薄膜のXPS分析 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 飯泉 陽子 | 2022 | 22AT0148: DLC膜の表面状態の解析 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 堀川 昌代 | 2022 | 22AT0138: HI(ヨウ化水素)プラズマ処理によるGe 表面特性の調査 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 浦出 芳郎 | 2022 | 22AT0127: XPSによる超伝導薄膜の表面状態分析 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 野本 淳一 | 2022 | 22AT0093: 紫外線光電子分光による透明導電酸化物薄膜の仕事関数測定 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 株式会社 トリケミカル研究所 | 今瀬 章公 | 2022 | 22AT0089: CpHf(OtBu)3 + O3でのHfO2膜のALD成膜 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 東邦大学 | 桒原 彰太 | 2022 | 22AT0065: 単層カーボンナノチューブ凝集体上に成長したナノリボン構造の元素分析 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 | 並木 航 | 2022 | 22AT0053: 酸化状態を制御した固体電解質のイオン化ポテンシャルの評価 |
| 19 | AT-074 | エックス線光電子分光分析装置(XPS) | 産業技術総合研究所 | 永作 美有 | 2022 | 22AT0012: チップ表面の化学状態分析 |
| 3 | AT-072 | 微小部蛍光X線分析装置 | 産業技術総合研究所 | 森田 行則 | 2022 | 22AT0316: Hf0.5Zr0.5O2薄膜を用いた強誘電体薄膜キャパシタの作成 |
| 3 | AT-072 | 微小部蛍光X線分析装置 | 産業技術総合研究所 | 下方 駿佑 | 2022 | 22AT0284: スパッタAl-Si-Cuの膜厚均一性評価 |
| 3 | AT-072 | 微小部蛍光X線分析装置 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 西垣 寿 | 2022 | 22AT0120: 微小部蛍光X線分析装置によるCu膜の膜厚測定 |
| 3 | AT-070 | X線回折装置(XRD) | 産業技術総合研究所 | 桑原 正史 | 2022 | 22AT0143: MnTe薄膜のXRDによる結晶性評価 |
| 3 | AT-070 | X線回折装置(XRD) | 産業技術総合研究所 | 野田 周一 | 2022 | 22AT0132: ミニマル反応性スパッタ装置によるAlN膜形成プロセスの開発 |
| 3 | AT-070 | X線回折装置(XRD) | 産業技術総合研究所 | 桑原 正史 | 2022 | 22AT0090: X線回折による相変化材料の評価 |
| 1 | AT-102 | 原子層堆積装置_3〔FlexAL〕 | 株式会社ADEKA | 西田 章浩 | 2022 | 22AT0086: Si基板のXPS分析 |
| 1 | AT-103 | 原子層堆積装置_3付帯ＸＰＳ装置（アルバック・ファイ） | 株式会社ADEKA | 西田 章浩 | 2022 | 22AT0086: Si基板のXPS分析 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | リソテックジャパン株式会社 | 門井 幹夫 | 2022 | 22AT0032: ナノインプリントを使用した樹脂へのナノピラー構造形成 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 株式会社エイ・イー・エス | 松谷 流加 | 2022 | 22AT0285: 原子状酸素照射高分子フィルムの FE-SEM 観察 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | アイアールスペック株式会社 | 小倉 睦郎 | 2022 | 22AT0243: 誘電体微細加工 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 産業技術総合研究所 | 馬場 宗明 | 2022 | 22AT0163: Nano/Micro機能付加による高性能伝熱面に関する研究 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 産業技術総合研究所 | 浮田 茂也 | 2022 | 22AT0151: 3D集積システム技術の研究開発 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | ソニーグループ株式会社 | 今泉 伸治 | 2022 | 22AT0135: 原子層堆積法による微細加工シリコン基板上への導電性酸化物薄膜形成 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | トーノファインプレーティング株式会社 | 平井 雄介 | 2022 | 22AT0123: 超微細パターン樹脂成形用金型の検討 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | ティーイーアイソリューションズ株式会社 | 古賀 拓哉 | 2022 | 22AT0112: EB描画装置用ネガレジスト膜厚分流実験 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 微細加工デザイン | 高橋 千春 | 2022 | 22AT0101: カーボン高精度パタン加工のための高アスペクト比SiO2ハードマスクの検討 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | キオクシア株式会社 | 山根 武 | 2022 | 22AT0095: SiO2膜のハードマスク適用性評価 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 株式会社小森コーポレーション | 小山 千慧 | 2022 | 22AT0087: フィルムに印刷した銀ペーストの焼成状態の観察 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 国立大学法人筑波大学 | 宮川 順乃介 | 2022 | 22AT0083: 微細な球状液滴を実現する撥水性基板の作製 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | YODA-S株式会社 | 大沢 裕一 | 2022 | 22AT0037: 新磁性素子加工用カーボンハードマスクの作製 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 日本MEMS株式会社 | 山本 隆一郎 | 2022 | 22AT0035: ステッパー露光による400nmレジストパターンの作成と薄膜Crのドライエッチング |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | リソテックジャパン株式会社 | 門井 幹夫 | 2022 | 22AT0031: バイオテンプレート作成のためのフェリチン粒子塗布条件の確立 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 産業技術総合研究所 | Turkevych Ivan | 2022 | 22AT0019: オプトエレクトロニクス用途の鉛なしハイブリッドハライド半導体のポリハライド処理 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 産業技術総合研究所 | 木津 良祐 | 2022 | 22AT0006: ラインパターンのLER(Line Edge Roughness)解析 |
| 18 | AT-004 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] | 産業技術総合研究所 | 齋藤 慎平 | 2022 | 22AT0004: 感温塗料による温度分布計測実験のための基板作成および評価 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 産業技術総合研究所 | 渡邊 幸志 | 2022 | 22AT0025: ダイヤモンドデバイスのためのプロセス技術開発 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 産業技術総合研究所 | 梅沢 仁 | 2022 | 22AT0375: ダイヤモンド半導体パワーデバイスの開発 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 産業技術総合研究所 | 陳 国海 | 2022 | 22AT0159: Investigation of microstructure, composition and passivation performance of silicon nitride, silicon oxide, and titanium nitride thin films |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 産業技術総合研究所 | 武井 亮平 | 2022 | 22AT0158: SiN光導波路の作製 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 産業技術総合研究所 | 弓削 亮太 | 2022 | 22AT0104: カーボンナノチューブネットワーク用素子構造の試作 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 国立大学法人筑波大学 | 宮川 順乃介 | 2022 | 22AT0083: 微細な球状液滴を実現する撥水性基板の作製 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 株式会社エルテック | 石濱 晃 | 2022 | 22AT0082: ミリングレート安定性評価 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 木内 祐治 | 2022 | 22AT0067: 6インチSi基板上GaN HEMTの試作 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 京セラ株式会社 | 藤田 高吉 | 2022 | 22AT0051: プラズマCVDにおけるSiO2成膜レートの基板枚数依存性 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 産業技術総合研究所 | 面田 惠美子 | 2022 | 22AT0022: 立体湾曲型シリコン光カプラに関する研究 |
| 11 | AT-030 | プラズマCVD薄膜堆積装置 | 産業技術総合研究所 | 杉本 喜正 | 2022 | 22AT0020: 単一走行キャリアフォトダイオード作製プロセス |
| 3 | AT-089 | 赤外線ランプ加熱炉（RTA） | 産業技術総合研究所 | 渡邊 幸志 | 2022 | 22AT0025: ダイヤモンドデバイスのためのプロセス技術開発 |
| 3 | AT-089 | 赤外線ランプ加熱炉（RTA） | 株式会社東レリサーチセンター | 棚橋 優策 | 2022 | 22AT0346: ALD成膜による極薄積層膜の膜特性及び界面評価 |
| 3 | AT-089 | 赤外線ランプ加熱炉（RTA） | 株式会社カンタム１４ | 小島 明 | 2022 | 22AT0330: Si陽極酸化用ハードマスク作成プロセスの検討 |
| 2 | AT-005 | 低真空走査電子顕微鏡 | 産業技術総合研究所 | 加藤 大 | 2022 | 22AT0417: ナノカーボン薄膜電極の表面状態の観察 |
| 2 | AT-005 | 低真空走査電子顕微鏡 | 産業技術総合研究所 | 橋野 健 | 2022 | 22AT0157: 金の薄膜のエネルギー分散型X線分析 |
| 5 | AT-018 | 反応性イオンエッチング装置 (RIE) | 株式会社KOKUSAI ELECTRIC | 芳本 祐樹 | 2022 | 22AT0399: Si膜の微細加工およびNiパターン形成加工 |
| 5 | AT-018 | 反応性イオンエッチング装置 (RIE) | 産業技術総合研究所 | 鎌田 智之 | 2022 | 22AT0137: センシング材料表面の評価 |
| 5 | AT-018 | 反応性イオンエッチング装置 (RIE) | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 木内 祐治 | 2022 | 22AT0067: 6インチSi基板上GaN HEMTの試作 |
| 5 | AT-018 | 反応性イオンエッチング装置 (RIE) | YODA-S株式会社 | 大沢 裕一 | 2022 | 22AT0037: 新磁性素子加工用カーボンハードマスクの作製 |
| 5 | AT-018 | 反応性イオンエッチング装置 (RIE) | 産業技術総合研究所 | 面田 惠美子 | 2022 | 22AT0022: 立体湾曲型シリコン光カプラに関する研究 |
| 6 | AT-099 | サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] | 産業技術総合研究所 | 鈴木 健太 | 2022 | 22AT0397: ALDを用いたモールド作製プロセスの研究 |
| 6 | AT-099 | サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] | メルクエレクトロニクス株式会社 | 小林 明子 | 2022 | 22AT0319: ALD-SiO2のプロセス評価 |
| 6 | AT-099 | サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] | 株式会社村田製作所 | 山本 悠人 | 2022 | 22AT0280: ピュアオゾンを用いて形成した酸化アルミニウムの成膜レートと不純物濃度の評価 |
| 6 | AT-099 | サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] | 京セラ株式会社 | 仲村 慎之介 | 2022 | 22AT0255: アルミナ膜特性評価 |
| 6 | AT-099 | サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] | 産業技術総合研究所 | 石井 裕之 | 2022 | 22AT0092: InGaAsOI基板と受光素子の作成 |
| 6 | AT-099 | サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] | 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社 | 亀田 直人 | 2022 | 22AT0049: 高純度オゾンを用いたALD Al2O3膜および SiO2膜の特性評価 |
| 5 | AT-060 | 短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] | 産業技術総合研究所 | 横田 美子 | 2022 | 22AT0381: 高分子ゲルの表面観察 |
| 5 | AT-060 | 短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] | 産業技術総合研究所 | 佐々木 宗建 | 2022 | 22AT0364: 温泉水中での結晶反応速度 |
| 5 | AT-060 | 短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] | 東京都市大学 大学院 | 岡田 祐季 | 2022 | 22AT0340: ポリマー導波路の端面の平滑性の向上 |
| 5 | AT-060 | 短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] | 産業技術総合研究所 | 佐々木 史雄 | 2022 | 22AT0200: 溶液キャスト法による有機半導体微小結晶共振器のEL発光 |
| 5 | AT-060 | 短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] | 微細加工デザイン | 高橋 千春 | 2022 | 22AT0101: カーボン高精度パタン加工のための高アスペクト比SiO2ハードマスクの検討 |
| 4 | AT-033 | アルゴンミリング装置 | 茨城大学 | 島影 尚 | 2022 | 22AT0380: YBCO薄膜のコプレーナライン形状へのイオンビームエッチング |
| 4 | AT-033 | アルゴンミリング装置 | 株式会社エルテック | 石濱 晃 | 2022 | 22AT0082: ミリングレート安定性評価 |
| 4 | AT-033 | アルゴンミリング装置 | 産業技術総合研究所 | 染谷 浩子 | 2022 | 22AT0029: 磁性酸化物薄膜のイオンミリング加工 |
| 4 | AT-033 | アルゴンミリング装置 | 産業技術総合研究所 | 三澤 哲郎 | 2022 | 22AT0011: ヘリウムイオン顕微鏡技術による高温超伝導体YBCOジョセフソン接合の作製 |
| 2 | AT-051 | デバイスパラメータ評価装置 | 産業技術総合研究所 | 梅沢 仁 | 2022 | 22AT0375: ダイヤモンド半導体パワーデバイスの開発 |
| 2 | AT-051 | デバイスパラメータ評価装置 | ウルトラメモリ株式会社 | 川越 剛 | 2022 | 22AT0076: TSV抵抗測定と断面解析 |
| 3 | AT-047 | 走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700] | 東京大学 | 加藤 太朗 | 2022 | 22AT0344: KFM測定を利用した金属ナノシートガスセンサ内の温度計測 |
| 3 | AT-047 | 走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700] | 産業技術総合研究所 | 永瀬 成範 | 2022 | 22AT0196: 走査プローブ顕微鏡を用いた窒化物半導体の表面観察 |
| 3 | AT-047 | 走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700] | 産業技術総合研究所 | 高 磊 | 2022 | 22AT0096: トランスファープリンティングによる光回路集積 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 株式会社カンタム１４ | 小島 明 | 2022 | 22AT0330: Si陽極酸化用ハードマスク作成プロセスの検討 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 産業技術総合研究所 | 馬場 宗明 | 2022 | 22AT0163: Nano/Micro機能付加による高性能伝熱面に関する研究 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 産業技術総合研究所 | 武井 亮平 | 2022 | 22AT0158: SiN光導波路の作製 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 国立大学法人筑波大学 | 宮川 順乃介 | 2022 | 22AT0083: 微細な球状液滴を実現する撥水性基板の作製 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 産業技術総合研究所 | 辻井 伊久美 | 2022 | 22AT0073: シリコン垂直湾曲光結合器作製に向けたアルミマスク成膜評価 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ | 谷村 英昭 | 2022 | 22AT0052: MIM構造作製プロセスの検討と試作 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 株式会社レジメント・ラボ | 伏江 隆 | 2022 | 22AT0050: ニッケル電極を有するガス電子増幅用ガラス基板の開発 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 産業技術総合研究所 | 面田 惠美子 | 2022 | 22AT0022: 立体湾曲型シリコン光カプラに関する研究 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 産業技術総合研究所 | Turkevych Ivan | 2022 | 22AT0019: オプトエレクトロニクス用途の鉛なしハイブリッドハライド半導体のポリハライド処理 |
| 10 | AT-095 | RF-DCスパッタ成膜装置（芝浦） | 産業技術総合研究所 | 齋藤 慎平 | 2022 | 22AT0004: 感温塗料による温度分布計測実験のための基板作成および評価 |
| 2 | AT-050 | 四探針プローブ抵抗測定装置 | 富士通オプティカルコンポーネンツ | 倉橋 輝雄 | 2022 | 22AT0313: バリア性実験 |
| 2 | AT-050 | 四探針プローブ抵抗測定装置 | 産業技術総合研究所 | Turkevych Ivan | 2022 | 22AT0019: オプトエレクトロニクス用途の鉛なしハイブリッドハライド半導体のポリハライド処理 |
| 3 | AT-085 | 物理特性測定装置（PPMS） | 産業技術総合研究所 | 佐沢 洋幸 | 2022 | 22AT0283: 3C-SiCのホール特性 |
| 3 | AT-085 | 物理特性測定装置（PPMS） | 産業技術総合研究所 | 全 伸幸 | 2022 | 22AT0232: ニオブフォノニック結晶の特性評価III |
| 3 | AT-085 | 物理特性測定装置（PPMS） | 産業技術総合研究所 | 萬谷 光 | 2022 | 22AT0168: NRAM用カーボンナノチューブの評価 |
| 7 | AT-063 | 分光エリプソメータ | 株式会社村田製作所 | 山本 悠人 | 2022 | 22AT0280: ピュアオゾンを用いて形成した酸化アルミニウムの成膜レートと不純物濃度の評価 |
| 7 | AT-063 | 分光エリプソメータ | ヤマハロボティクスホールディングス(株) | 菊地 広 | 2022 | 22AT0247: 熱酸化膜の膜厚測定およびXPS測定 |
| 7 | AT-063 | 分光エリプソメータ | ソニーグループ株式会社 | 羽賀 保彦 | 2022 | 22AT0184: 熱酸化によるSiC上のSi酸化膜の形成 |
| 7 | AT-063 | 分光エリプソメータ | Minimal Fab Promoting Organization | Lozach Mickael | 2022 | 22AT0165: ミニマルファブにおけるデバイスと成膜の評価 |
| 7 | AT-063 | 分光エリプソメータ | 産業技術総合研究所 | 佐藤 大輔 | 2022 | 22AT0142: 光電子放出材料の複素屈折率測定 |
| 7 | AT-063 | 分光エリプソメータ | 株式会社 トリケミカル研究所 | 今瀬 章公 | 2022 | 22AT0089: CpHf(OtBu)3 + O3でのHfO2膜のALD成膜 |
| 7 | AT-063 | 分光エリプソメータ | 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社 | 亀田 直人 | 2022 | 22AT0049: 高純度オゾンを用いたALD Al2O3膜および SiO2膜の特性評価 |
| 3 | AT-061 | 短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100] | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22AT0273: レーザー描画装置による3次元形状作製技術の開発 |
| 3 | AT-061 | 短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100] | アイアールスペック株式会社 | 小倉 睦郎 | 2022 | 22AT0243: 誘電体微細加工 |
| 3 | AT-061 | 短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100] | 産業技術総合研究所 | 高 磊 | 2022 | 22AT0096: トランスファープリンティングによる光回路集積 |
| 2 | AT-094 | 解析用PC（CAD及び近接効果補正用） | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22AT0273: レーザー描画装置による3次元形状作製技術の開発 |
| 2 | AT-094 | 解析用PC（CAD及び近接効果補正用） | 産業技術総合研究所 | 渥美 裕樹 | 2022 | 22AT0111: マルチビーム出射シリコンフォトニクスデバイスの作製 |
| 3 | AT-110 | レーザー描画装置〔DWL66+〕 | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22AT0273: レーザー描画装置による3次元形状作製技術の開発 |
| 3 | AT-110 | レーザー描画装置〔DWL66+〕 | 横浜国立大学 | 新宮 拓実 | 2022 | 22AT0229: 微細加工を用いたエレクトロスプレースラスタの作製 |
| 3 | AT-110 | レーザー描画装置〔DWL66+〕 | トーノファインプレーティング株式会社 | 平井 雄介 | 2022 | 22AT0123: 超微細パターン樹脂成形用金型の検討 |
| 1 | AT-024 | 抵抗加熱型真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 沖川 侑揮 | 2022 | 22AT0237: EB描画装置を用いた2次元材料への電極コンタクト作製 |
| 2 | AT-032 | クロスセクションポリッシャー(ALD付帯) | 産業技術総合研究所 | 加納 伸也 | 2022 | 22AT0210: ナノ粒子薄膜の断面試料加工 |
| 2 | AT-032 | クロスセクションポリッシャー(ALD付帯) | 産業技術総合研究所 | 鈴木 宗泰 | 2022 | 22AT0186: 樹脂を含浸した高緻密セラミック膜の断面SEM観察処理 |
| 2 | AT-049 | ナノプローバ[N-6000SS] | 産業技術総合研究所 | 生田 美植 | 2022 | 22AT0206: カーボンナノチューブを複数の手法で計測する基板の作成 |
| 2 | AT-049 | ナノプローバ[N-6000SS] | 株式会社ソシオネクスト | 門田 尭之 | 2022 | 22AT0059: 半導体デバイスの特性調査 |
| 3 | AT-065 | 顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) | 産業技術総合研究所 | 銘苅 春隆 | 2022 | 22AT0191: 過酸化水素によるチオール基含有シリカ源の酸化反応 |
| 3 | AT-065 | 顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) | 産業技術総合研究所 | Turkevych Ivan | 2022 | 22AT0019: オプトエレクトロニクス用途の鉛なしハイブリッドハライド半導体のポリハライド処理 |
| 3 | AT-065 | 顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) | 産業技術総合研究所 | Serien Daniela | 2022 | 22AT0017: レーザー直接描画による3次元タンパク質微細構造の作製 |
| 1 | AT-041 | ウェハー酸化炉 | ソニーグループ株式会社 | 羽賀 保彦 | 2022 | 22AT0184: 熱酸化によるSiC上のSi酸化膜の形成 |
| 2 | AT-066 | 顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR) | Minimal Fab Promoting Organization | Lozach Mickael | 2022 | 22AT0165: ミニマルファブにおけるデバイスと成膜の評価 |
| 2 | AT-066 | 顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR) | AGCグラスプロダクツ株式会社 | 新井 脩矢 | 2022 | 22AT0072: 製品層内に付着した汚れ・異物の分析 |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | 産業技術総合研究所 | 陳 国海 | 2022 | 22AT0159: Investigation of microstructure, composition and passivation performance of silicon nitride, silicon oxide, and titanium nitride thin films |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | 産業技術総合研究所 | 武井 亮平 | 2022 | 22AT0158: SiN光導波路の作製 |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | 産業技術総合研究所 | 王 学論 | 2022 | 22AT0155: 高効率InGaN/GaNマイクロLEDの開発 |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | 産業技術総合研究所 | 木内 真希 | 2022 | 22AT0130: GaN スパッタ膜の評価 |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | キオクシア株式会社 | 山根 武 | 2022 | 22AT0095: SiO2膜のハードマスク適用性評価 |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | 大同特殊鋼株式会社 | 押村 吉徳 | 2022 | 22AT0057: AlGaAs膜のドライエッチングの検討 |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | 富士電機株式会社 | 田中 亮 | 2022 | 22AT0036: GaNへのMgイオン注入と常圧熱処理で形成したp型層のHall効果測定 |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | 筑波大学 | 奥村 宏典 | 2022 | 22AT0026: Siイオン注入したα-Al2O3の電気的特性 |
| 9 | AT-082 | 化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE） | 産業技術総合研究所 | 杉本 喜正 | 2022 | 22AT0020: 単一走行キャリアフォトダイオード作製プロセス |
| 1 | AT-098 | ECRスパッタ成膜・ミリング装置 | 産業技術総合研究所 | 井上 悠 | 2022 | 22AT0156: ECRスパッタ装置によるNb細線の作製 |
| 1 | AT-104 | 原子層堆積装置_4〔FlexAL〕 | 産業技術総合研究所 | 松井 卓矢 | 2022 | 22AT0109: 結晶シリコン太陽電池用新規コンタクトの開発 |
| 3 | AT-009 | コンタクトマスクアライナー[MJB4] | 筑波大学 | Utada Andrew | 2022 | 22AT0074: Direct write particles |
| 3 | AT-009 | コンタクトマスクアライナー[MJB4] | 慶應義塾大学 | 渡邉 紳一 | 2022 | 22AT0054: 表面弾性波デバイスの絶対振動量計測 |
| 3 | AT-009 | コンタクトマスクアライナー[MJB4] | 富士電機株式会社 | 田中 亮 | 2022 | 22AT0036: GaNへのMgイオン注入と常圧熱処理で形成したp型層のHall効果測定 |
| 1 | AT-052 | デバイス容量評価装置 | 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社 | 亀田 直人 | 2022 | 22AT0049: 高純度オゾンを用いたALD Al2O3膜および SiO2膜の特性評価 |
| 2 | NM-206 | 酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置 | 大阪大学産業科学研究所 | 西嶋 雅彦 | 2022 | 22NM0136: マイクロビア用無電解銅めっき被膜の評価 |
| 2 | NM-206 | 酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置 | 一般社団法人日本鉄鋼連盟 | 井田 巌 | 2022 | 22NM0063: 鉄鋼標準物質の分析・評価 |
| 5 | NM-610 | 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] | 量子科学研究開発機構 | 李 松田 | 2022 | 22NM0133: グラフェン電界効果トランジスタための酸化物ゲートの成膜 |
| 5 | NM-610 | 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] | 東京大学 | 小林 研介 | 2022 | 22NM0070: ファンデルワールス薄膜を用いた新規メゾスコピック素子の作製 |
| 5 | NM-610 | 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] | 東京電機大学 | 森山 悟士 | 2022 | 22NM0046: シリコン微細素子及び2次元材料を用いた新機能デバイス作製とパッケージング |
| 5 | NM-610 | 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] | 埼玉大学 | 清水 麻希 | 2022 | 22NM0015: 量子センサによるナノ材料熱電計測 |
| 5 | NM-610 | 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] | 日本女子大学 | 石黒 亮輔 | 2022 | 22NM0012: 金属半導体接合における界面状態の新機能開発 |
| 2 | NM-204 | 高輝度・高感度型粉末X線回折装置 | 国士舘大学 | 名越 篤史 | 2022 | 22NM0132: バルクおよびメソ細孔内のトリステアリンの結晶構造の調査 |
| 2 | NM-204 | 高輝度・高感度型粉末X線回折装置 | 株式会社村田製作所 | 廣瀬 左京 | 2022 | 22NM0080: 反強誘電体Pb(Mg,W)O3系物質の結晶構造解析 |
| 7 | NM-002 | LC-MS | 筑波大学 | 福田 綾 | 2022 | 22NM0131: 軟骨分化関連因子の解析 |
| 7 | NM-002 | LC-MS | 三菱商事ライフサイエンス株式会社 | 谷川 蔵 | 2022 | 22NM0089: 保有菌株酵母のプロテオーム解析 |
| 7 | NM-002 | LC-MS | 日本大学 | 山本 瑠璃 | 2022 | 22NM0057: 黄斑上膜、黄斑円孔におけるプロテオーム解析 |
| 7 | NM-002 | LC-MS | 筑波大学 | 桝尾 俊介 | 2022 | 22NM0054: カビの環境変動に応答したタンパク質発現挙動の網羅的解析 |
| 7 | NM-002 | LC-MS | 東京工業大学 | 林 宣宏 | 2022 | 22NM0024: 高性能二次元電気泳動法による次世代プロテオミクスの実用化 |
| 7 | NM-002 | LC-MS | 筑波大学 | 矢作 直也 | 2022 | 22NM0011: 質量分析による核内タンパクの翻訳後修飾の解析 |
| 7 | NM-002 | LC-MS | 北海道大学大学院工学研究院環境創生工学部門水質変換工学研究室 | 押木 守 | 2022 | 22NM0005: ペプチドフィンガーマッピング(PFM)による微生物タンパク質の同定 |
| 2 | NM-612 | SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL] | 宇都宮大学 | 篠田 一馬 | 2022 | 22NM0130: メタレンズのためのSiNメタ原子形成 |
| 2 | NM-612 | SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL] | 早稲田大学 | 柏崎 翼 | 2022 | 22NM0009: CMOSプロセスを用いたSi熱電発電集積デバイスの開発 |
| 4 | NM-615 | ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] | 宇都宮大学 | 篠田 一馬 | 2022 | 22NM0130: メタレンズのためのSiNメタ原子形成 |
| 4 | NM-615 | ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] | 東京工業大学 | 久保 祥一 | 2022 | 22NM0096: 機能材料開発の基盤となる微細凹凸構造形成 |
| 4 | NM-615 | ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] | 京都大学 | 村井 俊介 | 2022 | 22NM0044: アルミニウムナノアンテナによる高次アップコンバージョン蛍光の増強 |
| 4 | NM-615 | ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] | 産業技術総合研究所 | 渥美 裕樹 | 2022 | 22NM0003: シリコンフォトニクスデバイスの開発 |
| 4 | NM-302 | 微細組織3次元マルチスケール解析装置 | JFEテクノリサーチ株式会社 | 宇部 卓司 | 2022 | 22NM0126: 固体高分子型燃料電池触媒用カーボン担体の高分解能3D構造解析 |
| 4 | NM-302 | 微細組織3次元マルチスケール解析装置 | 東北大学 | 陣内 浩司 | 2022 | 22NM0103: 相分離したゴム中ナノ粒子のFIB-SEM計測に関する試行的検討 |
| 4 | NM-302 | 微細組織3次元マルチスケール解析装置 | 大日本印刷株式会社 | 石 恵美子 | 2022 | 22NM0086: 樹脂材料の三次元構造解析 |
| 4 | NM-302 | 微細組織3次元マルチスケール解析装置 | 東京大学 | SCIAZKO Anna | 2022 | 22NM0068: Microstructure in Energy Engineering and Solid Oxide Fuel Cells |
| 6 | NM-003 | ラマン顕微鏡 | 東京都市大学 | 藤間 卓也 | 2022 | 22NM0125: 高分子フィルムにおける分子歪みの計測 |
| 6 | NM-003 | ラマン顕微鏡 | 東京理科大学 | 生野 孝 | 2022 | 22NM0102: 低環境負荷プロセスにより作製したナノカーボン材料のラマン分光特性評価 |
| 6 | NM-003 | ラマン顕微鏡 | SYNAPTEK-Deep Learning Solutions合同会社 | マッケーン ケビン ウィリアム | 2022 | 22NM0065: Study of purity and biocompatibility of Graphene Oxide |
| 6 | NM-003 | ラマン顕微鏡 | 東京大学工学系研究科マテリアル工学専攻 | 李 進才 | 2022 | 22NM0039: チオフェノール系高分子の開発 |
| 6 | NM-003 | ラマン顕微鏡 | 筑波大学 数理物質系物理学域 | 友利 ひかり | 2022 | 22NM0018: グラフェンの格子ひずみの空間分布制御 |
| 6 | NM-003 | ラマン顕微鏡 | 茨城大学 | 小貫 哲平 | 2022 | 22NM0017: Raman顕微鏡を用いたパワー半導体材料および全固体電池材料の加工面品質評価技術 |
| 1 | NM-015 | 粒度分布測定装置 | 茨城大学理工学研究科（工学野） 物質科学工学領域 | 池田 輝之 | 2022 | 22NM0124: 熱電材料FeSi2の反応焼結合成に使用する粉体の粒度分布測定 |
| 5 | NM-617 | ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22NM0122: 石英多段ドライエッチングによるDOEデバイスの作製方法の開発 |
| 5 | NM-617 | ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22NM0113: 可視高透過率メタサーフェスのための窒化シリコンの高アスペクト比微細加工技術の確立 |
| 5 | NM-617 | ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] | 京都大学 | 村井 俊介 | 2022 | 22NM0044: アルミニウムナノアンテナによる高次アップコンバージョン蛍光の増強 |
| 5 | NM-617 | ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] | 慶應義塾大学 | 及川 耀平 | 2022 | 22NM0032: Ni異方性エッチング及び反応性エッチングを用いたダイヤモンド基板の微細加工 |
| 5 | NM-617 | ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] | 産業技術総合研究所 | 渥美 裕樹 | 2022 | 22NM0003: シリコンフォトニクスデバイスの開発 |
| 1 | NM-626 | 触針式プロファイラー [Dektak XT-A] | Bush Clover株式会社 | 新関 嵩 | 2022 | 22NM0122: 石英多段ドライエッチングによるDOEデバイスの作製方法の開発 |
| 3 | NM-001 | NMR | 帝京科学大学総合教育センター | 石田 良仁 | 2022 | 22NM0120: 刺激分解性ゴム材料の合成と物性 |
| 3 | NM-001 | NMR | 株式会社高研 | 窪田 陸 | 2022 | 22NM0026: ポリロタキサン誘導体の合成確認と反応条件の適正化 |
| 3 | NM-001 | NMR | 日本エア・リキード合同会社 | 村瀬 圭一 | 2022 | 22NM0014: 半導体向け固体、液体材料の分析、精製 |
| 3 | NM-505 | 200kV透過電子顕微鏡 | 株式会社常光 | 石井 みき | 2022 | 22NM0117: グラフェンシートの形状・面積・電子線回折像の観察 |
| 3 | NM-505 | 200kV透過電子顕微鏡 | 株式会社GCEインスティチュート | 後藤 雅裕 | 2022 | 22NM0082: 温度差不要環境熱発電素子の安定性に資するナノ粒子の構造評価 |
| 3 | NM-505 | 200kV透過電子顕微鏡 | 信越化学工業株式会社 | 井上 友博 | 2022 | 22NM0045: 金属・金属酸化物ナノ微粒子混合系の無機バインダー成分との相互作用の解明 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 神戸市立工業高等専門学校 | 瀬戸浦 健仁 | 2022 | 22NM0116: 窒化チタンナノ粒子の作製 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 東京大学 | 小林 研介 | 2022 | 22NM0070: ファンデルワールス薄膜を用いた新規メゾスコピック素子の作製 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 東京電機大学 | 森山 悟士 | 2022 | 22NM0046: シリコン微細素子及び2次元材料を用いた新機能デバイス作製とパッケージング |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 筑波大学 | 都筑 康平 | 2022 | 22NM0037: 半導体基板における微細加工と特性評価 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 東北大学 | 和泉 廣樹 | 2022 | 22NM0034: 二硫化モリブデン電界効果トランジスタを応用した分子センサーの開発 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 宇都宮大学 | 篠田 一馬 | 2022 | 22NM0022: 分光偏光撮影のための波状多層膜型フォトニック結晶の製造 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 産業技術総合研究所 | 長坂 恵一 | 2022 | 22NM0019: 電子・レーザービーム描画を用いた微細デバイス加工技術開発 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 埼玉大学 | 清水 麻希 | 2022 | 22NM0015: 量子センサによるナノ材料熱電計測 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 筑波大学数理物質系 | 友利 ひかり | 2022 | 22NM0013: 格子ひずみ誘起の周期ポテンシャルによるグラフェンのバンド構造制御 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 慶應義塾大学 | 今福 諒平 | 2022 | 22NM0006: 光デバイス用シリコン加工 |
| 11 | NM-601 | 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | 早稲田大学 | 若林 千幸 | 2022 | 22NM0004: 超伝導ダイヤモンドソースドレインと2DHGダイヤモンドによる超伝導FETの実現 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 神戸市立工業高等専門学校 | 瀬戸浦 健仁 | 2022 | 22NM0116: 窒化チタンナノ粒子の作製 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 東京工業大学 | 久保 祥一 | 2022 | 22NM0096: 機能材料開発の基盤となる微細凹凸構造形成 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 富士通株式会社 | 岩井 俊樹 | 2022 | 22NM0050: 量子コンピューティングのハードウェア研究 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 東京電機大学 | 森山 悟士 | 2022 | 22NM0046: シリコン微細素子及び2次元材料を用いた新機能デバイス作製とパッケージング |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 京都大学 | 村井 俊介 | 2022 | 22NM0044: アルミニウムナノアンテナによる高次アップコンバージョン蛍光の増強 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 筑波大学 | 都筑 康平 | 2022 | 22NM0037: 半導体基板における微細加工と特性評価 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 東北大学 | 和泉 廣樹 | 2022 | 22NM0034: 二硫化モリブデン電界効果トランジスタを応用した分子センサーの開発 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 宇都宮大学 | 篠田 一馬 | 2022 | 22NM0022: 分光偏光撮影のための波状多層膜型フォトニック結晶の製造 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 早稲田大学 | 柏崎 翼 | 2022 | 22NM0009: CMOSプロセスを用いたSi熱電発電集積デバイスの開発 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 産業技術総合研究所 | 島 久 | 2022 | 22NM0008: イオン液体／固体界面で起こる電気化学反応を情報処理に利活用するためのデバイス・プロセス開発 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 慶應義塾大学 | 今福 諒平 | 2022 | 22NM0006: 光デバイス用シリコン加工 |
| 12 | NM-614 | CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | 量子科学技術研究開発機構 | 佐藤 真一郎 | 2022 | 22NM0001: 希土類ドープ窒化ガリウムへのフォトニック結晶構造形成 |
| 7 | NM-503 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 日本原子力研究開発機構 | 若井 栄一 | 2022 | 22NM0114: 先進材料の微細組織や結晶構造の解析 |
| 7 | NM-503 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 中央大学 | 鈴木 熙透 | 2022 | 22NM0112: コンビナトリアル薄膜による固体潤滑剤の創製 |
| 7 | NM-503 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 生駒 俊之 | 2022 | 22NM0088: リン酸ストロンチウムマグネシウム単結晶の複合ドメインの電子線回折による結晶構造と解析 |
| 7 | NM-503 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 日本原子力研究開発機構原子力基礎工学研究センター防食材料技術開発グループ | 入澤 恵理子 | 2022 | 22NM0078: ステンレス鋼の粒界腐食挙動の解明 |
| 7 | NM-503 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 一般財団法人日本自動車研究所 | 福田 圭佑 | 2022 | 22NM0055: 自動車排出粒子の形状分析技術の構築 |
| 7 | NM-503 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 田中貴金属工業株式会社 | 久保 仁志 | 2022 | 22NM0036: 細孔径の異なる酸化物触媒上の貴金属粒子の観察 |
| 7 | NM-503 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 早稲田大学創造理工学部環境資源工学科 | 山崎 淳司 | 2022 | 22NM0028: 透過型電子顕微鏡法によるナノ細孔質の高次構造を有する無機／複金属酸化物系複合物質の微細構造解析 |
| 1 | NM-508 | 走査型電子顕微鏡 | 東京農工大学 | 岩見 健太郎 | 2022 | 22NM0113: 可視高透過率メタサーフェスのための窒化シリコンの高アスペクト比微細加工技術の確立 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 中央大学 | 鈴木 熙透 | 2022 | 22NM0112: コンビナトリアル薄膜による固体潤滑剤の創製 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 東京理科大学先進工学研究科電子システム工学専攻 | 小松 裕明 | 2022 | 22NM0107: プラスチックから成長させたカーボンナノチューブの微細構造・結晶性解析 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 神奈川大学大学院 工学研究科 工学専攻（応用化学領域） | 青柳 拓樹 | 2022 | 22NM0093: アルカリ性水溶液中におけるメタノール・エタノールの 電解酸化の高活性・活性安定性を示す電極触媒の開発 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 株式会社GCEインスティチュート | 後藤 雅裕 | 2022 | 22NM0082: 温度差不要環境熱発電素子の安定性に資するナノ粒子の構造評価 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 株式会社GCEインスティチュート | 小倉 周 | 2022 | 22NM0081: 温度差不要環境熱発電素子の特性向上のためのナノ粒子合成 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター | 松畑 洋文 | 2022 | 22NM0072: CVD成長AlN薄膜の微細構造の解析 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 帝京科学大学 生命環境学部自然環境学科 | 山際 清史 | 2022 | 22NM0051: CVDおよび液相法により合成した各種ナノカーボンの構造比較 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 株式会社マテリアルイノベーションつくば | 張 坤 | 2022 | 22NM0043: グラフェンに関する研究 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 田中貴金属工業株式会社 | 久保 仁志 | 2022 | 22NM0036: 細孔径の異なる酸化物触媒上の貴金属粒子の観察 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 株式会社GCEインスティテュート | 中村 貴宏 | 2022 | 22NM0031: 温度差不要環境熱発電素子に向けたナノ粒子の開発 |
| 11 | NM-504 | 200kV電界放出形透過電子顕微鏡 | 早稲田大学創造理工学部環境資源工学科 | 山崎 淳司 | 2022 | 22NM0028: 透過型電子顕微鏡法によるナノ細孔質の高次構造を有する無機／複金属酸化物系複合物質の微細構造解析 |
| 3 | NM-102 | 500MHz固体高分解能NMRシステム | 日本大学 | 外山 直樹 | 2022 | 22NM0110: 特殊な形状を有するシリカ材料の微細構造解析 |
| 3 | NM-102 | 500MHz固体高分解能NMRシステム | 千葉大学 | 大窪 貴洋 | 2022 | 22NM0066: カルシウムシリケート水和物の構造の金属イオンの吸着挙動 |
| 3 | NM-102 | 500MHz固体高分解能NMRシステム | 新潟大学大学院自然科学研究科環境科学専攻 | 斎藤 豪 | 2022 | 22NM0053: 大幅な発生CO2削減が可能な高活性β-C2Sを主原料とした高循環型セメントの材料設計 |
| 4 | NM-203 | 誘導結合プラズマ発光分析装置群 | 昭和薬科大学 | 鈴木 憲子 | 2022 | 22NM0109: ハイドロバイオタイト中のK、Cs、Mgの定量 |
| 4 | NM-203 | 誘導結合プラズマ発光分析装置群 | 兵庫医科大学 | 黒田 悦史 | 2022 | 22NM0104: シリカ粒子への金属イオン（亜鉛イオン）の結合についての解析 |
| 4 | NM-203 | 誘導結合プラズマ発光分析装置群 | 一般社団法人日本マグネシウム協会 | 駒井 浩 | 2022 | 22NM0095: ICP-OESによる含希土類マグネシウム合金中の希土類元素の成分測定 |
| 4 | NM-203 | 誘導結合プラズマ発光分析装置群 | 一般社団法人日本鉄鋼連盟 | 井田 巌 | 2022 | 22NM0063: 鉄鋼標準物質の分析・評価 |
| 3 | NM-205 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 | 高エネルギー加速器研究機構 | 嶋田 慶太 | 2022 | 22NM0106: コールドスプレー法による新たな超伝導加速空洞製造技術の開発 |
| 3 | NM-205 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 | 一般財団法人日本自動車研究所 | 福田 圭佑 | 2022 | 22NM0100: タイヤ路面摩耗粉塵の実態解明に向けた形態分析技術の構築 |
| 3 | NM-205 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 | 高知工業高等専門学校 | 横山 有太 | 2022 | 22NM0097: ToF-SIMSを用いた植物組織中の辛み成分の分子イメージング |
| 1 | NM-016 | 接触角計 | 森林研究・整備機構 森林総合研究所 | 神林 徹 | 2022 | 22NM0098: 自然由来の塗料で塗装した木材の撥水性評価 |
| 4 | NM-621 | FE-SEM [S-4800] | 東京工業大学 | 久保 祥一 | 2022 | 22NM0096: 機能材料開発の基盤となる微細凹凸構造形成 |
| 4 | NM-621 | FE-SEM [S-4800] | 筑波大学 | 都筑 康平 | 2022 | 22NM0037: 半導体基板における微細加工と特性評価 |
| 4 | NM-621 | FE-SEM [S-4800] | トーノファインプレーティング株式会社 | 平井 雄介 | 2022 | 22NM0027: 超微細形状成形金型作製の検討 |
| 4 | NM-621 | FE-SEM [S-4800] | 宇都宮大学 | 篠田 一馬 | 2022 | 22NM0022: 分光偏光撮影のための波状多層膜型フォトニック結晶の製造 |
| 2 | NM-401 | 300kV収差補正電子顕微鏡 | 筑波大学 | 金澤 研 | 2022 | 22NM0092: 半導体スピントロニクスへの応用に向けた磁性体の構造・組成分析と磁化特性の相関 |
| 2 | NM-401 | 300kV収差補正電子顕微鏡 | 早稲田大学 | 早坂 京祐 | 2022 | 22NM0047: 透過型電子顕微鏡を用いた高濃度NVアンサンブルの作製 |
| 5 | NM-633 | SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] | 筑波大学 | 末益 崇 | 2022 | 22NM0091: 絶縁膜上に形成したシリサイド半導体BaSi2膜の特性評価 |
| 5 | NM-633 | SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] | 産業技術総合研究所 | 居村 史人 | 2022 | 22NM0059: Si深掘り穴内壁への絶縁膜形成 |
| 5 | NM-633 | SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] | 富士通株式会社 | 岩井 俊樹 | 2022 | 22NM0050: 量子コンピューティングのハードウェア研究 |
| 5 | NM-633 | SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] | 産業技術総合研究所 | 島 久 | 2022 | 22NM0008: イオン液体／固体界面で起こる電気化学反応を情報処理に利活用するためのデバイス・プロセス開発 |
| 5 | NM-633 | SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] | 量子科学技術研究開発機構 | 佐藤 真一郎 | 2022 | 22NM0001: 希土類ドープ窒化ガリウムへのフォトニック結晶構造形成 |
| 3 | NM-501 | 実動環境対応物理分析電子顕微鏡 | 東京工業大学 | 生駒 俊之 | 2022 | 22NM0088: リン酸ストロンチウムマグネシウム単結晶の複合ドメインの電子線回折による結晶構造と解析 |
| 3 | NM-501 | 実動環境対応物理分析電子顕微鏡 | 埼玉大学 | 平原 実留 | 2022 | 22NM0083: 資源・エネルギー転換反応のための触媒および電極材料の微細構造解析 |
| 3 | NM-501 | 実動環境対応物理分析電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院 附属エネルギー・マテリアル融合領域研究センター | 中川 祐貴 | 2022 | 22HK0026: エネルギー変換材料のナノスケール表界面制御 |
| 1 | NM-207 | 電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 | 産業技術総合研究所製造技術研究部門 リマニュファクチャリング研究グループ | 野本 淳一 | 2022 | 22NM0087: 透明導電酸化物薄膜の組成分析 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 関西学院大学 | 安岡 幹貴 | 2022 | 22NM0085: ダイヤモンドを利用したショットキーバリアダイオード の作製 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 東京理科大学 | 霜鳥 由季 | 2022 | 22NM0058: 走査型熱電応答顕微鏡を用いたPt/Si界面における熱電特性評価 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 東北大学 | 和泉 廣樹 | 2022 | 22NM0034: 二硫化モリブデン電界効果トランジスタを応用した分子センサーの開発 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 慶應義塾大学 | 及川 耀平 | 2022 | 22NM0032: Ni異方性エッチング及び反応性エッチングを用いたダイヤモンド基板の微細加工 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 埼玉大学 | 清水 麻希 | 2022 | 22NM0015: 量子センサによるナノ材料熱電計測 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 日本女子大学 | 石黒 亮輔 | 2022 | 22NM0012: 金属半導体接合における界面状態の新機能開発 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 早稲田大学 | 柏崎 翼 | 2022 | 22NM0009: CMOSプロセスを用いたSi熱電発電集積デバイスの開発 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 産業技術総合研究所 | 島 久 | 2022 | 22NM0008: イオン液体／固体界面で起こる電気化学反応を情報処理に利活用するためのデバイス・プロセス開発 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 早稲田大学 | 若林 千幸 | 2022 | 22NM0004: 超伝導ダイヤモンドソースドレインと2DHGダイヤモンドによる超伝導FETの実現 |
| 10 | NM-604 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | 産業技術総合研究所 | 馬場 宗明 | 2022 | 22NM0002: Nano/Micro機能付加による高性能伝熱面に関する研究 |
| 5 | NM-608 | スパッタ装置 [JSP-8000] | 関西学院大学 | 安岡 幹貴 | 2022 | 22NM0085: ダイヤモンドを利用したショットキーバリアダイオード の作製 |
| 5 | NM-608 | スパッタ装置 [JSP-8000] | 産業技術総合研究所 | 居村 史人 | 2022 | 22NM0059: Si深掘り穴内壁への絶縁膜形成 |
| 5 | NM-608 | スパッタ装置 [JSP-8000] | 東京理科大学 | 霜鳥 由季 | 2022 | 22NM0058: 走査型熱電応答顕微鏡を用いたPt/Si界面における熱電特性評価 |
| 5 | NM-608 | スパッタ装置 [JSP-8000] | 富士通株式会社 | 岩井 俊樹 | 2022 | 22NM0050: 量子コンピューティングのハードウェア研究 |
| 5 | NM-608 | スパッタ装置 [JSP-8000] | 産業技術総合研究所 | 島 久 | 2022 | 22NM0007: 電子線露光とドライエッチングで作製する微細素子を用いたエッジAI用抵抗変化デバイスの材料探索 |
| 1 | NM-516 | TEM試料作製装置群 | 筑波大学 | 矢加部 哲徳 | 2022 | 22NM0079: Cr添加NiAs型MnTeの強磁性発現の起源探索 |
| 1 | NM-011 | フーリエ変換赤外分光光度計 | エーザイ株式会社 | 萩原 幸司 | 2022 | 22NM0076: NM-011 を用いたアミロイド線維の二次構造解析 |
| 1 | NM-017 | テクスチャーアナライザー | 株式会社小森コーポレーション | 西 起人 | 2022 | 22NM0071: プリンテッドエレクトロニクス装置及び、デジタル印刷装置開発 |
| 1 | NM-606 | UVオゾンクリーナー [UV-1] | 東京大学 | 小林 研介 | 2022 | 22NM0070: ファンデルワールス薄膜を用いた新規メゾスコピック素子の作製 |
| 1 | NM-006 | 卓上走査型電子顕微鏡装置群 | SYNAPTEK-Deep Learning Solutions合同会社 | マッケーン ケビン ウィリアム | 2022 | 22NM0065: Study of purity and biocompatibility of Graphene Oxide |
| 1 | NM-010 | 分光蛍光光度計 | SYNAPTEK-Deep Learning Solutions合同会社 | マッケーン ケビン ウィリアム | 2022 | 22NM0065: Study of purity and biocompatibility of Graphene Oxide |
| 2 | NM-502 | 実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡 | 筑波大学 | 伊藤 良一 | 2022 | 22NM0062: カーボンニュートラル社会を実現する触媒開発に関する研究 |
| 2 | NM-502 | 実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡 | 信越化学工業株式会社 | 井上 友博 | 2022 | 22NM0045: 金属・金属酸化物ナノ微粒子混合系の無機バインダー成分との相互作用の解明 |
| 1 | NM-404 | 無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 | 東京大学 | 奥村 大河 | 2022 | 22NM0061: 地球惑星物質の薄膜試料作製・評価 |
| 2 | NM-624 | 顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] | 産業技術総合研究所 | 居村 史人 | 2022 | 22NM0059: Si深掘り穴内壁への絶縁膜形成 |
| 2 | NM-624 | 顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] | 筑波大学 | 都筑 康平 | 2022 | 22NM0037: 半導体基板における微細加工と特性評価 |
| 5 | NM-629 | ダイシングソー [DAD322] | 東京理科大学 | 霜鳥 由季 | 2022 | 22NM0058: 走査型熱電応答顕微鏡を用いたPt/Si界面における熱電特性評価 |
| 5 | NM-629 | ダイシングソー [DAD322] | 東京電機大学 | 森山 悟士 | 2022 | 22NM0046: シリコン微細素子及び2次元材料を用いた新機能デバイス作製とパッケージング |
| 5 | NM-629 | ダイシングソー [DAD322] | 東北大学 | 和泉 廣樹 | 2022 | 22NM0034: 二硫化モリブデン電界効果トランジスタを応用した分子センサーの開発 |
| 5 | NM-629 | ダイシングソー [DAD322] | 産業技術総合研究所 | 渥美 裕樹 | 2022 | 22NM0003: シリコンフォトニクスデバイスの開発 |
| 5 | NM-629 | ダイシングソー [DAD322] | 量子科学技術研究開発機構 | 佐藤 真一郎 | 2022 | 22NM0001: 希土類ドープ窒化ガリウムへのフォトニック結晶構造形成 |
| 5 | NM-605 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] | 東京理科大学 | 霜鳥 由季 | 2022 | 22NM0058: 走査型熱電応答顕微鏡を用いたPt/Si界面における熱電特性評価 |
| 5 | NM-605 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] | 宇都宮大学 | 篠田 一馬 | 2022 | 22NM0022: 分光偏光撮影のための波状多層膜型フォトニック結晶の製造 |
| 5 | NM-605 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] | 早稲田大学 | 柏崎 翼 | 2022 | 22NM0009: CMOSプロセスを用いたSi熱電発電集積デバイスの開発 |
| 5 | NM-605 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] | 産業技術総合研究所 | 島 久 | 2022 | 22NM0008: イオン液体／固体界面で起こる電気化学反応を情報処理に利活用するためのデバイス・プロセス開発 |
| 5 | NM-605 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] | 慶應義塾大学 | 今福 諒平 | 2022 | 22NM0006: 光デバイス用シリコン加工 |
| 3 | NM-603 | レーザー描画装置 [DWL66+] | 富士通株式会社 | 岩井 俊樹 | 2022 | 22NM0050: 量子コンピューティングのハードウェア研究 |
| 3 | NM-603 | レーザー描画装置 [DWL66+] | トーノファインプレーティング株式会社 | 平井 雄介 | 2022 | 22NM0027: 超微細形状成形金型作製の検討 |
| 3 | NM-603 | レーザー描画装置 [DWL66+] | 産業技術総合研究所 | 長坂 恵一 | 2022 | 22NM0019: 電子・レーザービーム描画を用いた微細デバイス加工技術開発 |
| 1 | NM-613 | リフトオフ装置 [KLO-150CBU] | 富士通株式会社 | 岩井 俊樹 | 2022 | 22NM0050: 量子コンピューティングのハードウェア研究 |
| 2 | NM-632 | ワイヤーボンダー [7476D #2] | 東京電機大学 | 森山 悟士 | 2022 | 22NM0046: シリコン微細素子及び2次元材料を用いた新機能デバイス作製とパッケージング |
| 2 | NM-632 | ワイヤーボンダー [7476D #2] | 早稲田大学 | 若林 千幸 | 2022 | 22NM0004: 超伝導ダイヤモンドソースドレインと2DHGダイヤモンドによる超伝導FETの実現 |
| 1 | NM-402 | 単原子分析電子顕微鏡 | AGC株式会社 | 吉野 晴彦 | 2022 | 22NM0038: 酸化金属粒子のバンドギャップ測定 |
| 2 | NM-618 | 原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE] | 筑波大学 | 都筑 康平 | 2022 | 22NM0037: 半導体基板における微細加工と特性評価 |
| 2 | NM-618 | 原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE] | 量子科学技術研究開発機構 | 佐藤 真一郎 | 2022 | 22NM0001: 希土類ドープ窒化ガリウムへのフォトニック結晶構造形成 |
| 6 | NM-609 | 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] | 東北大学 | 和泉 廣樹 | 2022 | 22NM0034: 二硫化モリブデン電界効果トランジスタを応用した分子センサーの開発 |
| 6 | NM-609 | 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] | 慶應義塾大学 | 及川 耀平 | 2022 | 22NM0032: Ni異方性エッチング及び反応性エッチングを用いたダイヤモンド基板の微細加工 |
| 6 | NM-609 | 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] | 埼玉大学 | 清水 麻希 | 2022 | 22NM0015: 量子センサによるナノ材料熱電計測 |
| 6 | NM-609 | 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] | 日本女子大学 | 石黒 亮輔 | 2022 | 22NM0012: 金属半導体接合における界面状態の新機能開発 |
| 6 | NM-609 | 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] | 早稲田大学 | 若林 千幸 | 2022 | 22NM0004: 超伝導ダイヤモンドソースドレインと2DHGダイヤモンドによる超伝導FETの実現 |
| 6 | NM-609 | 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] | 量子科学技術研究開発機構 | 佐藤 真一郎 | 2022 | 22NM0001: 希土類ドープ窒化ガリウムへのフォトニック結晶構造形成 |
| 1 | NM-634 | 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3] | 慶應義塾大学 | 及川 耀平 | 2022 | 22NM0032: Ni異方性エッチング及び反応性エッチングを用いたダイヤモンド基板の微細加工 |
| 1 | NM-611 | 原子層堆積装置 [AD-230LP] | 産業技術総合研究所 | 長坂 恵一 | 2022 | 22NM0019: 電子・レーザービーム描画を用いた微細デバイス加工技術開発 |
| 7 | BA-008 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | 筑波大学 | 俵 妙 | 2022 | 22BA0050: 電解放出型走査電子顕微鏡の分解能評価 |
| 7 | BA-008 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | 筑波大学 | 久保 敦 | 2022 | 22BA0035: ナノ微細加工を用いたプラズモニック構造の作製 |
| 7 | BA-008 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | 筑波大学 | 皇甫 度均 | 2022 | 22BA0029: 走査型電子顕微鏡を用いたプラズマ照射された金属の表面・断面観察 |
| 7 | BA-008 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | 筑波大学 | 池沢 道男 | 2022 | 22BA0018: 電界放出型走査電子顕微鏡による2次元半導体の観察 |
| 7 | BA-008 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | 筑波大学 | 大山 真紀子 | 2022 | 22BA0014: バイオ電極の開発 |
| 7 | BA-008 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | 筑波大学 | 都甲 薫 | 2022 | 22BA0005: 次世代高機能性薄膜の評価 |
| 7 | BA-008 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | 株式会社中化学日本総合研究所 | 大橋 賢二 | 2022 | 22BA0003: 銀ナノワイヤーの新規合成手法の開発 |
| 6 | BA-003 | FIB-SEM | 筑波大学 | 宮村 新一 | 2022 | 22BA0049: 走査型電子顕微鏡によるツボカビ細胞の観察 |
| 6 | BA-003 | FIB-SEM | 物質・材料研究機構 | Sijie Li | 2022 | 22BA0042: TEM sample preparation of Pt/a-Si/c-Si structure byFIB |
| 6 | BA-003 | FIB-SEM | 筑波大学 | 久保 敦 | 2022 | 22BA0035: ナノ微細加工を用いたプラズモニック構造の作製 |
| 6 | BA-003 | FIB-SEM | 筑波大学 | 皇甫 度均 | 2022 | 22BA0029: 走査型電子顕微鏡を用いたプラズマ照射された金属の表面・断面観察 |
| 6 | BA-003 | FIB-SEM | 筑波大学 | 岩室 憲幸 | 2022 | 22BA0028: SiC-MOSFET内蔵ダイオード順方向サージ電流導通時の破壊箇所断面観察 |
| 6 | BA-003 | FIB-SEM | 筑波大学 | 都甲 薫 | 2022 | 22BA0005: 次世代高機能性薄膜の評価 |
| 3 | BA-020 | 顕微ラマン | 筑波大学 | 松石 清人 | 2022 | 22BA0048: 金属ハライドペロブスカイト半導体の物性評価 |
| 3 | BA-020 | 顕微ラマン | 筑波大学 | 都甲 薫 | 2022 | 22BA0005: 次世代高機能性薄膜の評価 |
| 3 | BA-020 | 顕微ラマン | 筑波大学 | 末益 崇 | 2022 | 22BA0002: シリサイド半導体BaSi2を用いた薄膜太陽電池の研究 |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 筑波大学 | 松石 清人 | 2022 | 22BA0048: 金属ハライドペロブスカイト半導体の物性評価 |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 筑波大学 | 木島 正志 | 2022 | 22BA0044: 熱分解制御下の炭素化により生成するナノ構造化炭素の解析 |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 筑波大学 | 楊 英男 | 2022 | 22BA0037: Observation of chemical states by using (ARIM)Photoemission Spectrometer(XPS/UPS) JPS-9010TR |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 筑波大学 | 武安 光太郎 | 2022 | 22BA0030: XPSを利用した窒素ドープカーボン触媒電極触媒反応における素過程の解明 |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 筑波大学 | 皇甫 度均 | 2022 | 22BA0029: 走査型電子顕微鏡を用いたプラズマ照射された金属の表面・断面観察 |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 筑波大学 | 櫻井 岳暁 | 2022 | 22BA0026: XPS装置によるBiVO4試料表面状態の観察 |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 株式会社潤工社 | 黒崎 健児 | 2022 | 22BA0020: フッ素樹脂の表面分析 |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 筑波大学 | 近藤 剛弘 | 2022 | 22BA0007: X線光電子分光を用いたホウ素含有物質に関する物質科学の研究 |
| 9 | BA-015 | X線光電子分光装置 | 筑波大学 | 片桐 創一 | 2022 | 22BA0004: 島状成長TiN薄膜の観察と条件探査 |
| 3 | BA-006 | 走査型プローブ顕微鏡 | 物質・材料研究機構 | 櫻井 亮 | 2022 | 22BA0047: 分子機械の作製と評価 |
| 3 | BA-006 | 走査型プローブ顕微鏡 | 産業技術総合研究所 | 沖川 侑揮 | 2022 | 22BA0031: ナノカーボン材料の局所電気伝導特性評価 |
| 3 | BA-006 | 走査型プローブ顕微鏡 | 筑波大学 | 片桐 創一 | 2022 | 22BA0004: 島状成長TiN薄膜の観察と条件探査 |
| 2 | BA-001 | デバイスシミュレーター | 金沢大学ナノマテリアル研究所 | 松本 翼 | 2022 | 22BA0045: ダイヤモンドパワーデバイス構造の計算 |
| 2 | BA-001 | デバイスシミュレーター | 東北大学 | 菊池 洋平 | 2022 | 22BA0033: センサ/回路一体型・放射線検出器のためのデバイスシミュレータを利用した有機トランジスタの性能予測 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 石橋 孝章 | 2022 | 22BA0043: 内部反射HD-VSFG分光のための金属薄膜の製作 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 久保 敦 | 2022 | 22BA0035: ナノ微細加工を用いたプラズモニック構造の作製 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 柏木 隆成 | 2022 | 22BA0027: 高周波デバイスの作製に向けた微細加工装置の利用 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 嶋村 耕平 | 2022 | 22BA0024: MIMダイオードを用いたレクテナの開発 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 藤田 淳一 | 2022 | 22BA0021: TEM/AFMを用いた超高速計測技術の研究 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 柳原 英人 | 2022 | 22BA0017: スピントロニクス材料の評価と素子作製 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 南 英俊 | 2022 | 22BA0015: 超伝導デバイスの作製 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 羽田 真毅 | 2022 | 22BA0009: 超高速時間分解電子線回折法を用いた物質の過渡的構造計測 |
| 9 | BA-002 | スパッタリング装置 | 筑波大学 | 片桐 創一 | 2022 | 22BA0004: 島状成長TiN薄膜の観察と条件探査 |
| 3 | BA-013 | 半導体特性評価システム | 物質・材料研究機構 | NUR Roda Omar | 2022 | 22BA0041: イオン輸送を利用して動作するメモリスタ素子の電気特性評価 |
| 3 | BA-013 | 半導体特性評価システム | 筑波大学 | 嶋村 耕平 | 2022 | 22BA0024: MIMダイオードを用いたレクテナの開発 |
| 3 | BA-013 | 半導体特性評価システム | 筑波大学 | 奥村 宏典 | 2022 | 22BA0008: 超ワイドバンドギャップ半導体材料を用いたデバイス作製 |
| 3 | BA-018 | イオンミリング | 筑波大学 | 関口 隆史 | 2022 | 22BA0040: イオンミリング装置を利用した各種材料の表面研磨、断面試料の作製 |
| 3 | BA-018 | イオンミリング | 筑波大学 | 佐々木 正洋 | 2022 | 22BA0036: イオンミリングによるダイヤモンド電界放出電子源の試作 |
| 3 | BA-018 | イオンミリング | 筑波大学 | 皇甫 度均 | 2022 | 22BA0029: 走査型電子顕微鏡を用いたプラズマ照射された金属の表面・断面観察 |
| 2 | BA-019 | 分光エリプソメータ | 筑波大学 | 久保 敦 | 2022 | 22BA0035: ナノ微細加工を用いたプラズモニック構造の作製 |
| 2 | BA-019 | 分光エリプソメータ | 筑波大学 | 末益 崇 | 2022 | 22BA0002: シリサイド半導体BaSi2を用いた薄膜太陽電池の研究 |
| 1 | BA-010 | インクジェットパターン形成装置 | デクセリアルズ株式会社 | 齋藤 崇之 | 2022 | 22BA0034: パターン塗布製品開発のための基礎研究 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 山本 洋平 | 2022 | 22BA0032: 極小螺旋ドーナツレーザーの開発 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 柏木 隆成 | 2022 | 22BA0027: 高周波デバイスの作製に向けた微細加工装置の利用 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 嶋村 耕平 | 2022 | 22BA0024: MIMダイオードを用いたレクテナの開発 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 竹下 典男 | 2022 | 22BA0023: マイクロ流体デバイスを利用した麹菌の酵素生産性に及ぼす菌糸形態変化の機構解明 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 藤田 淳一 | 2022 | 22BA0021: TEM/AFMを用いた超高速計測技術の研究 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 東京理科大学 | 木下 健太郎 | 2022 | 22BA0019: ナノギャップソース-ドレイン電極を備えた金属酸化物チャネル電界効果トランジスタの作製 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 柳原 英人 | 2022 | 22BA0017: スピントロニクス材料の評価と素子作製 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 南 英俊 | 2022 | 22BA0015: 超伝導デバイスの作製 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 野村 晋太郎 | 2022 | 22BA0012: プレーナー型マイクロ波共振器および光センサーの作製 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 友利 ひかり | 2022 | 22BA0010: 電子ビーム描画装置を用いたメゾスコピック超伝導体試料の作製 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 奥村 宏典 | 2022 | 22BA0008: 超ワイドバンドギャップ半導体材料を用いたデバイス作製 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 都甲 薫 | 2022 | 22BA0005: 次世代高機能性薄膜の評価 |
| 13 | BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | 筑波大学 | 末益 崇 | 2022 | 22BA0001: 3d窒化物磁性薄膜の磁気輸送特性の評価 |
| 3 | BA-011 | 微細パターン形成装置群（スピンコーター、マスクアライナー） | 筑波大学 | 櫻井 岳暁 | 2022 | 22BA0025: マスクアライナーを使用したCIGS太陽電池のデバイスのパターニング |
| 3 | BA-011 | 微細パターン形成装置群（スピンコーター、マスクアライナー） | 筑波大学 | 藤田 淳一 | 2022 | 22BA0021: TEM/AFMを用いた超高速計測技術の研究 |
| 3 | BA-011 | 微細パターン形成装置群（スピンコーター、マスクアライナー） | 筑波大学 | 南 英俊 | 2022 | 22BA0015: 超伝導デバイスの作製 |
| 4 | BA-007 | ウェハーダイシングマシン | 筑波大学 | 嶋村 耕平 | 2022 | 22BA0024: MIMダイオードを用いたレクテナの開発 |
| 4 | BA-007 | ウェハーダイシングマシン | 筑波大学 | 野村 晋太郎 | 2022 | 22BA0012: プレーナー型マイクロ波共振器および光センサーの作製 |
| 4 | BA-007 | ウェハーダイシングマシン | 筑波大学 | 都甲 薫 | 2022 | 22BA0005: 次世代高機能性薄膜の評価 |
| 4 | BA-007 | ウェハーダイシングマシン | 筑波大学 | 末益 崇 | 2022 | 22BA0002: シリサイド半導体BaSi2を用いた薄膜太陽電池の研究 |
| 3 | BA-004 | 電子線蒸着装置 | 筑波大学 | 藤田 淳一 | 2022 | 22BA0021: TEM/AFMを用いた超高速計測技術の研究 |
| 3 | BA-004 | 電子線蒸着装置 | 東京理科大学 | 木下 健太郎 | 2022 | 22BA0019: ナノギャップソース-ドレイン電極を備えた金属酸化物チャネル電界効果トランジスタの作製 |
| 3 | BA-004 | 電子線蒸着装置 | 筑波大学 | 奥村 宏典 | 2022 | 22BA0008: 超ワイドバンドギャップ半導体材料を用いたデバイス作製 |
| 3 | BA-005 | 電子線描画装置 | 筑波大学 | 藤田 淳一 | 2022 | 22BA0021: TEM/AFMを用いた超高速計測技術の研究 |
| 3 | BA-005 | 電子線描画装置 | 筑波大学 | 友利 ひかり | 2022 | 22BA0011: 電子ビーム描画装置を用いた周期ひずみグラフェン試料の作製 |
| 3 | BA-005 | 電子線描画装置 | 筑波大学 | 友利 ひかり | 2022 | 22BA0010: 電子ビーム描画装置を用いたメゾスコピック超伝導体試料の作製 |
| 2 | BA-024 | ワイヤボンダー | 筑波大学 | 柳原 英人 | 2022 | 22BA0017: スピントロニクス材料の評価と素子作製 |
| 2 | BA-024 | ワイヤボンダー | 筑波大学 | 野村 晋太郎 | 2022 | 22BA0012: プレーナー型マイクロ波共振器および光センサーの作製 |
| 1 | BA-012 | 反応性イオンエッチング装置 | 筑波大学 | 奥村 宏典 | 2022 | 22BA0008: 超ワイドバンドギャップ半導体材料を用いたデバイス作製 |
| 1 | BA-022 | 超高温炉 | 筑波大学 | 奥村 宏典 | 2022 | 22BA0008: 超ワイドバンドギャップ半導体材料を用いたデバイス作製 |
| 1 | BA-016 | パワーデバイス特性評価装置 | 京セラ株式会社 | 澤田 達郎 | 2022 | 22BA0006: 高耐圧デバイスの試作、及び電気的特性評価 |
| 1 | BA-017 | IRエミッション顕微鏡 | 京セラ株式会社 | 澤田 達郎 | 2022 | 22BA0006: 高耐圧デバイスの試作、及び電気的特性評価 |
| 1 | BA-014 | 触針式表面段差計 | 筑波大学 | 片桐 創一 | 2022 | 22BA0004: 島状成長TiN薄膜の観察と条件探査 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | （株）オオハシ | 塩野 武男 | 2022 | 22YG0025: 可塑化処理されたポリエチレン・ポリプロピレンの伸長粘度 〜添加剤の影響 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | AGC(株) | 西 栄一 | 2022 | 22YG0023: PA/変成ETFE、EVOH変成ETFEブレンドの粘弾性測定と物性 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | AGC（株） | 西 栄一 | 2022 | 22YG0020: PA/EVOH/変成ETFEブレンドの粘弾性測定、伸長サンプル作製 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | 京都大学 | 岸村 眞治 | 2022 | 22YG0019: シクロオレフィンポリマー(COP)のレオロジー特性 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | 山形大学 | スクマラン サティシュ | 2022 | 22YG0018: シリコン系ポリマーのレオロジー測定 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | AGC（株） | 西 栄一 | 2022 | 22YG0014: PA/EVOH/変成ETFEブレンドの粘弾性とモルフォロジー |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | AGC（株） | 西 栄一 | 2022 | 22YG0013: PA/EVOH/変成ETFEブレンドの伸長粘度 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | AGC（株） | 西 栄一 | 2022 | 22YG0012: EVOH/変成ETFEブレンドの動的粘弾性 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | （株）オオハシ | 塩野 武男 | 2022 | 22YG0011: 可塑化処理されたポリプロピレンの伸長粘度 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | （株）オオハシ | 塩野 武男 | 2022 | 22YG0010: 可塑化処理されたポリプロピレンの動的粘弾性 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | （株）オオハシ | 塩野 武男 | 2022 | 22YG0009: 可塑化処理された架橋ポリエチレンの伸長粘度 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | （株）オオハシ | 塩野 武男 | 2022 | 22YG0008: 可塑化処理された架橋ポリエチレンの動的粘弾性測定 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | 山形大学 | 高橋 友季 | 2021 | 21YG0006: PP/ウレタン系ゴムブレンドの粘度測定 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | 山形大学 | 川島 稜大 | 2021 | 21YG0005: PVDF/変成PMMAの動的粘弾性 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | 山形大学 | 阿部 直貴 | 2021 | 21YG0004: PA/変成ETFEブレンドの動的粘弾性 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | （株）オオハシ | 塩野 武男 | 2021 | 21YG0003: 架橋ポリオレフィン可塑化（資源化）の研究／開発 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | AGC（株） | 西 栄一 | 2021 | 21YG0002: フッ素系ポリマーを用いたリアクティブポリマーアロイのレオロジーに関する研究/開発 |
| 18 | YG-001 | ツインドライブ型レオメータ | 宮城県産業技術総合センター | 佐藤 勲征 | 2021 | 21YG0001: セルロースナノファイバーの分散駅の流動配向に伴う粘弾性変化に関する研究 |
| 1 | YG-003 | 形状解析レーザ顕微鏡 | 山形大学大学院有機材料システム研究科 | 武田 敬子 | 2022 | 22YG0021: 共押出多層フィルム波状荒れ評価のための表面、界面の観察 |
| 2 | YG-002 | 共押出システム | 朝日インテック（株） | 伊原 幸靖 | 2022 | 22YG0017: 超多層フィルムの開発2 |
| 2 | YG-002 | 共押出システム | 朝日インテック（株） | 伊原 幸靖 | 2022 | 22YG0007: ポリアミド超多層フィルムの開発1 |
| 2 | YG-006 | 513層多層押出成形金型 | 朝日インテック（株） | 伊原 幸靖 | 2022 | 22YG0017: 超多層フィルムの開発2 |
| 2 | YG-006 | 513層多層押出成形金型 | 朝日インテック（株） | 伊原 幸靖 | 2022 | 22YG0007: ポリアミド超多層フィルムの開発1 |
| 1 | YG-601 | 全自動多目的X線回折装置 | （株）プレジール | 梅村 俊和 | 2022 | 22YG0016: ポリアセタールアロイ樹脂を用いた新機能性繊維の開発 |
| 1 | YG-602 | X線非破壊検査装置 | 金沢大学 | 瀧 健太郎 | 2022 | 22YG0015: 高分子／金属の界面観察 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 日本電波工業株式会社 部品技術部 | 村越 裕之 | 2022 | 22TU0212: SnCu合金層の観察 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 京セラ株式会社 先進技術研究所光学基盤技術ラボ | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0207: 微細構造の試作と解析 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 小島プレス工業株式会社 研究開発部 | 西川 周二 | 2022 | 22TU0208: スパッタリング膜の断面観察 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学大学院 工学研究科 | LUDWIG THOMAS | 2022 | 22TU0209: Evaluation of physical properties of Al whiskers |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 嶋田 雄介 | 2022 | 22TU0023: 多結晶金属材料の微細構造解析 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 正橋 直哉 | 2022 | 22TU0189: 陽極酸化TiNbSn合金の生体適合性 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 多元物質科学研究所 | 諏訪 智巳 | 2022 | 22TU0163: FIBによる磁区観察用試料の作製と磁気測定による加工劣化評価 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 三菱重工業株式会社 総合研究所 化学研究部 化学第三研究室 | 垣谷 健太 | 2022 | 22TU0156: 表面酸化物の分析 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 山中 謙太 | 2022 | 22TU0152: 加工プロセスを用いた構造用金属材料の高機能化 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 工学研究科 | 倉林 康太 | 2022 | 22TU0139: デアロイングを利用した相分離系Fe-Mg接合 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学大学院 工学研究科 | 青木 英恵 | 2022 | 22TU0135: エネルギー変換機能を有するナノ複相膜の開発 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社野村鍍金 技術本部 | 吉川 亮太 | 2022 | 22TU0132: めっき膜の機械的性質の改善 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学大学院 工学研究科 | 内山 直美 | 2022 | 22TU0130: 光無線給電用の近赤外感度を有する超薄型透明太陽電池の研究開発 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 京セラ株式会社 先進技術研究所光学基盤技術ラボ | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0120: 微細構造の試作検討 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 大阪大学 理学研究科 | 塩貝 純一 | 2022 | 22TU0118: メンブレン積層構造の構造解析 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 秋田大学大学院 理工学研究科 | 齋藤 嘉一 | 2022 | 22TU0113: Mg-RE系ならびにCu-Ti系合金の時効析出組織 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | LUO JUNYI | 2022 | 22TU0107: 鉄系超伝導体のフラックスピンニング研究 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 宮本 吾郎 | 2022 | 22TU0099: ハイエントロピー合金の微細構造解析 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 理学研究科 | 石原 照也 | 2022 | 22TU0098: メタ表面の作製と評価 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 工学研究科 | 菊池 洋平 | 2022 | 22TU0086: 量子ビームを用いた生体操作技術のための物質開発 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 須藤 健太 | 2022 | 22TU0084: ⾦属磁性体における新規電気磁気効果の開拓 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 環境科学研究科 | 坂口 清敏 | 2022 | 22TU0068: 岩石構成鉱物のマイクロ破壊靭性評価 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 大阪大学 産業科学研究所 | 西嶋 雅彦 | 2022 | 22TU0065: Weak Micro-Via のメカニズムの研究 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | メイヨー アレックス浩 | 2022 | 22TU0055: らせん磁気構造の高密度電流制御を用いた磁性・トポロジー強結合現象の創出 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社デンソー 先端技術研究所 マテリアル研究部 | 渡部 英治 | 2022 | 22TU0052: 磁性ナノ粒子を用いたコールドスプレー膜の微細構造評価 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | Wei Daixiu | 2022 | 22TU0044: ハイエントロピー合金の構造解析および組成変形挙動の解明 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社チノー 山形事業所 | 結城 洋介 | 2022 | 22TU0041: 絶縁膜の形成条件の検討とその評価 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社タカコ 滋賀工場 設備工法部 | 宮本 優 | 2022 | 22TU0034: 新規表面改質鋼の構造解析 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社野村鍍金 技術部門 | 西山 昭雄 | 2022 | 22TU0024: 高機能炭素質薄膜分析 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 理学研究科 | 石井 祐太 | 2022 | 22TU0017: 軟X線トモグラフィーによる磁気トポロジカル物性の観測 |
| 31 | TU-507 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 千星 聡 | 2022 | 22TU0016: 機能性金属材料の構造解析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 京セラ株式会社 先進技術研究所光学基盤技術ラボ | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0207: 微細構造の試作と解析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 小島プレス工業株式会社 研究開発部 | 西川 周二 | 2022 | 22TU0208: スパッタリング膜の断面観察 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 金属材料研究所 | 嶋田 雄介 | 2022 | 22TU0023: 多結晶金属材料の微細構造解析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 工学院大学 先進工学部 応用物理学科 | 山口 智広 | 2022 | 22TU0187: InGaN結晶成長条件と結晶構造・欠陥の相関性 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 多元物質科学研究所 | 川西 咲子 | 2022 | 22TU0167: ケイ酸塩物質からのカルシウム溶出メカニズム |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 三菱重工業株式会社 総合研究所 化学研究部 化学第三研究室 | 垣谷 健太 | 2022 | 22TU0156: 表面酸化物の分析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 金属材料研究所 | 佐藤 充孝 | 2022 | 22TU0150: 窒素鋼の逆変態時に析出する合金窒化物の構造解析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 工学研究科 | LOI TONTHAT | 2022 | 22TU0136: 多機能型複合体マイクロ@ナノ磁性微粒子の研究開発と次世代癌磁気温熱療法への応用 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学大学院 工学研究科 | 青木 英恵 | 2022 | 22TU0135: エネルギー変換機能を有するナノ複相膜の開発 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 株式会社野村鍍金 技術本部 | 吉川 亮太 | 2022 | 22TU0132: めっき膜の機械的性質の改善 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 京セラ株式会社 先進技術研究所光学基盤技術ラボ | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0120: 微細構造の試作検討 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 大阪大学 理学研究科 | 塩貝 純一 | 2022 | 22TU0118: メンブレン積層構造の構造解析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 株式会社野村鍍金 技術部門 | 西山 昭雄 | 2022 | 22TU0117: 高機能炭素質薄膜分析-2 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 金属材料研究所 | 袁 欣偉 | 2022 | 22TU0108: 粒子照射によるSiC繊維の微細組織変化 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 金属材料研究所 | LUO JUNYI | 2022 | 22TU0107: 鉄系超伝導体のフラックスピンニング研究 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 金属材料研究所 | 木須 一彰 | 2022 | 22TU0101: 水素化物カルシウム電解液を用いたカルシウム電池電極の評価 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 多元物質科学研究所 | 上杉 祐貴 | 2022 | 22TU0097: グラフェン膜レーザー加工技法の開発 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 環境科学研究科 | Riyan Achmad Budiman | 2022 | 22TU0092: 燃料電池の高性能電極開発 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 工学研究科 | 菊池 洋平 | 2022 | 22TU0086: 量子ビームを用いた生体操作技術のための物質開発 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 大阪大学 産業科学研究所 | 西嶋 雅彦 | 2022 | 22TU0065: Weak Micro-Via のメカニズムの研究 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 株式会社チノー 山形事業所 | 結城 洋介 | 2022 | 22TU0041: 絶縁膜の形成条件の検討とその評価 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 株式会社タカコ 滋賀工場 設備工法部 | 宮本 優 | 2022 | 22TU0034: 新規表面改質鋼の構造解析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 材料科学高等研究所 | 横 哲 | 2022 | 22TU0031: 超臨界水熱合成法により合成された巨大歪ナノ粒子の微細構造解析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 株式会社野村鍍金 技術部門 | 西山 昭雄 | 2022 | 22TU0024: 高機能炭素質薄膜分析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 金属材料研究所 | 余 浩 | 2022 | 22TU0014: 酸化物分散強化合金微細組織解析 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | 東北大学 多元物質科学研究所 | 佐藤 庸平 | 2022 | 22TU0002: Zn,Y元素添加Mg合金の電子構造研究 |
| 27 | TU-504 | 超高分解能透過電子顕微鏡 | ジョンソン・マッセイ・ジャパン合同会社 Clean Air | 渡部 秀敏 | 2022 | 22TU0001: 自動車排気ガス触媒の高分解能電子顕微鏡観察 |
| 6 | TU-517 | 透過電子顕微鏡 | 京セラ株式会社 先進技術研究所光学基盤技術ラボ | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0207: 微細構造の試作と解析 |
| 6 | TU-517 | 透過電子顕微鏡 | 横浜市立大学 医学部 | 松延 祥平 | 2022 | 22TU0186: 皮膚組織の損傷を調べるための電子顕微鏡観察法の検討 |
| 6 | TU-517 | 透過電子顕微鏡 | 京セラ株式会社 先進技術研究所光学基盤技術ラボ | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0120: 微細構造の試作検討 |
| 6 | TU-517 | 透過電子顕微鏡 | 株式会社タカコ 滋賀工場 設備工法部 | 宮本 優 | 2022 | 22TU0034: 新規表面改質鋼の構造解析 |
| 6 | TU-517 | 透過電子顕微鏡 | 産業技術総合研究所 オープンイノベーションラボラトリ | Louzguine Dmitri Valentinovich | 2022 | 22TU0027: Crystallization behavior of metallic glasses |
| 6 | TU-517 | 透過電子顕微鏡 | 東北大学 金属材料研究所 | 余 浩 | 2022 | 22TU0014: 酸化物分散強化合金微細組織解析 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 京セラ株式会社 先進技術研究所光学基盤技術ラボ | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0207: 微細構造の試作と解析 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 小島プレス工業株式会社 研究開発部 | 西川 周二 | 2022 | 22TU0208: スパッタリング膜の断面観察 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学大学院 工学研究科 | LUDWIG THOMAS | 2022 | 22TU0209: Evaluation of physical properties of Al whiskers |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 嶋田 雄介 | 2022 | 22TU0023: 多結晶金属材料の微細構造解析 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 多元物質科学研究所 | 川西 咲子 | 2022 | 22TU0167: ケイ酸塩物質からのカルシウム溶出メカニズム |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 工学研究科 | コマロフ セルゲイ | 2022 | 22TU0166: 金属表面改質方法の開発 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 山中 謙太 | 2022 | 22TU0152: 加工プロセスを用いた構造用金属材料の高機能化 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 工学研究科 | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0147: 高真空ウェハレベルパッケージングのための真空度計測リゾネータ |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 工学研究科 | 倉林 康太 | 2022 | 22TU0139: デアロイングを利用した相分離系Fe-Mg接合 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学大学院 工学研究科 | 青木 英恵 | 2022 | 22TU0135: エネルギー変換機能を有するナノ複相膜の開発 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社野村鍍金 技術本部 | 吉川 亮太 | 2022 | 22TU0132: めっき膜の機械的性質の改善 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 京セラ株式会社 先進技術研究所光学基盤技術ラボ | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0120: 微細構造の試作検討 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 大阪大学 理学研究科 | 塩貝 純一 | 2022 | 22TU0118: メンブレン積層構造の構造解析 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社野村鍍金 技術部門 | 西山 昭雄 | 2022 | 22TU0117: 高機能炭素質薄膜分析-2 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 秋田大学大学院 理工学研究科 | 齋藤 嘉一 | 2022 | 22TU0113: Mg-RE系ならびにCu-Ti系合金の時効析出組織 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | LUO JUNYI | 2022 | 22TU0107: 鉄系超伝導体のフラックスピンニング研究 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 宮本 吾郎 | 2022 | 22TU0099: ハイエントロピー合金の微細構造解析 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 環境科学研究科 | Riyan Achmad Budiman | 2022 | 22TU0092: 燃料電池の高性能電極開発 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 大阪大学 産業科学研究所 | 西嶋 雅彦 | 2022 | 22TU0065: Weak Micro-Via のメカニズムの研究 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | メイヨー アレックス浩 | 2022 | 22TU0055: らせん磁気構造の高密度電流制御を用いた磁性・トポロジー強結合現象の創出 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社デンソー 先端技術研究所 マテリアル研究部 | 渡部 英治 | 2022 | 22TU0052: 磁性ナノ粒子を用いたコールドスプレー膜の微細構造評価 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 東北大学 金属材料研究所 | Wei Daixiu | 2022 | 22TU0044: ハイエントロピー合金の構造解析および組成変形挙動の解明 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社チノー 山形事業所 | 結城 洋介 | 2022 | 22TU0041: 絶縁膜の形成条件の検討とその評価 |
| 24 | TU-508 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社タカコ 滋賀工場 設備工法部 | 宮本 優 | 2022 | 22TU0034: 新規表面改質鋼の構造解析 |
| 5 | TU-105 | 中電流イオン注入装置 | 東北大学 | 後藤 哲也 | 2022 | 22TU0205: 薄膜トランジスタに関する研究 / Study on thin film transistor |
| 5 | TU-105 | 中電流イオン注入装置 | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0196: 前工程プロセス及び抵抗測定 / previous process and resistance measurement |
| 5 | TU-105 | 中電流イオン注入装置 | 産業技術総合研究所 | 長尾 昌善 | 2022 | 22TU0079: シリコンフィールドエミッタの導電性制御 / Conductivity control of Silicon field emitter array |
| 5 | TU-105 | 中電流イオン注入装置 | 東北大学大学院工学研究院 | Vergara Andrea | 2022 | 22TU0069: 圧電薄膜MEMSデバイス開発 / Development of thin film piezoelectric MEMS devices |
| 5 | TU-105 | 中電流イオン注入装置 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 吉田 知也 | 2022 | 22TU0030: シリコン光カプラの開発 / Development of silicon optical coupler |
| 1 | TU-004 | スピン乾燥機 | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0202: 前工程プロセス及びIoTモジュール製作 |
| 8 | TU-051 | ミカサ スピンコータ | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0202: 前工程プロセス及びIoTモジュール製作 |
| 8 | TU-051 | ミカサ スピンコータ | 東北大学大学院環境科学研究科 | 昆沙賀 菜々子 | 2022 | 22TU0085: 固体酸化物形電解セル（SOEC）を用いた共電解における燃料極 / Fuel electrode in co-electrolysis using solid oxide electrolysis cell (SOEC) |
| 8 | TU-051 | ミカサ スピンコータ | 愛知工業大学 工学部 機械学科 | 田中 浩 | 2022 | 22TU0078: 液滴を用いたウエットプロセスによる電子デバイス材料の加工 / Fabrication of electronic device material by wet process using droplet |
| 8 | TU-051 | ミカサ スピンコータ | 東北大学大学院工学研究科 | 清水 信 | 2022 | 22TU0071: レクテナを用いた赤外光エネルギー利用 / Infrared Energy Utilization by Rectenna |
| 8 | TU-051 | ミカサ スピンコータ | Microsystem Integration Center, Tohoku University | Van Toan Nguyen | 2022 | 22TU0061: Thermoelectric generators for self-powered sensing system |
| 8 | TU-051 | ミカサ スピンコータ | 東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センター | 矢代 航 | 2022 | 22TU0045: Fabrication of X-ray optics for millisecond X-ray tomography |
| 8 | TU-051 | ミカサ スピンコータ | 東京工芸大学 工学部 工学科 | 曽根 順治 | 2022 | 22TU0019: Development of Tactile device and piezoelectric film deposition |
| 8 | TU-051 | ミカサ スピンコータ | ナルックス株式会社 | 西牧 真木夫 | 2022 | 22TU0018: 微細構造体の作製技術開発 / Development of microstructure fabrication technology |
| 5 | TU-054 | ホットプレート | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0202: 前工程プロセス及びIoTモジュール製作 |
| 5 | TU-054 | ホットプレート | 東北大学金属材料研究所 | 山田 類 | 2022 | 22TU0193: 金属ガラスのインプリント技術の確立 / Construction of imprinting technology for metallic glass |
| 5 | TU-054 | ホットプレート | 東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センター | 矢代 航 | 2022 | 22TU0045: Fabrication of X-ray optics for millisecond X-ray tomography |
| 5 | TU-054 | ホットプレート | リバーエレテック株式会社 | 丸山 春樹 | 2022 | 22TU0012: 新カット水晶Ｌａｍｂ波レゾネータの開発 / Development of new-cut crystal lamb-wave resonator |
| 5 | TU-054 | ホットプレート | 信越化学工業㈱ | 丹野 雅行 | 2022 | 22TU0009: 基板上への微細Ａｌ電極作成と基板の評価 / Fabrication of fine pitch Al electrode and evaluation of substrates |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0202: 前工程プロセス及びIoTモジュール製作 |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | 東北大学電気通信研究所 | 櫻庭 政夫 | 2022 | 22TU0185: SiCポリタイプの同時横方向エピタキシャル成長技術を用いた新規SiCデバイスの実用化 / Practical application of novel SiC devices using simultaneous lateral epitaxial growth technique of SiC polytypes |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | 名城大学理工学部メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TU0125: MEMSフィジカルセンサの微細構造作製 / Microstructure fabrication of MEMS physical sensors |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | センスチップ株式会社 | 伊藤 隆広 | 2022 | 22TU0081: エンドトキシン測定用くし形電極の開発 / Development of comb electrodes for endotoxin measurement |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | 愛知工業大学 工学部 機械学科 | 田中 浩 | 2022 | 22TU0078: 液滴を用いたウエットプロセスによる電子デバイス材料の加工 / Fabrication of electronic device material by wet process using droplet |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | ナルックス株式会社 | 西牧 真木夫 | 2022 | 22TU0018: 微細構造体の作製技術開発 / Development of microstructure fabrication technology |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | リバーエレテック株式会社 | 丸山 春樹 | 2022 | 22TU0012: 新カット水晶Ｌａｍｂ波レゾネータの開発 / Development of new-cut crystal lamb-wave resonator |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | 株式会社マイクロジェット | 上野 明 | 2022 | 22TU0008: マイクロポンプの開発 / Development of micropump |
| 9 | TU-060 | 現像ドラフト | 株式会社イノックス | 井上 智晴 | 2022 | 22TU0005: マイクロレンズアレイ加工 / Micro Lens Array Processing |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 横河電機株式会社 | 松尾 雄祐 | 2022 | 22TU0201: ウェハレベル低融点ガラス接合技術の確立 / Establishment technology of wafer-level low melting glass bonding |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0196: 前工程プロセス及び抵抗測定 / previous process and resistance measurement |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 愛知工業大学 工学部 機械学科 | 田中 浩 | 2022 | 22TU0078: 液滴を用いたウエットプロセスによる電子デバイス材料の加工 / Fabrication of electronic device material by wet process using droplet |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 東北大学 大学院工学研究科 | 山田 駿介 | 2022 | 22TU0076: MEMS磁気アクチュエータの作製とハプティックデバイスへの応用 / Study on Magnetic Actuator for Haptic Device |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 東北大学 大学院工学研究科 | 山田 駿介 | 2022 | 22TU0070: 温度補償共振子の作製 / A Study on Temperature-compensated Resonator |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | Microsystem Integration Center, Tohoku University | Van Toan Nguyen | 2022 | 22TU0061: Thermoelectric generators for self-powered sensing system |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | パール光学工業株式会社 | 松本 輝義 | 2022 | 22TU0058: 多段回折光学素子の試作開発 / Trial development of multi-stage diffraction optical element |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0051: いわて半導体アカデミー大学生向けプロセス実習 / ISA process training for U1-students |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センター | 矢代 航 | 2022 | 22TU0045: Fabrication of X-ray optics for millisecond X-ray tomography |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0022: 圧電MEMSスピーカ開発 / piezo-MEMS speaker development |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0021: SMS vacuum wafer-level package for resonator MEMS |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0020: ポリマー圧電MEMSデバイスの応用研究 / Polymer piezo-MEMS actuator development |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 東京工芸大学 工学部 工学科 | 曽根 順治 | 2022 | 22TU0019: Development of Tactile device and piezoelectric film deposition |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 株式会社マイクロジェット | 上野 明 | 2022 | 22TU0008: マイクロポンプの開発 / Development of micropump |
| 15 | TU-056 | 両面アライナ | 理化学研究所テラヘルツ光源研究チーム | 福田 航一 | 2022 | 22TU0007: テラヘルツ帯で動作する周期分極反転素子の作製 / Periodically poled nonlinear optical device for terahertz-wave |
| 4 | TU-251 | SUSS ウェハ接合装置 | 横河電機株式会社 | 松尾 雄祐 | 2022 | 22TU0201: ウェハレベル低融点ガラス接合技術の確立 / Establishment technology of wafer-level low melting glass bonding |
| 4 | TU-251 | SUSS ウェハ接合装置 | セイコーエプソン株式会社 | 瀧澤 照夫 | 2022 | 22TU0155: ウエハ接合の実用化技術 / Technology for Practical Application of Wafer Bonding |
| 4 | TU-251 | SUSS ウェハ接合装置 | センスチップ株式会社 | 伊藤 隆広 | 2022 | 22TU0081: エンドトキシン測定用くし形電極の開発 / Development of comb electrodes for endotoxin measurement |
| 4 | TU-251 | SUSS ウェハ接合装置 | 株式会社マイクロジェット | 上野 明 | 2022 | 22TU0008: マイクロポンプの開発 / Development of micropump |
| 2 | TU-151 | LPCVD | 京都大学大学院工学研究科 | 村井 俊介 | 2022 | 22TU0199: ポラリトンレーザ実現のためのシリコンメタ表面の作製 / Fabrication of Si metasurface for polariton lasers |
| 2 | TU-151 | LPCVD | 東北大学多元物質科学研究所 | 新家 寛正 | 2022 | 22TU0004: 光学キラリティ極限増強近接場創成に向けたナノインプリントリソグラフィ / Ultraviolet Nanoimprint Lithography towards Creation of Near-Field with Enhanced Optical Chirality |
| 6 | TU-160 | 自動搬送 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0196: 前工程プロセス及び抵抗測定 / previous process and resistance measurement |
| 6 | TU-160 | 自動搬送 芝浦スパッタ装置（加熱型） | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0110: SAWデバイスの開発 / Development of Surface Acoustic Wave Devices |
| 6 | TU-160 | 自動搬送 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | Froemel Joerg | 2022 | 22TU0109: MEMS device technology development |
| 6 | TU-160 | 自動搬送 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 東北工業大学大学 工学部電気電子工学科 | 内野 俊 | 2022 | 22TU0103: 表面増強ラマン散乱を利用した超高感度バイオケミカルセンサーチップの開発 / Development of highly sensitive surface enhanced Raman scattering (SERS) substrates |
| 6 | TU-160 | 自動搬送 芝浦スパッタ装置（加熱型） | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0067: 高精細発光素子のパターニング技術開発 |
| 6 | TU-160 | 自動搬送 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 東北大学未来科学技術共同研究センター | Minh Le Van | 2022 | 22TU0057: IoT for Safety & Security, multi focused ion beam using ion species generated from ionic liquid / IoT for Safety & Security, multi focused ion beam using ion species generated from ionic liquid |
| 5 | TU-307 | 金属顕微鏡 | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0196: 前工程プロセス及び抵抗測定 / previous process and resistance measurement |
| 5 | TU-307 | 金属顕微鏡 | 東北大学金属材料研究所 | 山田 類 | 2022 | 22TU0193: 金属ガラスのインプリント技術の確立 / Construction of imprinting technology for metallic glass |
| 5 | TU-307 | 金属顕微鏡 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 古林 庸子 | 2022 | 22TU0157: レジストの形状観察 / Shape Observation of photoresist |
| 5 | TU-307 | 金属顕微鏡 | 名城大学理工学部メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TU0125: MEMSフィジカルセンサの微細構造作製 / Microstructure fabrication of MEMS physical sensors |
| 5 | TU-307 | 金属顕微鏡 | 東京大学生産技術研究所 | 柳澤 亮人 | 2022 | 22TU0025: 平面型熱電発電素子のシリコン酸化膜犠牲層エッチング / Sacrificial layer etching of SiO2 for planar-type TEG |
| 2 | TU-107 | ランプアニール装置 | 公益財団法人いわて産業振興センター | 城守 正博 | 2022 | 22TU0196: 前工程プロセス及び抵抗測定 / previous process and resistance measurement |
| 2 | TU-107 | ランプアニール装置 | 株式会社シンクロン | 菅田 博雅 | 2022 | 22TU0083: 絶縁膜の耐電圧特性評価 / Withstand voltage test of insulating film |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 東北大学金属材料研究所 | 山田 類 | 2022 | 22TU0193: 金属ガラスのインプリント技術の確立 / Construction of imprinting technology for metallic glass |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0168: シリコン深堀治具作製 / Silicon jig fabricated by deep-RIE etching |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 東北大学多元物質科学研究所 | 關 義親 | 2022 | 22TU0159: 中性子用回折格子の開発 / Development of gratings for neutron beams |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | Froemel Joerg | 2022 | 22TU0109: MEMS device technology development |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 東北大学 | 塚本 貴城 | 2022 | 22TU0090: MEMSジャイロスコープの開発 / Development of MEMS gyroscope |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 東北大学大学院工学研究科 | 田中 秀治 | 2022 | 22TU0074: 光通信用MEMSデバイスの開発 / MEMS device development for optical communications |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | Microsystem Integration Center, Tohoku University | Van Toan Nguyen | 2022 | 22TU0061: Thermoelectric generators for self-powered sensing system |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 大阪大学大学院工学研究科 | 君野 和也 | 2022 | 22TU0047: 回折光学素子の作製 / Fabrication of diffractive optical elements |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 合同会社スピードラボ | 鈴木 勝順 | 2022 | 22TU0036: 櫛歯アクチュエータの作製 / Fabrication of Comb-Drive Actuator |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 東京工芸大学 工学部 工学科 | 曽根 順治 | 2022 | 22TU0019: Development of Tactile device and piezoelectric film deposition |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | ナルックス株式会社 | 西牧 真木夫 | 2022 | 22TU0018: 微細構造体の作製技術開発 / Development of microstructure fabrication technology |
| 12 | TU-201 | DeepRIE装置#1 | 東北大学多元物質科学研究所 | 中川 勝 | 2022 | 22TU0003: ナノインプリント材料とプロセスの開発 / Development of materials and processes for nanoimprint |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学金属材料研究所 | 山田 類 | 2022 | 22TU0193: 金属ガラスのインプリント技術の確立 / Construction of imprinting technology for metallic glass |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学多元物質科学研究所 | 關 義親 | 2022 | 22TU0159: 中性子用回折格子の開発 / Development of gratings for neutron beams |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 古林 庸子 | 2022 | 22TU0157: レジストの形状観察 / Shape Observation of photoresist |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 日本特殊陶業株式会社 | 塙 裕一郎 | 2022 | 22TU0149: シリコンセンサの開発 / Development of silicon sensor |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 佐々木 寛充 | 2022 | 22TU0143: 単層フォトレジストによるリフトオフプロセス / Lift-off patterning using single layer photoresist |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 名城大学理工学部メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TU0125: MEMSフィジカルセンサの微細構造作製 / Microstructure fabrication of MEMS physical sensors |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0110: SAWデバイスの開発 / Development of Surface Acoustic Wave Devices |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 石巻専修大学 理工学部 情報電子工学科 | 中込 真二 | 2022 | 22TU0096: microfabrication of NiO on Ga2O3 |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学大学院環境科学研究科 | 昆沙賀 菜々子 | 2022 | 22TU0085: 固体酸化物形電解セル（SOEC）を用いた共電解における燃料極 / Fuel electrode in co-electrolysis using solid oxide electrolysis cell (SOEC) |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 株式会社シンクロン | 菅田 博雅 | 2022 | 22TU0083: 絶縁膜の耐電圧特性評価 / Withstand voltage test of insulating film |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学大学院工学研究院 | 金森 義明 | 2022 | 22TU0077: メタマテリアル製作のための微細加工技術 / Microfabrication technology for metamaterial fabrication |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学大学院工学研究院 | Vergara Andrea | 2022 | 22TU0069: 圧電薄膜MEMSデバイス開発 / Development of thin film piezoelectric MEMS devices |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学 工学研究科 (雨澤研究室) | チョウ タク | 2022 | 22TU0059: セラミックス薄膜微小パターン作成のための微細加工 / Micro Processing for Fabricating Patterns on Ceramics Films |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学大学院理学研究科 | 遊佐 剛 | 2022 | 22TU0054: 半導体ナノ構造の作成 / Semiconductor Nanostructure Fabrication |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 理化学研究所 テラヘルツ光源研究チーム | 佐々木 玲子 | 2022 | 22TU0040: メタマテリアルデバイスの作製 / Fabrication of 300GHz Fresnel-zone-plate film lens based on metamaterial phase shifter |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 合同会社スピードラボ | 鈴木 勝順 | 2022 | 22TU0036: 櫛歯アクチュエータの作製 / Fabrication of Comb-Drive Actuator |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 京セラ株式会社 | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0033: 0.18CMOSプロセスで作製可能な低損失、偏波無依存のスポットサイズコンバーターの試作 / Fabrication of low-loss, polarization-independent spot-size converter manufacturable with a o.18µm CMOS process. |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0022: 圧電MEMSスピーカ開発 / piezo-MEMS speaker development |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東京工芸大学 工学部 工学科 | 曽根 順治 | 2022 | 22TU0019: Development of Tactile device and piezoelectric film deposition |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | リバーエレテック株式会社 | 丸山 春樹 | 2022 | 22TU0012: 新カット水晶Ｌａｍｂ波レゾネータの開発 / Development of new-cut crystal lamb-wave resonator |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 株式会社マイクロジェット | 上野 明 | 2022 | 22TU0008: マイクロポンプの開発 / Development of micropump |
| 22 | TU-058 | マスクレスアライナ | 東北大学多元物質科学研究所 | 中川 勝 | 2022 | 22TU0003: ナノインプリント材料とプロセスの開発 / Development of materials and processes for nanoimprint |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 東北大学金属材料研究所 | 山田 類 | 2022 | 22TU0193: 金属ガラスのインプリント技術の確立 / Construction of imprinting technology for metallic glass |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0168: シリコン深堀治具作製 / Silicon jig fabricated by deep-RIE etching |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 東北大学 | 石川 泰地 | 2022 | 22TU0122: 液晶ポリマー製フレキシブル基板を用いた神経電極開発プロセスの研究 / Research on the process of developing neural electrodes using flexible |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 東北大学電気通信研究所 | 但木 大介 | 2022 | 22TU0094: ALDを用いた酸化チタンナノチューブ薄膜への貴金属成膜 / Noble metal deposition on TiO2nanotube thin films using ALD |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 東北大学大学院環境科学研究科 | 昆沙賀 菜々子 | 2022 | 22TU0085: 固体酸化物形電解セル（SOEC）を用いた共電解における燃料極 / Fuel electrode in co-electrolysis using solid oxide electrolysis cell (SOEC) |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 東北大学大学院工学研究科 | 田中 秀治 | 2022 | 22TU0074: 光通信用MEMSデバイスの開発 / MEMS device development for optical communications |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0053: いわて半導体アカデミー社会人向けプロセス実習（初級、中級） / ISA process training for factory employees |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0051: いわて半導体アカデミー大学生向けプロセス実習 / ISA process training for U1-students |
| 9 | TU-211 | プラズマクリーナー | 東北大学多元物質科学研究所 | 中川 勝 | 2022 | 22TU0003: ナノインプリント材料とプロセスの開発 / Development of materials and processes for nanoimprint |
| 5 | TU-205 | アルバックICP-RIE#1 | 株式会社シリコンセンシングプロダクツ | 行藤 敏克 | 2022 | 22TU0188: 圧電薄膜のドライエッチング / Dry etching of piezoelectric thin films |
| 5 | TU-205 | アルバックICP-RIE#1 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0110: SAWデバイスの開発 / Development of Surface Acoustic Wave Devices |
| 5 | TU-205 | アルバックICP-RIE#1 | パール光学工業株式会社 | 松本 輝義 | 2022 | 22TU0058: 多段回折光学素子の試作開発 / Trial development of multi-stage diffraction optical element |
| 5 | TU-205 | アルバックICP-RIE#1 | 株式会社 メムス・コア | 千葉 賢 | 2022 | 22TU0048: MEMSデバイスの加工 / Development of MEMS device |
| 5 | TU-205 | アルバックICP-RIE#1 | 京セラ株式会社 | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0033: 0.18CMOSプロセスで作製可能な低損失、偏波無依存のスポットサイズコンバーターの試作 / Fabrication of low-loss, polarization-independent spot-size converter manufacturable with a o.18µm CMOS process. |
| 6 | TU-057 | レーザ描画装置 | 東北大学電気通信研究所 | 櫻庭 政夫 | 2022 | 22TU0185: SiCポリタイプの同時横方向エピタキシャル成長技術を用いた新規SiCデバイスの実用化 / Practical application of novel SiC devices using simultaneous lateral epitaxial growth technique of SiC polytypes |
| 6 | TU-057 | レーザ描画装置 | 東北大学学際科学フロンティア研究所 | 平本 薫 | 2022 | 22TU0174: 電気化学発光現象観察のための3次元微細モデル作製 / Development of 3D microstructures for electrochemiluminescence study |
| 6 | TU-057 | レーザ描画装置 | 北海道大学大学院工学研究院 | 大橋 俊朗 | 2022 | 22TU0145: 細胞バイオメカニクス研究用デバイスの開発 / Development of microdevices for cellular biomechanics study |
| 6 | TU-057 | レーザ描画装置 | デクセリアルズ株式会社 | 有馬 光雄 | 2022 | 22TU0116: マイクロナノ構造の機能研究 |
| 6 | TU-057 | レーザ描画装置 | 理化学研究所テラヘルツ光源研究チーム | 福田 航一 | 2022 | 22TU0007: テラヘルツ帯で動作する周期分極反転素子の作製 / Periodically poled nonlinear optical device for terahertz-wave |
| 6 | TU-057 | レーザ描画装置 | 株式会社イノックス | 井上 智晴 | 2022 | 22TU0005: マイクロレンズアレイ加工 / Micro Lens Array Processing |
| 2 | TU-101 | 酸化炉 | 東北大学電気通信研究所 | 櫻庭 政夫 | 2022 | 22TU0185: SiCポリタイプの同時横方向エピタキシャル成長技術を用いた新規SiCデバイスの実用化 / Practical application of novel SiC devices using simultaneous lateral epitaxial growth technique of SiC polytypes |
| 2 | TU-101 | 酸化炉 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0067: 高精細発光素子のパターニング技術開発 |
| 1 | TU-257 | ワイヤボンダ | 東北大学工学部機械知能航空工学科 | 吉村 悠汰 | 2022 | 22TU0182: ロボコン用ロボットの開発 / Development of robots for robot contest |
| 1 | TU-266 | セミオートワイヤボンダ | 東北大学 大学院理学研究科物理学専攻巨視的量子物性 | 今井 良宗 | 2022 | 22TU0179: ルテニウムハライドの磁気トルク測定系の構築 / Construction of magnetic torque measurement system for ruthenium halides |
| 4 | TU-255 | ディスコ ダイサ | 東北大学大学院工学研究科 | 樫村 祐貴 | 2022 | 22TU0178: 光干渉を用いた力センサ |
| 4 | TU-255 | ディスコ ダイサ | 東北大学大学院工学研究科ロボティクス専攻 | 森 啓悟 | 2022 | 22TU0124: 皮内生体成分計測を目指した光導波路付き極低侵襲針の作製 / Fabrication of minimally invasive needle with optical waveguides for measuring subepidermal biological substances |
| 4 | TU-255 | ディスコ ダイサ | 東北大学未来科学技術共同研究センター | Minh Le Van | 2022 | 22TU0057: IoT for Safety & Security, multi focused ion beam using ion species generated from ionic liquid / IoT for Safety & Security, multi focused ion beam using ion species generated from ionic liquid |
| 4 | TU-255 | ディスコ ダイサ | 理化学研究所テラヘルツ光源研究チーム | 福田 航一 | 2022 | 22TU0007: テラヘルツ帯で動作する周期分極反転素子の作製 / Periodically poled nonlinear optical device for terahertz-wave |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | 住友精密工業株式会社 | 平田 泰之 | 2022 | 22TU0172: KOH溶液によるSiエッチング / Si etching with KOH solution |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0168: シリコン深堀治具作製 / Silicon jig fabricated by deep-RIE etching |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 佐々木 寛充 | 2022 | 22TU0143: 単層フォトレジストによるリフトオフプロセス / Lift-off patterning using single layer photoresist |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | 徳島大学ポストLEDフォトニクス研究所 | 久世 直也 | 2022 | 22TU0137: 低損失微小共振器の作製 / Fabrication of low-loss microresonators |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0067: 高精細発光素子のパターニング技術開発 |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0053: いわて半導体アカデミー社会人向けプロセス実習（初級、中級） / ISA process training for factory employees |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | 大阪大学大学院工学研究科 | 君野 和也 | 2022 | 22TU0047: 回折光学素子の作製 / Fabrication of diffractive optical elements |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | スピンセンシングファクトリー株式会社 | 熊谷 静似 | 2022 | 22TU0026: トンネル磁気抵抗磁気センサーの作製 / Fabrication of Tunnel-Magneto-Resistance Magnetic Sensor |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0021: SMS vacuum wafer-level package for resonator MEMS |
| 10 | TU-063 | i線ステッパ | 信越化学工業㈱ | 丹野 雅行 | 2022 | 22TU0009: 基板上への微細Ａｌ電極作成と基板の評価 / Fabrication of fine pitch Al electrode and evaluation of substrates |
| 3 | TU-203 | DeepRIE装置#3 | 住友精密工業株式会社 | 平田 泰之 | 2022 | 22TU0172: KOH溶液によるSiエッチング / Si etching with KOH solution |
| 3 | TU-203 | DeepRIE装置#3 | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0053: いわて半導体アカデミー社会人向けプロセス実習（初級、中級） / ISA process training for factory employees |
| 3 | TU-203 | DeepRIE装置#3 | 東北大学多元物質科学研究所 | 新家 寛正 | 2022 | 22TU0004: 光学キラリティ極限増強近接場創成に向けたナノインプリントリソグラフィ / Ultraviolet Nanoimprint Lithography towards Creation of Near-Field with Enhanced Optical Chirality |
| 1 | TU-217 | KOHエッチング槽 | 住友精密工業株式会社 | 平田 泰之 | 2022 | 22TU0172: KOH溶液によるSiエッチング / Si etching with KOH solution |
| 2 | TU-326 | Zygo Nexview | 信維通信日本株式会社 | 小出 信行 | 2022 | 22TU0171: 電子部品のプロセス開発 / Process development of electronic components |
| 2 | TU-326 | Zygo Nexview | 東北大学多元物質科学研究所 | 新家 寛正 | 2022 | 22TU0004: 光学キラリティ極限増強近接場創成に向けたナノインプリントリソグラフィ / Ultraviolet Nanoimprint Lithography towards Creation of Near-Field with Enhanced Optical Chirality |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | 慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科 | 筒井 友哉 | 2022 | 22TU0169: 熱駆動マイクロアクチュエータの開発 / Development of electrothermal micro-actuator |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | ミツミ電機株式会社 | 山本 洋太 | 2022 | 22TU0111: 次世代センサの開発 / Fabrication of airflow sensors |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | 東北大学 大学院工学研究科 | 山田 駿介 | 2022 | 22TU0076: MEMS磁気アクチュエータの作製とハプティックデバイスへの応用 / Study on Magnetic Actuator for Haptic Device |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | 東北大学 大学院工学研究科 | 山田 駿介 | 2022 | 22TU0070: 温度補償共振子の作製 / A Study on Temperature-compensated Resonator |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0067: 高精細発光素子のパターニング技術開発 |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | 株式会社 メムス・コア | 千葉 賢 | 2022 | 22TU0048: MEMSデバイスの加工 / Development of MEMS device |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | 京セラ株式会社 | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0033: 0.18CMOSプロセスで作製可能な低損失、偏波無依存のスポットサイズコンバーターの試作 / Fabrication of low-loss, polarization-independent spot-size converter manufacturable with a o.18µm CMOS process. |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | スピンセンシングファクトリー株式会社 | 熊谷 静似 | 2022 | 22TU0026: トンネル磁気抵抗磁気センサーの作製 / Fabrication of Tunnel-Magneto-Resistance Magnetic Sensor |
| 9 | TU-154 | 住友精密TEOS PECVD | 株式会社 リコー | 南條 健 | 2022 | 22TU0006: デバイス開発 / Development of Devices |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0168: シリコン深堀治具作製 / Silicon jig fabricated by deep-RIE etching |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 東北大学電気通信研究所 | 櫻庭 政夫 | 2022 | 22TU0062: ヘテロ整合界面を有するSiCエピタキシャル成長技術開発とそれを用いたインテリジェントパワーICの実証 / Development of SiC epitaxial growth technology with lattice-matched heterointerfaces and demonstration of intelligent power ICs |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 株式会社CUSIC | 長澤 弘幸 | 2022 | 22TU0060: 炭化珪素基板の新規生産技術開発，デバイス試作とその特性評価 / Development of new production technology for SiC substrate, device fabrication and its evaluation |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0053: いわて半導体アカデミー社会人向けプロセス実習（初級、中級） / ISA process training for factory employees |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0051: いわて半導体アカデミー大学生向けプロセス実習 / ISA process training for U1-students |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 大阪大学大学院工学研究科 | 君野 和也 | 2022 | 22TU0047: 回折光学素子の作製 / Fabrication of diffractive optical elements |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0022: 圧電MEMSスピーカ開発 / piezo-MEMS speaker development |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0021: SMS vacuum wafer-level package for resonator MEMS |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0020: ポリマー圧電MEMSデバイスの応用研究 / Polymer piezo-MEMS actuator development |
| 10 | TU-310 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 | 株式会社イノックス | 井上 智晴 | 2022 | 22TU0005: マイクロレンズアレイ加工 / Micro Lens Array Processing |
| 1 | TU-061 | スピン乾燥機 | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0168: シリコン深堀治具作製 / Silicon jig fabricated by deep-RIE etching |
| 3 | TU-065 | エリオニクス 50kV EB描画装置 | 東北大学大学院理学研究科 | 中川原 圭太 | 2022 | 22TU0161: 量子ポイントコンタクトデバイスの作製 / Fabrication of quantum point contact device |
| 3 | TU-065 | エリオニクス 50kV EB描画装置 | 公立大学法人富山県立大学 工学部電気電子工学科 | 大寺 康夫 | 2022 | 22TU0126: 光波センシングのためのフォトニック・ナノ構造の創製 / Fabrication of Photonic Nanostructures for Optical Sensing |
| 3 | TU-065 | エリオニクス 50kV EB描画装置 | 東北大学 大学院工学研究科 | 加藤 俊顕 | 2022 | 22TU0056: 2次元シートデバイスの開発 / Development of 2D sheet device |
| 5 | TU-159 | 芝浦スパッタ装置（冷却型） | 東北大学多元物質科学研究所 | 關 義親 | 2022 | 22TU0159: 中性子用回折格子の開発 / Development of gratings for neutron beams |
| 5 | TU-159 | 芝浦スパッタ装置（冷却型） | Mipox株式会社 | 大橋 達也 | 2022 | 22TU0134: 半導体ウェハ加工技術の開発 |
| 5 | TU-159 | 芝浦スパッタ装置（冷却型） | 東北大学大学院環境科学研究科 | 昆沙賀 菜々子 | 2022 | 22TU0085: 固体酸化物形電解セル（SOEC）を用いた共電解における燃料極 / Fuel electrode in co-electrolysis using solid oxide electrolysis cell (SOEC) |
| 5 | TU-159 | 芝浦スパッタ装置（冷却型） | センスチップ株式会社 | 伊藤 隆広 | 2022 | 22TU0081: エンドトキシン測定用くし形電極の開発 / Development of comb electrodes for endotoxin measurement |
| 5 | TU-159 | 芝浦スパッタ装置（冷却型） | 京セラ株式会社 | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0033: 0.18CMOSプロセスで作製可能な低損失、偏波無依存のスポットサイズコンバーターの試作 / Fabrication of low-loss, polarization-independent spot-size converter manufacturable with a o.18µm CMOS process. |
| 2 | TU-316 | JEOL FE-SEM | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 古林 庸子 | 2022 | 22TU0157: レジストの形状観察 / Shape Observation of photoresist |
| 2 | TU-316 | JEOL FE-SEM | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 佐々木 寛充 | 2022 | 22TU0143: 単層フォトレジストによるリフトオフプロセス / Lift-off patterning using single layer photoresist |
| 7 | TU-052 | アクテス スピンコータ#1 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 古林 庸子 | 2022 | 22TU0157: レジストの形状観察 / Shape Observation of photoresist |
| 7 | TU-052 | アクテス スピンコータ#1 | 名城大学理工学部メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TU0125: MEMSフィジカルセンサの微細構造作製 / Microstructure fabrication of MEMS physical sensors |
| 7 | TU-052 | アクテス スピンコータ#1 | 東北大学多元物質科学研究所 | 押切 友也 | 2022 | 22TU0119: Fabrication of nanodevices for electron transfer measurements |
| 7 | TU-052 | アクテス スピンコータ#1 | 大阪大学大学院工学研究科 | 平原 佳織 | 2022 | 22TU0072: カーボンナノチューブ１本レベルの熱動態計測のためのMEMSヒータ作製 / Fabrication of a MEMS heater for the measurement of thermal characteristics of individual carbon nanotubes |
| 7 | TU-052 | アクテス スピンコータ#1 | Microsystem Integration Center, Tohoku University | Van Toan Nguyen | 2022 | 22TU0061: Thermoelectric generators for self-powered sensing system |
| 7 | TU-052 | アクテス スピンコータ#1 | 東京工芸大学 工学部 工学科 | 曽根 順治 | 2022 | 22TU0019: Development of Tactile device and piezoelectric film deposition |
| 7 | TU-052 | アクテス スピンコータ#1 | ナルックス株式会社 | 西牧 真木夫 | 2022 | 22TU0018: 微細構造体の作製技術開発 / Development of microstructure fabrication technology |
| 1 | TU-309 | 赤外線顕微鏡 | セイコーエプソン株式会社 | 瀧澤 照夫 | 2022 | 22TU0155: ウエハ接合の実用化技術 / Technology for Practical Application of Wafer Bonding |
| 6 | TU-215 | イオンミリング装置 | 日本特殊陶業株式会社 | 塙 裕一郎 | 2022 | 22TU0149: シリコンセンサの開発 / Development of silicon sensor |
| 6 | TU-215 | イオンミリング装置 | 石巻専修大学 理工学部 情報電子工学科 | 中込 真二 | 2022 | 22TU0096: microfabrication of NiO on Ga2O3 |
| 6 | TU-215 | イオンミリング装置 | 東北大学 工学研究科 (雨澤研究室) | チョウ タク | 2022 | 22TU0059: セラミックス薄膜微小パターン作成のための微細加工 / Micro Processing for Fabricating Patterns on Ceramics Films |
| 6 | TU-215 | イオンミリング装置 | スピンセンシングファクトリー株式会社 | 熊谷 静似 | 2022 | 22TU0026: トンネル磁気抵抗磁気センサーの作製 / Fabrication of Tunnel-Magneto-Resistance Magnetic Sensor |
| 6 | TU-215 | イオンミリング装置 | リバーエレテック株式会社 | 丸山 春樹 | 2022 | 22TU0012: 新カット水晶Ｌａｍｂ波レゾネータの開発 / Development of new-cut crystal lamb-wave resonator |
| 6 | TU-215 | イオンミリング装置 | 東北大学多元物質科学研究所 | 中川 勝 | 2022 | 22TU0003: ナノインプリント材料とプロセスの開発 / Development of materials and processes for nanoimprint |
| 2 | TU-164 | 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置 | 日本特殊陶業株式会社 | 塙 裕一郎 | 2022 | 22TU0149: シリコンセンサの開発 / Development of silicon sensor |
| 2 | TU-164 | 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置 | 東北大学大学院工学研究院 | Vergara Andrea | 2022 | 22TU0069: 圧電薄膜MEMSデバイス開発 / Development of thin film piezoelectric MEMS devices |
| 2 | TU-167 | 電子ビーム蒸着装置 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 佐々木 寛充 | 2022 | 22TU0143: 単層フォトレジストによるリフトオフプロセス / Lift-off patterning using single layer photoresist |
| 2 | TU-167 | 電子ビーム蒸着装置 | 東北大学大学院工学研究科 | 門田 道雄 | 2022 | 22TU0039: 超高周波弾性波デバイスの開発 / Research of Ultra-high Frequency Acoustic Devices |
| 1 | TU-306 | Tencor 段差計 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 佐々木 寛充 | 2022 | 22TU0143: 単層フォトレジストによるリフトオフプロセス / Lift-off patterning using single layer photoresist |
| 5 | TU-064 | エリオニクス 130kV EB描画装置 | 東北大学大学院理学研究科 | 松原 正和 | 2022 | 22TU0142: 対称性を制御した光メタマテリアルの作製 / Fabrication of Symmetry-Controlled Optical Metamaterials |
| 5 | TU-064 | エリオニクス 130kV EB描画装置 | 東北大学多元物質科学研究所 | 押切 友也 | 2022 | 22TU0119: Fabrication of nanodevices for electron transfer measurements |
| 5 | TU-064 | エリオニクス 130kV EB描画装置 | 東北大学大学院工学研究科 | 清水 信 | 2022 | 22TU0071: レクテナを用いた赤外光エネルギー利用 / Infrared Energy Utilization by Rectenna |
| 5 | TU-064 | エリオニクス 130kV EB描画装置 | 東北大学大学院工学研究科 | 門田 道雄 | 2022 | 22TU0039: 超高周波弾性波デバイスの開発 / Research of Ultra-high Frequency Acoustic Devices |
| 5 | TU-064 | エリオニクス 130kV EB描画装置 | 京セラ株式会社 | 杉田 丈也 | 2022 | 22TU0033: 0.18CMOSプロセスで作製可能な低損失、偏波無依存のスポットサイズコンバーターの試作 / Fabrication of low-loss, polarization-independent spot-size converter manufacturable with a o.18µm CMOS process. |
| 3 | TU-053 | アクテス スピンコータ#2 | 新電元工業株式会社 | 吉田 賢一 | 2022 | 22TU0141: 7インチマスクへのレジストコート / Resist coat on 7 inch mask |
| 3 | TU-053 | アクテス スピンコータ#2 | 株式会社シンクロン | 菅田 博雅 | 2022 | 22TU0083: 絶縁膜の耐電圧特性評価 / Withstand voltage test of insulating film |
| 3 | TU-053 | アクテス スピンコータ#2 | スピンセンシングファクトリー株式会社 | 熊谷 静似 | 2022 | 22TU0026: トンネル磁気抵抗磁気センサーの作製 / Fabrication of Tunnel-Magneto-Resistance Magnetic Sensor |
| 1 | TU-259 | サンドブラスト | 山形大学 理工学研究科(工学部) | 峯田 貴 | 2022 | 22TU0138: MEMSアレイ触覚デバイス開発 / Development of MEMS-array tactile devices |
| 7 | TU-158 | 芝浦スパッタ装置（加熱型） | Mipox株式会社 | 大橋 達也 | 2022 | 22TU0134: 半導体ウェハ加工技術の開発 |
| 7 | TU-158 | 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | Froemel Joerg | 2022 | 22TU0109: MEMS device technology development |
| 7 | TU-158 | 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 株式会社シンクロン | 菅田 博雅 | 2022 | 22TU0083: 絶縁膜の耐電圧特性評価 / Withstand voltage test of insulating film |
| 7 | TU-158 | 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 東北大学大学院工学研究科 | 清水 信 | 2022 | 22TU0071: レクテナを用いた赤外光エネルギー利用 / Infrared Energy Utilization by Rectenna |
| 7 | TU-158 | 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0051: いわて半導体アカデミー大学生向けプロセス実習 / ISA process training for U1-students |
| 7 | TU-158 | 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 東北大学 未来科学技術共同研究センター | 福島 誉史 | 2022 | 22TU0029: 情報環境（インフォスフィア）調和型 自己組織化ヘテロ集積システムの開発 / Research and Development of 3D LSI |
| 7 | TU-158 | 芝浦スパッタ装置（加熱型） | 株式会社マイクロジェット | 上野 明 | 2022 | 22TU0008: マイクロポンプの開発 / Development of micropump |
| 2 | TU-313 | マイクロX線CT | 東北大学 大学院環境科学研究科 | 栗田 大樹 | 2022 | 22TU0133: 歪FeCo粒子分散ポリウレタンの内部構造評価 / Microstructure characterization of magnetostrictive FeCo alloy particle dispersed poly-urethane matrix composite |
| 2 | TU-313 | マイクロX線CT | 東北大学工学研究科都市・建築学専攻 | 西脇 智哉 | 2022 | 22TU0123: コンクリート3Dプリンタの層間補強に関する研究 / Study on Interlayer Reinforcement of Concrete 3D Printing |
| 3 | TU-055 | クリーンオーブン | 名城大学理工学部メカトロニクス工学科 | 畑 良幸 | 2022 | 22TU0125: MEMSフィジカルセンサの微細構造作製 / Microstructure fabrication of MEMS physical sensors |
| 3 | TU-055 | クリーンオーブン | 大阪大学大学院工学研究科 | 平原 佳織 | 2022 | 22TU0072: カーボンナノチューブ１本レベルの熱動態計測のためのMEMSヒータ作製 / Fabrication of a MEMS heater for the measurement of thermal characteristics of individual carbon nanotubes |
| 3 | TU-055 | クリーンオーブン | 東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センター | 矢代 航 | 2022 | 22TU0045: Fabrication of X-ray optics for millisecond X-ray tomography |
| 5 | TU-153 | 住友精密PECVD | ミツミ電機株式会社 | 山本 洋太 | 2022 | 22TU0111: 次世代センサの開発 / Fabrication of airflow sensors |
| 5 | TU-153 | 住友精密PECVD | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0110: SAWデバイスの開発 / Development of Surface Acoustic Wave Devices |
| 5 | TU-153 | 住友精密PECVD | 株式会社 メムス・コア | 千葉 賢 | 2022 | 22TU0048: MEMSデバイスの加工 / Development of MEMS device |
| 5 | TU-153 | 住友精密PECVD | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0022: 圧電MEMSスピーカ開発 / piezo-MEMS speaker development |
| 5 | TU-153 | 住友精密PECVD | 東北大学多元物質科学研究所 | 新家 寛正 | 2022 | 22TU0004: 光学キラリティ極限増強近接場創成に向けたナノインプリントリソグラフィ / Ultraviolet Nanoimprint Lithography towards Creation of Near-Field with Enhanced Optical Chirality |
| 6 | TU-216 | Vapor HFエッチング装置 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | Froemel Joerg | 2022 | 22TU0109: MEMS device technology development |
| 6 | TU-216 | Vapor HFエッチング装置 | ミツミ電機株式会社 | 丸山 佑紀 | 2022 | 22TU0104: 圧電MEMSデバイスの開発 / Development of piezoelectric MEMS devices |
| 6 | TU-216 | Vapor HFエッチング装置 | 東北大学 | 塚本 貴城 | 2022 | 22TU0090: MEMSジャイロスコープの開発 / Development of MEMS gyroscope |
| 6 | TU-216 | Vapor HFエッチング装置 | ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 | 宮下 英俊 | 2022 | 22TU0089: 高真空ウェハレベルパッケージングを適用したMEMSセンサーの研究開発 / The research of the MEMS sensors applying high vacuum wafer level packaging |
| 6 | TU-216 | Vapor HFエッチング装置 | 東北大学大学院工学研究科 | 田中 秀治 | 2022 | 22TU0074: 光通信用MEMSデバイスの開発 / MEMS device development for optical communications |
| 6 | TU-216 | Vapor HFエッチング装置 | 東京大学生産技術研究所 | 柳澤 亮人 | 2022 | 22TU0025: 平面型熱電発電素子のシリコン酸化膜犠牲層エッチング / Sacrificial layer etching of SiO2 for planar-type TEG |
| 2 | TU-059 | スプレー現像装置 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | Froemel Joerg | 2022 | 22TU0109: MEMS device technology development |
| 2 | TU-059 | スプレー現像装置 | 信越化学工業㈱ | 丹野 雅行 | 2022 | 22TU0009: 基板上への微細Ａｌ電極作成と基板の評価 / Fabrication of fine pitch Al electrode and evaluation of substrates |
| 1 | TU-169 | 多元材料原子層堆積(ALD)装置 | 東北大学電気通信研究所 | 但木 大介 | 2022 | 22TU0094: ALDを用いた酸化チタンナノチューブ薄膜への貴金属成膜 / Noble metal deposition on TiO2nanotube thin films using ALD |
| 2 | TU-108 | 水素アニール装置 | 東京都立大学大学院理学研究科物理学専攻 | 江副 祐一郎 | 2022 | 22TU0088: 超長時間アニールを用いた宇宙用X線全反射鏡の平滑化の研究 / Ultra long-term annealing for smoothing total X-ray reflection mirrors |
| 2 | TU-108 | 水素アニール装置 | 東北大学大学院工学研究院 | 金森 義明 | 2022 | 22TU0077: メタマテリアル製作のための微細加工技術 / Microfabrication technology for metamaterial fabrication |
| 1 | TU-254 | EVG プラズマ活性化装置 | 理化学研究所 | Wang Li | 2022 | 22TU0087: テラヘルツ帯量子カスケードレーザー導波路作製 / THz-QCL device fabrication |
| 5 | TU-314 | 熱電子SEM | センスチップ株式会社 | 伊藤 隆広 | 2022 | 22TU0081: エンドトキシン測定用くし形電極の開発 / Development of comb electrodes for endotoxin measurement |
| 5 | TU-314 | 熱電子SEM | 株式会社 RSテクノロジーズ | 柴山 也 | 2022 | 22TU0043: Elemental analysis of thin film |
| 5 | TU-314 | 熱電子SEM | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 吉田 知也 | 2022 | 22TU0030: シリコン光カプラの開発 / Development of silicon optical coupler |
| 5 | TU-314 | 熱電子SEM | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0020: ポリマー圧電MEMSデバイスの応用研究 / Polymer piezo-MEMS actuator development |
| 5 | TU-314 | 熱電子SEM | ナルックス株式会社 | 西牧 真木夫 | 2022 | 22TU0018: 微細構造体の作製技術開発 / Development of microstructure fabrication technology |
| 5 | TU-206 | アルバックICP-RIE#2 | 東北大学大学院工学研究科 | 田中 秀治 | 2022 | 22TU0074: 光通信用MEMSデバイスの開発 / MEMS device development for optical communications |
| 5 | TU-206 | アルバックICP-RIE#2 | 東北大学大学院工学研究科 | 清水 信 | 2022 | 22TU0071: レクテナを用いた赤外光エネルギー利用 / Infrared Energy Utilization by Rectenna |
| 5 | TU-206 | アルバックICP-RIE#2 | 東北大学大学院工学研究院 | Vergara Andrea | 2022 | 22TU0069: 圧電薄膜MEMSデバイス開発 / Development of thin film piezoelectric MEMS devices |
| 5 | TU-206 | アルバックICP-RIE#2 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0021: SMS vacuum wafer-level package for resonator MEMS |
| 5 | TU-206 | アルバックICP-RIE#2 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0020: ポリマー圧電MEMSデバイスの応用研究 / Polymer piezo-MEMS actuator development |
| 6 | TU-202 | DeepRIE装置#2 | 東北大学大学院工学研究科 | 田中 秀治 | 2022 | 22TU0074: 光通信用MEMSデバイスの開発 / MEMS device development for optical communications |
| 6 | TU-202 | DeepRIE装置#2 | 大阪大学大学院工学研究科 | 平原 佳織 | 2022 | 22TU0072: カーボンナノチューブ１本レベルの熱動態計測のためのMEMSヒータ作製 / Fabrication of a MEMS heater for the measurement of thermal characteristics of individual carbon nanotubes |
| 6 | TU-202 | DeepRIE装置#2 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0022: 圧電MEMSスピーカ開発 / piezo-MEMS speaker development |
| 6 | TU-202 | DeepRIE装置#2 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0021: SMS vacuum wafer-level package for resonator MEMS |
| 6 | TU-202 | DeepRIE装置#2 | 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター | 鈴木 裕輝夫 | 2022 | 22TU0020: ポリマー圧電MEMSデバイスの応用研究 / Polymer piezo-MEMS actuator development |
| 6 | TU-202 | DeepRIE装置#2 | 東北大学多元物質科学研究所 | 中川 勝 | 2022 | 22TU0003: ナノインプリント材料とプロセスの開発 / Development of materials and processes for nanoimprint |
| 1 | TU-003 | リン酸槽 | 大阪大学大学院工学研究科 | 平原 佳織 | 2022 | 22TU0072: カーボンナノチューブ１本レベルの熱動態計測のためのMEMSヒータ作製 / Fabrication of a MEMS heater for the measurement of thermal characteristics of individual carbon nanotubes |
| 1 | TU-170 | ゾルゲル自動成膜装置 | 東北大学大学院工学研究院 | Vergara Andrea | 2022 | 22TU0069: 圧電薄膜MEMSデバイス開発 / Development of thin film piezoelectric MEMS devices |
| 3 | TU-062 | コータデベロッパ | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 辻埜 和也 | 2022 | 22TU0067: 高精細発光素子のパターニング技術開発 |
| 3 | TU-062 | コータデベロッパ | 大阪大学大学院工学研究科 | 君野 和也 | 2022 | 22TU0047: 回折光学素子の作製 / Fabrication of diffractive optical elements |
| 3 | TU-062 | コータデベロッパ | 信越化学工業㈱ | 丹野 雅行 | 2022 | 22TU0009: 基板上への微細Ａｌ電極作成と基板の評価 / Fabrication of fine pitch Al electrode and evaluation of substrates |
| 1 | TU-166 | 球面成膜用スパッタ装置 | ボールウェーブ株式会社 | 赤尾 慎吾 | 2022 | 22TU0066: ボールSAWセンサの社会実装 / Social implementation of ball SAW sensors |
| 1 | TU-068 | 球面露光装置 | ボールウェーブ株式会社 | 赤尾 慎吾 | 2022 | 22TU0066: ボールSAWセンサの社会実装 / Social implementation of ball SAW sensors |
| 2 | TU-152 | 熱CVD | 東北大学電気通信研究所 | 櫻庭 政夫 | 2022 | 22TU0062: ヘテロ整合界面を有するSiCエピタキシャル成長技術開発とそれを用いたインテリジェントパワーICの実証 / Development of SiC epitaxial growth technology with lattice-matched heterointerfaces and demonstration of intelligent power ICs |
| 2 | TU-152 | 熱CVD | 株式会社CUSIC | 長澤 弘幸 | 2022 | 22TU0060: 炭化珪素基板の新規生産技術開発，デバイス試作とその特性評価 / Development of new production technology for SiC substrate, device fabrication and its evaluation |
| 1 | TU-268 | 光造形3Dプリンター | Microsystem Integration Center, Tohoku University | Van Toan Nguyen | 2022 | 22TU0061: Thermoelectric generators for self-powered sensing system |
| 3 | TU-207 | アルバック多用途RIE装置 | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0053: いわて半導体アカデミー社会人向けプロセス実習（初級、中級） / ISA process training for factory employees |
| 3 | TU-207 | アルバック多用途RIE装置 | 岩手大学 生産技術研究センター | 梅木 和博 | 2022 | 22TU0051: いわて半導体アカデミー大学生向けプロセス実習 / ISA process training for U1-students |
| 3 | TU-207 | アルバック多用途RIE装置 | 信越化学工業㈱ | 丹野 雅行 | 2022 | 22TU0009: 基板上への微細Ａｌ電極作成と基板の評価 / Fabrication of fine pitch Al electrode and evaluation of substrates |
| 1 | TU-302 | 膜厚計 | 株式会社 メムス・コア | 千葉 賢 | 2022 | 22TU0048: MEMSデバイスの加工 / Development of MEMS device |
| 1 | TU-312 | 超音波顕微鏡 | 福島県ハイテクプラザ | 小野 裕道 | 2022 | 22TU0046: バイパスダイオード内蔵太陽光発電モジュールに関する研究 / Research on Photovoltaic Modules with Built-in Bypass Diodes |
| 1 | TU-212 | アルバック アッシング装置 | スピンセンシングファクトリー株式会社 | 熊谷 静似 | 2022 | 22TU0026: トンネル磁気抵抗磁気センサーの作製 / Fabrication of Tunnel-Magneto-Resistance Magnetic Sensor |
| 1 | TU-162 | ECRロングスロースパッタ | ティーイーアイソリューションズ株式会社 | 古賀 拓哉 | 2022 | 22TU0013: ECRスパッタ装置によるAuスパッタ / Au sputtering by ECR sputtering equipment |
| 1 | TU-319 | パーク・システムズAFM | 東北大学多元物質科学研究所 | 新家 寛正 | 2022 | 22TU0004: 光学キラリティ極限増強近接場創成に向けたナノインプリントリソグラフィ / Ultraviolet Nanoimprint Lithography towards Creation of Near-Field with Enhanced Optical Chirality |
| 1 | TU-608 | CHN有機微量元素分析装置 | 東京電機大学大学院 工学研究科 | 手代木 颯 | 2022 | 22TU0181: 層状ケイ酸塩-アゾベンゼン複合体の光異性化 |
| 2 | TU-502 | 超高分解能分析電子顕微鏡 | 京都大学大学院 工学研究科 | 小西 伸弥 | 2022 | 22TU0151: Tm-Fe-Oナノ粒子の原子変位の観察 |
| 2 | TU-502 | 超高分解能分析電子顕微鏡 | 秋田大学大学院 理工学研究科 | 齋藤 嘉一 | 2022 | 22TU0113: Mg-RE系ならびにCu-Ti系合金の時効析出組織 |
| 1 | TU-510 | イオンミリング装置 | 東北大学 金属材料研究所 | 佐藤 充孝 | 2022 | 22TU0150: 窒素鋼の逆変態時に析出する合金窒化物の構造解析 |
| 2 | TU-515 | 高出力全自動水平型多目的X線回折装置 | 東北大学 工学研究科 | 木村 由斉 | 2022 | 22TU0146: 酸化物半導体センサデバイスの開発 |
| 2 | TU-515 | 高出力全自動水平型多目的X線回折装置 | 株式会社タカコ 滋賀工場 設備工法部 | 宮本 優 | 2022 | 22TU0034: 新規表面改質鋼の構造解析 |
| 1 | TU-506 | 低加速高分解能走査電子顕微鏡 | 東北大学 工学研究科 | 菊池 洋平 | 2022 | 22TU0086: 量子ビームを用いた生体操作技術のための物質開発 |
| 2 | TU-503 | 超高分解能分析電子顕微鏡 | 東北大学 工学研究科 | 菊池 洋平 | 2022 | 22TU0086: 量子ビームを用いた生体操作技術のための物質開発 |
| 2 | TU-503 | 超高分解能分析電子顕微鏡 | 株式会社デンソー 先端技術研究所 マテリアル研究部 | 渡部 英治 | 2022 | 22TU0052: 磁性ナノ粒子を用いたコールドスプレー膜の微細構造評価 |
| 1 | TU-516 | 分析電子顕微鏡 | 産業技術総合研究所 オープンイノベーションラボラトリ | Louzguine Dmitri Valentinovich | 2022 | 22TU0027: Crystallization behavior of metallic glasses |
| 1 | CT-031 | 屈折率測定装置（プリズムカプラ） | 公立千歳科学技術大学 | 谷尾 宣久 | 2022 | 22CT0103: 高純度透明ポリマーの作製と透明性評価 |
| 6 | CT-010 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 公立千歳科学技術大学理工学部電子光工学科 | 山中 明生 | 2022 | 22CT0214: 酸化ガリウム結晶への金属添加効果の研究 |
| 6 | CT-010 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0204: バイオ高分子材料の開発 |
| 6 | CT-010 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0203: 昆虫のバイオミメティクス |
| 6 | CT-010 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0202: マイクロプラスチックの研究 |
| 6 | CT-010 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 株式会社加藤バイオマステクノロジー | 加藤 進 | 2022 | 22CT0131: トド松のKSE機械解繊により得られたKSEセルロースの特性検証 |
| 6 | CT-010 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | 大村塗料株式会社 | 大村 善彦 | 2022 | 22CT0118: 架橋された再生セルロースの応用 |
| 7 | CT-005 | 核磁気共鳴装置（NMR） | 北海道大学工学研究院 | 北垣 亮馬 | 2022 | 22CT0213: セメント系材料と高分子の相互作用の評価に関する研究 |
| 7 | CT-005 | 核磁気共鳴装置（NMR） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 堀野 良和 | 2022 | 22CT0139: アルキニルスズの活性化を駆動力とする新規アレニリデン錯体の発生と触媒反応への応用 |
| 7 | CT-005 | 核磁気共鳴装置（NMR） | 産業技術総合研究所 生物プロセス研究部門 | 蟹江 秀星 | 2022 | 22CT0129: 生体関連分子の直接的かつ高感度な蛍光および発光検出を目指した化合物の創成 |
| 7 | CT-005 | 核磁気共鳴装置（NMR） | 京都大学大学院理学研究科 | 嶋田 知生 | 2022 | 22CT0087: 気孔形成に影響を与える化合物Bubblin の誘導体の合成 |
| 7 | CT-005 | 核磁気共鳴装置（NMR） | 北海道曹達株式会社 | 夛田 量宏 | 2022 | 22CT0075: 異物の分析 |
| 7 | CT-005 | 核磁気共鳴装置（NMR） | 株式会社機能性植物研究所 | 樋口 央紀 | 2022 | 22CT0071: 31P NMRを用いたリン脂質の定量分析法の開発 |
| 7 | CT-005 | 核磁気共鳴装置（NMR） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 坂井 賢一 | 2022 | 22CT0019: 自己組織化のためのアンカー部位を連結したサリチル酸メチル誘導体の開発 |
| 2 | CT-003 | ラマンイメージング | 米子工業高等専門学校 総合工学科 化学・バイオ部門 | 谷藤 尚貴 | 2022 | 22CT0212: Ultra-High-Capacity Lithium Metal Batteries Based on Multi-electron Redox Reaction of Organopolysulfides including Conductive Organic Moieties |
| 2 | CT-003 | ラマンイメージング | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 木村須田 廣美 | 2022 | 22CT0207: 骨質の評価 |
| 2 | CT-028 | 液体クロマトグラフィー質量分析計（LC/MS） | 道央農業協同組合 | 今村 隆徳 | 2022 | 22CT0210: ブロッコリーの臭い分析 |
| 2 | CT-028 | 液体クロマトグラフィー質量分析計（LC/MS） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 堀野 良和 | 2022 | 22CT0139: アルキニルスズの活性化を駆動力とする新規アレニリデン錯体の発生と触媒反応への応用 |
| 1 | CT-004 | 顕微ラマン分光 | 茨城大学大学院理工学研究科 | 小貫 哲平 | 2022 | 22CT0209: 近赤外線Raman顕微鏡による赤外線半導体材料の表面品質計測定評価の検討 |
| 6 | CT-002 | フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡 | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 木村須田 廣美 | 2022 | 22CT0207: 骨質の評価 |
| 6 | CT-002 | フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡 | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0203: 昆虫のバイオミメティクス |
| 6 | CT-002 | フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡 | 酪農学園大学農食環境学群食と健康学類 | 川端 庸平 | 2022 | 22CT0134: チョコレート油脂の結晶多型に対するせん断流動の効果 |
| 6 | CT-002 | フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡 | 東北大学大学院農学部研究科 | 加藤 健太郎 | 2022 | 22CT0085: 金属ナノ粒子のアミノ酸修飾の確認 |
| 6 | CT-002 | フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡 | 北海道曹達株式会社 | 夛田 量宏 | 2022 | 22CT0075: 異物の分析 |
| 6 | CT-002 | フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡 | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 高田 知哉 | 2022 | 22CT0053: 炭素系素材および関連素材を利用する新材料の創製 |
| 4 | CT-008 | 蛍光顕微鏡 | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0204: バイオ高分子材料の開発 |
| 4 | CT-008 | 蛍光顕微鏡 | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0203: 昆虫のバイオミメティクス |
| 4 | CT-008 | 蛍光顕微鏡 | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0202: マイクロプラスチックの研究 |
| 4 | CT-008 | 蛍光顕微鏡 | 株式会社加藤バイオマステクノロジー | 加藤 進 | 2022 | 22CT0131: トド松のKSE機械解繊により得られたKSEセルロースの特性検証 |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0204: バイオ高分子材料の開発 |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0202: マイクロプラスチックの研究 |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 平井 悠司 | 2022 | 22CT0201: 新規微細構造材料の作製と機能性評価 |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 株式会社加藤バイオマステクノロジー | 加藤 進 | 2022 | 22CT0131: トド松のKSE機械解繊により得られたKSEセルロースの特性検証 |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 北海道医療大学歯学部歯学科 | スニガエレディア エンリケ エズラ | 2022 | 22CT0126: Evaluation of Enamel Remineralization Potential of Borate Bioactive Glasses |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 東北大学大学院農学部研究科 | 加藤 健太郎 | 2022 | 22CT0085: 金属ナノ粒子のアミノ酸修飾の確認 |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 北海道曹達株式会社 | 夛田 量宏 | 2022 | 22CT0075: 異物の分析 |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 小樽商科大学商学部一般教育系 | 沼田 ゆかり | 2022 | 22CT0031: バクテリアセルロース/多糖複合膜の調製と物性および構造評価 |
| 9 | CT-011 | 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） | 北海道医療大学歯学部 口腔構造・機能発育学系小児歯科学講座 | 倉重 圭史 | 2022 | 22CT0014: 象牙質知覚過敏抑制材による象牙質の再石灰化及び象牙細管封鎖性の評価 |
| 3 | CT-020 | 熱重量測定装置（TGA） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0204: バイオ高分子材料の開発 |
| 3 | CT-020 | 熱重量測定装置（TGA） | 北海道医療大学歯学部歯学科 | スニガエレディア エンリケ エズラ | 2022 | 22CT0126: Evaluation of Enamel Remineralization Potential of Borate Bioactive Glasses |
| 3 | CT-020 | 熱重量測定装置（TGA） | 北海道医療大学薬学部 | 佐々木 隆浩 | 2022 | 22CT0101: 細胞内送達ナノキャリアのためのナノ材料の合成および材料特性評価 |
| 6 | CT-012 | 透過型電子顕微鏡（TEM） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | カートハウス オラフ | 2022 | 22CT0203: 昆虫のバイオミメティクス |
| 6 | CT-012 | 透過型電子顕微鏡（TEM） | 北海道医療大学歯学部歯学科 | スニガエレディア エンリケ エズラ | 2022 | 22CT0126: Evaluation of Enamel Remineralization Potential of Borate Bioactive Glasses |
| 6 | CT-012 | 透過型電子顕微鏡（TEM） | 室蘭工業大学大学院工学研究科 | 矢島 由佳 | 2022 | 22CT0119: 変形菌の子実体形成過程の解析 |
| 6 | CT-012 | 透過型電子顕微鏡（TEM） | 北海道医療大学薬学部 | 佐々木 隆浩 | 2022 | 22CT0101: 細胞内送達ナノキャリアのためのナノ材料の合成および材料特性評価 |
| 6 | CT-012 | 透過型電子顕微鏡（TEM） | 東北大学大学院農学部研究科 | 加藤 健太郎 | 2022 | 22CT0085: 金属ナノ粒子のアミノ酸修飾の確認 |
| 6 | CT-012 | 透過型電子顕微鏡（TEM） | 室蘭工業大学しくみ解明系領域化学生物工学ユニット | 徳樂 清孝 | 2022 | 22CT0078: アミロイド凝集体の観察と凝集阻害物質の探索 |
| 2 | CT-001 | 紫外可視近赤外分光光度計 | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 梅村 信弘 | 2022 | 22CT0137: 深紫外線パルスレーザーによる大腸菌の殺菌効果の検証 |
| 2 | CT-001 | 紫外可視近赤外分光光度計 | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 川辺 豊 | 2022 | 22CT0063: 生体材料および高分子材料中における光機能色素分子の動的挙動に関する研究 |
| 1 | CT-016 | X線小角散乱装置（SAXS) | 酪農学園大学農食環境学群食と健康学類 | 川端 庸平 | 2022 | 22CT0134: チョコレート油脂の結晶多型に対するせん断流動の効果 |
| 1 | CT-023 | サイズ排除クロマトグラフィー分析システム | 室蘭工業大学しくみ解明系領域化学生物工学ユニット | 馬渡 康輝 | 2022 | 22CT0122: 環境低負荷な新規高分子材料の合成法の開発と構造解析 |
| 1 | CT-006 | 円二色性分散計 （CD) | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 川辺 豊 | 2022 | 22CT0063: 生体材料および高分子材料中における光機能色素分子の動的挙動に関する研究 |
| 1 | CT-017 | 触針式表面形状測定器（Dektak） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 川辺 豊 | 2022 | 22CT0063: 生体材料および高分子材料中における光機能色素分子の動的挙動に関する研究 |
| 1 | CT-015 | X線回折装置（XRD） | 公立千歳科学技術大学理工学部応用化学生物学科 | 高田 知哉 | 2022 | 22CT0053: 炭素系素材および関連素材を利用する新材料の創製 |
| 6 | HK-616 | 原子層堆積装置 | 北海道大学 | 松尾 保孝 | 2022 | 22HK9004: ALD成膜テストデータの取得 (NPF ALDデータベースシステムとの連携) |
| 6 | HK-616 | 原子層堆積装置 | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0104: プラズモン／層状化合物ナノ構造の分光特性 |
| 6 | HK-616 | 原子層堆積装置 | 徳島大学大学院創成科学研究科理工学専攻光システムコース | 鶴崎 勇斗 | 2022 | 22HK0100: 酸化チタン被覆金ナノ粒子配列体薄膜における活性酸素発生効率の膜厚依存性 |
| 6 | HK-616 | 原子層堆積装置 | Hokkaido University, RIES | Liu Yen-En | 2022 | 22HK0097: Visualization of quantum coherence under modal strong coupling |
| 6 | HK-616 | 原子層堆積装置 | Harbin Institute of Technology | Zhao Shuo | 2022 | 22HK0095: Fabricating NiO photocathode under strong coupling for photoreduction reaction |
| 6 | HK-616 | 原子層堆積装置 | 株式会社 トプコン | 芳賀 健士郎 | 2022 | 22HK0092: ガラスITO基板上へのALD成膜 |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | 北海道大学 | 松尾 保孝 | 2022 | 22HK9004: ALD成膜テストデータの取得 (NPF ALDデータベースシステムとの連携) |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | 北海道大学 | 太田 裕道 | 2022 | 22HK0108: 高移動度透明アモルファス酸化物半導体薄膜トランジスタの熱電能変調解析 |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | 徳島大学大学院創成科学研究科理工学専攻光システムコース | 鶴崎 勇斗 | 2022 | 22HK0100: 酸化チタン被覆金ナノ粒子配列体薄膜における活性酸素発生効率の膜厚依存性 |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | Hokkaido University, RIES | Liu Yen-En | 2022 | 22HK0097: Visualization of quantum coherence under modal strong coupling |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | 株式会社 トプコン | 芳賀 健士郎 | 2022 | 22HK0092: ガラスITO基板上へのALD成膜 |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | 株式会社ADEKA | 西田 章浩 | 2022 | 22HK0072: ナノホール加工ウエハ作成 |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | 日本ガイシ株式会社 | 近藤 良夫 | 2022 | 22HK0054: 反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証 |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | 北海道大学 大学院工学研究院 機械・宇宙航空工学部門 | 戸谷 剛 | 2022 | 22HK0053: 赤外線励起による溶剤の分子内振動の緩和と溶剤乾燥に効果的な赤外線吸収波長帯の解明 |
| 9 | HK-617 | 原子層堆積装置（粉末対応型） | 株式会社SCREENホールディングス | 佐々木 ユウタ | 2022 | 22HK0023: LC-TEMによるナノ構造物の液中観察のための微細加工手法の開発 |
| 4 | HK-618 | プラズマ原子層堆積装置 | 北海道大学 | 松尾 保孝 | 2022 | 22HK9004: ALD成膜テストデータの取得 (NPF ALDデータベースシステムとの連携) |
| 4 | HK-618 | プラズマ原子層堆積装置 | 自然科学研究機構核融合科学研究所 | 上原 日和 | 2022 | 22HK0099: 原子層堆積法を用いた赤外光ファイバーセンサーへの機能性ナノ薄膜形成 |
| 4 | HK-618 | プラズマ原子層堆積装置 | Harbin Institute of Technology | Zhao Shuo | 2022 | 22HK0095: Fabricating NiO photocathode under strong coupling for photoreduction reaction |
| 4 | HK-618 | プラズマ原子層堆積装置 | 株式会社ADEKA | 西田 章浩 | 2022 | 22HK0072: ナノホール加工ウエハ作成 |
| 4 | HK-408 | 大気中紫外光電子分光装置 | 北海道大学 | 松尾 保孝 | 2022 | 22HK9003: 紫外光電子分光法による仕事関数測定 |
| 4 | HK-408 | 大気中紫外光電子分光装置 | santec株式会社 OISカンパニー研究開発グループ | 石田 周太郎 | 2022 | 22HK0111: マイクロ開口パターン基板内への誘電体多層膜光学特性評価および成膜構造評価 |
| 4 | HK-408 | 大気中紫外光電子分光装置 | 横浜国立大学 | 西島 喜明 | 2022 | 22HK0102: ハイエントロピー合金のプラズモン材料への適応に関する研究 |
| 4 | HK-408 | 大気中紫外光電子分光装置 | 東北大学WPI-AIMR、AZUL Eenergy(株） | 藪 浩 | 2022 | 22HK0010: 海洋・畜産廃棄物による電池用高性能触媒の開発 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学 | 松尾 保孝 | 2022 | 22HK9002: 超高分解能走査型電子顕微鏡を用いた金ナノ粒子の微小領域観察 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 高輝度光科学研究センター | 城地 保昌 | 2022 | 22HK0107: フォトリソグラフィ技術によるX線レーザーイメージング用試料ホルダの作製 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学 電子科学研究所 | 三友 秀之 | 2022 | 22HK0105: 金ナノ三角形プレート粒子の自己組織化膜の作製 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0104: プラズモン／層状化合物ナノ構造の分光特性 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | Harbin Institute of Technology | Zhao Shuo | 2022 | 22HK0095: Fabricating NiO photocathode under strong coupling for photoreduction reaction |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学 産学・地域協働推進機構 バイオマテリアル構造設計部門 | 柚木 俊二 | 2022 | 22HK0093: コラーゲン人工腱の開発 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海学園大学 | 藤原 英樹 | 2022 | 22HK0088: 表面凹凸構造を利用したランダムレーザーの作製 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 株式会社プラントビオ | 内野 英一 | 2022 | 22HK0086: 海産浮遊珪藻Chaetoceros科の分類同定のための微細構造確認 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 株式会社ADEKA | 西田 章浩 | 2022 | 22HK0072: ナノホール加工ウエハ作成 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 日本ガイシ株式会社 | 近藤 良夫 | 2022 | 22HK0054: 反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学 電子科学研究所 分子フォトニクス研究分野 | 高野 勇太 | 2022 | 22HK0043: ぺロブスカイト型ナノ結晶の構造解明 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0004: 低放射化ハイエントロピー合金の耐照射性評価と照射損傷メカニズムの解明 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0003: 積層欠陥エネルギー制御による新規FCC構造材料の探求 |
| 14 | HK-404 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 | 量子科学技術研究開発機構核融合炉構造材料開発グループ | 野澤 貴志 | 2022 | 22HK0002: 低放射化フェライト鋼の照射下微細組織発達に及ぼす核変換ガス原子の影響 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 北海道大学 | 松尾 保孝 | 2022 | 22HK9001: X線光電子分光装置を用いた標準試料測定データの取得 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 広島大学大学院先進理工系科学研究科 | 石川 大輔 | 2022 | 22HK0074: 固相イオン交換及びイオン伝導性を利用したキャリアドーピング法の開発 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 北海道大学工学研究院附属エネルギー・マテリアル融合領域研究センター | 坪内 直人 | 2022 | 22HK0073: 高温プロセスにおける塩化水素の二次的反応の機構解明に関する研究 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 熊本大学 先端科学研究部 | 猪股 雄介 | 2022 | 22HK0066: 半導体ガスセンサ材料のナノ構造観察 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 福島研究開発部門 廃炉環境国際共同研究センター 炉内状況把握ディビジョン 特殊環境腐食研究グループ | 大谷 恭平 | 2022 | 22HK0051: 特殊環境下に最適な防錆剤の研究 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 北海道大学大学院工学研究院 環境循環システム部門資源循環工学分野 環境地質学研究室 | 菊池 亮佑 | 2022 | 22HK0045: 水-岩石相互作用における鉱物の化学組成と結晶構造の変化 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 公立千歳科学技術大学 理工学部 応用化学生物学科 | 高田 知哉 | 2022 | 22HK0042: 環境浄化のための新規な炭素系材料および関連材料の創製と評価 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 北海道医療大学大学院歯学研究科 | Zuniga Enrique | 2022 | 22HK0040: Photoreactive materials for enamel remineralization |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 日本軽金属株式会社 | 兼子 彬 | 2022 | 22HK0032: 各種試験後の金属材料表面の観察と分析 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 北海道大学大学院工学研究院 附属エネルギー・マテリアル融合領域研究センター | 中川 祐貴 | 2022 | 22HK0026: エネルギー変換材料のナノスケール表界面制御 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 北海道大学 工学研究院応用化学部門 | 島田 敏宏 | 2022 | 22HK0021: 微細加工技術を用いたFET素子の作製 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 北海道大学大学院工学研究院応用化学部門 | 長浜 太郎 | 2022 | 22HK0019: 磁性体超薄膜をもちいたスピントロニクス素子の開発 |
| 13 | HK-201 | X線光電子分光装置 | 北海道大学大学院工学研究院ｴﾈﾙｷﾞｰ・ﾏﾃﾘｱﾙ融合領域研究センター | 張 麗華 | 2022 | 22HK0013: 水中光合成によるナノ材料の作製 |
| 3 | HK-406 | X線光電子分光装置 | 北海道大学 | 松尾 保孝 | 2022 | 22HK9001: X線光電子分光装置を用いた標準試料測定データの取得 |
| 3 | HK-406 | X線光電子分光装置 | 横浜国立大学 | 西島 喜明 | 2022 | 22HK0102: ハイエントロピー合金のプラズモン材料への適応に関する研究 |
| 3 | HK-406 | X線光電子分光装置 | 東北大学WPI-AIMR、AZUL Eenergy(株） | 藪 浩 | 2022 | 22HK0010: 海洋・畜産廃棄物による電池用高性能触媒の開発 |
| 6 | HK-604 | レーザー描画装置 | 慶應義塾大学理工学部 物理情報工学科 | 海住 英生 | 2022 | 22HK0112: Fe3O4ナノスフィアデバイスの作製と電気・磁気特性 |
| 6 | HK-604 | レーザー描画装置 | 北海道大学 理学研究院 化学専攻 | 福島 知宏 | 2022 | 22HK0110: 電極触媒反応を加速する構造電極の作成 |
| 6 | HK-604 | レーザー描画装置 | 兵庫医科大学・医学部・物理学教室 | 福田 昭 | 2022 | 22HK0109: 磁気共鳴のための2 次元電子系ナノ構造デバイス作製 |
| 6 | HK-604 | レーザー描画装置 | 公立千歳科学技術大学 理工学部 | 平井 悠司 | 2022 | 22HK0106: リソグラフィ技術を利用した微細構造の作製と機能性評価 |
| 6 | HK-604 | レーザー描画装置 | 東北大学 工学研究科 量子エネルギー工学専攻 | 菊池 洋平 | 2022 | 22HK0101: Development of semiconductor radiation detector for medical imaging |
| 6 | HK-604 | レーザー描画装置 | 北見工業大学 地球環境工学科 | 柴田 浩行 | 2022 | 22HK0098: 超伝導デバイスの作製 |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | 慶應義塾大学理工学部 物理情報工学科 | 海住 英生 | 2022 | 22HK0112: Fe3O4ナノスフィアデバイスの作製と電気・磁気特性 |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | 北海道大学 理学研究院 化学専攻 | 福島 知宏 | 2022 | 22HK0110: 電極触媒反応を加速する構造電極の作成 |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | 公立千歳科学技術大学 理工学部 | 平井 悠司 | 2022 | 22HK0106: リソグラフィ技術を利用した微細構造の作製と機能性評価 |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0103: 結合系プラズモニックナノ構造の近接場分光特性と超高速ダイナミクス |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | 東北大学 工学研究科 量子エネルギー工学専攻 | 菊池 洋平 | 2022 | 22HK0101: Development of semiconductor radiation detector for medical imaging |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | 徳島大学大学院創成科学研究科理工学専攻光システムコース | 鶴崎 勇斗 | 2022 | 22HK0100: 酸化チタン被覆金ナノ粒子配列体薄膜における活性酸素発生効率の膜厚依存性 |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | Harbin Institute of Technology | Zhao Shuo | 2022 | 22HK0095: Fabricating NiO photocathode under strong coupling for photoreduction reaction |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | 北海学園大学 | 藤原 英樹 | 2022 | 22HK0088: 表面凹凸構造を利用したランダムレーザーの作製 |
| 9 | HK-611 | 多元スパッタ装置 | 北海道大学大学院工学研究院応用化学部門 | 長浜 太郎 | 2022 | 22HK0019: 磁性体超薄膜をもちいたスピントロニクス素子の開発 |
| 5 | HK-610 | コンパクトスパッタ装置 | 慶應義塾大学理工学部 物理情報工学科 | 海住 英生 | 2022 | 22HK0112: Fe3O4ナノスフィアデバイスの作製と電気・磁気特性 |
| 5 | HK-610 | コンパクトスパッタ装置 | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0104: プラズモン／層状化合物ナノ構造の分光特性 |
| 5 | HK-610 | コンパクトスパッタ装置 | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0103: 結合系プラズモニックナノ構造の近接場分光特性と超高速ダイナミクス |
| 5 | HK-610 | コンパクトスパッタ装置 | 日本ガイシ株式会社 | 近藤 良夫 | 2022 | 22HK0054: 反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証 |
| 5 | HK-610 | コンパクトスパッタ装置 | 北海道大学 大学院工学研究院 機械・宇宙航空工学部門 | 戸谷 剛 | 2022 | 22HK0053: 赤外線励起による溶剤の分子内振動の緩和と溶剤乾燥に効果的な赤外線吸収波長帯の解明 |
| 7 | HK-609 | ヘリコンスパッタリング装置 | 北海道大学 理学研究院 化学専攻 | 福島 知宏 | 2022 | 22HK0110: 電極触媒反応を加速する構造電極の作成 |
| 7 | HK-609 | ヘリコンスパッタリング装置 | 兵庫医科大学・医学部・物理学教室 | 福田 昭 | 2022 | 22HK0109: 磁気共鳴のための2 次元電子系ナノ構造デバイス作製 |
| 7 | HK-609 | ヘリコンスパッタリング装置 | 公立千歳科学技術大学 理工学部 | 平井 悠司 | 2022 | 22HK0106: リソグラフィ技術を利用した微細構造の作製と機能性評価 |
| 7 | HK-609 | ヘリコンスパッタリング装置 | 北見工業大学 地球環境工学科 | 柴田 浩行 | 2022 | 22HK0098: 超伝導デバイスの作製 |
| 7 | HK-609 | ヘリコンスパッタリング装置 | Hokkaido University, RIES | Liu Yen-En | 2022 | 22HK0097: Visualization of quantum coherence under modal strong coupling |
| 7 | HK-609 | ヘリコンスパッタリング装置 | 日本ガイシ株式会社 | 近藤 良夫 | 2022 | 22HK0054: 反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証 |
| 7 | HK-609 | ヘリコンスパッタリング装置 | 北海道大学 大学院工学研究院 機械・宇宙航空工学部門 | 戸谷 剛 | 2022 | 22HK0053: 赤外線励起による溶剤の分子内振動の緩和と溶剤乾燥に効果的な赤外線吸収波長帯の解明 |
| 5 | HK-620 | ICP高密度プラズマエッチング装置（フッ素） | 北海道大学 理学研究院 化学専攻 | 福島 知宏 | 2022 | 22HK0110: 電極触媒反応を加速する構造電極の作成 |
| 5 | HK-620 | ICP高密度プラズマエッチング装置（フッ素） | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0103: 結合系プラズモニックナノ構造の近接場分光特性と超高速ダイナミクス |
| 5 | HK-620 | ICP高密度プラズマエッチング装置（フッ素） | 東北大学 工学研究科 量子エネルギー工学専攻 | 菊池 洋平 | 2022 | 22HK0101: Development of semiconductor radiation detector for medical imaging |
| 5 | HK-620 | ICP高密度プラズマエッチング装置（フッ素） | 北見工業大学 地球環境工学科 | 柴田 浩行 | 2022 | 22HK0098: 超伝導デバイスの作製 |
| 5 | HK-620 | ICP高密度プラズマエッチング装置（フッ素） | 大阪大学、日本電子 | 大須賀 潤一 | 2022 | 22HK0005: 光誘起ソフトイオン化基板の創製 |
| 2 | HK-701 | 電子ビーム描画装置(30kV) | 北海道大学 理学研究院 化学専攻 | 福島 知宏 | 2022 | 22HK0110: 電極触媒反応を加速する構造電極の作成 |
| 2 | HK-701 | 電子ビーム描画装置(30kV) | 北海道大学大学院工学院人間機械システムデザイン専攻 | 豊原 涼太 | 2022 | 22HK0052: 細胞バイオメカニクス研究のためのマイクロデバイス開発 |
| 6 | HK-621 | 反応性イオンエッチング装置 | 兵庫医科大学・医学部・物理学教室 | 福田 昭 | 2022 | 22HK0109: 磁気共鳴のための2 次元電子系ナノ構造デバイス作製 |
| 6 | HK-621 | 反応性イオンエッチング装置 | 高輝度光科学研究センター | 城地 保昌 | 2022 | 22HK0107: フォトリソグラフィ技術によるX線レーザーイメージング用試料ホルダの作製 |
| 6 | HK-621 | 反応性イオンエッチング装置 | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0104: プラズモン／層状化合物ナノ構造の分光特性 |
| 6 | HK-621 | 反応性イオンエッチング装置 | 大学院情報科学研究院 | 山ノ内 路彦 | 2022 | 22HK0071: Co基ホイスラー合金・強磁性酸化物を用いたスピン機能デバイスの研究 |
| 6 | HK-621 | 反応性イオンエッチング装置 | 北海道大学 高等教育推進機構 | 繁富 香織 | 2022 | 22HK0015: 折畳み可能なマイクロプレートを用いた細胞の立体的な形状変化における細胞の機能測定と再生医療への応用 |
| 6 | HK-621 | 反応性イオンエッチング装置 | 大阪大学、日本電子 | 大須賀 潤一 | 2022 | 22HK0005: 光誘起ソフトイオン化基板の創製 |
| 3 | HK-606 | マスクアライナ | 高輝度光科学研究センター | 城地 保昌 | 2022 | 22HK0107: フォトリソグラフィ技術によるX線レーザーイメージング用試料ホルダの作製 |
| 3 | HK-606 | マスクアライナ | 公立千歳科学技術大学 理工学部 | 平井 悠司 | 2022 | 22HK0106: リソグラフィ技術を利用した微細構造の作製と機能性評価 |
| 3 | HK-606 | マスクアライナ | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0103: 結合系プラズモニックナノ構造の近接場分光特性と超高速ダイナミクス |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 高輝度光科学研究センター | 城地 保昌 | 2022 | 22HK0107: フォトリソグラフィ技術によるX線レーザーイメージング用試料ホルダの作製 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 徳島大学大学院創成科学研究科理工学専攻光システムコース | 鶴崎 勇斗 | 2022 | 22HK0100: 酸化チタン被覆金ナノ粒子配列体薄膜における活性酸素発生効率の膜厚依存性 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学 大学院工学研究院 応用物理部門 | 迫田 將仁 | 2022 | 22HK0090: 遷移金属酸化物薄膜の構造解析 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学 触媒科学研究所 物質変換研究部門 | SHROTRI Abhijit | 2022 | 22HK0089: Development of catalyst for hydrogenation of carbon dioxide |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院 工学研究院 応用物理学部門 ナノバイオ工学研究室 | 山崎 憲慈 | 2022 | 22HK0059: グラフェンナノサポートを利用した単原子制御 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 名古屋大学 未来社会創造機構 マテリアルイノベーション研究所 | 加藤 隆彦 | 2022 | 22HK0057: 6元系合金のTitan等による組織解析 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 大学院工学研究院 | 山本 拓矢 | 2022 | 22HK0044: 高分子により分散安定化されたナノ粒子の観察 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院地球環境科学研究院物質機能科学部門 | 加藤 優 | 2022 | 22HK0033: ナノ構造体電極触媒の合成と構造理解 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学工学研究院附属エネルギー・マテリアル融合領域研究 エネルギメディア変換材料分野 | MELBERT JEEM | 2022 | 22HK0031: 次世代熱エネルギー貯蔵システムにおける蓄熱材料の開発と微細構造の観察・評価 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学 電子科学研究所 | 小野 円佳 | 2022 | 22HK0030: トポロジー制御したガラスの革新的薄膜合成方法の確立 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 北見工業大学 工学部 機械電機系 | 吉田 裕 | 2022 | 22HK0025: ひずみ硬化したSUS316表層の内部組織観察 |
| 12 | HK-401 | 収差補正走査型透過電子顕微鏡 | 東北大学WPI-AIMR、AZUL Eenergy(株） | 藪 浩 | 2022 | 22HK0010: 海洋・畜産廃棄物による電池用高性能触媒の開発 |
| 8 | HK-402 | 走査型透過電子顕微鏡 | 高輝度光科学研究センター | 城地 保昌 | 2022 | 22HK0107: フォトリソグラフィ技術によるX線レーザーイメージング用試料ホルダの作製 |
| 8 | HK-402 | 走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学 電子科学研究所 | 三友 秀之 | 2022 | 22HK0105: 金ナノ三角形プレート粒子の自己組織化膜の作製 |
| 8 | HK-402 | 走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学 触媒科学研究所 物質変換研究部門 | SHROTRI Abhijit | 2022 | 22HK0089: Development of catalyst for hydrogenation of carbon dioxide |
| 8 | HK-402 | 走査型透過電子顕微鏡 | 東芝エネルギーシステムズ（株） | 今井 潔 | 2022 | 22HK0065: 耐熱合金の耐高温酸化・腐食性 |
| 8 | HK-402 | 走査型透過電子顕微鏡 | 株式会社 荏原製作所 | 野口 学 | 2022 | 22HK0064: 種々の合金上への耐高温コーティング |
| 8 | HK-402 | 走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学 電子科学研究所 分子フォトニクス研究分野 | 高野 勇太 | 2022 | 22HK0043: ぺロブスカイト型ナノ結晶の構造解明 |
| 8 | HK-402 | 走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院地球環境科学研究院物質機能科学部門 | 加藤 優 | 2022 | 22HK0033: ナノ構造体電極触媒の合成と構造理解 |
| 8 | HK-402 | 走査型透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 岡 弘 | 2022 | 22HK0018: ボイドスエリングの大幅低減を目指した高燃焼度炉心材料用ハイエントロピー合金の創製 |
| 3 | HK-601 | 超高精度電子ビーム描画装置(100kV) | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0104: プラズモン／層状化合物ナノ構造の分光特性 |
| 3 | HK-601 | 超高精度電子ビーム描画装置(100kV) | 北海道大学 | 上野 貢生 | 2022 | 22HK0103: 結合系プラズモニックナノ構造の近接場分光特性と超高速ダイナミクス |
| 3 | HK-601 | 超高精度電子ビーム描画装置(100kV) | 大学院情報科学研究院 | 山ノ内 路彦 | 2022 | 22HK0071: Co基ホイスラー合金・強磁性酸化物を用いたスピン機能デバイスの研究 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 徳島大学大学院創成科学研究科理工学専攻光システムコース | 鶴崎 勇斗 | 2022 | 22HK0100: 酸化チタン被覆金ナノ粒子配列体薄膜における活性酸素発生効率の膜厚依存性 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 東芝エネルギーシステムズ（株） | 今井 潔 | 2022 | 22HK0065: 耐熱合金の耐高温酸化・腐食性 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社京都セミコンダクター | 西村 諭一 | 2022 | 22HK0037: FIB-SEM装置を用いたPD（フォトダイオード)デバイス断面構造の観察 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 京都大学大学院工学研究科材料化学専攻 | 小西 伸弥 | 2022 | 22HK0028: 高精度STEM観察による原子変位の測定 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 株式会社SCREENホールディングス | 佐々木 ユウタ | 2022 | 22HK0023: LC-TEMによるナノ構造物の液中観察のための微細加工手法の開発 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 礒部 繁人 | 2022 | 22HK0007: １族・２族元素による低密度ハイエントロピー合金の創製 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 広島大学 先進機能物質研究センター | 宮岡 裕樹 | 2022 | 22HK0006: リチウム合金を用いた活性窒素生成における反応メカニズムの解明 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0003: 積層欠陥エネルギー制御による新規FCC構造材料の探求 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 量子科学技術研究開発機構核融合炉構造材料開発グループ | 野澤 貴志 | 2022 | 22HK0002: 低放射化フェライト鋼の照射下微細組織発達に及ぼす核変換ガス原子の影響 |
| 10 | HK-403 | 集束イオンビーム加工装置 | 日本原子力研究開発機構 | 鈴木 恵理子 | 2022 | 22HK0001: 構造材への核分裂生成物の吸着・再蒸発／浮遊プロセスの原子レベルでの解明 |
| 4 | HK-603 | 超高速スキャン電子線描画装置(130kV) | 北見工業大学 地球環境工学科 | 柴田 浩行 | 2022 | 22HK0098: 超伝導デバイスの作製 |
| 4 | HK-603 | 超高速スキャン電子線描画装置(130kV) | Hokkaido University, RIES | Liu Yen-En | 2022 | 22HK0097: Visualization of quantum coherence under modal strong coupling |
| 4 | HK-603 | 超高速スキャン電子線描画装置(130kV) | 株式会社ADEKA | 西田 章浩 | 2022 | 22HK0072: ナノホール加工ウエハ作成 |
| 4 | HK-603 | 超高速スキャン電子線描画装置(130kV) | 北海道大学 大学院工学研究院 機械・宇宙航空工学部門 | 戸谷 剛 | 2022 | 22HK0053: 赤外線励起による溶剤の分子内振動の緩和と溶剤乾燥に効果的な赤外線吸収波長帯の解明 |
| 3 | HK-705 | ダイシングソー | 北見工業大学 地球環境工学科 | 柴田 浩行 | 2022 | 22HK0098: 超伝導デバイスの作製 |
| 3 | HK-705 | ダイシングソー | 北海道大学大学院 情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門 集積電子デバイス研究室 | 本久 順一 | 2022 | 22HK0082: ヘテロ構造を有する半導体ナノワイヤを用いた発光ダイオードに関する研究 |
| 3 | HK-705 | ダイシングソー | 大学院情報科学研究院 | 山ノ内 路彦 | 2022 | 22HK0071: Co基ホイスラー合金・強磁性酸化物を用いたスピン機能デバイスの研究 |
| 1 | HK-405 | 時間分解収差補正光電子顕微鏡システム | Hokkaido University, RIES | Liu Yen-En | 2022 | 22HK0097: Visualization of quantum coherence under modal strong coupling |
| 1 | HK-607 | EB蒸着装置 | Harbin Institute of Technology | Zhao Shuo | 2022 | 22HK0095: Fabricating NiO photocathode under strong coupling for photoreduction reaction |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | 大阪大学 産業科学研究所 | 岡本 一将 | 2022 | 22HK0094: 金属含有レジストのイオンビーム照射の基礎的検討 |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | 日本原子力研究開発機構 Ｊ－ＰＡＲＣセンター | 若井 栄一 | 2022 | 22HK0050: 放射線場でのマルチ型同時計測法の開発とイノベ―ション物質の創製に向けて |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | 広島工業大学 工学部 知能機械工学科 | 佐藤 裕樹 | 2022 | 22HK0041: 金属材料の照射損傷組織の発達過程のモデリング |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | パナソニック株式会社 | 石田 貴規 | 2022 | 22HK0039: 摺動部材の高耐久化に関する研究 |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | 株式会社燃焼合成 | 原田 和人 | 2022 | 22HK0036: セラミックス粒子の微細構造解析 |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院 附属エネルギー・マテリアル融合領域研究センター | 中川 祐貴 | 2022 | 22HK0026: エネルギー変換材料のナノスケール表界面制御 |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0004: 低放射化ハイエントロピー合金の耐照射性評価と照射損傷メカニズムの解明 |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0003: 積層欠陥エネルギー制御による新規FCC構造材料の探求 |
| 9 | HK-103 | マルチビーム超高圧電子顕微鏡 | 量子科学技術研究開発機構核融合炉構造材料開発グループ | 野澤 貴志 | 2022 | 22HK0002: 低放射化フェライト鋼の照射下微細組織発達に及ぼす核変換ガス原子の影響 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学 歯学研究院 学術支援部 | 牛島 夏未 | 2022 | 22HK0091: マイクロナノパターンの表面形状がマクロファージに与える影響についての微細組織解析 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学 大学院工学研究院 応用物理部門 | 迫田 將仁 | 2022 | 22HK0090: 遷移金属酸化物薄膜の構造解析 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院総合化学院 高分子化学研究室 | 西村 大輝 | 2022 | 22HK0083: 糖鎖含有ブロック共重合体が形成するミクロ相分離構造の解析 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道科学大学 工学部 機械工学科 | 堀内 寿晃 | 2022 | 22HK0068: 多元系合金の組織制御 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院工学院 材料科学専攻 先端高温材料工学研究室 | 辰島 諒 | 2022 | 22HK0067: Al2O3スケール形成耐熱オーステナイト鋼の高温酸化挙動に及ぼす添加元素の影響 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 東芝エネルギーシステムズ（株） | 今井 潔 | 2022 | 22HK0065: 耐熱合金の耐高温酸化・腐食性 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 株式会社 荏原製作所 | 野口 学 | 2022 | 22HK0064: 種々の合金上への耐高温コーティング |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門 | 村山 明宏 | 2022 | 22HK0049: 半導体量子ドットを用いた光スピン機能性素子の作製 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 京都大学大学院工学研究科材料化学専攻 | 小西 伸弥 | 2022 | 22HK0028: 高精度STEM観察による原子変位の測定 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 株式会社SCREENホールディングス 第三技術開発室 開発一課 | 塙 洋祐 | 2022 | 22HK0027: Si基板薄膜の評価 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 株式会社SCREENホールディングス | 佐々木 ユウタ | 2022 | 22HK0023: LC-TEMによるナノ構造物の液中観察のための微細加工手法の開発 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 岡 弘 | 2022 | 22HK0018: ボイドスエリングの大幅低減を目指した高燃焼度炉心材料用ハイエントロピー合金の創製 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院工学研究院応用化学部門 構造無機化学研究室 | 鱒渕 友治 | 2022 | 22HK0014: 酸窒化物誘電体厚膜の作製とその微細構造観察 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 菊地 竜也 | 2022 | 22HK0009: 軽金属材料の表面処理 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 礒部 繁人 | 2022 | 22HK0007: １族・２族元素による低密度ハイエントロピー合金の創製 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 広島大学 先進機能物質研究センター | 宮岡 裕樹 | 2022 | 22HK0006: リチウム合金を用いた活性窒素生成における反応メカニズムの解明 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0004: 低放射化ハイエントロピー合金の耐照射性評価と照射損傷メカニズムの解明 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0003: 積層欠陥エネルギー制御による新規FCC構造材料の探求 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 量子科学技術研究開発機構核融合炉構造材料開発グループ | 野澤 貴志 | 2022 | 22HK0002: 低放射化フェライト鋼の照射下微細組織発達に及ぼす核変換ガス原子の影響 |
| 20 | HK-304 | 集束イオンビーム加工・観察装置 | 日本原子力研究開発機構 | 鈴木 恵理子 | 2022 | 22HK0001: 構造材への核分裂生成物の吸着・再蒸発／浮遊プロセスの原子レベルでの解明 |
| 5 | HK-102 | 電界放射型分析電子顕微鏡 | 日立金属株式会社グローバル技術革新センター先端材料開発部 | Hirokane Yuji | 2022 | 22HK0087: 窒化ホウ素ナノチューブのミクロ構造観察 |
| 5 | HK-102 | 電界放射型分析電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学院量子理工学専攻 | Munaswamy MURUGESH | 2022 | 22HK0080: プラズマプロセシングで作成したコアシェル微粒子の分析 |
| 5 | HK-102 | 電界放射型分析電子顕微鏡 | 三菱製鋼株式会社 技術開発センター | 青山 俊文 | 2022 | 22HK0038: 特殊鋼中の微細炭窒化物粒子の析出挙動に関する研究 |
| 5 | HK-102 | 電界放射型分析電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院 附属エネルギー・マテリアル融合領域研究センター | 中川 祐貴 | 2022 | 22HK0026: エネルギー変換材料のナノスケール表界面制御 |
| 5 | HK-102 | 電界放射型分析電子顕微鏡 | 日本原子力研究開発機構 | 鈴木 恵理子 | 2022 | 22HK0001: 構造材への核分裂生成物の吸着・再蒸発／浮遊プロセスの原子レベルでの解明 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 日立金属株式会社グローバル技術革新センター先端材料開発部 | Hirokane Yuji | 2022 | 22HK0087: 窒化ホウ素ナノチューブのミクロ構造観察 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学 総合化学院 | 宮崎 眞太 | 2022 | 22HK0077: CO2、CH4変換に有効な担持金属触媒の構造解析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 名古屋大学工学研究科物質科学専攻 武藤研究室 | 齊藤 元貴 | 2022 | 22HK0075: 鉄鋼材料中の析出物の分析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学院 材料科学専攻 先端高温材料工学研究室 | 辰島 諒 | 2022 | 22HK0067: Al2O3スケール形成耐熱オーステナイト鋼の高温酸化挙動に及ぼす添加元素の影響 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院先端生命科学研究院 | Kiyama Ryuji | 2022 | 22HK0063: 高分子ゲル網目の3次元直接観察 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 大阪大学 大学院基礎工学研究科 物質創成専攻 | 山口 渉 | 2022 | 22HK0062: 原子レベルによる固体触媒の表面構造解析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 京都大学 大学院工学研究科 材料化学専攻 | 藤田 晃司 | 2022 | 22HK0061: 層状ペロブスカイト酸化物強誘電体の局所構造解析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 東京工業大学科学技術創成研究院ゼロカーボンエネルギー研究所 | 近藤 正聡 | 2022 | 22HK0060: 液体金属環境下における耐環境性を改善させる機能性酸化被膜に関する研究 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院 工学研究院 応用物理学部門 ナノバイオ工学研究室 | 山崎 憲慈 | 2022 | 22HK0059: グラフェンナノサポートを利用した単原子制御 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学触媒科学研究所 | 朝倉 清高 | 2022 | 22HK0058: 炭素素材担持CoCN4 CO2還元触媒のSTEM観察 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 名古屋大学 未来社会創造機構 マテリアルイノベーション研究所 | 加藤 隆彦 | 2022 | 22HK0057: 6元系合金のTitan等による組織解析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学 大学院総合化学院 | Nakaya Yuki | 2022 | 22HK0056: 高性能なシリカ担持合金ナノ粒子触媒の構造解析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 日本原子力研究開発機構 Ｊ－ＰＡＲＣセンター | 若井 栄一 | 2022 | 22HK0050: 放射線場でのマルチ型同時計測法の開発とイノベ―ション物質の創製に向けて |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門 | 村山 明宏 | 2022 | 22HK0049: 半導体量子ドットを用いた光スピン機能性素子の作製 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学 触媒科学研究所 | 鳥屋尾 隆 | 2022 | 22HK0048: 担持金属触媒の構造解析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 東京大学工学系研究科原子力専攻 | 叶野 翔 | 2022 | 22HK0047: 鉄基材料中における微細析出物の照射下相安定性 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | (株)レゾナック | 足立 修一郎 | 2022 | 22HK0046: 電子部品材料開発に向けた原子レベル組織解析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院 環境循環システム部門資源循環工学分野 環境地質学研究室 | 菊池 亮佑 | 2022 | 22HK0045: 水-岩石相互作用における鉱物の化学組成と結晶構造の変化 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 大学院工学研究院 | 山本 拓矢 | 2022 | 22HK0044: 高分子により分散安定化されたナノ粒子の観察 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | パナソニック株式会社 | 石田 貴規 | 2022 | 22HK0039: 摺動部材の高耐久化に関する研究 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 三菱製鋼株式会社 技術開発センター | 青山 俊文 | 2022 | 22HK0038: 特殊鋼中の微細炭窒化物粒子の析出挙動に関する研究 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 株式会社燃焼合成 | 原田 和人 | 2022 | 22HK0036: セラミックス粒子の微細構造解析 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 室蘭工業大学 大学院工学研究科 しくみ解明系領域先進マテリアル工学ユニット | 安藤 哲也 | 2022 | 22HK0035: 金属系結晶性材料の力学特性と微細組織の関係 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学工学研究院附属エネルギー・マテリアル融合領域研究 エネルギメディア変換材料分野 | MELBERT JEEM | 2022 | 22HK0031: 次世代熱エネルギー貯蔵システムにおける蓄熱材料の開発と微細構造の観察・評価 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学 電子科学研究所 | 小野 円佳 | 2022 | 22HK0030: トポロジー制御したガラスの革新的薄膜合成方法の確立 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 京都大学大学院工学研究科材料化学専攻 | 小西 伸弥 | 2022 | 22HK0028: 高精度STEM観察による原子変位の測定 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 株式会社SCREENホールディングス 第三技術開発室 開発一課 | 塙 洋祐 | 2022 | 22HK0027: Si基板薄膜の評価 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院 附属エネルギー・マテリアル融合領域研究センター | 中川 祐貴 | 2022 | 22HK0026: エネルギー変換材料のナノスケール表界面制御 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学 工学研究院応用化学部門 | 島田 敏宏 | 2022 | 22HK0021: 微細加工技術を用いたFET素子の作製 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院環境循環システム部門 | 胡桃澤 清文 | 2022 | 22HK0020: 高炉スラグ固化体の微細構造と物性に関する研究 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院応用化学部門 | 長浜 太郎 | 2022 | 22HK0019: 磁性体超薄膜をもちいたスピントロニクス素子の開発 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学 大学院情報科学研究院 | 福地 厚 | 2022 | 22HK0016: 機能性無機材料の試料微細構造と電子物性の相関に関する研究 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院ｴﾈﾙｷﾞｰ・ﾏﾃﾘｱﾙ融合領域研究センター | 張 麗華 | 2022 | 22HK0013: 水中光合成によるナノ材料の作製 |
| 34 | HK-101 | ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 菊地 竜也 | 2022 | 22HK0009: 軽金属材料の表面処理 |
| 7 | HK-303 | 電界放出形電子プローブマイクロアナライザー | 北海道大学大学院総合化学院 高分子化学研究室 | 西村 大輝 | 2022 | 22HK0083: 糖鎖含有ブロック共重合体が形成するミクロ相分離構造の解析 |
| 7 | HK-303 | 電界放出形電子プローブマイクロアナライザー | 北海道科学大学 工学部 機械工学科 | 堀内 寿晃 | 2022 | 22HK0068: 多元系合金の組織制御 |
| 7 | HK-303 | 電界放出形電子プローブマイクロアナライザー | 北海道大学大学院工学院 材料科学専攻 先端高温材料工学研究室 | 辰島 諒 | 2022 | 22HK0067: Al2O3スケール形成耐熱オーステナイト鋼の高温酸化挙動に及ぼす添加元素の影響 |
| 7 | HK-303 | 電界放出形電子プローブマイクロアナライザー | 東芝エネルギーシステムズ（株） | 今井 潔 | 2022 | 22HK0065: 耐熱合金の耐高温酸化・腐食性 |
| 7 | HK-303 | 電界放出形電子プローブマイクロアナライザー | 株式会社 荏原製作所 | 野口 学 | 2022 | 22HK0064: 種々の合金上への耐高温コーティング |
| 7 | HK-303 | 電界放出形電子プローブマイクロアナライザー | 北海道大学大学院工学研究院環境循環システム部門 | 胡桃澤 清文 | 2022 | 22HK0020: 高炉スラグ固化体の微細構造と物性に関する研究 |
| 7 | HK-303 | 電界放出形電子プローブマイクロアナライザー | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 礒部 繁人 | 2022 | 22HK0007: １族・２族元素による低密度ハイエントロピー合金の創製 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 旭川工業高等専門学校 機械システム工学科 | 杉本 剛 | 2022 | 22HK0076: 浸炭鋼の結晶粒組織形態と強度発現機構の解明 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道科学大学 工学部 機械工学科 | 堀内 寿晃 | 2022 | 22HK0068: 多元系合金の組織制御 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学院 材料科学専攻 先端高温材料工学研究室 | 辰島 諒 | 2022 | 22HK0067: Al2O3スケール形成耐熱オーステナイト鋼の高温酸化挙動に及ぼす添加元素の影響 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 株式会社 荏原製作所 | 野口 学 | 2022 | 22HK0064: 種々の合金上への耐高温コーティング |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院 応用量子科学部門 | Yamauchi Yuji | 2022 | 22HK0055: プラズマ照射処理等を施した各種材料の物性評価 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院 環境循環システム部門資源循環工学分野 環境地質学研究室 | 菊池 亮佑 | 2022 | 22HK0045: 水-岩石相互作用における鉱物の化学組成と結晶構造の変化 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 室蘭工業大学 大学院工学研究科 しくみ解明系領域先進マテリアル工学ユニット | 安藤 哲也 | 2022 | 22HK0035: 金属系結晶性材料の力学特性と微細組織の関係 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 物質・材料研究機構 機能性材料研究拠点 光機能分野 蛍光体グループ | 森田 孝治 | 2022 | 22HK0034: 複合セラミックス材料の力学特性と微細組織制御とその機能特性の関係 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 山梨大学 | Miura Akira | 2022 | 22HK0029: 第一原理計算とその場観察によるセラミックス合成反応機構の解明 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 岡 弘 | 2022 | 22HK0018: ボイドスエリングの大幅低減を目指した高燃焼度炉心材料用ハイエントロピー合金の創製 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学 高等教育推進機構 | 繁富 香織 | 2022 | 22HK0015: 折畳み可能なマイクロプレートを用いた細胞の立体的な形状変化における細胞の機能測定と再生医療への応用 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院応用化学部門 構造無機化学研究室 | 鱒渕 友治 | 2022 | 22HK0014: 酸窒化物誘電体厚膜の作製とその微細構造観察 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院総合化学院 材料化学工学研究室 | 永石 新太郎 | 2022 | 22HK0012: ナノ材料へのモルフォロジー付与による機能向上 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 菊地 竜也 | 2022 | 22HK0009: 軽金属材料の表面処理 |
| 15 | HK-302 | 電界放出形走査電子顕微鏡 | 広島大学 先進機能物質研究センター | 宮岡 裕樹 | 2022 | 22HK0006: リチウム合金を用いた活性窒素生成における反応メカニズムの解明 |
| 2 | HK-624 | シリコン深掘りエッチング装置 | 株式会社ADEKA | 西田 章浩 | 2022 | 22HK0072: ナノホール加工ウエハ作成 |
| 2 | HK-624 | シリコン深掘りエッチング装置 | 大阪大学、日本電子 | 大須賀 潤一 | 2022 | 22HK0005: 光誘起ソフトイオン化基板の創製 |
| 2 | HK-615 | パルスレーザー堆積装置 | 大学院情報科学研究院 | 山ノ内 路彦 | 2022 | 22HK0071: Co基ホイスラー合金・強磁性酸化物を用いたスピン機能デバイスの研究 |
| 2 | HK-615 | パルスレーザー堆積装置 | 北海道大学 大学院情報科学研究院 | 福地 厚 | 2022 | 22HK0016: 機能性無機材料の試料微細構造と電子物性の相関に関する研究 |
| 8 | HK-202 | オージェ電子分光装置 | 北海道科学大学 工学部 機械工学科 | 堀内 寿晃 | 2022 | 22HK0068: 多元系合金の組織制御 |
| 8 | HK-202 | オージェ電子分光装置 | 北海道大学大学院工学研究院 応用量子科学部門 | Yamauchi Yuji | 2022 | 22HK0055: プラズマ照射処理等を施した各種材料の物性評価 |
| 8 | HK-202 | オージェ電子分光装置 | 北海道大学大学院工学研究院 環境循環システム部門資源循環工学分野 環境地質学研究室 | 菊池 亮佑 | 2022 | 22HK0045: 水-岩石相互作用における鉱物の化学組成と結晶構造の変化 |
| 8 | HK-202 | オージェ電子分光装置 | 北海道大学大学院地球環境科学研究院物質機能科学部門 | 加藤 優 | 2022 | 22HK0033: ナノ構造体電極触媒の合成と構造理解 |
| 8 | HK-202 | オージェ電子分光装置 | 日本軽金属株式会社 | 兼子 彬 | 2022 | 22HK0032: 各種試験後の金属材料表面の観察と分析 |
| 8 | HK-202 | オージェ電子分光装置 | 北海道大学大学院工学研究院応用化学部門 先端材料化学研究室 | 伏見 公志 | 2022 | 22HK0011: 電極材料表面分析 |
| 8 | HK-202 | オージェ電子分光装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 礒部 繁人 | 2022 | 22HK0007: １族・２族元素による低密度ハイエントロピー合金の創製 |
| 8 | HK-202 | オージェ電子分光装置 | 広島大学 先進機能物質研究センター | 宮岡 裕樹 | 2022 | 22HK0006: リチウム合金を用いた活性窒素生成における反応メカニズムの解明 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学院 材料科学専攻 先端高温材料工学研究室 | 辰島 諒 | 2022 | 22HK0067: Al2O3スケール形成耐熱オーステナイト鋼の高温酸化挙動に及ぼす添加元素の影響 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院 環境循環システム部門資源循環工学分野 環境地質学研究室 | 菊池 亮佑 | 2022 | 22HK0045: 水-岩石相互作用における鉱物の化学組成と結晶構造の変化 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 山梨大学 | Miura Akira | 2022 | 22HK0029: 第一原理計算とその場観察によるセラミックス合成反応機構の解明 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 株式会社北海光電子 | 武藤 正雄 | 2022 | 22HK0024: 低温核融合の実用化 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 北海道大学 工学研究院応用化学部門 | 島田 敏宏 | 2022 | 22HK0021: 微細加工技術を用いたFET素子の作製 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 岡 弘 | 2022 | 22HK0018: ボイドスエリングの大幅低減を目指した高燃焼度炉心材料用ハイエントロピー合金の創製 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 東京大学大学院工学系研究科 | 沖田 泰良 | 2022 | 22HK0017: 非線形超音波を用いた中性子照射脆化の非破壊的検出技術開発に関する研究 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院総合化学院 材料化学工学研究室 | 永石 新太郎 | 2022 | 22HK0012: ナノ材料へのモルフォロジー付与による機能向上 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 礒部 繁人 | 2022 | 22HK0007: １族・２族元素による低密度ハイエントロピー合金の創製 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 広島大学 先進機能物質研究センター | 宮岡 裕樹 | 2022 | 22HK0006: リチウム合金を用いた活性窒素生成における反応メカニズムの解明 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0004: 低放射化ハイエントロピー合金の耐照射性評価と照射損傷メカニズムの解明 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0003: 積層欠陥エネルギー制御による新規FCC構造材料の探求 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 量子科学技術研究開発機構核融合炉構造材料開発グループ | 野澤 貴志 | 2022 | 22HK0002: 低放射化フェライト鋼の照射下微細組織発達に及ぼす核変換ガス原子の影響 |
| 14 | HK-301 | 環境セル対応透過電子顕微鏡 | 日本原子力研究開発機構 | 鈴木 恵理子 | 2022 | 22HK0001: 構造材への核分裂生成物の吸着・再蒸発／浮遊プロセスの原子レベルでの解明 |
| 2 | HK-626 | 光学干渉式膜厚計 | 日本ガイシ株式会社 | 近藤 良夫 | 2022 | 22HK0054: 反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証 |
| 2 | HK-626 | 光学干渉式膜厚計 | 北海道大学 大学院工学研究院 機械・宇宙航空工学部門 | 戸谷 剛 | 2022 | 22HK0053: 赤外線励起による溶剤の分子内振動の緩和と溶剤乾燥に効果的な赤外線吸収波長帯の解明 |
| 2 | HK-702 | 両面マスクアライナ | 北海道大学大学院工学院人間機械システムデザイン専攻 | 豊原 涼太 | 2022 | 22HK0052: 細胞バイオメカニクス研究のためのマイクロデバイス開発 |
| 2 | HK-702 | 両面マスクアライナ | 北海道大学 大学院情報科学研究院 | 福地 厚 | 2022 | 22HK0016: 機能性無機材料の試料微細構造と電子物性の相関に関する研究 |
| 1 | HK-707 | スピンコーター | 北海道大学大学院工学院人間機械システムデザイン専攻 | 豊原 涼太 | 2022 | 22HK0052: 細胞バイオメカニクス研究のためのマイクロデバイス開発 |
| 3 | HK-105 | 集束イオンビーム加工装置 | 日本原子力研究開発機構 Ｊ－ＰＡＲＣセンター | 若井 栄一 | 2022 | 22HK0050: 放射線場でのマルチ型同時計測法の開発とイノベ―ション物質の創製に向けて |
| 3 | HK-105 | 集束イオンビーム加工装置 | パナソニック株式会社 | 石田 貴規 | 2022 | 22HK0039: 摺動部材の高耐久化に関する研究 |
| 3 | HK-105 | 集束イオンビーム加工装置 | 三菱製鋼株式会社 技術開発センター | 青山 俊文 | 2022 | 22HK0038: 特殊鋼中の微細炭窒化物粒子の析出挙動に関する研究 |
| 1 | HK-613 | プラズマCVD装置 | (株)レゾナック | 足立 修一郎 | 2022 | 22HK0046: 電子部品材料開発に向けた原子レベル組織解析 |
| 1 | HK-625 | 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡 | 大阪大学、日本電子 | 大須賀 潤一 | 2022 | 22HK0005: 光誘起ソフトイオン化基板の創製 |
| 1 | HK-602 | 超高精度電子ビーム描画装置(125kV) | 大阪大学、日本電子 | 大須賀 潤一 | 2022 | 22HK0005: 光誘起ソフトイオン化基板の創製 |
| 2 | HK-407 | 精密イオン研磨装置 | 北海道大学大学院工学研究院材料科学部門 | 橋本 直幸 | 2022 | 22HK0004: 低放射化ハイエントロピー合金の耐照射性評価と照射損傷メカニズムの解明 |
| 2 | HK-407 | 精密イオン研磨装置 | 日本原子力研究開発機構 | 鈴木 恵理子 | 2022 | 22HK0001: 構造材への核分裂生成物の吸着・再蒸発／浮遊プロセスの原子レベルでの解明 |